CN209859927U - 硅片插片机 - Google Patents
硅片插片机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN209859927U CN209859927U CN201921072572.5U CN201921072572U CN209859927U CN 209859927 U CN209859927 U CN 209859927U CN 201921072572 U CN201921072572 U CN 201921072572U CN 209859927 U CN209859927 U CN 209859927U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- basket
- silicon wafer
- cylinder
- fixed
- platform
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 103
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 103
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 103
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 18
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims abstract description 16
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 76
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 4
- 101150038956 cup-4 gene Proteins 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其是硅片插片机。该插片机包括水平直线模组、上下驱动气缸、缓冲机构、吸盘、花篮升降台、花篮传动道、花篮、吹气机构、压紧气缸、压板、硅片升降台、挡板、弹簧、机台和定位板，所述机台上固定有水平直线模组和吹气机构，水平直线模组的滑座上固定有上下驱动气缸，上下驱动气缸的活塞杆通过缓冲机构与吸盘连接。本实用新型通过水平直线模组配合上下驱动气缸驱动吸盘，将花篮升降台上的层叠硅片逐一放置到花篮传动道上，经由花篮传动道传送至花篮升降台上的花篮里。压紧气缸及压板可以压紧第一片以下的硅片，防止硅片粘连。吹气机构可以吹除硅片上的污物。本申请提高了硅片插片的效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其是硅片插片机。
背景技术
单晶硅片的加工包括单晶硅棒先开方，再切片，多晶硅片的加工包括多晶硅锭切割，再切片，准单晶硅片的加工包括准单晶硅锭切割，再切片。因此切片是晶体硅太阳能电池片加工工艺中必不可少的工艺之一。切片后得到的硅片层叠在一起，需要分片后插入花篮中进行运输。但是现有的插片机效率较低。
实用新型内容
为了解决背景技术中描述的技术问题，本实用新型提供了一种硅片插片机。通过水平直线模组配合上下驱动气缸驱动吸盘，将花篮升降台上的层叠硅片逐一放置到花篮传动道上，经由花篮传动道传送至花篮升降台上的花篮里。压紧气缸及压板可以压紧第一片以下的硅片，防止硅片粘连。吹气机构可以吹除硅片上的污物。本申请提高了硅片插片的效率。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种硅片插片机，包括水平直线模组、上下驱动气缸、缓冲机构、吸盘、花篮升降台、花篮传动道、花篮、吹气机构、压紧气缸、压板、硅片升降台、挡板、弹簧、机台和定位板，所述机台上固定有水平直线模组和吹气机构，水平直线模组的滑座上固定有上下驱动气缸，上下驱动气缸的活塞杆通过缓冲机构与吸盘连接，机台底部固定有花篮升降台和硅片升降台，花篮升降台的移动平台上设有花篮，硅片升降台的移动平台四周滑配连接有挡板，硅片升降台的移动平台与挡板之间连接有弹簧，机台上安装有花篮传动道，机台上开设有用于穿过花篮的穿槽和用于穿过硅片的穿槽，挡板无法穿过穿槽，机台反面固定有压紧气缸，压紧气缸的活塞杆上固定有压板，用于穿过硅片的穿槽一侧固定有定位板。
具体地，所述缓冲机构是由两个筒体套设并滑动连接组成，两个筒体之间连接有弹簧。
具体地，所述花篮升降台由气缸一和花篮定位板组成，气缸一的活塞杆端固定有花篮定位板，花篮通过插销连接在花篮定位板上。
具体地，所述花篮传动道由皮带输送机和导向块组成，导向块为梯形块，皮带输送机位于两个相互对称导向块之间。
具体地，所述吹气机构由气腔和喷嘴组成，气腔分别与喷嘴和气泵相连通。
具体地，所述硅片升降台由气缸二和硅片放置板，气缸二的活塞杆端固定有硅片放置板，硅片放置板四个侧边分别滑配连接有挡板，挡板上开设有滑槽，硅片放置板上固定有滑块，滑块置于滑槽内滑配连接，弹簧置于滑槽内，弹簧一端固定在滑块上，弹簧另一端固定在挡板上。
本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了一种硅片插片机。通过水平直线模组配合上下驱动气缸驱动吸盘，将花篮升降台上的层叠硅片逐一放置到花篮传动道上，经由花篮传动道传送至花篮升降台上的花篮里。压紧气缸及压板可以压紧第一片以下的硅片，防止硅片粘连。吹气机构可以吹除硅片上的污物。本申请提高了硅片插片的效率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的主视图；
图2是本实用新型的俯视图；
图3是本实用新型的挡板的结构示意图；
图中1.水平直线模组，2.上下驱动气缸，3.缓冲机构,4.吸盘，5.花篮升降台，6.花篮传动道，7.花篮，8.吹气机构，9.压紧气缸，10.压板，11.硅片升降台，12.挡板，13.弹簧，14.机台，15.定位板，51.气缸一，52.花篮定位板，61.皮带输送机，62.导向块，111.气缸二，112.硅片放置板。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
图1是本实用新型的主视图，图2是本实用新型的俯视图，图3是本实用新型的挡板的结构示意图。
一种硅片插片机，包括水平直线模组1、上下驱动气缸2、缓冲机构3、吸盘4、花篮升降台5、花篮传动道6、花篮7、吹气机构8、压紧气缸9、压板10、硅片升降台11、挡板12、弹簧13、机台14和定位板15，所述机台14上固定有水平直线模组1和吹气机构8，水平直线模组1的滑座上固定有上下驱动气缸2，上下驱动气缸2的活塞杆通过缓冲机构3与吸盘4连接，机台14底部固定有花篮升降台5和硅片升降台11，花篮升降台5的移动平台上设有花篮7，硅片升降台11的移动平台四周滑配连接有挡板12，硅片升降台11的移动平台与挡板12之间连接有弹簧13，机台14上安装有花篮传动道6，机台14上开设有用于穿过花篮7的穿槽和用于穿过硅片的穿槽，挡板12无法穿过穿槽，机台14反面固定有压紧气缸9，压紧气缸9的活塞杆上固定有压板10，用于穿过硅片的穿槽一侧固定有定位板15。所述缓冲机构3是由两个筒体套设并滑动连接组成，两个筒体之间连接有弹簧。所述花篮升降台5由气缸一51和花篮定位板52组成，气缸一51的活塞杆端固定有花篮定位板52，花篮7通过插销连接在花篮定位板52上。所述花篮传动道6由皮带输送机61和导向块62组成，导向块62为梯形块，皮带输送机61位于两个相互对称导向块62之间。所述吹气机构8由气腔和喷嘴组成，气腔分别与喷嘴和气泵相连通。所述硅片升降台11由气缸二111和硅片放置板112，气缸二111的活塞杆端固定有硅片放置板112，硅片放置板112四个侧边分别滑配连接有挡板12，挡板12上开设有滑槽，硅片放置板112上固定有滑块，滑块置于滑槽内滑配连接，弹簧13置于滑槽内，弹簧13一端固定在滑块上，弹簧13另一端固定在挡板12上。
结合附图1、附图2和附图3所示，首先将层叠的一堆硅片放置到硅片放置板112上。机台14上用于穿过硅片的穿槽，只能穿过硅片而无法穿过挡板12。当硅片放置在硅片放置板112上时，四个与硅片放置板112相互垂直的挡板12就可以防止硅片掉出。气缸二111的活塞杆驱使硅片往上伸出，当挡板12顶在了机台14底面之后，挡板12会沿着硅片放置板112上的滑块往下直线滑动，此时硅片放置板112及堆叠其上的硅片继续往上移动，直到最上层的硅片穿出穿槽。此时压紧气缸9的活塞杆带动压板10往硅片的方向移动，直到将最上层硅片下方的第二个硅片夹紧在压板10和定位板15之间。最后水平直线模组1和上下驱动气缸2带动吸盘4将最上层的一个硅片吸走。接着压紧气缸9放开当前夹紧的硅片，然后硅片升降台11将第二个硅片上移至抓取位，然后压紧气缸9将第三个硅片夹紧，吸盘4再将第二个硅片吸走。依次方法，直到将硅片升降台11上的所有硅片都逐一吸走。当硅片全部吸完之后，气缸二111带动硅片放置板112往下移动，此时挡板12在弹簧13回弹的带动下往上移动并复位。当硅片被吸盘4吸住并移动至吹气机构8的喷嘴前方，气泵产生的气体通过喷嘴喷到当前的硅片上，从而将硅片上的污物吹除。
吸盘4内设有空腔，吸盘4底面开设有吸孔，吸孔与空腔相连通，吸盘4的空腔与气泵的进气口相连通。气泵使吸盘4底面的吸孔产生负压来吸住硅片。
水平直线模组1可以带动吸盘4进行左右水平直线移动，上下驱动气缸2可以带动吸盘4进行上下直线移动。直线模组为电机驱动滚珠丝杠旋转，旋转的滚珠丝杠驱使与之螺纹连接的滚珠螺母进行直线移动，与滚珠螺母外圈固定的滑座就与其同步移动。
吸盘4将硅片吸取并放置在皮带输送机61上进行传送，在硅片被传送的过程中，会经由导向块62进行方向导正，最后将硅片传送到花篮7内。花篮内设有从上到下依次排列有数个插槽，当前插槽插入了硅片之后，气缸一51的活塞杆带动花篮7进行上下移动，从而将空置的插槽移动至皮带输送机61出料口的正前方，然后将下一个硅片传送进入该插槽，依次方法，直到将花篮7全部插满。最后拔出插销，将花篮7取走即可。
两个相对称的梯形的导向块62为一组，同一组的两个导向块62的斜面朝向皮带输送机61的左右两侧。同一组的两个导向块62之间最大间距处为入料口，最小间距处为出料口。
皮带输送机61是由两条相互平行的皮带、电机、传动轮和传送台组成，传送台两端分别转动有传动轮，传动轮均张紧在皮带内圈，其中一端的传动轮的轴固定在电机的输出轴上。电机驱使传动轮旋转，旋转的传动轮通过摩擦带动皮带传动。皮带通过摩擦力带动硅片进行传动。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (6)
1.一种硅片插片机，其特征是，包括水平直线模组(1)、上下驱动气缸(2)、缓冲机构(3)、吸盘(4)、花篮升降台(5)、花篮传动道(6)、花篮(7)、吹气机构(8)、压紧气缸(9)、压板(10)、硅片升降台(11)、挡板(12)、弹簧(13)、机台(14)和定位板(15)，所述机台(14)上固定有水平直线模组(1)和吹气机构(8)，水平直线模组(1)的滑座上固定有上下驱动气缸(2)，上下驱动气缸(2)的活塞杆通过缓冲机构(3)与吸盘(4)连接，机台(14)底部固定有花篮升降台(5)和硅片升降台(11)，花篮升降台(5)的移动平台上设有花篮(7)，硅片升降台(11)的移动平台四周滑配连接有挡板(12)，硅片升降台(11)的移动平台与挡板(12)之间连接有弹簧(13)，机台(14)上安装有花篮传动道(6)，机台(14)上开设有用于穿过花篮(7)的穿槽和用于穿过硅片的穿槽，挡板(12)无法穿过穿槽，机台(14)反面固定有压紧气缸(9)，压紧气缸(9)的活塞杆上固定有压板(10)，用于穿过硅片的穿槽一侧固定有定位板(15)。
2.根据权利要求1所述的硅片插片机，其特征在于：所述缓冲机构(3)是由两个筒体套设并滑动连接组成，两个筒体之间连接有弹簧。
3.根据权利要求1所述的硅片插片机，其特征在于：所述花篮升降台(5)由气缸一(51)和花篮定位板(52)组成，气缸一(51)的活塞杆端固定有花篮定位板(52)，花篮(7)通过插销连接在花篮定位板(52)上。
4.根据权利要求1所述的硅片插片机，其特征在于：所述花篮传动道(6)由皮带输送机(61)和导向块(62)组成，导向块(62)为梯形块，皮带输送机(61)位于两个相互对称导向块(62)之间。
5.根据权利要求1所述的硅片插片机，其特征在于：所述吹气机构(8)由气腔和喷嘴组成，气腔分别与喷嘴和气泵相连通。
6.根据权利要求1所述的硅片插片机，其特征在于：所述硅片升降台(11)由气缸二(111)和硅片放置板(112)，气缸二(111)的活塞杆端固定有硅片放置板(112)，硅片放置板(112)四个侧边分别滑配连接有挡板(12)，挡板(12)上开设有滑槽，硅片放置板(112)上固定有滑块，滑块置于滑槽内滑配连接，弹簧(13)置于滑槽内，弹簧(13)一端固定在滑块上，弹簧(13)另一端固定在挡板(12)上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921072572.5U CN209859927U (zh) | 2019-07-10 | 2019-07-10 | 硅片插片机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921072572.5U CN209859927U (zh) | 2019-07-10 | 2019-07-10 | 硅片插片机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN209859927U true CN209859927U (zh) | 2019-12-27 |
Family
ID=68943046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201921072572.5U Expired - Fee Related CN209859927U (zh) | 2019-07-10 | 2019-07-10 | 硅片插片机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN209859927U (zh) |
-
2019
- 2019-07-10 CN CN201921072572.5U patent/CN209859927U/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN212387316U (zh) | 一种自动卸垛系统 | |
| CN207000902U (zh) | 圆筒塑胶件自动贴膜机 | |
| CN217369345U (zh) | 分选下料设备 | |
| CN110238257B (zh) | 一种全自动铝板压型生产线 | |
| CN104175108A (zh) | 一种产品运输流水线机构 | |
| CN209880643U (zh) | 导正型硅片插片机 | |
| CN112388458B (zh) | 一种全自动手机曲面屏精雕机及其精雕工艺 | |
| CN209859927U (zh) | 硅片插片机 | |
| CN116968415A (zh) | 一种钢化玻璃的夹胶设备 | |
| CN210282517U (zh) | 一种纸板模切机的纸板输送机构 | |
| CN111477559A (zh) | 一种硅片破损检测装置及检测方法 | |
| CN111792129A (zh) | 新型自动放说明书设备 | |
| CN110712357A (zh) | 一种化妆品包装吸塑膜及其成型生产线 | |
| CN215508469U (zh) | 电池极耳折弯装置 | |
| CN114426190B (zh) | 触点摆放设备 | |
| CN110676199B (zh) | 一种高速装片刻印机 | |
| CN213036150U (zh) | 一种纽扣电池包装设备 | |
| CN215438573U (zh) | 一种喷砂机专用上料机构 | |
| CN221190617U (zh) | 一种针对交叉产品的自动抓取装置 | |
| CN212667868U (zh) | 新型自动放说明书设备 | |
| CN212354566U (zh) | 瓶导机构 | |
| CN217533399U (zh) | 一种测距红外滤光片封装板上料机构 | |
| CN215591996U (zh) | 电池自动堆垛机输送机构 | |
| CN209880541U (zh) | 扩散下料堆叠机 | |
| CN113264403B (zh) | 铁氧体生片自动切割堆叠装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20191227 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |