CN209785901U - 一种夹取晶圆盒的机械手装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种夹取晶圆盒的机械手装置，包括对称设置的夹持臂、旋转杆以及旋转制动组件和传动位移组件，两夹持臂将晶圆盒两侧的盒边夹持牢固，并由锁紧块将其与旋转杆固连，旋转制动组件包括外壳、前挡板、前轴座、前轴承、旋转块以及后轴承、后轴座，外壳内固定设置有顶伸气缸，其顶杆固连有倾斜块，倾斜块中部设置有U形孔，U形孔与旋转块头部设置的圆柱型拨动杆配合使旋转杆实现周向转动，传动位移组件包括Z轴滑移组件和X轴传动组件，该夹取晶圆盒的机械手装置利用X轴传动组件和Z轴滑移组件构成的双轴联动动作，由电机和气缸的动作控制夹持臂和旋转杆共同作用将晶圆盒抬升移送，自动化程度高，实用方便，适用性强。
Description
技术领域
本实用新型涉及物料自动输送设备技术领域，具体涉及一种夹取晶圆盒的机械手装置。
背景技术
晶圆盒是存放半导体晶圆的设备，在实际生产中，晶圆不能用手直接触碰，这会对晶圆内部造成静电损伤，无法弥补，直接报废掉，需要有防静电设备进行物料转移，尽量避免人工手动移料。
发明内容
本实用新型目的是：针对上述背景技术提及的问题，提供一种能够便捷抓取晶圆盒的机械手装置，自动化程度高，提高了晶圆盒的输送效率，降低了安全风险。
为解决上述问题采取的技术方案是：
一种夹取晶圆盒的机械手装置，包括对称设置的夹持臂、旋转杆以及旋转制动组件和传动位移组件，
两所述夹持臂呈板状，将晶圆盒两侧的盒边夹持牢固，并由锁紧块将其与旋转杆固连，两所述旋转杆另一端与所述旋转制动组件配合实现同步反向转动，
所述旋转制动组件包括外壳、前挡板、前轴座、前轴承、旋转块以及后轴承、后轴座，所述前轴承配合在所述前轴座内，后轴承配合在后轴座内，所述外壳内固定设置有顶伸气缸，其顶杆固连有倾斜块，所述倾斜块中部设置有U形孔，所述U形孔与所述旋转块头部设置的圆柱型拨动杆配合使旋转杆实现周向转动，
所述传动位移组件包括Z轴滑移组件和X轴传动组件，
所述Z轴滑移组件包括升降杆、伺服电机带动的丝杆副、滑块滑轨组件，所述升降杆上端设有与所述旋转制动组件外壳固连的法兰，下端固连有滑块，所述滑块与竖直固定的滑轨配合限位滑动，所述伺服电机通过变速器、联轴器配合实现对丝杆副的传动，所述滑块与所述丝杆副的活动块固连，
所述X轴传动组件包括传动电机和传动齿轮，所述传动齿轮与外部的齿条配合实现传动。
进一步地，所述旋转杆一端固连有定位板，限定旋转杆之间的距离。
进一步地，所述后轴座配合内壳、橡胶圈和面板固定。
进一步地，所述丝杆副两端固定有轴承座，所述轴承座一端固定在下座上，另一端固定在外壳上。
进一步地，所述升降杆和所述丝杆副一侧固定有防撞传感器。
本实用新型的有益效果是：该夹取晶圆盒的机械手装置利用X轴传动组件和Z轴滑移组件构成的双轴联动动作，由电机和气缸的动作控制夹持臂和旋转杆共同作用将晶圆盒抬升移送，自动化程度高，实用方便，适用性强。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所提供的附图作简单地介绍。
图1为本实施例夹取晶圆盒的机械手装置的结构示意图；
图2为本实施例夹取晶圆盒的机械手装置去除外壳的结构示意图；
图3为本实施例旋转制动组件的爆炸图；
图4为图3中A处的局部放大图；
图5为本实施例所述传动位移组件的结构示意图；
其中，1-夹持臂，101-锁紧块，2-旋转杆，21-定位板，3-旋转制动组件，31-前挡板，32-前轴座，321-前轴承，33-后轴座，331-后轴承，34-内壳，35-橡胶圈，36-面板，37-外壳，38-旋转块，381-拨动杆，39-倾斜块，391-顶伸气缸，4-传动位移组件，41-升降杆，411-法兰，42-伺服电机，43-变速器，44-联轴器，45-丝杆副，451-上轴承座，452-下轴承座，46-下座，47-传动位移组件的外壳，48-上盖，49-滑轨，5-传动电机，51-传动齿轮，6-晶圆盒，7-防撞传感器。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
请参阅图1-5，本实施例提出一种夹取晶圆盒的机械手装置，包括对称设置的夹持臂1、旋转杆2以及旋转制动组件3和传动位移组件4。
具体地说，两所述夹持臂1呈板状，将晶圆盒6两侧的盒边夹持牢固，并由锁紧块101将其与旋转杆2固连，两所述旋转杆2另一端与所述旋转制动组件3配合实现同步反向转动。
所述旋转制动组件3包括外壳37、前挡板31、前轴座32、前轴承321、旋转块38以及后轴承331、后轴座33，所述前轴承321配合在所述前轴座32内，后轴承331配合在后轴座33内，所述外壳37内固定设置有顶伸气缸391，其顶杆固连有倾斜块39，所述倾斜块39中部设置有U形孔，所述U形孔与所述旋转块38头部设置的圆柱型拨动杆381配合使旋转杆2实现周向转动。
更具体的说，所述传动位移组件4包括Z轴滑移组件和X轴传动组件。
所述Z轴滑移组件包括升降杆41、伺服电机42带动的丝杆副45、滑块滑轨组件，所述升降杆41上端设有与所述旋转制动组件4外壳固连的法兰411，下端固连有滑块，所述滑块与竖直固定的滑轨49配合限位滑动，所述伺服电机42通过变速器43、联轴器44配合实现对丝杆副45的传动，所述滑块与所述丝杆副45的活动块固连，所述升降杆和所述丝杆副一侧固定有防撞传感器。
所述X轴传动组件包括传动电机5和传动齿轮51，所述传动齿轮51与外部的齿条配合实现传动。
进一步的实施方案是，所述旋转杆2一端固连有定位板21，限定旋转杆2之间的距离。
进一步的实施方案是，所述后轴座33配合内壳34、橡胶圈35和面板36固定。
进一步的实施方案是，所述丝杆副45两端固定有轴承座451、452，所述轴承座一端固定在下座452上，另一端固定在外壳47上。
上面结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但是本实用新型并不限于上述实施方式，在本领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下做出各种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种夹取晶圆盒的机械手装置，包括对称设置的夹持臂、旋转杆以及旋转制动组件和传动位移组件，其特征在于：
两所述夹持臂呈板状，将晶圆盒两侧的盒边夹持牢固，并由锁紧块将其与旋转杆固连，两所述旋转杆另一端与所述旋转制动组件配合实现同步反向转动，
所述旋转制动组件包括外壳、前挡板、前轴座、前轴承、旋转块以及后轴承、后轴座，所述前轴承配合在所述前轴座内，后轴承配合在后轴座内，所述外壳内固定设置有顶伸气缸，其顶杆固连有倾斜块，所述倾斜块中部设置有U形孔，所述U形孔与所述旋转块头部设置的圆柱型拨动杆配合使旋转杆实现周向转动，
所述传动位移组件包括Z轴滑移组件和X轴传动组件，
所述Z轴滑移组件包括升降杆、伺服电机带动的丝杆副、滑块滑轨组件，所述升降杆上端设有与所述旋转制动组件外壳固连的法兰，下端固连有滑块，所述滑块与竖直固定的滑轨配合限位滑动，所述伺服电机通过变速器、联轴器配合实现对丝杆副的传动，所述滑块与所述丝杆副的活动块固连。
2.根据权利要求1所述的夹取晶圆盒的机械手装置，其特征在于：所述X轴传动组件包括传动电机和传动齿轮，所述传动齿轮与外部的齿条配合实现传动。
3.根据权利要求1所述的夹取晶圆盒的机械手装置，其特征在于：所述旋转杆一端固连有定位板，限定旋转杆之间的距离。
4.根据权利要求1所述的夹取晶圆盒的机械手装置，其特征在于：所述后轴座配合内壳、橡胶圈和面板固定。
5.根据权利要求1所述的夹取晶圆盒的机械手装置，其特征在于：所述丝杆副两端固定有轴承座，所述轴承座一端固定在下座上，另一端固定在外壳上。
6.根据权利要求1所述的夹取晶圆盒的机械手装置，其特征在于：所述升降杆和所述丝杆副一侧固定有防撞传感器。
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Address after: Room 3, 299 Yuyang Road, Yushan Town, Kunshan City, Suzhou City, Jiangsu Province Patentee after: Suzhou Zhicheng Semiconductor Technology Co.,Ltd. Address before: Room 3, 299 Yuyang Road, Yushan Town, Kunshan City, Suzhou City, Jiangsu Province Patentee before: Zhicheng semiconductor equipment technology (Kunshan) Co.,Ltd. |