CN209664653U - 一种溅射靶材补焊辅助装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种溅射靶材补焊辅助装置，涉及溅射靶材制造技术领域，包括补焊台，补焊台上设置有定位模，定位模上开设有用于放置溅射靶材的定位槽，定位模上方设置有吊杆，吊杆靠近定位模的一端沿其轴向转动设置有伸缩杆，伸缩杆与吊杆呈一定角度设置，伸缩杆远离吊杆的一端设置有用于夹紧焊枪的夹箍，定位模内设置有用于夹紧溅射靶材的夹紧组件。针对现有技术存在工人劳动强度高的问题，本实用新型通过夹箍夹住焊枪，转动伸缩杆，带动焊枪转动，补焊靶材周侧，无需工人手持焊枪，减轻加工人员的劳动强度。

Description

一种溅射靶材补焊辅助装置

技术领域

本实用新型涉及溅射靶材制造技术领域，更具体地说，它涉及一种溅射靶材补焊辅助装置。

背景技术

溅射靶材主要应用于电子及信息产业，如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等。现有溅射靶材结构，如图1所示，包括背板14和焊接在背板上的靶材15，背板14和靶材15表面均呈圆形，由于焊接过程中存在气孔等缺陷，需要对靶材15与背板14的接合位置进行补焊。

现有厂商生产时，多采用手动焊接的方式，先将溅射靶材放置在一个可以旋转的托盘上，手持焊枪，手动补焊。

现有技术实施时，若是大批量作业生产，工人长期手持焊枪，焊接溅射板材，会造成工人手臂酸疼，增加工人生产的劳动强度。

实用新型内容

针对现有技术存在工人劳动强度高的问题，本实用新型的目的是提供一种溅射靶材补焊辅助装置，便于工人补焊作业，减轻工人劳动强度。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种溅射靶材补焊辅助装置，包括补焊台，其特征在于，所述补焊台上设置有定位模，所述定位模上开设有用于放置溅射靶材的定位槽，所述定位模上方设置有吊杆，所述吊杆靠近所述定位模的一端沿其轴向转动设置有伸缩杆，所述伸缩杆与所述吊杆呈一定角度设置，所述伸缩杆远离所述吊杆的一端设置有用于夹紧焊枪的夹箍，所述定位模内设置有用于夹紧溅射靶材的夹紧组件。

通过上述技术方案，使用时，溅射靶材放置在定位槽内，将焊枪夹紧在夹箍内，转动伸缩杆，带动焊枪转动，补焊靶材周侧，由于无需工人手持焊枪，在进行批量生产加工时，可大大减轻加工人员的劳动强度。

进一步的，所述伸缩杆包括与所述吊杆转动连接的滑套，所述滑套内沿其长度方向滑移连接有滑杆，所述滑杆远离所述吊杆的一端设置有所述夹箍。

通过上述技术方案，利用滑杆与滑套之间的滑移连接，使夹箍的位置具有可调节性，使本实用新型可加不同型号的溅射靶材，增强适用性。

进一步的，所述滑杆远离所述吊杆的一端转动连接有连杆，所述连杆远离所述滑杆的一端固定有所述夹箍，所述连杆的转动平面与水平面垂直。

通过上述技术方案，连杆与滑杆转动连接，进一步增加夹箍可调节的自由度，进一步增强本实用新型的适用性。

进一步的，所述滑套侧壁螺纹连接有用于将其与所述滑杆相对位置固定的定位螺栓。

通过上述技术方案，滑动滑杆调节好焊枪位置后，拧动定位螺栓，转动伸缩杆补焊溅射靶材的过程中，避免滑杆滑移，改变焊枪的位置。

进一步的，所述夹紧组件包括贯穿所述定位模开设于所述定位槽内壁的螺纹孔，所述螺纹孔内螺纹连接有夹紧螺栓。

通过上述技术方案，拧动夹紧螺栓，抵紧背板，用于将溅射靶材固定在定位槽内。

进一步的，所述夹紧螺栓靠近所述定位槽的一端固定有缓冲垫。

通过上述技术方案，缓冲垫用于避免夹紧螺栓与背板之间的刚性抵接，保护背板。

进一步的，所述夹紧螺栓的长度小于所述螺纹孔的长度。

通过上述技术方案，夹紧螺栓可收纳在螺纹孔内，从而避免夹紧螺栓突出在外受到碰撞损伤。

进一步的，所述定位槽为多台阶槽。

通过上述技术方案，定位槽设置为多台阶槽，使定位模可用于固定多种型号的背板，增强本实用新型的适用性。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)夹箍夹紧焊枪，再转动伸缩杆，带动焊枪补焊靶材周侧完成补焊，在大规模批量生产时，由于避免工人手持焊枪作业，大大减轻了工人的劳动强度；

(2)进一步地，通过滑杆的滑动和连杆的转动，增加夹箍的自由度，便于本实用新型加工不同型号的溅射靶材，增强本实用新型的适用性；

(3)进一步地，通过在螺纹孔内设置夹紧螺栓和缓冲垫，加固放置在定位槽内的溅射靶材，避免补焊过程中，溅射靶材在定位槽3内转动。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

附图标记：1、补焊台；2、定位模；3、定位槽；4、吊杆；5、伸缩杆；6、夹箍；7、滑套；8、滑杆；9、连杆；10、定位螺栓；11、螺纹孔；12、夹紧螺栓；13、缓冲垫；14、背板；15、靶材。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案和有益效果更加清楚，下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不仅限于此。

如图1所示，一种溅射靶材补焊辅助装置，包括补焊台1，补焊台1上固定有定位模2，定位模2呈圆台状，定位模2上开设有用于放置背板14的定位槽3，定位槽3呈圆槽，且为多台阶槽，每个台阶的槽口都对应一种型号的溅射靶材，每种型号的溅射靶材具有半径不同的背板14，背板14插接设置在定位槽3内，用于对溅射板材进行定位。

补焊台1于定位模2上方固定有吊杆4，吊杆4靠近定位模2的一端沿其轴向转动连接有伸缩杆5，伸缩杆5的长度方向与吊杆4的长度方向垂直。伸缩杆5包括与吊杆4转动连接的滑套7，滑套7内沿其长度方向滑移连接有滑杆8，滑杆8远离吊杆4的一端转动连接有连杆9，连杆9的转动平面与水平面垂直。连杆9远离滑杆8的一端固定有夹箍6，夹箍6用于夹紧焊枪的夹箍6。

使用时，先将焊枪夹紧在夹箍6内，再通过滑杆8的滑移和连杆9的转动，调整夹箍6的位置，接着启动焊枪，转动伸缩杆5，带动焊枪周向转动，补焊背板14与靶材15的连接处。滑套7侧壁螺纹连接有用于将其与滑杆8相对位置固定的定位螺栓10，在滑杆8位置调整好后，将定位螺栓10拧紧，避免在补焊作业时，滑杆8位置滑动。

定位模2内设置有用于夹紧溅射靶材的夹紧组件，夹紧组件包括贯穿定位模2开设于定位槽3内壁的螺纹孔11，每个台阶处的内壁均设置有螺纹孔11，螺纹孔11内螺纹连接有夹紧螺栓12，在将溅射靶材插入定位槽3内后，将夹紧螺栓12拧紧，将背板14夹紧在定位槽3内。夹紧螺栓12靠近定位槽3的一端固定有缓冲垫13，缓冲垫13采用橡胶制成，避免夹紧螺栓12与背板14之间的刚性抵接，夹紧螺栓12的长度小于螺纹孔11的长度，便于将夹紧螺栓12收纳在螺纹孔11内，从而保护夹紧螺栓12免受碰撞。

综上所述：

本实用新型使用时，夹箍6夹紧焊枪，再转动伸缩杆5，带动焊枪补焊靶材15周侧完成补焊，在大规模批量生产时，由于避免工人手持焊枪作业，大大减轻了工人的劳动强度；通过滑杆8的滑动和连杆9的转动，增加夹箍6的自由度，便于本实用新型加工不同型号的溅射靶材，增强本实用新型的适用性；通过在螺纹孔11内设置夹紧螺栓12和缓冲垫13，加固放置在定位槽3内的溅射靶材，避免补焊过程中，溅射靶材在定位槽3内转动。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种溅射靶材补焊辅助装置，包括补焊台（1），其特征在于，所述补焊台（1）上设置有定位模（2），所述定位模（2）上开设有用于放置溅射靶材的定位槽（3），所述定位模（2）上方设置有吊杆（4），所述吊杆（4）靠近所述定位模（2）的一端沿其轴向转动设置有伸缩杆（5），所述伸缩杆（5）与所述吊杆（4）呈一定角度设置，所述伸缩杆（5）远离所述吊杆（4）的一端设置有用于夹紧焊枪的夹箍（6），所述定位模（2）内设置有用于夹紧溅射靶材的夹紧组件。

2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材补焊辅助装置，其特征在于，所述伸缩杆（5）包括与所述吊杆（4）转动连接的滑套（7），所述滑套（7）内沿其长度方向滑移连接有滑杆（8），所述滑杆（8）远离所述吊杆（4）的一端设置有所述夹箍（6）。

3.根据权利要求2所述的一种溅射靶材补焊辅助装置，其特征在于，所述滑杆（8）远离所述吊杆（4）的一端转动连接有连杆（9），所述连杆（9）远离所述滑杆（8）的一端固定有所述夹箍（6），所述连杆（9）的转动平面与水平面垂直。

4.根据权利要求2所述的一种溅射靶材补焊辅助装置，其特征在于，所述滑套（7）侧壁螺纹连接有用于将其与所述滑杆（8）相对位置固定的定位螺栓（10）。

5.根据权利要求1所述的一种溅射靶材补焊辅助装置，其特征在于，所述夹紧组件包括贯穿所述定位模（2）开设于所述定位槽（3）内壁的螺纹孔（11），所述螺纹孔（11）内螺纹连接有夹紧螺栓（12）。

6.根据权利要求5所述的一种溅射靶材补焊辅助装置，其特征在于，所述夹紧螺栓（12）靠近所述定位槽（3）的一端固定有缓冲垫（13）。

7.根据权利要求5所述的一种溅射靶材补焊辅助装置，其特征在于，所述夹紧螺栓（12）的长度小于所述螺纹孔（11）的长度。

8.根据权利要求1所述的一种溅射靶材补焊辅助装置，其特征在于，所述定位槽（3）为多台阶槽。