CN209617834U - 基板卡匣以及对位系统 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种基板卡匣以及对位系统，涉及显示面板制造技术领域。该基板卡匣包括：卡匣主体、至少一组对位组件以及至少一个支撑组件，对位组件包括两个对位机构。对位机构包括驱动件和对位件。两个对位机构中的对位件均可以向靠近或远离另一个对位机构的方向移动，从而使放置在支撑组件上的基板可以被该组对位机构中的两个对位件调整至固定的位置，不仅可以避免在基板搬运过程中与卡匣主体的内壁发生碰撞，而导致的基板损坏，提高了基板的产量和设备的稼动率，而且可以便于机械臂从该基板卡匣中取出基板，提高了基板取出的效率。

Description

基板卡匣以及对位系统

技术领域

本申请涉及显示面板制造技术领域，特别涉及一种基板卡匣以及对位系统。

背景技术

卡匣(cassette，CST)是显示面板制造过程中，用于装载和传送基板的装置，卡匣可以同时装载多个基板。

相关技术中，在装载和传送基板的过程中，基板可能会与卡匣的内壁发生碰撞，造成该基板损坏。

发明内容

本申请提供了一种基板卡匣以及对位系统，可以解决相关技术中基板易损坏的问题。所述技术方案如下：

一方面，提供了一种基板卡匣，所述基板卡匣包括：卡匣主体、至少一组对位组件以及至少一个支撑组件，所述对位组件包括两个对位机构；

所述至少一个支撑组件设置在所述卡匣主体内，所述支撑组件用于支撑一个基板；

所述对位组件包括的所述两个对位机构相对设置在所述卡匣主体的两侧，所述对位机构包括：驱动件以及与所述驱动件连接的对位件；

所述对位机构中的所述驱动件用于驱动所述对位件沿靠近另一个所述对位机构的方向移动，使所述对位件与所述基板的侧面接触，或者所述驱动件用于驱动所述对位件沿远离另一个所述对位机构的方向移动，使所述对位件与所述基板的侧面解除接触；

其中，所述对位件的移动方向平行于所述支撑组件的支撑面，所述侧面垂直于所述支撑面。

可选的，所述对位机构还包括：传动件；

所述传动件分别与所述驱动件和所述对位件连接，所述传动件用于在所述驱动件的控制下，驱动所述对位件移动。

可选的，所述对位机构还包括：至少一个对位导杆；

所述驱动件和所述传动件均设置在所述卡匣主体的外侧，所述对位件设置在所述卡匣主体的内侧；

所述对位导杆的一端与所述传动件连接，所述对位导杆的另一端穿过所述卡匣主体的侧壁与所述对位件连接。

可选的，所述对位机构包括：多个所述对位导杆；

多个所述对位导杆沿垂直于所述支撑面的方向间隔设置。

可选的，所述对位件包括至少一个条状的子对位件，所述子对位件为杆体或者板体；

所述子对位件的延伸方向垂直于所述支撑面。

可选的，所述对位件在与所述基板的接触面所在平面内的正投影，与所述支撑组件上设置的基板在所述平面内的正投影均重叠。

可选的，所述支撑组件包括：至少一对支撑杆；

每对支撑杆相对设置在所述卡匣主体的两侧，且所述支撑杆的一端与所述卡匣主体一侧的侧壁连接，另一端悬空且向靠近所述卡匣主体另一侧的侧壁延伸；

所述支撑组件包括的至少一对支撑杆中，任意两个所述支撑杆与所述卡匣主体的底部之间的间距均相同。

可选的，所述支撑组件还包括：多个支撑条；

所述支撑条的一端与所述卡匣主体侧壁连接，所述支撑条的另一端悬空；

所述支撑条的延伸方向与所述支撑杆的延伸方向相交。

可选的，所述支撑组件还包括：

在所述支撑条远离所述卡匣主体的底部的一侧间隔设置的多个支撑部，所述支撑部远离所述支撑条的一面为球面或者平面。

可选的，相邻两个所述支撑部中，第一支撑部远离所述支撑条的一面为球面，第二支撑部远离所述支撑条的一面为平面。

可选的，所述驱动件包括：至少一个电缸。

可选的，所述基板卡匣还包括：设置在所述卡匣主体的底部的第一接口；

所述第一接口与所述电缸电连接，且所述第一接口还用于连接电源。

可选的，所述对位件由聚醚醚酮材料制成。

另一方面，提供了一种对位系统，所述对位系统包括：浮动台以及如上述方面所述的基板卡匣；

所述基板卡匣设置在所述浮动台上，所述浮动台用于支撑所述基板卡匣。

可选的，所述对位系统还包括：浮动气缸；

所述浮动气缸设置在所述浮动台靠近所述基板卡匣的一侧，用于校正所述基板卡匣在所述浮动台上的位置。

本申请提供的技术方案带来的有益效果至少包括：

本申请提供了一种基板卡匣以及对位系统，该基板卡匣包括：卡匣主体、至少一组对位组件以及至少一个支撑组件，对位组件包括两个对位机构。对位机构包括驱动件和对位件。两个对位机构中的对位件均可以向靠近或远离另一个对位机构的方向移动，从而使放置在支撑组件上的基板可以被该组对位机构中的两个对位件调整至固定的位置，不仅可以避免在基板搬运过程中与卡匣主体的内壁发生碰撞，而导致的基板损坏，提高了基板的产量和设备的稼动率，而且可以便于机械臂从该基板卡匣中取出基板，提高了基板取出的效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的一种基板卡匣的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的一种对位机构的结构示意图；

图3是本实用新型实施例提供的另一种基板卡匣的结构示意图；

图4是本实用新型实施例提供的另一种对位机构的结构示意图；

图5是本实用新型实施例提供的一种基板卡匣的局部放大的结构示意图；

图6是本实用新型实施例提供的另一种基板卡匣的局部放大的结构示意图；

图7是本实用新型实施例提供的一种卡匣主体的结构示意图；

图8是本实用新型实施例提供的又一种基板卡匣的局部放大的结构示意图；

图9是本实用新型实施例提供的一种支撑条和支撑部的结构示意图；

图10是本实用新型实施例提供的一种支撑条和支撑部的局部放大的结构示意图；

图11是本实用新型实施例提供的一种基板卡匣的三维结构示意图；

图12是图11所示的基板卡匣的局部放大的结构示意图；

图13是本实用新型实施例提供的一种对位系统的结构示意图；

图14是图13所示的对位系统的局部放大的结构示意图；

图15是本实用新型实施例提供的又一种基板卡匣的结构示意图；

图16是本实用新型实施例提供的另一种对位系统的结构示意图；

图17是本实用新型实施例提供的又一种对位系统的结构示意图。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本申请实施方式作进一步地详细描述。

基板卡匣作为装载和传送基板的装置，通常可以包括卡槽。该卡槽可以用于放置基板。但是，在装载和传送基板的过程中，基板可能会在该基板卡匣内发生偏移，导致该基板与基板卡匣的内壁发生碰撞，造成基板的损坏，影响基板的产量和设备的稼动率。并且，由于基板卡匣内放置的各个基板偏移的位置可能不同，使得通过机械臂从该基板卡匣内取出基板时，需要不断调整机械臂的位置。因此，为了确保机械臂不会碰撞该基板，需要对机械臂的运动轨迹进行严格的教学，不仅教学时间长，而且基板取出的效率较低。

图1是本实用新型实施例提供的一种基板卡匣的结构示意图，可以解决相关技术中的基板易损坏，取出的效率较低的问题。参考图1可以看出，该基板卡匣可以包括：卡匣主体001、至少一组对位组件002以及至少一个支撑组件003，该对位组件002可以包括两个对位机构002a和002b。该至少一个支撑组件003可以设置在该卡匣主体001内，支撑组件003可以用于支撑一个基板10。该对位组件002包括的两个对位机构002a和002b可以相对设置在该卡匣主体001的两侧。

图2是本实用新型实施例提供的一种对位机构的结构示意图。参考图2可以看出，对位机构可以包括：驱动件0021以及与该驱动件0021连接的对位件0022。

对位机构中的驱动件0021可以用于驱动该对位件0022沿靠近另一个对位机构的方向移动，使该对位件0022与基板10的侧面接触。或者，该驱动件0021可以用于驱动该对位件0022沿远离另一个对位机构的方向移动，使该对位件0022与基板10的侧面解除接触。其中，对位件0022的移动方向X可以平行于支撑组件003的支撑面，该基板10的侧面可以垂直于该支撑面。

示例的，参考图1，该基板卡匣可以包括一组对位组件002，且该一组对位组件002可以包括第一对位机构002a和第二对位机构002b。第一对位机构002a可以向靠近或远离第二对位机构002b的方向移动，第二对位机构002b可以向靠近或远离第一对位机构002a的方向移动。

当第一对位机构002a向靠近第二对位机构002b的方向移动，且该第二对位机构002b向靠近第一对位机构002a的方向移动时，该第一对位机构002a中的对位件0022与该第二对位机构002b中的对位件0022可以分别与基板10的两个侧面接触(该两个侧面为基板10的两个相对的侧面)。此时，参考图1，放置在支撑组件003上的基板10可以被调整至固定的位置，避免基板10在搬运过程中与卡匣主体001内壁发生碰撞，确保基板10不会被损坏。

当第一对位机构002a向远离第二对位机构002b的方向移动，且该第二对位机构002b向远离第一对位机构002a的方向移动时，该第一对位机构002a中的对位件0022与该第二对位机构002b中的对位件0022可以分别与基板10的两个侧面(该两个侧面为基板10的两个相对的侧面)解除接触。此时，参考图3，可以通过机械臂将放置在支撑组件003上的基板10取出。由于此时支撑组件003上放置的基板10位于固定的位置，因此对机械臂的教学时间可以缩短，提高了基板10取出的效率。

需要说明的是，本实用新型实施例中的基板卡匣包括的至少一组对位组件002中，可以只有一组对位组件包括两个对位机构002a和002b，也可以每组对位组件002均包括两个对位机构002a和002b。至少一个支撑组件003中，可以只有一个支撑组件003用于支撑一个基板10，也可以每个支撑组件003均用于支撑一个基板10。本实用新型实施例对此不做限定。

综上所述，本实用新型实施例提供了一种基板卡匣，该基板卡匣包括：卡匣主体、至少一组对位组件以及至少一个支撑组件，对位组件包括两个对位机构。对位机构包括驱动件和对位件。两个对位机构中的对位件均可以向靠近或远离另一个对位机构的方向移动，从而使放置在支撑组件上的基板可以被该组对位机构中的两个对位件调整至固定的位置，不仅可以避免在基板搬运过程中与卡匣主体的内壁发生碰撞，而导致的基板损坏，提高了基板的产量和设备的稼动率，而且可以便于机械臂从该基板卡匣中取出基板，提高了基板取出的效率。

图4是本实用新型实施例提供的另一种对位机构的结构示意图。参考图4可以看出，对位机构还可以包括：传动件0023。该传动件0023可以分别与驱动件0021和对位件0022连接，该传动件0023可以用于在该驱动件0021的控制下，驱动对位件0022移动。

驱动件0021和对位件0022之间设置传动件0023，从而可以通过驱动件0021驱动传动件0023移动，该传动件0023可以推动对位件0022移动，保证了对位件0022的受力均匀，使放置在各个支撑组件003中的基板10的受力一致，进而确保基板10可以位于固定的位置。

图5是本实用新型实施例提供的一种基板卡匣的局部放大的结构示意图。图6是本实用新型实施例提供的另一种基板卡匣的局部放大的结构示意图。参考图4至图6还可以看出，对位机构还可以包括：至少一个对位导杆0024。驱动件0021和传动件0023可以均设置在卡匣主体001的外侧，对位件0022可以设置在卡匣主体001的内侧。对位导杆0024的一端可以与该传动件0023连接，对位导杆0024的另一端可以穿过卡匣主体001的侧壁与对位件0022连接。其中，对位机构中的至少一个对位导杆0024中，可以只有一个对位导杆0024的一端与传动件0023连接，另一端穿过卡匣主体001的侧壁与对位件0022连接，也可以每个对位导杆0024的一端均与传动件0023连接，另一端均穿过卡匣主体001的侧壁与对位件0022连接，本实用新型实施例对此不做限定。

图7是本实用新型实施例提供的一种卡匣主体的结构示意图。参考图7可以看出，该卡匣主体001可以为长方体结构。该卡匣主体001可以包括多个支撑柱0011、两个第一侧壁0012和一个第二侧壁0013。该两个第一侧壁0012相对且平行设置，第二侧壁0013位于两个第一侧壁0012之间，且垂直于该第一侧壁0012。第一侧壁0012上可以设置有第一通孔0012a和第二通孔0012b，该第一通孔0012a可以用于连接该卡匣主体001外侧的传动件0023和卡匣主体001内侧的对位件0022，该第二通孔0012b可以用于连接驱动件0021。

参考图7可以看出，支撑柱0011可以支撑在卡匣主体001的顶部和底部之间。第一侧壁0012可以包括至少一个第一侧板00121，第二侧壁0013可以包括至少一个第二侧板00131。该第一侧板00121的一端可以与卡匣主体001的顶部连接，另一端可以与卡匣主体001的底部连接。该第二侧板00131的一端可以与卡匣主体001的顶部连接，另一端可以与卡匣主体001的底部连接。

可选的，参考图7，第一侧壁0012还可以包括至少一个第三侧板00122。该第三侧板00122的一端可以与一个支撑柱0011连接，另一端可以与另一个支撑柱0011连接。

示例的，卡匣主体001可以包括四个支撑柱0011。支撑柱0011的一端可以与该卡匣主体001的顶部连接，另一端可以与该卡匣主体001的底部连接。第一侧壁0012可以包括三个第一侧板00121和一个第三侧板00122。该三个第一侧板00121的延伸方向可以平行于支撑柱0011的延伸方向。该第三侧板00122的延伸方向可以垂直于支撑柱0011的延伸方向。第二侧壁0013可以包括两个第二侧板00131。该两个第二侧板00131的延伸方向可以平行于支撑柱0011的延伸方向。

在本实用新型实施例中，支撑柱0011、第一侧板00121、第二侧板00131和第三侧板00122可以为板体或杆体。本实用新型实施例对此不做限定。

可选的，参考图4，对位机构可以包括：多个对位导杆0024。该多个对位导杆0024可以沿垂直于支撑组件003的支撑面的方向Y间隔设置，进一步保证了对位件0022的受力均匀。

在本实用新型实施例中，参考图4，对位件0022可以包括至少一个条状的子对位件00221，子对位件00221可以为杆体或者板体。子对位件00221的延伸方向Y可以垂直于支撑组件003的支撑面。相应的，传动件0023也可以包括至少一个条状的子传动件00231，子传动件00231也可以为杆体或板体。并且，子传动件00231可以通过至少一个对位导杆与一个子对位件00221连接。

其中，对位件0022包括的至少一个条状的子对位件00221中，可以只有一个子对位件00221的延伸方向Y垂直于支撑组件003的支撑面，也可以每个子对位件00221的延伸方向Y均垂直于支撑组件003的支撑面，本实用新型实施例对此不做限定。

可选的，对位件0022与传动件0023可以均为杆体。或者，对位件0022可以为杆体，传动件0023为板体。也即是，该对位件0022与该传动件0023的形状可以相同，也可以不同。本实用新型实施例对此不做限定。

示例的，在图4所示的对位机构中，对位件0022包括两个条状的子对位件00221，且子对位件00221为杆体。传动件0023包括两个条状的子传动件00231，且子传动件00231为杆体。该对位机构中还包括八个对位导杆0024，且该八个对位导杆0024中，四个对位导杆0024可以用于连接一个子对位件00221和一个子传动件00231，另外四个对位导杆0024可以用于连接另一个子对位件00221和另一个子传动件00231。

在本实用新型实施例中，对位件0022在与基板10的接触面所在平面内的正投影，可以与支撑组件003上设置的基板10在该平面内的正投影均重叠。也即是，该对位件0022可以覆盖支撑组件003上设置的基板10的侧面，从而确保对位件0022能够对基板10进行对位，保证基板10可以被调整至固定的位置。

需要说明的是，对位件0022也可以为其他形状的结构，例如，可以为三角形或圆环形。相应的，传动件0023也可以为三角形或圆环形。本实用新型实施例对该对位件0022和传动件0023的形状不做限定，只需保证该对位件0022可以与支撑组件上设置的基板接触即可。

图8是本实用新型实施例提供的又一种基板卡匣的局部放大的结构示意图。参考图8可以看出，支撑组件003可以包括：至少一对支撑杆0031。每对支撑杆0031包括的两个支撑杆可以相对设置在卡匣主体001的两侧，且支撑杆的一端可以与该卡匣主体001一侧的侧壁连接，另一端悬空且向靠近该卡匣主体001另一侧的侧壁延伸。

参考图8可以看出，支撑组件003包括的至少一对支撑杆0031中，任意两个支撑杆与该卡匣主体001的底部之间的间距均相同。也即是，支撑组件003中的各个支撑杆可以均设置在同一个平面内，以确保对基板10的有效支撑。

示例的，支撑组件003可以包括三对支撑杆0031。该三对支撑杆0031可以分别与卡匣主体001中的支撑柱0011和第二侧壁0012连接。

参考图8还可以看出，支撑组件003还可以包括：多个支撑条0032。支撑条0032的一端可以与卡匣主体001侧壁连接，支撑条0032的另一端悬空。支撑条0032的延伸方向可以与支撑杆0031的延伸方向相交。对于支撑组件003，支撑杆0031与该卡匣主体001的底部之间的间距，可以等于支撑条0032与该卡匣主体001的底部之间的间距。也即是，对于支撑组件003，支撑条0032与支撑杆0031的支撑面共面。通过设置支撑条0032可以使基板10平稳放置在该支撑组件003上。其中，将支撑条0032的另一端悬空可以便于机械臂将基板10从基板卡匣中取出。

示例的，参考图8，支撑组件003可以包括两个支撑条0032，支撑条0032的延伸方向可以与支撑杆0031的延伸方向垂直。该两个支撑条0032与该卡匣主体001的底部之间的间距相等。其中，该支撑组件003中包括的两个支撑条0032中，可以只有一个支撑条0032的延伸方向与支撑杆0031的延伸方向垂直，也可以两个支撑条0032的延伸方向均与支撑杆0031的延伸方向垂直。

图9是本实用新型实施例提供的一种支撑条和支撑部的结构示意图。参考图9可以看出，支撑组件003还可以包括：在支撑条0032远离卡匣主体001的底部的一侧间隔设置的多个支撑部0033，支撑部0033远离该支撑条0032的一面可以为球面或者平面。

通过在支撑条0032远离卡匣主体001的一侧设置支撑部0033，可以增大该支撑组件003与基板10之间的摩擦力，从而保证两个对位机构中的对位件0022与基板10的侧面解除接触时，基板10也不会与卡匣主体001的内壁发生碰撞。

图10是本实用新型实施例提供的一种支撑条和支撑部的局部放大的结构示意图。如图10所示，相邻两个支撑部中，第一支撑部0033a远离支撑条0033的一面可以为球面，第二支撑部0033b远离该支撑条0033的一面可以为平面。由于平面与基板10的接触面积较大，球面与基板10的接触面积较小，因此第二支撑部0033b与基板10之间的摩擦力较大，第一支撑部0033a与基板10之间的摩擦力较小。

在支撑条0032远离卡匣主体001的一侧，间隔设置球面的第一支撑部0033a和平面的第二支撑部0033b，不仅可以避免在一组对位组件中的两个对位机构相向移动时，由于第二支撑部0033b与基板10的摩擦力较大，而导致基板10被划伤，也可以避免在对位件0022与基板10的侧面解除接触时，由于第一支撑部0033a与基板10的摩擦力较小，而导致基板10与卡匣主体001的内壁发生碰撞。

在本实用新型实施例中，驱动件0021可以包括：至少一个电缸。例如图2和图4中示出了两个电缸0021。

图11是本实用新型实施例提供的一种基板卡匣的三维结构示意图。图12是图11所示的基板卡匣的局部放大的结构示意图。参考图11和图12可以看出，该基板卡匣还可以包括：第一接口004，该第一接口004可以与电缸0021电连接，该第一接口0021可用于连接电源，以便为该电缸0021供电。可选的，该第一接口004可以设置在卡匣主体001的底部。该第一接口004可以与一个电缸0021电连接，也可以与每个电缸0021均电连接。

当该第一接口004与电源连接时，一个对位机构中的电缸0021可以驱动传动件0023移动，该传动件0023可以推动对位件0022向靠近或远离另一个对位机构的方向移动，从而将基板10调整至固定的位置以及便于机械臂将该基板10取出。

可选的，支撑组件003中的支撑杆0031、支撑条0032以及支撑部0033可以均由碳纤维(carbon fiber reinforced polymer，CFRP)材料制成。支撑组件003由该CFRP材料制成，不仅价格便宜，从而可以减轻基板卡匣的整体重量。

可选的，对位组件002中的对位件0022可以由聚醚醚酮(poly ether etherketone，PEEK)材料制成。由该PEEK材料制成的对位件0022不仅能够防止静电，而且耐磨，从而可以使放置在支撑组件003上的基板10不会受到静电放电和杂质颗粒的影响。

综上所述，本实用新型实施例提供了一种基板卡匣，该基板卡匣包括：卡匣主体、至少一组对位组件以及至少一个支撑组件，对位组件包括两个对位机构。对位机构包括驱动件和对位件。两个对位机构中的对位件均可以向靠近或远离另一个对位机构的方向移动，从而使放置在支撑组件上的基板可以被该组对位机构中的两个对位件调整至固定的位置，不仅可以避免在基板搬运过程中与卡匣主体的内壁发生碰撞，而导致的基板损坏，提高了基板的产量和设备的稼动率，而且可以便于机械臂从该基板卡匣中取出基板，提高了基板取出的效率。

图13是本实用新型实施例提供的一种对位系统的结构示意图。参考图13可以看出，该对位系统可以包括：浮动台20以及如图1、图3或图11所示的基板卡匣00。该基板卡匣00可以设置在该浮动台20上，该浮动台20可以用于支撑该基板卡匣00。

可选的，该对位系统还可以包括：浮动气缸30。该浮动气缸30可以设置在该浮动台20靠近该基板卡匣00的一侧，用于校正该基板卡匣00在该浮动台20上的位置。例如，可以校正该基板卡匣00在第一平面内的位置。该第一平面可以平行于支撑组件的支撑面。示例的，参考图13，该浮动气缸30可以沿M方向或N方向校正基板卡匣00的位置。

在本实用新型实施例中，结合图13和图14可以看出，当将基板卡匣00放置到浮动台20上时，基板卡匣00中的卡匣主体的底部设置的第一接口004可以与该浮动台20上设置的第二接口201连接。该第二接口201可以与电源连接，从而确保电源可以为驱动件供电。

可选的，基板卡匣00中的卡匣主体的底部设置的第一接口可以为公头，浮动台20上设置的第二接口可以为母头，该公头可以插入该母头内。例如，该第一接口可以为通用串行总线(universal serial bus，USB)插头，该第二接口可以为USB接口。

在本实用新型实施例中，当显示面板制造过程中的某个工艺开始之前，可以将通过搬运车将该基板卡匣00从仓储柜(stocker，STK)搬送至该工艺处。此时，如图15所示，基板卡匣00中的对位组件002与基板的侧面解除接触，且第一接口004未与第二接口201连接。之后，如图16所示，可以将基板卡匣00放置在浮动气缸30上，使基板卡匣00中的第一接口004与浮动台30上设置的第二接口201连接。之后，参考图17，可以使基板卡匣00中的驱动件驱动对位件向靠近基板10的一侧移动，从而将该基板卡匣00中的基板10调整至固定的位置。之后，可以使基板卡匣00中的驱动件驱动对位件向远离基板的一侧移动，使得基板卡匣00中的对位组件002中的对位件与基板的侧面解除接触。此时对位组件002与基板10之间的相对位置可以参考图16。进一步的，可以采用机械臂将该基板卡匣00中的基板10取出，并放置在对应的工艺腔室内进行处理。当处理完成之后，机械臂可以重新将基板10放置在该基板卡匣00内，此时对位组件002与基板10之间的相对位置可以参考图16。之后可以将基板卡匣00中的第一接口004与浮动台30上设置的第二接口201解除连接，此时对位组件002与基板10之间的相对位置可以参考图15。最后，可以通过搬运车将该基板卡匣00运送至STK内，等待下一个工艺的进行。

需要说明的是，在本实用新型实施例中，搬运车在搬运基板卡匣00时，该基板卡匣00中的对位机构中的对位件可以与基板10的侧面解除接触，也即是，该对位机构中的对位件可以处于松开状态(如图3)。此时，由于基板卡匣中的支撑组件中的支撑条远离卡匣主体的底部的一侧间隔设置有第一支撑部和第二支撑部，由于该第二支撑部与基板10的摩擦力较大，可以避免基板10发生偏移，确保该基板10不会与卡匣主体的内壁发生碰撞。

当然，为了进一步确保基板10不会与卡匣主体的内壁发生碰撞，搬运车在搬运基板卡匣00时，该基板卡匣00中的对位机构中的对位件也可以与基板10的侧面接触，也即是，该对位机构中的对位件可以处于夹紧状态(如图1)，从而避免基板在卡匣主体内移动。

综上所述，本实用新型实施例提供了一种对位系统，该对位系统包括浮动台和基板卡匣。该基板卡匣包括：卡匣主体、至少一组对位组件以及至少一个支撑组件，对位组件包括两个对位机构。对位机构包括驱动件和对位件。两个对位机构中的对位件均可以向靠近或远离另一个对位机构的方向移动，从而使放置在支撑组件上的基板可以被该组对位机构中的两个对位件调整至固定的位置，不仅可以避免在基板搬运过程中与卡匣主体的内壁发生碰撞，而导致的基板损坏，提高了基板的产量和设备的稼动率，而且可以便于机械臂从该基板卡匣中取出基板，提高了基板取出的效率。

以上所述仅为本申请的可选实施例，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (15)

1.一种基板卡匣，其特征在于，所述基板卡匣包括：卡匣主体、至少一组对位组件以及至少一个支撑组件，所述对位组件包括两个对位机构；

所述至少一个支撑组件设置在所述卡匣主体内，所述支撑组件用于支撑一个基板；

所述对位组件包括的所述两个对位机构相对设置在所述卡匣主体的两侧，所述对位机构包括：驱动件以及与所述驱动件连接的对位件；

所述对位机构中的所述驱动件用于驱动所述对位件沿靠近另一个所述对位机构的方向移动，使所述对位件与所述基板的侧面接触，或者所述驱动件用于驱动所述对位件沿远离另一个所述对位机构的方向移动，使所述对位件与所述基板的侧面解除接触；

其中，所述对位件的移动方向平行于所述支撑组件的支撑面，所述侧面垂直于所述支撑面。

2.根据权利要求1所述的基板卡匣，其特征在于，所述对位机构还包括：传动件；

所述传动件分别与所述驱动件和所述对位件连接，所述传动件用于在所述驱动件的控制下，驱动所述对位件移动。

3.根据权利要求2所述的基板卡匣，其特征在于，所述对位机构还包括：至少一个对位导杆；

所述驱动件和所述传动件均设置在所述卡匣主体的外侧，所述对位件设置在所述卡匣主体的内侧；

所述对位导杆的一端与所述传动件连接，所述对位导杆的另一端穿过所述卡匣主体的侧壁与所述对位件连接。

4.根据权利要求3所述的基板卡匣，其特征在于，所述对位机构包括：多个所述对位导杆；

多个所述对位导杆沿垂直于所述支撑面的方向间隔设置。

5.根据权利要求1所述的基板卡匣，其特征在于，所述对位件包括至少一个条状的子对位件，所述子对位件为杆体或者板体；

所述子对位件的延伸方向垂直于所述支撑面。

6.根据权利要求1所述的基板卡匣，其特征在于，

所述对位件在与所述基板的接触面所在平面内的正投影，与所述支撑组件上设置的基板在所述平面内的正投影重叠。

7.根据权利要求1至6任一所述的基板卡匣，其特征在于，所述支撑组件包括：至少一对支撑杆；

每对支撑杆相对设置在所述卡匣主体的两侧，且所述支撑杆的一端与所述卡匣主体一侧的侧壁连接，另一端悬空且向靠近所述卡匣主体另一侧的侧壁延伸；

所述支撑组件包括的至少一对支撑杆中，任意两个所述支撑杆与所述卡匣主体的底部之间的间距均相同。

8.根据权利要求7所述的基板卡匣，其特征在于，所述支撑组件还包括：多个支撑条；

所述支撑条的一端与所述卡匣主体侧壁连接，所述支撑条的另一端悬空；

所述支撑条的延伸方向与所述支撑杆的延伸方向相交。

9.根据权利要求8所述的基板卡匣，其特征在于，所述支撑组件还包括：

在所述支撑条远离所述卡匣主体的底部的一侧间隔设置的多个支撑部，所述支撑部远离所述支撑条的一面为球面或者平面。

10.根据权利要求9所述的基板卡匣，其特征在于，

相邻两个所述支撑部中，第一支撑部远离所述支撑条的一面为球面，第二支撑部远离所述支撑条的一面为平面。

11.根据权利要求1至6任一所述的基板卡匣，其特征在于，所述驱动件包括：至少一个电缸。

12.根据权利要求11所述的基板卡匣，其特征在于，所述基板卡匣还包括：设置在所述卡匣主体的底部的第一接口；

所述第一接口与所述电缸电连接，且所述第一接口还用于连接电源。

13.根据权利要求1至6任一所述的基板卡匣，其特征在于，

所述对位件由聚醚醚酮材料制成。

14.一种对位系统，其特征在于，所述对位系统包括：浮动台以及如权利要求1至13任一所述的基板卡匣；

所述基板卡匣设置在所述浮动台上，所述浮动台用于支撑所述基板卡匣。

15.根据权利要求14所述的对位系统，其特征在于，所述对位系统还包括：浮动气缸；

所述浮动气缸设置在所述浮动台靠近所述基板卡匣的一侧，用于校正所述基板卡匣在所述浮动台上的位置。