KR20160133805A - 반송 유닛, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 윤활유 공급 방법 - Google Patents

반송 유닛, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 윤활유 공급 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반송 유닛과 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 윤활유 공급 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 가이드 부재와 상기 가이드 부재을 따라 이동 가능하도록 설치되며, 대상물을 반송하는 반송체를 지지하는 지지블럭과 상기 지지블럭을 이동시키는 구동기와 그리고 상기 지지블럭에 윤활유를 충전하는 충전부재를 포함하되 상기 충전부재는 내부에 윤활유가 채워지는 버퍼공간을 가지는 하우징과 상기 하우징과 상기 지지블럭을 연결하는 연결관과 그리고 상기 버퍼공간 내에 채워지는 상기 윤활유를 가압하여 상기 윤활유를 상기 연결관으로 공급하는 가압기를 포함하는 반송 유닛를 포함한다.

Description

반송 유닛, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 윤활유 공급 방법 {Transfer unit and apparatus for treating a substrate with the unit, Method for supplying a lubricant}
본 발명은 반송 유닛과 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 윤활유 공급 방법에 관한 것이다.
일반적을 반도체를 처리하는 공정은 기판 상에 다수의 공정을 수행하여 이루어진다. 다수의 공정은 개별 챔버 들에서 이루어지며, 개별 챔버들로 이동은 이송 장치를 통해서 이루어진다.
도 1의 일반적은 이송 장치(1)의 예를 보여주는 도면이다. 이를 참조하면, 이송 장치(1)는 이송체(2), LM 레일(3) 그리고 LM 블록(4)을 포함한다. 이송체(2)는 LM 레일(3) 상을 슬라이딩 이동하면서, 이송 대상물을 이송한다.
다만, 이송 장치(1)를 계속적으로 사용하는 경우 슬라이딩 접촉면에 윤활제로서 그리스(grease)를 공급하여 마찰에 따른 접촉면 파손을 방지하여야 한다.
여기서 슬라이딩 접촉면은 LM 레일(3) 상에 길이방향으로 형성되는 LM 레일(3)로서 그리스는 LM 블록(4)의 내부에 공급을 해준다. 그리스의 공급은 LM 블럭(4) 상에 형성되는 주입구를 통해 주입하여 LM 레일로 그리스가 도포되도록 한다.
그러나 이러한 그리스 공급 과정은 이송 장치의 동작을 멈춘 상태에서 작업자가 직접 실시하여야 하는 문제점이 있다.
본 발명은 반송체를 반송하는 반송 유닛에서 윤활유를 자동으로 보충해주기 위한 반송 유닛과 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 윤활유 공급 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 반송 유닛을 제공한다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 상기 반송 유닛은 가이드 부재와 상기 가이드 부재을 따라 이동 가능하도록 설치되며, 대상물을 반송하는 반송체를 지지하는 지지블럭과 상기 지지블럭을 이동시키는 구동기와 그리고 상기 지지블럭에 윤활유를 충전하는 충전부재를 포함하되 상기 충전부재는 내부에 윤활유가 채워지는 버퍼공간을 가지는 하우징과 상기 하우징과 상기 지지블럭을 연결하는 연결관과 그리고 상기 버퍼공간 내에 채워지는 상기 윤활유를 가압하여 상기 윤활유를 상기 연결관으로 공급하는 가압기를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 가압기는 상기 가이드 부재의 하부에 위치하는 플레이트와 상기 플레이트에 고정설치되며 상기 하우징의 외측으로 연장된 로드와 그리고 상기 로드로부터 이격되어 설치되는 스토퍼를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 로드가 상기 스토퍼에 의해 가압되도록 상기 스토퍼는 상기 지지블럭이 상기 가이드 부재를 따라 이동 시 상기 로드가 이동되는 경로 상에 될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 가압기는 상기 로드의 끝단에 설치되는 완충부재를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 가이드 부재는 그 길이방향이 제1방향을 따라 제공되고 상부에서 바라 볼 때 상기 제1방향과 수직한 제2방향으로 서로 이격된 제1가이드 레일과 제2가이드 레일을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 지지블럭은 상기 제1가이드 레일과 상기 제2가이드레일에 각각 복수개 설치될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 연결관은 상기 지지블럭의 개수에 대응되는 개수로 제공될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 가압기는 상기 제1가이드 레일과 상기 제2가이드 레일 사이에 배치될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 연결관은 플렉시블 관으로 제공될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 반송 유닛은 상기 구동기를 제어하는 제어기를 더 포함하되 상기 제어기는 상기 충전부재에 의한 충전 횟수가 증가됨에 따라 상기 로드가 상기 스토퍼를 향하는 방향으로 이동하는 거리가 증가되도록 상기 구동기를 제어할 수 있다.
본 발명은 기판을 처리하는 장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 기판 처리 장치는 기판을 수용하는 용기가 놓이는 로드포트를 포함하는 인덱스 모듈과 기판을 처리하는 공정을 수행하는 복수개의 공정챔버를 포함하는 공정처리 모듈과 그리고 상기 인덱스 모듈과 상기 공정처리모듈 간이 기판을 반송하며 일측 및 타측에 상기 공정챔버들이 위치되는 반송 모듈을 포함하되 상기 인덱스 모듈과 상기 공정처리모듈은 제1방향을 따라 순차적으로 배치되고 상기 공정챔버와 상기 반송 모듈은 상부에서 바라 볼 때 상기 제1방향과 수직한 제2방향을 따라 순차적으로 배치되고 상기 반송 모듈은 기판을 반송하는 반송체와 상기 반송체와 결합되며 상기 반송체를 상기 제1방향으로 이동시키는 반송 유닛을 포함하되 상기 반송 유닛은 가이드 부재와 상기 가이드 부재을 따라 이동 가능하도록 설치되며 대상물을 반송하는 반송체를 지지하는 지지블럭과 상기 지지블럭을 이동시키는 구동기와 그리고 상기 지지블럭에 윤활유를 충전하는 충전부재를 포함하되 상기 충전부재는 내부에 윤활유가 채워지는 버퍼공간을 가지는 하우징과 상기 하우징과 상기 지지블럭을 연결하는 연결관과 그리고 상기 버퍼공간 내에 채워지는 상기 윤활유를 가압하여 상기 윤활유를 상기 연결관으로 공급하는 가압기를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 가압기는 상기 가이드 부재의 하부에 위치하는 플레이트와 상기 플레이트에 고정설치되며 상기 하우징의 외측으로 연장된 로드와 그리고 상기 로드로부터 이격되어 설치되는 스토퍼를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 로드가 상기 스토퍼에 의해 가압되도록 상기 스토퍼는 상기 지지블럭이 상기 가이드 부재를 따라 이동 시 상기 로드가 이동되는 경로 상에 될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 가압기는 상기 로드의 끝단에 설치되는 완충부재를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 가이드 부재는 그 길이방향이 제1방향을 따라 제공되고 상부에서 바라 볼 때 상기 제1방향과 수직한 제2방향으로 서로 이격된 제1가이드 레일과 제2가이드 레일을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 지지블럭은 상기 제1가이드 레일과 상기 제2가이드레일에 각각 복수개 설치될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 연결관은 상기 지지블럭의 개수에 대응되는 개수로 제공될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 가압기는 상기 제1가이드 레일과 상기 제2가이드 레일 사이에 배치될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 연결관은 플렉시블 관으로 제공될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 반송 유닛은 상기 구동기를 제어하는 제어기를 더 포함하되 상기 제어기는 상기 충전부재에 의한 충전 횟수가 증가됨에 따라 상기 로드가 상기 스토퍼를 향하는 방향으로 이동하는 거리가 증가되도록 상기 구동기를 제어할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 반송 유닛은 공정 진행 중에 상기 제1방향을 따라 제1위치와 제2위치간을 이동하며, 상기 스토퍼는 상기 제1위치을 기준으로 상기 제2위치에 반대쪽에 위치하는 제3위치에 제공될 수 있다.
본 발명은 반송 유닛에 제공되는 충전부재로 윤활유를 공급하는 방법을 제공한다. 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 윤활유 공급 방법은 상기 지지블럭에 윤활유 공급 시 상기 로드가 상기 스토퍼를 향하는 방향으로 이동하여 상기 하우징을 가압하여 상기 연결관을 통해서 윤활유를 공급할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 충전 부재의 충전 횟수가 증가함에 따라 상기 로드가 상기 스토퍼를 향하는 방향으로 이동하는 거리가 점차 증가되도록 할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 스토퍼는 상기 로드가 상기 스토퍼에 의해 가압되도록 상기 스토퍼는 상기 지지블럭이 상기 가이드 부재를 따라 이동 시 상기 로드가 이동되는 경로 상에 설치될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 반송 유닛에 윤활유를 충전부재로 공급할 수 있어, 반송 유닛에 대상물 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 반송 유닛에 윤활유를 충전부재로 공급 할 수 있어, 반송 유닛에 수명을 증가시킬수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 반송 유닛에 윤활유를 충전부재로 공급할 수 있어 윤활유 공급을 효과적으로 할 수 있다.
도 1은 종래의 일반적인 이송 장치를 보여주는 도면이다.
도 2와 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 장치를 보여주는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 장치를 보여주는 절개 사시도이다.
도 5는 도 2의 반송 장치의 평면도이다.
도 6 내지 도 9는 도 2의 충전 부재에 로드와 스토퍼가 충전 횟수에 따른 이동 거리를 보여주는 도면이다.
도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 평면도이다.
도 11은 반송 유닛이 가이드 부재 상에서 이동되는 위치를 보여주는 도면이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 2와 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 유닛(300)을 보여주는 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 유닛(300)을 보여주는 절개 사시도이며, 도 5는 도 2의 반송 유닛(300)의 평면도이다. 이하, 도 2 내지 도 5를 참조하면, 반송 유닛(300)은 반송 대상물은 이동시킨다. 반송 유닛(300)은 반송체(310), 가이드 부재(320), 지지블럭(330), 구동기(340), 충전부재(350), 그리고 제어기(390)를 포함한다.
가이드 부재(320)는 그 길이방향이 제1방향(12)으로 제공된다. 여기서 제1방향(12)은 가이드 부재(320)의 길이방향이고, 제2방향(14)은 상부에서 바라 볼 때, 제1방향(12)과 수직한 방향이고, 제3방향(16)은 제1방향(12)과 제2방향(14)에 모두 수직한 방향이다.
가이드 부재(320)는 제1가이드 레일(321)과 제2가이드 레일(322)을 포함한다. 제1가이드 레일(321)과 제2가이드 레일(322)은 각각 그 길이방향이 제1방향(12)으로 제공된다. 제1가이드 레일(321)과 제2가이드 레일(322)은 제2방향(14)으로 이격되어 위치된다. 제1가이드 레일(321)과 제2가이드 레일(322)은 서로 평행하게 위치한다. 제1가이드 레일(321)과 제2가이드 레일(322)은 서로 동일한 형상과 모양으로 제공된다.
반송체(310)는 반송 대상물을 반송한다. 일 예로 반송 대상물은 기판일 수 있다. 일 예로 반송체(310)는 반송 로봇 일 수 있다. 이하에서는 반송체(310)가 반송 로봇으로 제공되는 것을 설명한다. 반송 로봇(310)은 가이드 부재(320) 상에 설치된다. 반송 로봇(310)은 가이드 부재(320) 상에서 제1방향(12)을 따라 직선 이동된다. 반송 로봇(310)은 베이스(311), 몸체(312), 그리고 메인암(313)을 가진다. 베이스(311)는 가이드 부재(320)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(312)는 베이스(311)에 결합된다. 몸체(312)는 베이스(311) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(312)는 베이스(311) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 메인암(313)은 몸체(312)에 결합된다. 메인암(313)은 몸체(312)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 메인암(313)은 복수 개 제공될 수 있다. 이 경우 메인암(313)은 각각 개별 구동되도록 제공된다. 메인암(313)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다.
지지블럭(330)은 가이드 부재(320)에 설치된다. 지지블럭(330)은 가이드 부재(320)를 따라 이동 가능하도록 설치된다. 지지블럭(330)의 상부에는 반송체(310)가 결합된다. 지지블럭(330)은 반송체(310)를 이동가능하도록 설치된다. 지지블럭(330)은 복수개 제공될 수 있다.
지지블럭(330)은 제1지지블럭(331), 제2지지블럭(332), 제3지지블륵 그리고 제4지지블럭(334)을 포함할 수 있다. 제1지지블럭(331)은 제1가이드 레일(321)에 설치된다. 제2지지블럭(332)은 제1가이드 레일(321)에 설치된다. 제1지지블럭(331)과 제2지지블럭(332)은 제1방향(12)으로 이격되어 설치된다. 제2지지블럭(332)은 제1지지블럭(331)과 서로 평행하게 위치된다.
제3지지블럭(333)은 제2가이드 레일(322)에 설치된다. 제3지지블럭(333)은 제1지지블럭(331)과 평행하게 배치된다. 제3지지블럭(333)은 제1지지블럭(331)과 제2방향(14)으로 이격되어 배치된다. 제4지지블럭(334)은 제2가이드 레일(322)에 설치된다. 제3지지블럭(333)과 제4지지블럭(334)은 제1방향(12)으로 이격되어 설치된다. 제4지지블럭(334)은 제2지지블럭(332)과 제2방향(14)으로 이격되어 설치된다. 제4지지블럭(334)은 제2지지블럭(332)과 평행하게 위치된다.
제1지지블럭(331), 제2지지블럭(332), 제3지지블럭(333) 그리고 제4지지블럭(334)은 대체로 동일한 형상과 모양으로 제공된다. 본 발명의 실시 예에서는 지지블럭(330)은 4개의 제1지지블럭(331), 제2지지블럭(332), 제3지지블럭(333) 그리고 제4지지블럭(334)으로 제공되는 것을 예로 들어 설명하였으나 지지블럭(330)의 개수는 상술한 실시 예와 상이하게 제공될 수 있다.
충전부재(350)는 지지블럭(330)에 윤활유를 충전한다. 충전부재(350)는 지지블럭(330)에 윤활유를 공급하여 반송체(310)가 가이드 부재(320)를 따라 이동하도록 한다. 충전부재(350)는 가이드 부재(320) 사이에 위치한다. 충전부재(350)는 반송체(310)의 하부에 설치된다. 충전부재(350)는 하우징(351), 연결관(352) 그리고 가압기(301)를 포함한다.
하우징(351)은 내부에 버퍼공간(351a)을 가진다. 버퍼공간(351a)에는 윤활유가 채워진다. 하우징(351)은 대체로 직육면체 형상을 가진다. 하우징(351)은 하우징 플레이트(351b)와 고정 결합된다. 하우징 플레이트(351b)는 직사각형의 형상의 플레이트(353)로 제공된다. 하우징 플레이트(351b)는 반송체(310)의 하부면과 고정결합된다.
연결관(352)은 윤활유를 하우징(351)에서 지지블럭(330)으로 이동시키는 관이다. 연결관(352)에서 윤활유는 가압기(301)가 하우징(351)을 가압하여 지지블럭(330)으로 이동된다. 연결관(352)의 일단은 하우징(351)과 연결되며, 타단은 지지블럭(330)과 연결된다. 일 예로 연결관(352)은 플렉시블한 관으로 제공될 수 있다. 연결관(352)은 복수개 제공된다. 연결관(352)은 지지블럭(330)의 개수와 대등되게 제공된다.
연결관(352)은 제1연결관(352a), 제2연결관(352b), 제3연결관(352c) 그리고 제4연결관(352d)을 가진다. 제1연결관(352a)의 일단은 하우징(351)과 연결되며, 타단은 제1지지블럭(331)과 연결된다. 제2연결관(352b)의 일단은 하우징(351)과 연결되며, 타단은 제2지지블럭(332)과 연결된다. 제3연결관(352c)의 일단은 하우징(351)과 연결되며, 타단은 제3지지블럭(333)과 연결된다. 제4연결관(352d)의 일단은 하우징(351)과 연결되며, 타단은 제4지지블럭(334)과 연결된다.
제1연결관(352a), 제2연결관(352b), 제3연결관(352c) 그리고 제4연결관(352d)은 각각 동일한 형상과 모양 그리고 재질로 제공된다. 본 발명의 실시 예에서는 연결관(352)은 4개의 제1연결관(352a), 제2연결관(352b), 제3연결관(352c) 그리고 제4연결관(352d)으로 제공되는 것을 예로 들어 설명하였으나 연결관(352)의 개수는 상술한 실시예와 상이하게 제공될 수 있다.
가압기(301)는 하우징(351)을 가압하여 윤활유를 지지블럭(330)으로 공급한다. 가압기(301)는 가이드 부재(320) 사이에 위치된다. 가압기(301)는 반송체(310)의 하부에 제공된다. 가압기(301)는 반송체(310)의 하부면과 결합한다. 가압기(301)는 플레이트(353), 로드(355), 완충부재(356), 그리고 스토퍼(357)를 포함한다.
로드(355)는 하우징(351)과 결합된다. 로드(355)는 그 길이방향이 제1방향(12)으로 제공된다. 로드(355)는 종단면이 원형의 형상으로 제공된다. 로드(355)에는 완충제(358)가 감싸며 제공된다. 일 예로 완충제(358)는 스프링으로 제공될 수 있다. 완충제(358)와 로드(355)는 원형의 지지부(354)가 감싸며 제공된다.
플레이트(353)는 반송체(310)의 하부면과 결합된다. 플레이트(353)는 지지부(354)가 삽입되어 결합되는 홀이 형성된다. 플레이트(353)는 가이드 부재(320)의 하부에 위치한다.
완충부재(356)는 로드(355)의 끝단에 결합된다. 완충부재(356)는 하우징(351)을 향하는 방향의 반대편에 위치한다. 완충부재(356)는 스토퍼(357)가 로드(355)를 가압 시 완충제(358)로서 역할한다. 일 예로 완충부재(356)는 고무 재질의 캡의 형태로 제공될 수 있다.
스토퍼(357)는 로드(355)의 끝단을 가압하여 하우징(351)의 내부에 윤활유를 가압한다. 스토퍼(357)는 로드(355)의 일측에 위치한다. 스토퍼(357)는 로드(355)와 이격되어 위치한다. 스토퍼(357)는 가이드 부재(320)의 사이에 위치한다. 스토퍼(357)는 제1가이드 레일(321)과 제2가이드 레일(322) 사이에 위치된다. 스토퍼(357)는 하우징(351)과 마주보며 위치한다. 스토퍼(357)는 로드(355)가 스토퍼(357)에 의해 가압되도록 지지블럭(330)이 가이드 부재(320)를 따라 이동 시 로드(355)가 이동되는 제1방향(12)의 경로 상에 설치된다.
스토퍼(357)는 돌출부(357a)와 지지부재(357b)(354)를 포함한다. 지지부재(357b)(354)는 직육면체 형상으로 제공된다. 지지부재(357b)(354)는 고정되어 제공된다. 돌출부(357a)는 지지부재(357b)(354)의 일면에서 하우징(351)을 향하는 방향으로 위치된다. 돌출부(357a)의 끝단은 완충부재(356)와 접촉하도록 위치된다. 돌출부(357a)의 끝단은 완충부재(356)와 대향되게 위치된다. 돌출부(357a)는 지지부재(357b)(354)의 일단에 결합된다. 일 예로 돌출부(357a)의 단면은 정육각형 형상으로 제공될 수 있다. 이와는 달리 돌출부(357a)의 단면은 원형이나 정사각형, 직사각형의 형상을 제공될 수 있다. 돌출부(357a)는 로드(355)가 이동되는 제1방향의 이동 경로 상에 위치된다.
구동기(340)는 지지블럭(330)을 이동시킨다. 구동기(340)는 지지블럭(330)을 가이드 부재(320)의 제1방향으로 따라 이동시킨다.
제어기(390)는 구동기(340)를 제어한다. 제어기(390)는 충전부재(350)의 충전 횟수가 증가됨에 따라 로드(355)가 스토퍼(357)를 향하는 방향으로 이동하는 거리가 증가 되도록 상기 구동기(340)를 제어한다. 도 6 내지 도 9는 제어기(390)가 구동기(340)를 제어하여 로드(355)가 스토퍼(357)를 향하는 방향으로 이동하는 거리가 증가되는 것을 보여주는 도면이다. 이를 참조하면, 충전을 하지 않을 때 도 6와 같이 가압기(301)가 위치될 수 있다. 1차 충전 시 충전부재(350)로 지지블럭(330)에 윤활유를 공급 할 때 도 7과 같이 로드(355)는 제1거리(d1)만큼 이동한다. 로드(355)가 하우징(351) 내부를 가압하여, 하우징(351) 내부에 윤활유 중 일부는 지지블럭(330)으로 이동한다.
2차 충전 시 충전부재(350)로 지지블럭(330)에 윤활유를 공급 할 때 도 8과 같이 로드(355)는 제2거리(d2)만큼 이동한다. 여기서 제2거리(d2)는 제1거리(d1)보다 길다. 로드(355)가 하우징(351) 내부를 가압하여 하우징(351) 내부에 윤활유 중 일부는 지지블럭(330)으로 이동한다.
3차 충전 시 충전부재(350)로 지지블럭(330)에 윤활유를 공급 할 때 도 9와 같이 로드(355)는 제3거리(d3)만큼 이동한다. 여기서 제3거리(d3)는 제2거리(d2)보다 길다. 로드(355)가 하우징(351) 내부를 가압하여 하우징(351) 내부에 윤활유 중 일부는 지지블럭(330)으로 이동한다.
이하에서는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치(10)를 설명한다.
도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 평면도이다.
도 10을 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 인덱스 모듈(100)과 공정처리모듈(200)을 가진다.
인덱스 모듈(100)은 로드포트(120) 및 이송프레임(140)을 가진다. 로드포트(120), 이송프레임(140), 그리고 공정처리모듈(200)은 순차적으로 일렬로 배열된다. 로드포트(120), 이송프레임(140), 그리고 공정처리모듈(20)은 제1방향(12)으로 배치된다.
로드포트(120)에는 기판(W)이 수납된 캐리어(130)가 안착된다. 로드포트(120)는 복수 개가 제공되며 이들은 제2방향(14)을 따라 일렬로 배치된다. 도 9에서는 네 개의 로드포트(120)가 제공된 것으로 도시하였다. 그러나 로드포트(120)의 개수는 공정처리모듈(200)의 공정효율 및 풋 프린트 등의 조건에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다. 캐리어(130)에는 기판의 가장자리를 지지하도록 제공된 슬롯(도시되지 않음)이 형성된다. 슬롯은 제3방향(16)을 복수 개가 제공되고, 기판은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 캐리어 내에 위치된다. 캐리어(130)로는 전면 개방 일체형 포드(Front Opening Unified Pod;FOUP)가 사용될 수 있다.
공정처리모듈(200)은 버퍼유닛(220), 이송챔버(240), 그리고 공정챔버(260)를 가진다. 이송챔버(240)는 그 길이 방향이 제1방향(12)과 평행하게 배치된다. 제2방향(14)를 따라 이송챔버(240)의 일측 및 타측에는 각각 공정챔버들(260)이 배치된다. 이송챔버(240)의 일측에 위치한 공정챔버들(260)과 이송챔버(240)의 타측에 위치한 공정챔버들(260)은 이송챔버(240)를 기준으로 서로 대칭이 되도록 제공된다. 공정챔버(260)들 중 일부는 이송챔버(240)의 길이 방향을 따라 배치된다. 또한, 공정챔버(260)들 중 일부는 서로 적층되게 배치된다. 즉, 이송챔버(240)의 일측에는 공정챔버(260)들이 A X B(A와 B는 각각 1이상의 자연수)의 배열로 배치될 수 있다.
여기서 A는 제1방향(12)을 따라 일렬로 제공된 공정챔버(260)의 수이고, B는 제3방향(16)을 따라 일렬로 제공된 공정챔버(260)의 수이다. 이송챔버(240)의 일측에 공정 챔버(260)가 4개 또는 6개 제공되는 경우, 공정챔버(260)들은 2 X 2 또는 3 X 2의 배열로 배치될 수 있다. 공정챔버(260)의 개수는 증가하거나 감소할 수도 있다. 상술한 바와 달리, 공정챔버(260)는 이송챔버(240)의 일측에만 제공될 수 있다. 또한, 상술한 바와 달리, 공정챔버(260)는 이송챔버(240)의 일측 및 양측에 단층으로 제공될 수 있다.
버퍼유닛(220)은 이송프레임(140)과 이송챔버(240) 사이에 배치된다. 버퍼 유닛(220)은 이송챔버(240)와 이송프레임(140) 간에 기판(W)이 반송되기 전에 기판(W)이 머무르는 공간을 제공한다. 버퍼유닛(220)은 그 내부에 기판(W)이 놓이는 슬롯(미도시)이 제공되며, 슬롯(미도시)들은 서로 간에 제3방향(16)을 따라 이격되도록 복수 개 제공된다. 버퍼유닛(220)에서 이송프레임(140)과 마주보는 면과 이송챔버(240)와 마주보는 면 각각이 개방된다.
이송프레임(140)은 로드포트(120)에 안착된 캐리어(130)와 버퍼유닛(220) 간에 기판(W)을 반송한다. 이송프레임(140)에는 인덱스레일(142)과 인덱스로봇(144)이 제공된다. 인덱스레일(142)은 그 길이 방향이 제2방향(14)과 나란하게 제공된다. 인덱스로봇(144)은 인덱스레일(142) 상에 설치되며, 인덱스레일(142)을 따라 제2방향(14)으로 직선 이동된다. 인덱스로봇(144)은 베이스(144a), 몸체(144b), 그리고 인덱스암(144c)을 가진다. 베이스(144a)는 인덱스레일(142)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(144b)는 베이스(144a)에 결합된다. 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 몸체(144b)에 결합되고, 몸체(144b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 인덱스암(144c)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다. 인덱스암(144c)들 중 일부는 공정처리모듈(20)에서 캐리어(130)로 기판(W)을 반송할 때 사용되고, 다른 일부는 캐리어(130)에서 공정처리모듈(20)로 기판(W)을 반송할 때 사용될 수 있다. 이는 인덱스로봇(144)이 기판(W)을 반입 및 반출하는 과정에서 공정 처리 전의 기판(W)으로부터 발생된 파티클이 공정 처리 후의 기판(W)에 부착되는 것을 방지할 수 있다.
이송챔버(240)는 버퍼유닛(220)과 공정챔버(260) 간에, 그리고 공정챔버(260)들 간에 기판(W)을 반송한다. 이송챔버(240)에는 상술한 반송 유닛(300)이 제공된다.
반송 유닛(300)은 공정 진행 중에 가이드 부재(320)의 제1방향(12)을 따라 제1위치(P1)와 제2위치(P2)간에 이동가능하다. 반송 유닛(300)은 도 11과 같이 제1위치(P1)와 제2위치(P2)간에 이동하면서 공정 전 기판을 공정 챔버(260)로 이송하거나 공정이 완료된 기판을 버퍼 유닛(220)으로 이동시킨다. 도 10과 같이 스토퍼(357)는 제3위치(P3)에 위치한다. 여기서 제3위치(P3)는 제1위치(P1)를 기준으로 제2위치(P2)에 반대쪽에 위치한다. 제1위치(P1)와 제2위치(P2) 그리고 제3위치(P3)는 제1방향(12)을 따라 위치된다.
공정챔버(260) 내에는 기판(W)에 대해 처리 공정을 수행하는 기판 처리 장치가 제공된다. 각각의 공정챔버(260) 내에 제공된 기판 처리 장치는 수행하는 공정의 종류에 따라 상이한 구조를 가질 수 있다. 선택적으로 각각의 공정챔버(260) 내의 기판 처리 장치는 동일한 구조를 가질 수 있다. 선택적으로 공정챔버(260)들은 복수 개의 그룹으로 구분되어, 동일한 그룹에 속하는 공정챔버(260)에 제공된 기판 처리 장치들은 서로 동일한 구조를 가지고, 상이한 그룹에 속하는 공정챔버(260)에 제공된 기판 처리 장치들은 서로 상이한 구조를 가질 수 있다. 예컨대, 공정챔버(260)가 2개의 그룹으로 나누어지는 경우, 이송챔버(240)의 일측에는 제1그룹의 공정챔버들(260)이 제공되고, 이송챔버(240)의 타측에는 제2그룹의 공정 챔버들(260)이 제공될 수 있다. 선택적으로 이송챔버(240)의 일측 및 타측 각각에서 하층에는 제1그룹의 공정챔버(260)들이 제공되고, 상층에는 제2그룹의 공정챔버(260)들이 제공될 수 있다. 제1그룹의 공정챔버(260)와 제2그룹의 공정챔버(260)는 각각 사용되는 케미컬의 종류나 기판 처리 공정에 따라 구분될 수 있다.
이하에서는 반송 유닛(300)에 제공되는 충전부재(350)로 윤활유를 공급하는 윤활유 공급 방법에 대해서 설명한다.
초기에 지지블럭(330)에는 윤활유가 공급된 상태에서 이동된다. 반송체(310)는 반송 대상물 이송을 위해 가이드 부재(320)를 따라 제1방향(12)으로 이동한다. 반송체(310)는 지지블럭(330)이 이동됨에 따라서 반송 대상물은 반송한다. 이 후 계속적인 지지블럭(330)의 이동으로 윤활유의 공급이 필요하다.
지지블럭(330)에 윤활유 공급 시 제어기(390)는 로드(355)가 스토퍼(357)를 향하는 방향으로 이동하도록 구동기(340)를 제어하여 지지블럭(330)을 이동시킨다. 지지블럭(330)의 이동으로 반송체(310)와 고정결합된 로드(355)가 스토퍼(357)를 향하여 이동한다. 로드(355)가 이동하여 스토퍼(357)가 로드(355)를 가압한다. 로드(355)는 하우징(351)의 내부를 가압한다. 로드(355)가 하우징(351)의 내부를 가압하여 윤활유를 연결관(352)으로 보낸다. 윤활유는 연결관(352)을 통해서 지지블럭(330)으로 공급된다.
충전부재(350)는 지지블럭(330)에 윤활유 충전을 복수회 할 수 있다. 충전부재(350)의 충전 횟수가 증가함에 따라 로드(355)가 스토퍼(357)를 향하는 방향으로 이동하는 거리는 도 6 내지 도 8과 같이 점차 증가된다.
본 발명은 반송 유닛(300)에 충전부재(350)를 설치하여 지지블럭(330)에 윤활유 공급한다. 충전부재(350)는 공정 중에도 자동으로 윤활유를 공급 할 수 있게 한다. 또한, 윤활유의 공급을 작업자가 아닌 반송체(310)의 이동으로 공급가능하여 지지블럭(330)에 윤활유를 쉽게 공급이 가능하다. 또한, 작업의 중단 없이 윤활유 공급을 할 수 있어 윤활유 공급을 위해 별도의 시간을 할애할 필요가 없다. 또한, 윤활유를 지지블럭(330)에 충전 시 별도의 가압 장치를 사용하지 않고 반송체(310)의 이동 경로에 스토퍼(357)를 설치하여 반송 유닛(300)의 별도의 가압장치를 설치할 필요가 없다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
10: 기판 처리 장치 100: 인덱스 모듈
120; 로드포트 200: 공정 처리 모듈
300: 반송 유닛 310: 반송체
320: 가이드 부재 330: 지지블럭
340: 구동기 350: 충전 부재
301: 가압기 351: 하우징
352: 연결관 353: 플레이트
355: 로드 356: 완충부재
357: 스토퍼 390: 제어기

Claims (24)

  1. 반송 유닛에 있어서,
    가이드 부재와;
    상기 가이드 부재을 따라 이동 가능하도록 설치되며, 대상물을 반송하는 반송체를 지지하는 지지블럭과;
    상기 지지블럭을 이동시키는 구동기와; 그리고
    상기 지지블럭에 윤활유를 충전하는 충전부재를 포함하되,
    상기 충전부재는,
    내부에 윤활유가 채워지는 버퍼공간을 가지는 하우징과;
    상기 하우징과 상기 지지블럭을 연결하는 연결관과; 그리고
    상기 버퍼공간 내에 채워지는 상기 윤활유를 가압하여 상기 윤활유를 상기 연결관으로 공급하는 가압기를 포함하는 반송 유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가압기는,
    상기 가이드 부재의 하부에 위치하는 플레이트와;
    상기 플레이트에 고정설치되며 상기 하우징의 외측으로 연장된 로드와; 그리고
    상기 로드로부터 이격되어 설치되는 스토퍼를 포함하는 반송 유닛.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 로드가 상기 스토퍼에 의해 가압되도록 상기 스토퍼는 상기 지지블럭이 상기 가이드 부재를 따라 이동 시 상기 로드가 이동되는 경로 상에 설치되는 반송 유닛.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 가압기는 상기 로드의 끝단에 설치되는 완충부재를 더 포함하는 반송 유닛.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 가이드 부재는, 그 길이방향이 제1방향을 따라 제공되고 상부에서 바라 볼 때 상기 제1방향과 수직한 제2방향으로 서로 이격된 제1가이드 레일과 제2가이드 레일을 포함하는 반송 유닛.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 지지블럭은 상기 제1가이드 레일과 상기 제2가이드레일에 각각 복수개 설치되는 반송 유닛.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 연결관은 상기 지지블럭의 개수에 대응되는 개수로 제공되는 반송 유닛.
  8. 제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가압기는 상기 제1가이드 레일과 상기 제2가이드 레일 사이에 배치되는 반송 유닛.
  9. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 연결관은 플렉시블 관으로 제공되는 반송 유닛.
  10. 제2항에 있어서,
    상기 반송 유닛은 상기 구동기를 제어하는 제어기를 더 포함하되,
    상기 제어기는 상기 충전부재에 의한 충전 횟수가 증가됨에 따라 상기 로드가 상기 스토퍼를 향하는 방향으로 이동하는 거리가 증가되도록 상기 구동기를 제어하는 반송 유닛.
  11. 기판을 처리하는 장치에 있어서,
    기판을 수용하는 용기가 놓이는 로드포트를 포함하는 인덱스 모듈과;
    기판을 처리하는 공정을 수행하는 복수개의 공정챔버를 포함하는 공정처리 모듈과; 그리고
    상기 인덱스 모듈과 상기 공정처리모듈 간이 기판을 반송하며 일측 및 타측에 상기 공정챔버들이 위치되는 반송 모듈을; 포함하되,
    상기 인덱스 모듈과 상기 공정처리모듈은 제1방향을 따라 순차적으로 배치되고, 상기 공정챔버와 상기 반송 모듈은 상부에서 바라 볼 때, 상기 제1방향과 수직한 제2방향을 따라 순차적으로 배치되고,
    상기 반송 모듈은,
    기판을 반송하는 반송체와;
    상기 반송체와 결합되며, 상기 반송체를 상기 제1방향으로 이동시키는 반송 유닛을; 포함하되,
    상기 반송 유닛은,
    가이드 부재와;
    상기 가이드 부재을 따라 이동 가능하도록 설치되며, 대상물을 반송하는 반송체를 지지하는 지지블럭과;
    상기 지지블럭을 이동시키는 구동기와; 그리고
    상기 지지블럭에 윤활유를 충전하는 충전부재를 포함하되,
    상기 충전부재는,
    내부에 윤활유가 채워지는 버퍼공간을 가지는 하우징과;
    상기 하우징과 상기 지지블럭을 연결하는 연결관과; 그리고
    상기 버퍼공간 내에 채워지는 상기 윤활유를 가압하여 상기 윤활유를 상기 연결관으로 공급하는 가압기를 포함하는 기판 처리 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 가압기는,
    상기 가이드 부재의 하부에 위치하는 플레이트와;
    상기 플레이트에 고정설치되며 상기 하우징의 외측으로 연장된 로드와; 그리고
    상기 로드로부터 이격되어 설치되는 스토퍼를 포함하는 기판 처리 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 로드가 상기 스토퍼에 의해 가압되도록 상기 스토퍼는 상기 지지블럭이 상기 가이드 부재를 따라 이동 시 상기 로드가 이동되는 경로 상에 설치되는 기판 처리 장치.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 가압기는 상기 로드의 끝단에 설치되는 완충부재를 더 포함하는 반송 유닛.
  15. 제11항에 있어서,
    상기 가이드 부재는 그 길이방향이 상기 제1방향을 따라 제공되고 상기 제2방향으로 이격된 제1가이드 레일과 제2가이드 레일을 가지는 기판 처리 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 지지블럭은 상기 제1가이드 레일과 상기 제2가이드레일에 각각 복수개 설치되는 기판 처리 장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 연결관은 상기 지지블럭의 개수에 대응되는 개수로 제공되는 기판 처리 장치.
  18. 제15항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가압기는 상기 제1가이드 레일과 상기 제2가이드 레일 사이에 배치되는 기판 처리 장치.
  19. 제11항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 연결관은 플렉시블 관으로 제공되는 기판 처리 장치.
  20. 제12항에 있어서,
    상기 반송 유닛은 상기 구동기를 제어하는 제어기를 더 포함하되,
    상기 제어기는 상기 충전부재에 의한 충전 횟수가 증가됨에 따라 상기 로드가 상기 스토퍼를 향하는 방향으로 이동하는 거리가 증가되도록 상기 구동기를 제어하는 기판 처리 장치.
  21. 제12항에 있어서,
    상기 반송 유닛은 공정 진행 중에 상기 제1방향을 따라 제1위치와 제2위치간을 이동하며, 상기 스토퍼는 상기 제1위치을 기준으로 상기 제2위치에 반대쪽에 위치하는 제3위치에 제공되는 기판 처리 장치.
  22. 제2항 또는 제12항의 반송 유닛에 제공되는 상기 충전부재로 윤활유를 공급하는 방법에 있어서,
    상기 지지블럭에 윤활유 공급 시 상기 로드가 상기 스토퍼를 향하는 방향으로 이동하여 상기 하우징을 가압하여 상기 연결관을 통해서 윤활유를 공급하는 윤활유 공급 방법.
  23. 제22항에 있어서,
    상기 충전 부재의 충전 횟수가 증가함에 따라 상기 로드가 상기 스토퍼를 향하는 방향으로 이동하는 거리가 점차 증가되도록 하는 윤활유 공급 방법.
  24. 제22항에 있어서,
    상기 스토퍼는 상기 로드가 상기 스토퍼에 의해 가압되도록 상기 스토퍼는 상기 지지블럭이 상기 가이드 부재를 따라 이동 시 상기 로드가 이동되는 경로 상에 설치되는 윤활유 공급 방법.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200051325A (ko) * 2018-11-05 2020-05-13 세메스 주식회사 반도체 패키지 이송용 적재 유닛
KR20200059517A (ko) * 2018-11-21 2020-05-29 주식회사 원익아이피에스 레이저 가공장치
KR20210002913A (ko) * 2019-07-01 2021-01-11 세메스 주식회사 기판 반송 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템
CN114833243A (zh) * 2022-03-09 2022-08-02 晟通科技集团有限公司 冲孔导向机构及冲孔机

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