CN209477907U - 一种环形抛光机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种环形抛光机，包括转台、磨盘、限位滚轮机构和工件环；所述限位滚轮机构包括三个同步带轮，驱动工件环旋转；还包括若干个托环滚轮；所述工件环的外壁设有圆环形凹槽，所述若干个托环滚轮周向分布于凹槽四周，且其与磨盘的垂直距离大于凹槽与磨盘的垂直距离；所述若干个托环滚轮能够嵌入所述凹槽，将工件环托起，与磨盘表面分离。本实用新型可使得保持工件必须存在的工件环脱离高精度的磨盘表面，使得工件环不会对高精度磨盘产生破坏，磨盘的精度可以较长时间保持稳定的状态，光学及电子元件得以复制得到高精度的表面精度。
Description
技术领域
本实用新型涉及超精密的光学及电子半导体冷加工领域，具体涉及工件夹持采用保持环悬浮结构，避免保持环对磨盘表面的破坏，延缓沥青表面的压实作用，从而减少刮盘次数，提高生产效率。
背景技术
环形抛光机是利用面形复制的原理将口径远大于光学及电子半导体元件的磨盘的高精度面形复制到光学及半导体元件上，主要用于各种平面元件的高精度超光滑表面抛光。
目前，环形抛光机作为高精度平面光学及半导体元件主要加工手段，越来越受到光学及电子半导体冷加工行业的重视，环形抛光机的改进也日益精进，特别对于元件要求越来越高的背景下，提高设备精度稳定性和保持性显得尤为重要，也成为提高元件加工精度的必要手段。
实用新型内容
为解决上述问题，本实用新型提供一种工件环悬浮结构，该结构可使得保持工件必须存在的工件环脱离高精度的磨盘表面，使得工件环不会对高精度磨盘产生破坏。
为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种环形抛光机，包括转台、磨盘、限位滚轮机构和工件环；所述限位滚轮机构包括三个同步带轮，驱动工件环旋转；还包括若干个托环滚轮；所述工件环的外壁设有圆环形凹槽，所述若干个托环滚轮周向分布于凹槽四周，且其与磨盘的垂直距离大于凹槽与磨盘的垂直距离；所述若干个托环滚轮能够嵌入所述凹槽，将工件环托起，与磨盘表面分离。
进一步的，所述三个同步带轮包括一个主动驱动同步带轮和两个从动同步带轮；主动驱动同步带轮和两个从动同步带轮上方的主动轮轴和从动轮轴上分别固定托环滚轮的中心轴，托环滚轮能够相对于中心轴旋转。
有益效果：本实用新型可使得保持工件必须存在的工件环脱离高精度的磨盘表面，使得工件环不会对高精度磨盘产生破坏，磨盘的精度可以较长时间保持稳定的状态，光学及电子元件得以复制得到高精度的表面精度。
附图说明
图1为工件环悬浮结构的示意图；
图2为环形抛光机的俯视结构示意图；
图中标号：1、工件环；2、圆环形凹槽；3.1、主轴驱动同步带轮；3.2、从动同步带轮；4、托环滚轮；5、从动轮轴；6、行星减速机；7、伺服电机；8、调节拖板；9、横梁；10、从动轮轴套；11、可调节支架。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步说明。
如图1所示，工件环1在径向上利用三个同步带轮进行传动和径向固定，在轴向方向也设计有三个托环滚轮4，用于承受工件环1的自重。其中一个同步带轮为主动驱动轮3.1，另外两个为从动驱动轮3.2。从动轮轴5和主动轮轴上分别安装托环滚轮4，三个托环滚轮4的中心轴分别垂直固定于动轮轴5和主动轮轴，托环滚轮嵌入凹槽2中。
工件环包括第一套环和第二套环，第一套环的内壁设计有逐渐加深的组深度不同的半圆形沉槽，每一组半圆形沉槽中有个深度相同的半圆形沉槽，周向均匀分布于第一套环的内壁。第二套环的表面设有周向均匀分布的个联接柱，联接柱的尺寸与一组沉槽匹配，将联接柱插入沉槽实现第一套环和第二套环的连接。第二套环作为代加工工件的夹具，根据代加工工件的需要设计内径和结构，第一套环可通用于不同尺寸的第二套环。使用时，根据需要选择与待加工工件匹配的第二套环，将第二套环与第一套环连接好，第一套环放在抛光机的磨盘上，待加工工件放置于第二套环内的磨盘上。磨盘在动力部件的驱动下旋转，并带动待加工工件一并运动，同时待加工工件受第二套环的限制在其内相对于磨盘做无规律运动。
以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施方式而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (2)
1.一种环形抛光机，包括转台、磨盘、限位滚轮机构和工件环；所述限位滚轮机构包括三个同步带轮，驱动工件环旋转；其特征在于，还包括若干个托环滚轮；所述工件环的外壁设有圆环形凹槽，所述若干个托环滚轮周向分布于凹槽四周，且其与磨盘的垂直距离大于凹槽与磨盘的垂直距离；所述若干个托环滚轮能够嵌入所述凹槽，将工件环托起，与磨盘表面分离。
2.根据权利要求1所述的一种环形抛光机，其特征在于，所述三个同步带轮包括一个主动驱动同步带轮和两个从动同步带轮；主动驱动同步带轮和两个从动同步带轮上方的主动轮轴和从动轮轴上分别固定托环滚轮的中心轴，托环滚轮能够相对于中心轴旋转。
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| CN209477907U true CN209477907U (zh) | 2019-10-11 |
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ID=68128311
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| CN201822262254.7U Active CN209477907U (zh) | 2018-12-30 | 2018-12-30 | 一种环形抛光机 |
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2018
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