CN209465356U - 一种多功能wafer载盘 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种多功能wafer载盘，包括：载盘固定主体、内载盘、工件固定机构；所述载盘固定主体的整体外观呈六棱柱状，且内载盘嵌入安装在载盘固定主体上，内载盘与载盘固定主体通过螺丝相连接；所述工件固定机构设置在载盘固定主体及内载盘的上方，且工件固定机构由固定锁板、磁体固定铁条、活动栓、磁铁、固定铁板组成；所述固定锁板位于载盘固定主体及内载盘的上方；本实用新型通过对多功能wafer载盘的改进，具有结构设计合理，操作方便，效率高，能够适用于不同尺寸晶元的固定，对不同尺寸晶元固定时无需更换载盘，减少资金投入，降低成本，实用性强的优点，从而有效的解决了现有装置中出现问题和不足。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶粒分选技术领域，更具体的说，尤其涉及一种多功能wafer载盘。
背景技术
分选机在进行晶粒分选时，需要载盘将wafer夹紧并载入挑拣位置。
但是目前行业内生产晶元的尺寸包括2寸或者4寸甚至6寸，而目前所有载盘都只能作业单尺寸，这就导致分选机台上的载盘也需要随之更换生产，使LED生产企业购买固定资产资金增加。
有鉴于此，针对现有的问题予以研究改良，提供一种多功能wafer载盘，旨在通过该技术，达到解决问题与提高实用价值性的目的。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种多功能wafer载盘，以解决上述背景技术中提出的目前行业内生产晶元的尺寸包括2寸或者4寸甚至6寸，而目前所有载盘都只能作业单尺寸，这就导致分选机台上的载盘也需要随之更换生产，使LED生产企业购买固定资产资金增加的问题和不足。
为实现上述目的，本实用新型提供了一种多功能wafer载盘，由以下具体技术手段所达成：
一种多功能wafer载盘，包括：载盘固定主体、内载盘、工件固定机构、固定锁板、磁体固定铁条、活动栓、磁铁、固定铁板；所述载盘固定主体的整体外观呈六棱柱状，且内载盘嵌入安装在载盘固定主体上，内载盘与载盘固定主体通过螺丝相连接；所述工件固定机构设置在载盘固定主体及内载盘的上方，且工件固定机构由固定锁板、磁体固定铁条、活动栓、磁铁、固定铁板组成；所述固定锁板位于载盘固定主体及内载盘的上方，且固定锁板与载盘固定主体、内载盘为一体式结构；所述磁体固定铁条安装在固定锁板的一侧；所述活动栓的一端嵌入安装在磁体固定铁条的后端，且活动栓的另一端贯穿固定锁板，固定锁板与活动栓通过套入方式活动连接；所述固定铁板通过螺钉安装在磁体固定铁条的上方；所述磁铁安装在固定铁板的两侧，且磁铁与磁体固定铁条通过磁性吸合。
作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种多功能wafer载盘所述内载盘的整体外观呈圆环状，且内载盘通过与载盘固定主体的螺丝连接方式设置为拆卸装置。
作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种多功能wafer载盘所述载盘固定主体上开设有用于容纳内载盘的圆形凹槽，且内载盘安装后上表面与载盘固定主体的上表面平齐。
作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种多功能wafer载盘所述工件固定机构在载盘固定主体、内载盘的上方呈环形阵列状分布，工件固定机构在载盘固定主体、内载盘的上方均设置有三处。
作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种多功能wafer载盘所述磁体固定铁条通过固定锁板与活动栓以套入活动连接的方式设置为滑动装置。
由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
1、本实用新型内载盘的整体外观呈圆环状，且内载盘通过与载盘固定主体的螺丝连接方式设置为拆卸装置，载盘固定主体上开设有用于容纳内载盘的圆形凹槽，且内载盘安装后上表面与载盘固定主体的上表面平齐的设置，使装置能够适用于不同尺寸晶元的固定，对不同尺寸晶元固定时无需更换载盘，减少资金投入，降低成本，而载盘固定主体上的圆形凹槽方便了内载盘的安装，同时保证了固定面的水平，防止损坏晶元。
2、本实用新型工件固定机构在载盘固定主体、内载盘的上方呈环形阵列状分布，工件固定机构在载盘固定主体、内载盘的上方均设置有三处的设置，增大了工件固定机构的分布面积，使工件的固定更为牢固，不易发生滑动、偏移。
3、本实用新型磁体固定铁条通过固定锁板与活动栓以套入活动连接的方式设置为滑动装置的设置，方便操作，能够快速对工件进行夹紧，提高效率。
4、本实用新型通过对多功能wafer载盘的改进，具有结构设计合理，操作方便，效率高，能够适用于不同尺寸晶元的固定，对不同尺寸晶元固定时无需更换载盘，减少资金投入，降低成本，实用性强的优点，从而有效的解决了现有装置中出现问题和不足。
附图说明
构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
图1为本实用新型的俯视结构示意图；
图2为本实用新型的载盘固定主体结构示意图；
图3为本实用新型的内载盘安装结构示意图。
图中：载盘固定主体1、内载盘2、工件固定机构3、固定锁板301、磁体固定铁条302、活动栓303、磁铁304、固定铁板305。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
需要说明的是，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
同时，在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电性连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
请参见图1至图3，本实用新型提供一种多功能wafer载盘的具体技术实施方案：
一种多功能wafer载盘，包括：载盘固定主体1、内载盘2、工件固定机构3、固定锁板301、磁体固定铁条302、活动栓303、磁铁304、固定铁板305；载盘固定主体1的整体外观呈六棱柱状，且内载盘2嵌入安装在载盘固定主体1上，内载盘2与载盘固定主体1通过螺丝相连接；工件固定机构3设置在载盘固定主体1及内载盘2的上方，且工件固定机构3由固定锁板301、磁体固定铁条302、活动栓303、磁铁304、固定铁板305组成；固定锁板301位于载盘固定主体1及内载盘2的上方，且固定锁板301与载盘固定主体1、内载盘2为一体式结构；磁体固定铁条302安装在固定锁板301的一侧；活动栓303的一端嵌入安装在磁体固定铁条302的后端，且活动栓303的另一端贯穿固定锁板301，固定锁板301与活动栓303通过套入方式活动连接；固定铁板305通过螺钉安装在磁体固定铁条302的上方；磁铁304安装在固定铁板305的两侧，且磁铁304与磁体固定铁条302通过磁性吸合。
具体的，内载盘2的整体外观呈圆环状，且内载盘2通过与载盘固定主体1的螺丝连接方式设置为拆卸装置，使装置能够适用于不同尺寸晶元的固定，对不同尺寸晶元固定时无需更换载盘，减少资金投入，降低成本。
具体的，载盘固定主体1上开设有用于容纳内载盘2的圆形凹槽，且内载盘2安装后上表面与载盘固定主体1的上表面平齐，载盘固定主体1上的圆形凹槽方便了内载盘2的安装，同时保证了固定面的水平，防止损坏晶元。
具体的，工件固定机构3在载盘固定主体1、内载盘2的上方呈环形阵列状分布，工件固定机构3在载盘固定主体1、内载盘2的上方均设置有三处，增大了工件固定机构3的分布面积，使工件的固定更为牢固，不易发生滑动、偏移。
具体的，磁体固定铁条302通过固定锁板301与活动栓303以套入活动连接的方式设置为滑动装置，方便操作，能够快速对工件进行夹紧，提高效率。
具体实施步骤：
使用时，需要根据工件(晶元)的尺寸来进行相应的操作：当晶元的尺寸较大时，需要松卸连接螺丝，将内载盘2拆下，然后将载盘固定主体1上的磁体固定铁条302向后推动，将晶元放置在载盘固定主体1上的圆形凹槽内，然后向前推动磁体固定铁条302利用固定铁板305将晶元进行固定；当晶元的尺寸较大时，需要安装内载盘2，并将内载盘2与载盘固定主体1通过螺丝进行固定，然后将内载盘2上的磁体固定铁条302向后推动，将将晶元放置在内载盘2的中间位置，然后向前推动磁体固定铁条302利用固定铁板305将晶元进行固定，该装置能够适用于多种尺寸晶元的固定，对不同尺寸晶元固定时无需更换载盘，减少资金投入，降低成本。
综上所述：该一种多功能wafer载盘，通过内载盘的整体外观呈圆环状，且内载盘通过与载盘固定主体的螺丝连接方式设置为拆卸装置，载盘固定主体上开设有用于容纳内载盘的圆形凹槽，且内载盘安装后上表面与载盘固定主体的上表面平齐的设置，使装置能够适用于不同尺寸晶元的固定，对不同尺寸晶元固定时无需更换载盘，减少资金投入，降低成本，而载盘固定主体上的圆形凹槽方便了内载盘的安装，同时保证了固定面的水平，防止损坏晶元；通过工件固定机构在载盘固定主体、内载盘的上方呈环形阵列状分布，工件固定机构在载盘固定主体、内载盘的上方均设置有三处的设置，增大了工件固定机构的分布面积，使工件的固定更为牢固，不易发生滑动、偏移；通过磁体固定铁条通过固定锁板与活动栓以套入活动连接的方式设置为滑动装置的设置，方便操作，能够快速对工件进行夹紧，提高效率；通过对多功能wafer载盘的改进，具有结构设计合理，操作方便，效率高，能够适用于不同尺寸晶元的固定，对不同尺寸晶元固定时无需更换载盘，减少资金投入，降低成本，实用性强的优点，从而有效的解决了现有装置中出现问题和不足。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种多功能wafer载盘，包括：载盘固定主体(1)、内载盘(2)、工件固定机构(3)、固定锁板(301)、磁体固定铁条(302)、活动栓(303)、磁铁(304)、固定铁板(305)；其特征在于：所述载盘固定主体(1)的整体外观呈六棱柱状，且内载盘(2)嵌入安装在载盘固定主体(1)上，内载盘(2)与载盘固定主体(1)通过螺丝相连接；所述工件固定机构(3)设置在载盘固定主体(1)及内载盘(2)的上方，且工件固定机构(3)由固定锁板(301)、磁体固定铁条(302)、活动栓(303)、磁铁(304)、固定铁板(305)组成；所述固定锁板(301)位于载盘固定主体(1)及内载盘(2)的上方，且固定锁板(301)与载盘固定主体(1)、内载盘(2)为一体式结构；所述磁体固定铁条(302)安装在固定锁板(301)的一侧；所述活动栓(303)的一端嵌入安装在磁体固定铁条(302)的后端，且活动栓(303)的另一端贯穿固定锁板(301)，固定锁板(301)与活动栓(303)通过套入方式活动连接；所述固定铁板(305)通过螺钉安装在磁体固定铁条(302)的上方；所述磁铁(304)安装在固定铁板(305)的两侧，且磁铁(304)与磁体固定铁条(302)通过磁性吸合。
2.根据权利要求1所述的一种多功能wafer载盘，其特征在于：所述内载盘(2)的整体外观呈圆环状，且内载盘(2)通过与载盘固定主体(1)的螺丝连接方式设置为拆卸装置。
3.根据权利要求1所述的一种多功能wafer载盘，其特征在于：所述载盘固定主体(1)上开设有用于容纳内载盘(2)的圆形凹槽，且内载盘(2)安装后上表面与载盘固定主体(1)的上表面平齐。
4.根据权利要求1所述的一种多功能wafer载盘，其特征在于：所述工件固定机构(3)在载盘固定主体(1)、内载盘(2)的上方呈环形阵列状分布，工件固定机构(3)在载盘固定主体(1)、内载盘(2)的上方均设置有三处。
5.根据权利要求1所述的一种多功能wafer载盘，其特征在于：所述磁体固定铁条(302)通过固定锁板(301)与活动栓(303)以套入活动连接的方式设置为滑动装置。
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