CN209408119U - 一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及芯片制造附属装置的技术领域,特别是涉及一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,可通过机械进行辅助打磨,提高工作效率;一次可对硅片多个位置进行打磨,提高使用连续性;硅片上下移动方便,提高使用便利性;包括工作台;还包括底板、左支撑杆、右支撑杆、连接杆、滑动座、安装杆、左限制杆、右限制杆、左伸缩杆、右伸缩杆、左弹簧、右弹簧、左压板和右压板;还包括齿条、左连接架、右连接架、固定杆、支杆、横杆、转动销、圆板、挡板、扇形齿轮、中间杆、主动板、滑块、转筒和转动杆;还包括稳固杆、螺纹管、带动杆、固定板、螺纹杆和转盘。

Description

一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置
技术领域
本实用新型涉及芯片制造附属装置的技术领域,特别是涉及一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置。
背景技术
众所周知,用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置是一种用于芯片制造过程中,对切割完成的硅片边缘进行打磨的装置,其在芯片制造的领域中得到了广泛的使用;现有的用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置包括工作台;现有的用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置使用时把切割完成的硅片放置在工作台上,操作人员手动拿着磨砂纸对切割完成的硅片边缘进行打磨;现有的用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置使用中发现,其需要手动进行打磨,工作效率较低;其一次只能对硅片的一部分进行磨边,使用连续性较差;硅片上下移动不方便,使用便利性较差。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种可通过机械进行辅助打磨,提高工作效率;一次可对硅片多个位置进行打磨,提高使用连续性;硅片上下移动方便,提高使用便利性的用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片打磨装置。
本实用新型的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,包括工作台;还包括底板、左支撑杆、右支撑杆、连接杆、滑动座、安装杆、左限制杆、右限制杆、左伸缩杆、右伸缩杆、左弹簧、右弹簧、左压板和右压板,所述左支撑杆底端与底板顶端左半区域连接,所述右支撑杆底端与底板顶端右半区域连接,所述连接杆左端与左支撑杆右端上半区域连接,所述滑动座左端中央区域横向设置有滑动孔,所述连接杆右端穿过滑动孔并与右支撑杆左端上半区域连接,所述安装杆顶端与滑动座底端左半区域连接,安装杆底端设置有第一电机,所述第一电机右部输出端设置有第一传动轴,所述第一传动轴右端设置有打磨轮,所述左限制杆底端和右限制杆底端分别与工作台顶端左半区域和右半区域连接,左限制杆上半区域和右限制杆上半区域分别横向设置有左伸缩孔和右伸缩孔,所述左伸缩杆右端与左压板左端中央区域连接,所述右伸缩杆左端与右压板右端中央区域连接,所述左弹簧右端与左压板左端连接,左弹簧左端与左限制杆右端连接,左伸缩杆左端依次穿过左弹簧和左伸缩孔,所述右弹簧左端与右压板右端连接,右弹簧右端与右限制杆左端连接,右伸缩杆右端依次穿过右弹簧和右伸缩孔;还包括齿条、左连接架、右连接架、固定杆、支杆、横杆、转动销、圆板、挡板、扇形齿轮、中间杆、主动板、滑块、转筒和转动杆,所述齿条底端与滑动座顶端连接,所述左连接架和右连接架一端分别与左支撑杆顶端和右支撑杆顶端连接,左连接架和右连接架另一端分别与固定杆左端下半区域和支杆右端下半区域连接,所述横杆左端与固定杆右端下半区域连接,横杆右端与支杆左端下半区域连接,所述转动销后端与横杆前端中央区域连接,所述圆板中央区域设置有转动孔,转动销前端穿过转动孔并与挡板后端中央区域连接,所述扇形齿轮顶端与圆板底端连接,扇形齿轮与齿条啮合,所述中间杆底端与圆板顶端连接,中间杆顶端与主动板底端连接,所述滑块前端与主动板后端中央区域连接,所述转筒外侧壁上设置有螺旋槽,滑块后端伸入至螺旋槽内,所述固定杆上半区域横向设置有贯通孔,所述转筒左侧壁中央区域横向设置有连接孔,所述转动杆左端穿过连接孔并伸入至贯通孔内,转动杆外侧壁与连接孔内侧壁连接,所述支杆顶端设置有第二电机,所述第二电机左部输出端设置有第二传动轴,所述第二传动轴左端与转动杆右端连接;还包括稳固杆、螺纹管、带动杆、固定板、螺纹杆和转盘,所述稳固杆底端与底板顶端左半区域连接,所述螺纹管顶端与工作台底端中央区域连接,所述带动杆右端与螺纹管左端中央区域连接,带动杆顶端左半区域纵向设置有升降孔,所述稳固杆顶端穿过升降孔,所述固定板左端与稳固杆右端下半区域连接,固定板顶端中央区域纵向设置有连通孔,所述连通孔处设置有第一滚珠轴承,所述螺纹杆下半区域表面光滑,螺纹杆表面光滑部分穿过第一滚珠轴承并与第一滚珠轴承键连接,螺纹杆底端与转盘顶端中央区域连接,螺纹杆顶端螺装入螺纹管内。
本实用新型的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,还包括受力杆,所述受力杆右端与右支撑杆左端上半区域连接,受力杆左端设置有抽风机,所述抽风机左部输入端设置有吸风管,抽风机底部输出端设置有连接管,所述连接管下方设置有收集箱,所述收集箱底端放置在底板顶端右半区域。
本实用新型的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,还包括左限位块和右限位块,所述左限位块底端与连接杆顶端左半区域连接,所述右限位块底端与连接杆顶端右半区域连接。
本实用新型的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,所述左压板右侧壁和右压板左侧壁分别设置有一组防滑垫。
本实用新型的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,还包括第二滚珠轴承,所述第二滚珠轴承安装在贯通孔处,所述转动杆左端插入至第二滚珠轴承内并与第二滚珠轴承键连接。
本实用新型的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,还包括左阻隔板和右阻隔板,所述左伸缩杆左端与左阻隔板右端中央区域连接,所述右伸缩杆右端与右阻隔板左端中央区域连接。
本实用新型的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,还包括减速机,所述减速机位于第二电机的输出端。
本实用新型的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,还包括四组支架和四组橡胶垫,所述四组支架顶端分别与底板底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧连接,所述四组橡胶垫分别安装在四组支架底端。
本实用新型的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,还包括把手,所述把手顶端与转盘底端右半区域连接。
本实用新型的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,还包括防护板,所述稳固杆顶端与防护板底端中央区域连接。
与现有技术相比本实用新型的有益效果为:连接杆右端和右端分别与左支撑杆右端上半区域和右支撑杆左端上半区域连接,左支撑杆和右支撑杆对连接杆起到支撑作用,连接杆穿过滑动座上设置的滑动孔,连接杆外侧壁与滑动孔内侧壁光滑接触,滑动座可以沿着连接杆左右移动,打开第一电机,第一电机驱动第一传动轴转动,第一传动轴带动打磨轮转动,同时向左和向右拉动左压板和右压板,使左压板和右压板分别压缩左弹簧和右弹簧,把需要磨边的多个硅片叠放在左压板和右压板中间,松开左压板和右压板,左弹簧和右弹簧恢复形变的过程中把硅片压紧,通过电机进行打磨,提高了工作效率;横杆左端和右端分别与固定杆右端下半区域和支杆左端下半区域连接,左连接架和右连接架把固定杆和支杆的位置固定住的同时也固定住了横杆的位置,转动销后端与横杆前端中央区域连接,转动销前端穿过圆板上的转动孔并与挡板后端连接,转动销外侧壁与转动孔内侧壁光滑接触,圆板前侧壁与后侧壁分别与挡板后侧壁和横杆前侧壁光滑接触,使得圆板位置不会前后移动的情况下可以平顺的转动,由于圆板的位置不会前后移动,使的伸入螺旋槽内的滑块始终在螺旋槽内滑动,打开第二电机,第二电机驱动第二传动轴转动,第二传动轴带动转动杆转动,转动杆外侧壁与转筒上设置的连接孔内侧壁连接,转动杆左端穿过贯通孔,转动杆可在贯通孔内光滑转动,转动杆转动带动转筒转动,转筒外侧壁上设置有螺纹槽,转筒转动时,由于滑块在螺纹槽内滑动,使得滑块左右移动,滑块向左移动以转动销为中心轴带动扇形齿轮向右转动,齿条和扇形齿轮相啮合,扇形齿轮向右转动带动齿条向右移动,齿条底端与滑动座顶端连接,齿条带动滑动座在连接杆上向右滑动,带动打磨轮向右运动,当滑块向右移动时,带动扇形齿轮向左移动,进而带动齿条相做移动,使得打磨轮向左移动,第二电机打开时滑块会在螺旋槽内做往复运动,使打磨轮可以在一条水平线上从左到右左往复运动,可以一次对多个位置进行打磨,提高使用连续性;稳固杆顶端穿过升降孔,稳固杆外侧壁与升降孔内侧壁光滑接触,使得带动板可以依靠稳固杆上下运动且不会发生晃动,转动转盘,转盘带动螺纹杆转动,由于螺纹杆顶端螺装入螺纹管内,螺纹杆表面光滑部分与第一滚珠轴承键连接,使得螺纹杆可以原地转动,位置不会移动,螺纹杆转动会带动螺纹管向上或向下运动,螺纹管顶端与工作台底端中央区域连接,螺纹管向上或向下运动带动工作台以及工作台上被固定紧的硅片向上或向下运动,实现被夹紧硅片的上下位置调节,提高使用便利性。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是图1中A的局部放大图;
图3是图1中B的局部放大图;
图4是横杆、转动销、转动板和挡板的连接示意俯视图;
图5是主动板和滑块的连接示意左视图;
附图中标记:1、工作台;2、底板;3、左支撑杆;4、连接杆; 5、滑动座;6、安装杆;7、左限制杆;8、左伸缩杆;9、左弹簧; 10、左压板;11、第一电机;12、第一传动轴;13、打磨轮;14、齿条;15、左连接架;16、右连接架;17、固定杆;18、支杆;19、横杆;20、转动销;21、圆板;22、挡板;23、扇形齿轮;24、中间杆; 25、主动板;26、滑块;27、转筒;28、转动杆;29、第二电机;30、第二传动轴;31、稳固杆;32、螺纹管;33、带动杆;34、固定板; 35、螺纹杆;36、转盘;37、受力杆;38、抽风机;39、吸风管;40、连接管;41、收集箱;42、左限位块;43、防滑垫;44、第二滚珠轴承;45、左阻隔板;46、减速机;47、支架;48、橡胶垫;49、把手; 50、防护板;51、第一滚珠轴承。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。
如图1至图5所示,本实用新型的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,包括工作台1;还包括底板2、左支撑杆3、右支撑杆、连接杆4、滑动座5、安装杆6、左限制杆7、右限制杆、左伸缩杆8、右伸缩杆、左弹簧9、右弹簧、左压板10和右压板,左支撑杆3底端与底板2顶端左半区域连接,右支撑杆底端与底板2 顶端右半区域连接,连接杆4左端与左支撑杆3右端上半区域连接,滑动座5左端中央区域横向设置有滑动孔,连接杆4右端穿过滑动孔并与右支撑杆左端上半区域连接,安装杆6顶端与滑动座5底端左半区域连接,安装杆6底端设置有第一电机11,第一电机11右部输出端设置有第一传动轴12,第一传动轴12右端设置有打磨轮13,左限制杆7底端和右限制杆底端分别与工作台1顶端左半区域和右半区域连接,左限制杆7上半区域和右限制杆上半区域分别横向设置有左伸缩孔和右伸缩孔,左伸缩杆8右端与左压板10左端中央区域连接,右伸缩杆左端与右压板右端中央区域连接,左弹簧9右端与左压板 10左端连接,左弹簧9左端与左限制杆7右端连接,左伸缩杆8左端依次穿过左弹簧9和左伸缩孔,右弹簧左端与右压板右端连接,右弹簧右端与右限制杆左端连接,右伸缩杆右端依次穿过右弹簧和右伸缩孔;还包括齿条14、左连接架15、右连接架16、固定杆17、支杆 18、横杆19、转动销20、圆板21、挡板22、扇形齿轮23、中间杆 24、主动板25、滑块26、转筒27和转动杆28,齿条14底端与滑动座5顶端连接,左连接架15和右连接架16一端分别与左支撑杆3顶端和右支撑杆顶端连接,左连接架15和右连接架16另一端分别与固定杆17左端下半区域和支杆18右端下半区域连接,横杆19左端与固定杆17右端下半区域连接,横杆19右端与支杆18左端下半区域连接,转动销20后端与横杆19前端中央区域连接,圆板21中央区域设置有转动孔,转动销20前端穿过转动孔并与挡板22后端中央区域连接,扇形齿轮23顶端与圆板21底端连接,扇形齿轮23与齿条 14啮合,中间杆24底端与圆板21顶端连接,中间杆24顶端与主动板25底端连接,滑块26前端与主动板25后端中央区域连接,转筒27外侧壁上设置有螺旋槽,滑块26后端伸入至螺旋槽内,固定杆17 上半区域横向设置有贯通孔,转筒27左侧壁中央区域横向设置有连接孔,转动杆28左端穿过连接孔并伸入至贯通孔内,转动杆28外侧壁与连接孔内侧壁连接,支杆18顶端设置有第二电机29,第二电机 29左部输出端设置有第二传动轴30,第二传动轴30左端与转动杆 28右端连接;还包括稳固杆31、螺纹管32、带动杆33、固定板34、螺纹杆35和转盘36,稳固杆31底端与底板2顶端左半区域连接,螺纹管32顶端与工作台1底端中央区域连接,带动杆33右端与螺纹管32左端中央区域连接,带动杆33顶端左半区域纵向设置有升降孔,稳固杆31顶端穿过升降孔,固定板34左端与稳固杆31右端下半区域连接,固定板34顶端中央区域纵向设置有连通孔,连通孔处设置有第一滚珠轴承51,螺纹杆35下半区域表面光滑,螺纹杆35表面光滑部分穿过第一滚珠轴承51并与第一滚珠轴承51键连接,螺纹杆 35底端与转盘36顶端中央区域连接,螺纹杆35顶端螺装入螺纹管32内;连接杆右端和右端分别与左支撑杆右端上半区域和右支撑杆左端上半区域连接,左支撑杆和右支撑杆对连接杆起到支撑作用,连接杆穿过滑动座上设置的滑动孔,连接杆外侧壁与滑动孔内侧壁光滑接触,滑动座可以沿着连接杆左右移动,打开第一电机,第一电机驱动第一传动轴转动,第一传动轴带动打磨轮转动,同时向左和向右拉动左压板和右压板,使左压板和右压板分别压缩左弹簧和右弹簧,把需要磨边的多个硅片叠放在左压板和右压板中间,松开左压板和右压板,左弹簧和右弹簧恢复形变的过程中把硅片压紧,通过电机进行打磨,提高了工作效率;横杆左端和右端分别与固定杆右端下半区域和支杆左端下半区域连接,左连接架和右连接架把固定杆和支杆的位置固定住的同时也固定住了横杆的位置,转动销后端与横杆前端中央区域连接,转动销前端穿过圆板上的转动孔并与挡板后端连接,转动销外侧壁与转动孔内侧壁光滑接触,圆板前侧壁与后侧壁分别与挡板后侧壁和横杆前侧壁光滑接触,使得圆板位置不会前后移动的情况下可以平顺的转动,由于圆板的位置不会前后移动,使的伸入螺旋槽内的滑块始终在螺旋槽内滑动,打开第二电机,第二电机驱动第二传动轴转动,第二传动轴带动转动杆转动,转动杆外侧壁与转筒上设置的连接孔内侧壁连接,转动杆左端穿过贯通孔,转动杆可在贯通孔内光滑转动,转动杆转动带动转筒转动,转筒外侧壁上设置有螺纹槽,转筒转动时,由于滑块在螺纹槽内滑动,使得滑块左右移动,滑块向左移动以转动销为中心轴带动扇形齿轮向右转动,齿条和扇形齿轮相啮合,扇形齿轮向右转动带动齿条向右移动,齿条底端与滑动座顶端连接,齿条带动滑动座在连接杆上向右滑动,带动打磨轮向右运动,当滑块向右移动时,带动扇形齿轮向左移动,进而带动齿条相做移动,使得打磨轮向左移动,第二电机打开时滑块会在螺旋槽内做往复运动,使打磨轮可以在一条水平线上从左到右左往复运动,可以一次对多个位置进行打磨,提高使用连续性;稳固杆顶端穿过升降孔,稳固杆外侧壁与升降孔内侧壁光滑接触,使得带动板可以依靠稳固杆上下运动且不会发生晃动,转动转盘,转盘带动螺纹杆转动,由于螺纹杆顶端螺装入螺纹管内,螺纹杆表面光滑部分与第一滚珠轴承键连接,使得螺纹杆可以原地转动,位置不会移动,螺纹杆转动会带动螺纹管向上或向下运动,螺纹管顶端与工作台底端中央区域连接,螺纹管向上或向下运动带动工作台以及工作台上被固定紧的硅片向上或向下运动,实现被夹紧硅片的上下位置调节,提高使用便利性。
本实用新型的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,还包括受力杆37,受力杆37右端与右支撑杆左端上半区域连接,受力杆37左端设置有抽风机38,抽风机38左部输入端设置有吸风管39,抽风机38底部输出端设置有连接管40,连接管40下方设置有收集箱41,收集箱41底端放置在底板2顶端右半区域;打磨过程中会产生粉尘,抽风机把粉尘从吸风管输入端吸入,之后从连接管输出端流出,进入收集箱中,提高环境保护能力。
本实用新型的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,还包括左限位块42和右限位块,左限位块42底端与连接杆 4顶端左半区域连接,右限位块底端与连接杆4顶端右半区域连接;齿条带动滑动座左右移动,通过增设左限位块和右限位块,可以防止滑动座过度向左或向右移动,提高使用可靠性。
本实用新型的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,左压板10右侧壁和右压板左侧壁分别设置有一组防滑垫43;通过增设一组防滑垫,增加左压板右侧壁和右压板左侧壁与硅片之间的摩擦阻力,降低意外发生率。
本实用新型的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,还包括第二滚珠轴承44,第二滚珠轴承44安装在贯通孔处,转动杆28左端插入至第二滚珠轴承44内并与第二滚珠轴承44键连接;转动杆外侧壁与贯通孔内侧壁之间存在摩擦阻力,通过增设第二滚珠轴承,可以减小此摩擦阻力,提高使用平顺性。
本实用新型的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,还包括左阻隔板45和右阻隔板,左伸缩杆8左端与左阻隔板45右端中央区域连接,右伸缩杆右端与右阻隔板左端中央区域连接;通过增设左阻隔板和右阻隔板,可以限制左压板和右压板的位置,防止左压板与右压板由于弹簧恢复形变而发生碰撞导致夹伤操作人员的手指,提高使用安全性。
本实用新型的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,还包括减速机46,减速机46位于第二电机29的输出端;第二电机转动速度过快,使得打磨轮左右移动的速度过快,对打磨精度产生影响,通过增设减速机,可以使打磨轮左右移动缓慢,提高打磨精细度。
本实用新型的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,还包括四组支架47和四组橡胶垫48,四组支架47顶端分别与底板2底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧连接,四组橡胶垫 48分别安装在四组支架47底端;打磨工作进行时,第一电机、第二电机和抽风机运转,会产生震动,四组橡胶垫可以起到减震的作用,延长设备使用寿命。
本实用新型的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,还包括把手49,把手49顶端与转盘36底端右半区域连接;操作人员通过握住把手转动转盘,可以更加省力,提高使用便利性。
本实用新型的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,还包括防护板50,稳固杆31顶端与防护板50底端中央区域连接;通过增设防护板,可以防止螺纹管向上运动时,带动杆随之一起向上运动到稳固杆顶端时与稳固杆发生脱离,降低故障发生率。
本实用新型的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,其在工作时,连接杆右端和右端分别与左支撑杆右端上半区域和右支撑杆左端上半区域连接,左支撑杆和右支撑杆对连接杆起到支撑作用,连接杆穿过滑动座上设置的滑动孔,连接杆外侧壁与滑动孔内侧壁光滑接触,滑动座可以沿着连接杆左右移动,打开第一电机,第一电机驱动第一传动轴转动,第一传动轴带动打磨轮转动,同时向左和向右拉动左压板和右压板,使左压板和右压板分别压缩左弹簧和右弹簧,把需要磨边的多个硅片叠放在左压板和右压板中间,松开左压板和右压板,左弹簧和右弹簧恢复形变的过程中把硅片压紧,通过电机进行打磨,提高了工作效率;横杆左端和右端分别与固定杆右端下半区域和支杆左端下半区域连接,左连接架和右连接架把固定杆和支杆的位置固定住的同时也固定住了横杆的位置,转动销后端与横杆前端中央区域连接,转动销前端穿过圆板上的转动孔并与挡板后端连接,转动销外侧壁与转动孔内侧壁光滑接触,圆板前侧壁与后侧壁分别与挡板后侧壁和横杆前侧壁光滑接触,使得圆板位置不会前后移动的情况下可以平顺的转动,由于圆板的位置不会前后移动,使的伸入螺旋槽内的滑块始终在螺旋槽内滑动,打开第二电机,第二电机驱动第二传动轴转动,第二传动轴带动转动杆转动,转动杆外侧壁与转筒上设置的连接孔内侧壁连接,转动杆左端穿过贯通孔,转动杆可在贯通孔内光滑转动,转动杆转动带动转筒转动,转筒外侧壁上设置有螺纹槽,转筒转动时,由于滑块在螺纹槽内滑动,使得滑块左右移动,滑块向左移动以转动销为中心轴带动扇形齿轮向右转动,齿条和扇形齿轮相啮合,扇形齿轮向右转动带动齿条向右移动,齿条底端与滑动座顶端连接,齿条带动滑动座在连接杆上向右滑动,带动打磨轮向右运动,当滑块向右移动时,带动扇形齿轮向左移动,进而带动齿条相做移动,使得打磨轮向左移动,第二电机打开时滑块会在螺旋槽内做往复运动,使打磨轮可以在一条水平线上从左到右左往复运动,可以一次对多个位置进行打磨,提高使用连续性;稳固杆顶端穿过升降孔,稳固杆外侧壁与升降孔内侧壁光滑接触,使得带动板可以依靠稳固杆上下运动且不会发生晃动,转动转盘,转盘带动螺纹杆转动,由于螺纹杆顶端螺装入螺纹管内,螺纹杆表面光滑部分与第一滚珠轴承键连接,使得螺纹杆可以原地转动,位置不会移动,螺纹杆转动会带动螺纹管向上或向下运动,螺纹管顶端与工作台底端中央区域连接,螺纹管向上或向下运动带动工作台以及工作台上被固定紧的硅片向上或向下运动,实现被夹紧硅片的上下位置调节,提高使用便利性;打磨过程中会产生粉尘,抽风机把粉尘从吸风管输入端吸入,之后从连接管输出端流出,进入收集箱中,提高环境保护能力;齿条带动滑动座左右移动,通过增设左限位块和右限位块,可以防止滑动座过度向左或向右移动,提高使用可靠性;通过增设一组防滑垫,增加左压板右侧壁和右压板左侧壁与硅片之间的摩擦阻力,降低意外发生率;转动杆外侧壁与贯通孔内侧壁之间存在摩擦阻力,通过增设第二滚珠轴承,可以减小此摩擦阻力,提高使用平顺性;通过增设左阻隔板和右阻隔板,可以限制左压板和右压板的位置,防止左压板与右压板由于弹簧恢复形变而发生碰撞导致夹伤操作人员的手指,提高使用安全性;第二电机转动速度过快,使得打磨轮左右移动的速度过快,对打磨精度产生影响,通过增设减速机,可以使打磨轮左右移动缓慢,提高打磨精细度;打磨工作进行时,第一电机、第二电机和抽风机运转,会产生震动,四组橡胶垫可以起到减震的作用,延长设备使用寿命;操作人员通过握住把手转动转盘,可以更加省力,提高使用便利性;通过增设防护板,可以防止螺纹管向上运动时,带动杆随之一起向上运动到稳固杆顶端时与稳固杆发生脱离,降低故障发生率。
本实用新型的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置所使用的第一电机、第二电机和抽风机是从市面上采购的,只需按照说明书进行安装使用即可。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变型,这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,包括工作台(1);其特征在于,还包括底板(2)、左支撑杆(3)、右支撑杆、连接杆(4)、滑动座(5)、安装杆(6)、左限制杆(7)、右限制杆、左伸缩杆(8)、右伸缩杆、左弹簧(9)、右弹簧、左压板(10)和右压板,所述左支撑杆(3)底端与底板(2)顶端左半区域连接,所述右支撑杆底端与底板(2)顶端右半区域连接,所述连接杆(4)左端与左支撑杆(3)右端上半区域连接,所述滑动座(5)左端中央区域横向设置有滑动孔,所述连接杆(4)右端穿过滑动孔并与右支撑杆左端上半区域连接,所述安装杆(6)顶端与滑动座(5)底端左半区域连接,安装杆(6)底端设置有第一电机(11),所述第一电机(11)右部输出端设置有第一传动轴(12),所述第一传动轴(12)右端设置有打磨轮(13),所述左限制杆(7)底端和右限制杆底端分别与工作台(1)顶端左半区域和右半区域连接,左限制杆(7)上半区域和右限制杆上半区域分别横向设置有左伸缩孔和右伸缩孔,所述左伸缩杆(8)右端与左压板(10)左端中央区域连接,所述右伸缩杆左端与右压板右端中央区域连接,所述左弹簧(9)右端与左压板(10)左端连接,左弹簧(9)左端与左限制杆(7)右端连接,左伸缩杆(8)左端依次穿过左弹簧(9)和左伸缩孔,所述右弹簧左端与右压板右端连接,右弹簧右端与右限制杆左端连接,右伸缩杆右端依次穿过右弹簧和右伸缩孔;还包括齿条(14)、左连接架(15)、右连接架(16)、固定杆(17)、支杆(18)、横杆(19)、转动销(20)、圆板(21)、挡板(22)、扇形齿轮(23)、中间杆(24)、主动板(25)、滑块(26)、转筒(27)和转动杆(28),所述齿条(14)底端与滑动座(5)顶端连接,所述左连接架(15)和右连接架(16)一端分别与左支撑杆(3)顶端和右支撑杆顶端连接,左连接架(15)和右连接架(16)另一端分别与固定杆(17)左端下半区域和支杆(18)右端下半区域连接,所述横杆(19)左端与固定杆(17)右端下半区域连接,横杆(19)右端与支杆(18)左端下半区域连接,所述转动销(20)后端与横杆(19)前端中央区域连接,所述圆板(21)中央区域设置有转动孔,转动销(20)前端穿过转动孔并与挡板(22)后端中央区域连接,所述扇形齿轮(23)顶端与圆板(21)底端连接,扇形齿轮(23)与齿条(14)啮合,所述中间杆(24)底端与圆板(21)顶端连接,中间杆(24)顶端与主动板(25)底端连接,所述滑块(26)前端与主动板(25)后端中央区域连接,所述转筒(27)外侧壁上设置有螺旋槽,滑块(26)后端伸入至螺旋槽内,所述固定杆(17)上半区域横向设置有贯通孔,所述转筒(27)左侧壁中央区域横向设置有连接孔,所述转动杆(28)左端穿过连接孔并伸入至贯通孔内,转动杆(28)外侧壁与连接孔内侧壁连接,所述支杆(18)顶端设置有第二电机(29),所述第二电机(29)左部输出端设置有第二传动轴(30),所述第二传动轴(30)左端与转动杆(28)右端连接;还包括稳固杆(31)、螺纹管(32)、带动杆(33)、固定板(34)、螺纹杆(35)和转盘(36),所述稳固杆(31)底端与底板(2)顶端左半区域连接,所述螺纹管(32)顶端与工作台(1)底端中央区域连接,所述带动杆(33)右端与螺纹管(32)左端中央区域连接,带动杆(33)顶端左半区域纵向设置有升降孔,所述稳固杆(31)顶端穿过升降孔,所述固定板(34)左端与稳固杆(31)右端下半区域连接,固定板(34)顶端中央区域纵向设置有连通孔,所述连通孔处设置有第一滚珠轴承(51),所述螺纹杆(35)下半区域表面光滑,螺纹杆(35)表面光滑部分穿过第一滚珠轴承(51)并与第一滚珠轴承(51)键连接,螺纹杆(35)底端与转盘(36)顶端中央区域连接,螺纹杆(35)顶端螺装入螺纹管(32)内。
2.如权利要求1所述的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,其特征在于,还包括受力杆(37),所述受力杆(37) 右端与右支撑杆左端上半区域连接,受力杆(37)左端设置有抽风机(38),所述抽风机(38)左部输入端设置有吸风管(39),抽风机(38)底部输出端设置有连接管(40),所述连接管(40)下方设置有收集箱(41),所述收集箱(41)底端放置在底板(2)顶端右半区域。
3.如权利要求2所述的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,其特征在于,还包括左限位块(42)和右限位块,所述左限位块(42)底端与连接杆(4)顶端左半区域连接,所述右限位块底端与连接杆(4)顶端右半区域连接。
4.如权利要求3所述的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,其特征在于,所述左压板(10)右侧壁和右压板左侧壁分别设置有一组防滑垫(43)。
5.如权利要求4所述的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,其特征在于,还包括第二滚珠轴承(44),所述第二滚珠轴承(44)安装在贯通孔处,所述转动杆(28)左端插入至第二滚珠轴承(44)内并与第二滚珠轴承(44)键连接。
6.如权利要求5所述的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,其特征在于,还包括左阻隔板(45)和右阻隔板,所述左伸缩杆(8)左端与左阻隔板(45)右端中央区域连接,所述右伸缩杆右端与右阻隔板左端中央区域连接。
7.如权利要求6所述的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,其特征在于,还包括减速机(46),所述减速机(46)位于第二电机(29)的输出端。
8.如权利要求7所述的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,其特征在于,还包括四组支架(47)和四组橡胶垫(48),所述四组支架(47)顶端分别与底板(2)底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧连接,所述四组橡胶垫(48)分别安装在四组支架(47)底端。
9.如权利要求8所述的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,其特征在于,还包括把手(49),所述把手(49)顶端与转盘(36)底端右半区域连接。
10.如权利要求9所述的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,其特征在于,还包括防护板(50),所述稳固杆(31)顶端与防护板(50)底端中央区域连接。
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