CN209312741U - 一种用于晶圆的承载装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于晶圆的承载装置，包括真空箱，所述真空箱内壁的底部固定连接有底板，所述底板顶部的左侧和右侧均固定连接有固定板，所述固定板的内侧设置有晶圆，所述固定板的内侧固定连接有位于晶圆顶部和底部的放置板，所述放置板的顶部设置有压紧机构，所述真空箱的背面连通有位于晶圆后侧的喷气孔，所述底板的顶部设置有防护机构。本实用新型通过压紧机构将晶圆压紧在放置板的顶部，防止晶圆放置后滑落，防护机构防止晶圆误掉落后进行防护减少其机械碰撞，解决了现有的晶圆承载装置安全性低的问题，该用于晶圆的承载装置，具备安全性好的优点，不易掉落便于清洁。

Description

一种用于晶圆的承载装置

技术领域

本实用新型涉及承载装置技术领域，具体为一种用于晶圆的承载装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。

在半导体的制作工艺中，晶圆要经过多道工艺处理，达到不同的工艺目的，在工艺处理使即需要承载装置对其进行承载，但现有的晶圆承载装置安全性低，导致晶圆容易掉落破碎，同时晶圆承载装置不便清洁，提高了清洁难度降低了安全性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆的承载装置，具备安全性好的优点，解决了现有的晶圆承载装置安全性低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于晶圆的承载装置，包括真空箱，所述真空箱内壁的底部固定连接有底板，所述底板顶部的左侧和右侧均固定连接有固定板，所述固定板的内侧设置有晶圆，所述固定板的内侧固定连接有位于晶圆顶部和底部的放置板，所述放置板的顶部设置有压紧机构，所述真空箱的背面连通有位于晶圆后侧的喷气孔，所述底板的顶部设置有防护机构。

优选的，所述压紧机构包括固定盒，所述固定盒的内部设置有压紧杆，所述压紧杆的底部从上至下依次贯穿固定盒和放置板并延伸至放置板的底部，所述压紧杆表面的顶部套接有挡环，所述压紧杆的表面套设有第一弹簧，所述第一弹簧的顶端与固定盒内壁的顶部接触，所述第一弹簧的底端与挡环的顶部固定连接，所述压紧杆的内侧固定连接有位于晶圆顶部的压板。

优选的，所述防护机构包括防护槽，所述防护槽内壁底部的四角均固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧的顶部设置有耐热软垫，所述耐热软垫的底部与第二弹簧的顶部固定连接。

优选的，所述底板顶部的两侧均开设有清洁槽，所述清洁槽的形状为梯形，所述压板的底部设置有第一防滑垫，所述耐热软垫为硅胶材质制成。

优选的，所述压紧杆的顶端贯穿固定盒并延伸至固定盒的顶部固定连接有拉头，所述拉头顶部的外侧开设有活动槽，所述活动槽的内部固定连接有转轴，所述转轴的表面套接有支撑杆，所述支撑杆的左侧固定连接有垫块，所述垫块的底部固定连接有第二防滑垫。

优选的，所述放置板的内部开设有通孔，所述通孔的数量不少于八个，且多组通孔呈等距离设置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过压紧机构将晶圆压紧在放置板的顶部，防止晶圆放置后滑落，防护机构防止晶圆误掉落后进行防护减少其机械碰撞，解决了现有的晶圆承载装置安全性低的问题，该用于晶圆的承载装置，具备安全性好的优点，不易掉落便于清洁。

2、本实用新型因压紧机构包括固定盒，固定盒的内部设置有压紧杆，压紧杆的底部从上至下依次贯穿固定盒和放置板并延伸至放置板的底部，压紧杆表面的顶部套接有挡环，压紧杆的表面套设有第一弹簧，第一弹簧的顶端与固定盒内壁的顶部接触，第一弹簧的底端与挡环的顶部固定连接，压紧杆的内侧固定连接有位于晶圆顶部的压板，该设计通过固定盒、压紧杆、挡环、第一弹簧和压板的设置，便于第一弹簧通过弹力使挡环向下移动，同时再通过挡环带动压紧杆向下移动，再通过压紧杆向下移动带动压板向下移动使压板将晶圆压紧，防止晶圆误掉落。

3、本实用新型因防护机构包括防护槽，防护槽内壁底部的四角均固定连接有第二弹簧，第二弹簧的顶部设置有耐热软垫，耐热软垫的底部与第二弹簧的顶部固定连接，该设计通过防护槽、第二弹簧和耐热软垫的设置，使晶圆在意外掉落时通过耐热软垫与其接触缓解机械碰撞，再通过第二弹簧使坠落的力缓解，减少碰撞力，防止晶圆损坏。

4、本实用新型因底板顶部的两侧均开设有清洁槽，清洁槽的形状为梯形，压板的底部设置有第一防滑垫，耐热软垫为硅胶材质制成，该设计通过清洁槽和第一防滑垫的设置，便于使用者通过清洁槽收集放置板顶部的浮渣灰尘，同时第一防滑垫能够提高晶圆与压板的摩擦力，防止晶圆掉落。

5、本实用新型因压紧杆的顶端贯穿固定盒并延伸至固定盒的顶部固定连接有拉头，拉头顶部的外侧开设有活动槽，活动槽的内部固定连接有转轴，转轴的表面套接有支撑杆，支撑杆的左侧固定连接有垫块，垫块的底部固定连接有第二防滑垫，该设计通过拉头、活动槽、转轴、支撑杆、垫块和第二防滑垫的设置，便于使用者通过拉头将压紧杆向上移动，同时支撑杆通过转轴进行旋转，支撑杆带动垫块的底部与固定板的顶部接触使拉头位置固定，不能够向下移动，同时第二防滑垫能够提高垫块的摩擦力，使垫块与固定板固定的更加稳定。

6、本实用新型因放置板的内部开设有通孔，通孔的数量不少于八个，且多组通孔呈等距离设置，该设计通过通孔的设置，便于使用者通过通孔使放置板顶部的灰尘残渣能够快速掉落，减少放置板灰尘的堆积，减少灰尘对晶圆的影响。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1的局部俯视剖面图；

图3为本实用新型拉头的俯视结构示意图；

图4为本实用新型A处的放大图。

图中：1真空箱、2底板、3固定板、4晶圆、5放置板、6压紧机构、61固定盒、62压紧杆、63挡环、64第一弹簧、65压板、7喷气孔、8防护机构、81防护槽、82第二弹簧、83耐热软垫、9清洁槽、10拉头、11活动槽、12转轴、13支撑杆、14垫块、15通孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，一种用于晶圆的承载装置，包括真空箱1，真空箱1内壁的底部固定连接有底板2，因底板2顶部的两侧均开设有清洁槽9，清洁槽9的形状为梯形，压板65的底部设置有第一防滑垫，耐热软垫83为硅胶材质制成，该设计通过清洁槽9和第一防滑垫的设置，便于使用者通过清洁槽9收集放置板5顶部的浮渣灰尘，同时第一防滑垫能够提高晶圆4与压板65的摩擦力，防止晶圆4掉落，底板2顶部的左侧和右侧均固定连接有固定板3，固定板3的内侧设置有晶圆4，固定板3的内侧固定连接有位于晶圆4顶部和底部的放置板5，因放置板5的内部开设有通孔15，通孔15的数量不少于八个，且多组通孔15呈等距离设置，该设计通过通孔15的设置，便于使用者通过通孔15使放置板5顶部的灰尘残渣能够快速掉落，减少放置板5灰尘的堆积，减少灰尘对晶圆4的影响，放置板5的顶部设置有压紧机构6，因压紧机构6包括固定盒61，固定盒61的内部设置有压紧杆62，压紧杆62的底部从上至下依次贯穿固定盒61和放置板5并延伸至放置板5的底部，压紧杆62表面的顶部套接有挡环63，压紧杆62的表面套设有第一弹簧64，第一弹簧64的顶端与固定盒61内壁的顶部接触，第一弹簧64的底端与挡环63的顶部固定连接，压紧杆62的内侧固定连接有位于晶圆4顶部的压板65，该设计通过固定盒61、压紧杆62、挡环63、第一弹簧64和压板65的设置，便于第一弹簧64通过弹力使挡环63向下移动，同时再通过挡环63带动压紧杆62向下移动，再通过压紧杆62向下移动带动压板65向下移动使压板65将晶圆4压紧，防止晶圆4误掉落，因压紧杆62的顶端贯穿固定盒61并延伸至固定盒61的顶部固定连接有拉头10，拉头10顶部的外侧开设有活动槽11，活动槽11的内部固定连接有转轴12，转轴12的表面套接有支撑杆13，支撑杆13的左侧固定连接有垫块14，垫块14的底部固定连接有第二防滑垫，该设计通过拉头10、活动槽11、转轴12、支撑杆13、垫块14和第二防滑垫的设置，便于使用者通过拉头10将压紧杆62向上移动，同时支撑杆13通过转轴12进行旋转，支撑杆13带动垫块14的底部与固定板3的顶部接触使拉头10位置固定，不能够向下移动，同时第二防滑垫能够提高垫块14的摩擦力，使垫块14与固定板3固定的更加稳定，真空箱1的背面连通有位于晶圆4后侧的喷气孔7，底板2的顶部设置有防护机构8，因防护机构8包括防护槽81，防护槽81内壁底部的四角均固定连接有第二弹簧82，第二弹簧82的顶部设置有耐热软垫83，耐热软垫83的底部与第二弹簧82的顶部固定连接，该设计通过防护槽81、第二弹簧82和耐热软垫83的设置，使晶圆4在意外掉落时通过耐热软垫83与其接触缓解机械碰撞，再通过第二弹簧82使坠落的力缓解，减少碰撞力，防止晶圆4损坏。

使用时，使用者旋转支撑杆13将垫块14与固定板3的顶部接触，拉头10带动压紧杆62向上移动，压紧杆62带动挡环63向上移动使第一弹簧64受力压缩，使拉头10的位置进行固定，使用者再将晶圆4放置在放置板5的内侧，再拨动支撑杆13使垫块14与固定板3脱离，使第一弹簧64通过弹力将挡环63向下带动，挡环63向下移动带动压紧杆62向下移动，压紧杆62向下移动使压板65将晶圆4压紧防止晶圆4掉落，当晶圆4意外掉落时，晶圆4砸落在耐热软垫83上，通过耐热软垫83将机械撞击缓解，耐热软垫83再通过第二弹簧82将砸落的力卸除，从而起到防护效果，提高其安全性。

综上所述：该用于晶圆的承载装置，通过通过压紧机构6将晶圆4压紧在放置板5的顶部，防止晶圆4放置后滑落，防护机构8防止晶圆4误掉落后进行防护减少其机械碰撞，解决了现有的晶圆承载装置安全性低的问题。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种用于晶圆的承载装置，包括真空箱(1)，其特征在于：所述真空箱(1)内壁的底部固定连接有底板(2)，所述底板(2)顶部的左侧和右侧均固定连接有固定板(3)，所述固定板(3)的内侧设置有晶圆(4)，所述固定板(3)的内侧固定连接有位于晶圆(4)顶部和底部的放置板(5)，所述放置板(5)的顶部设置有压紧机构(6)，所述真空箱(1)的背面连通有位于晶圆(4)后侧的喷气孔(7)，所述底板(2)的顶部设置有防护机构(8)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的承载装置，其特征在于：所述压紧机构(6)包括固定盒(61)，所述固定盒(61)的内部设置有压紧杆(62)，所述压紧杆(62)的底部从上至下依次贯穿固定盒(61)和放置板(5)并延伸至放置板(5)的底部，所述压紧杆(62)表面的顶部套接有挡环(63)，所述压紧杆(62)的表面套设有第一弹簧(64)，所述第一弹簧(64)的顶端与固定盒(61)内壁的顶部接触，所述第一弹簧(64)的底端与挡环(63)的顶部固定连接，所述压紧杆(62)的内侧固定连接有位于晶圆(4)顶部的压板(65)。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆的承载装置，其特征在于：所述防护机构(8)包括防护槽(81)，所述防护槽(81)内壁底部的四角均固定连接有第二弹簧(82)，所述第二弹簧(82)的顶部设置有耐热软垫(83)，所述耐热软垫(83)的底部与第二弹簧(82)的顶部固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆的承载装置，其特征在于：所述底板(2)顶部的两侧均开设有清洁槽(9)，所述清洁槽(9)的形状为梯形，所述压板(65)的底部设置有第一防滑垫，所述耐热软垫(83)为硅胶材质制成。

5.根据权利要求2所述的一种用于晶圆的承载装置，其特征在于：所述压紧杆(62)的顶端贯穿固定盒(61)并延伸至固定盒(61)的顶部固定连接有拉头(10)，所述拉头(10)顶部的外侧开设有活动槽(11)，所述活动槽(11)的内部固定连接有转轴(12)，所述转轴(12)的表面套接有支撑杆(13)，所述支撑杆(13)的左侧固定连接有垫块(14)，所述垫块(14)的底部固定连接有第二防滑垫。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的承载装置，其特征在于：所述放置板(5)的内部开设有通孔(15)，所述通孔(15)的数量不少于八个，且多组通孔(15)呈等距离设置。