CN209169114U - 气帘装置 - Google Patents

Abstract

一种气帘装置包含主体单元及透气座组。所述主体单元包括盖座及底座。所述盖座具有两个进气口。所述底座沿组装方向与所述盖座相间隔，所述底座具有出气长槽。所述透气座组夹设于所述盖座与所述底座间且可拆卸地连接所述盖座与所述底座，所述透气座组包括至少一透气座，所述透气座具有中空座体及至少一透气片。所述中空座体围绕界定出供气体通过的流道，所述透气片遮盖于所述流道的一端，并定义出气体可由所述进气口流经所述流道并由所述出气长槽流出的气流方向。

Description

气帘装置

技术领域

本实用新型涉及一种适用于制造或处理半导体的设备，特别是涉及一种用于保护晶圆盒的气帘装置。

背景技术

晶圆盒在半导体制程中扮演着保护晶圆不受污染并将晶圆传送至每一工作站的重要角色，因此，晶圆盒必须维持在充满保护气体的正压环境。晶圆作业设备安装有一气帘装置并用来产生一道朝下吹气的气流墙，在打开晶圆盒要取出晶圆时，通过所述气流墙能防止外部环境的污染物进入晶圆盒内。

参阅图1、图2，现有的一种气帘装置100包括一围绕界定出顶底两端呈开放状的容置空间10的一下壳体11、一安装于所述下壳体11的容置空间10且呈中空状的固定环体12、数片容置于所述固定环体12且用来过滤微粒子的透气板13，及一盖设于所述下壳体11的上壳体14。所述上壳体14具有两个用来连接外部气体源(图未示)的进气孔141，借此，形成由所述进气孔141流入所述容置空间10并经过所述透气板13且自所述下壳体11流出的所述气流墙(图未示)，通过所述气流墙的阻挡，能避免外部污染进入晶圆盒(图未示)。

虽然所述气帘装置100具有上述保护晶圆的效果，但由于所述气帘装置100的固定环体12是嵌设于所述下壳体11与所述上壳体14间，三者的外形尺寸必须互相搭配才能组装，并无法依实际需求调整所述固定环体12与所述透气板13的数量，因此，适用性不佳。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种模块化、适用性佳且能降低维护成本的气帘装置。

本实用新型的气帘装置包含主体单元，及透气座组。所述主体单元包括盖座及底座。所述盖座具有两个贯穿顶底的进气口，所述进气口用来进气。所述底座沿组装方向与所述盖座相间隔，所述底座具有贯穿顶底的出气长槽。所述透气座组夹设于所述盖座与所述底座间且沿所述组装方向可拆卸地连接所述盖座与所述底座，所述透气座组包括至少一透气座，所述透气座具有中空座体及至少一透气片。所述中空座体围绕界定出贯穿顶底并供气体通过的流道，所述透气片连接于所述中空座体并遮盖于所述流道的一端且用来供气体通过，并定义出气体可由所述进气口流经所述流道并由所述出气长槽流出的气流方向。

本实用新型的气帘装置，所述透气座组包括数个沿所述组装方向叠置于所述盖座与所述底座间的所述透气座，其中一所述透气座具有两个所述透气片。

本实用新型的气帘装置，所述盖座包括基壁，及由所述基壁朝外延伸的环壁，由所述基壁与所述环壁围绕界定出开口朝向所述透气座组且与所述进气口相通的容室。

本实用新型的气帘装置，还包含锁固单元，所述锁固单元包括数个可拆卸地连接所述主体单元与所述透气座的锁固件。

本实用新型的气帘装置，所述盖座的环壁具有数个相间隔且朝向所述透气座组并对应所述锁固件的第一连接孔，每一透气座的中空座体具有沿所述组装方向延伸且贯穿顶底的固定孔，所述底座还具有数个对应所述固定孔且沿所述组装方向延伸并贯穿顶底的第二连接孔，每一锁固件穿入各自的第二连接孔并穿经所对应的固定孔后被定位于各自的第一连接孔。

本实用新型的气帘装置，所述底座包括围绕界定出所述出气长槽的内环面、反向于所述内环面的外环面，及连接于所述内环面及所述外环面的第一表面与第二表面，所述第一表面与所述第二表面沿所述组装方向间隔设置，所述内环面具有连接于所述第二表面的直向面部，及由所述直向面部朝所述第一表面方向且向外倾斜并延伸至所述第一表面的倒角面部。

本实用新型的气帘装置，还包含挡流片，且所述主体单元沿长度方向延伸，所述长度方向实质上垂直于所述组装方向，所述挡流片沿所述长度方向延伸且包括设置于所述主体单元及所述透气座组的至少一者的连接部，及由所述连接部朝外并朝所述底座的方向倾斜延伸的斜挡部。

本实用新型的气帘装置，还包含数个密封环，其中一所述密封环设置于所述盖座与所述透气座间，另一所述密封环设置于所述底座与所述透气座间。

本实用新型的气帘装置，共包含三个所述密封环，所述透气座组包括两个所述透气座，其中一所述密封环设置于所述盖座与相邻的所述透气座间，另一所述密封环设置于所述底座与相邻的所述透气座间，再另一所述密封环设置于所述透气座间。

本实用新型的气帘装置，所述透气座的透气片是由金属材质制成且具有多个用来供气体通过的微孔。

本实用新型的有益效果在于：将所述透气座组以模块化设计，使用者可视实际需求而任意调整所述透气座组内的所述透气座的数量，适用性佳。同时利用所述透气座组可拆卸地连接所述盖座与所述底座，而能选择性地更换所述透气座，因此，维护成本较低。

附图说明

本实用新型的其他的特征及功效，将于参照图式的实施方式中清楚地呈现，其中：

图1是一种现有的气帘装置的一立体分解图；

图2是现有的所述气帘装置的一剖视立体图；

图3是本实用新型气帘装置的一第一实施例的一立体图；

图4是所述第一实施例的一立体分解图；

图5是沿着图3中的线V-V所截取的一剖视图；

图6是所述第一实施例的一透气座的一立体分解图；

图7是沿着图3中的线VII-VII所截取的一剖视图；及

图8是所述第一实施例的一不完整的立体分解图，且图中省略一主体单元的底座及一透气座组；及

图9是本实用新型的一第二实施例的一立体分解图。

具体实施方式

参阅图3、图4与图5，本实用新型气帘装置的一第一实施例，适用于安装在半导体无尘生产线的一设备(图未示)，所述气帘装置包含一主体单元2、一透气座组3、数密封环8、一气嘴单元4、一锁固单元5、一挡流片6，及一安装组7。

所述主体单元2概呈长方体且沿一长度方向L延伸，所述主体单元2包括沿一组装方向D设置的一盖座21，及一底座22，所述长度方向L实质上垂直于所述组装方向D。所述盖座21包括一基壁211，及一由所述基壁211朝外延伸的环壁212，由所述基壁211与所述环壁212围绕界定出一开口朝下的容室210。所述盖座21的基壁211具有两个沿所述组装方向D贯穿顶底且与所述容室210相通的进气口213，所述进气口213在所述长度方向L上间隔设置且用来进气。所述底座22沿所述组装方向D与所述盖座21相间隔，且具有一沿所述组装方向D贯穿顶底且沿所述长度方向L延伸的出气长槽220，在本第一实施例中，所述出气长槽220概呈细长型且偏心设置于所述底座22。

进一步来说，所述底座22包括一围绕界定出所述出气长槽220的内环面221、一反向于所述内环面221且环绕设置的外环面222，及连接于所述内环面221及所述外环面222的一第一表面223与一第二表面224，所述第一表面223与所述第二表面224沿所述组装方向D间隔设置，所述内环面221具有一连接于所述第二表面224的直向面部2211，及一由所述直向面部2211朝所述第一表面223方向且向外倾斜并延伸至所述第一表面223的倒角面部2212。

参阅图4、图5，及图6，所述透气座组3夹设于所述盖座21与所述底座22间且沿所述组装方向D可拆卸地连接所述盖座21与所述底座22。所述透气座组3包括至少一个沿所述组装方向D叠置于所述盖座21与所述底座22间的透气座31，如图4所示，在本第一实施例中是以两个所述透气座31作为说明，但能视实际情况调整所述透气座31的个数为一，或三以上。其中一所述透气座31具有一中空座体311及一透气片312，另一所述透气座31具有一个所述中空座体311及两个所述透气片312。每一透气座31的中空座体311围绕界定出一沿所述组装方向D贯穿顶底并供气体通过的流道310。每一透气座31的透气片312连接于所述中空座体311并遮盖于所述流道310，在本第一实施例中，所述透气片312由不锈钢材质制成且具有布满整面的多个微孔(图未示)，所述微孔用来供气体通过，但在其他实施例中，所述透气片312也能采用其他金属材质或复合材料制成，只要能形成所述微孔供气体通过即可。

所述密封环8分别是一种O型环，且在本第一实施例中，所述密封环8的数量为三，其中一所述密封环8设置于所述盖座21与邻近的所述透气座31间，另一所述密封环8设置于所述底座22与邻近的所述透气座31间，再另一所述密封环8设置于两个所述透气座31间。借此，利用所述密封环8能使所述透气片312被抵压固定于所述中空座体311、所述盖座21与所述底座22间，并提高组合的气密性。在其他的变化例中，也能将所述透气片312先铆接于各自的中空座体311后再以黏胶密封，而能省略所述密封环8，同样具有密封地固定的作用。

所述气嘴单元4包括两分别安装于所述盖座21的所述进气口213并用来连接外部气体A的气嘴41。在此定义出所述外部气体A经由所述气嘴41通过所述盖座21的所述进气口213，并依序流经每一透气座31的所述流道310与所述透气片312再由所述底座22的出气长槽220流出的一气流方向I。

参考图3、图4，及图8，详细来说，所述盖座21的环壁212具有数个相间隔且朝向所述透气座组3的第一连接孔214，在本第一实施例中，所述第一连接孔214排成两列且隔着所述容室210互相面对，较佳地，每一第一连接孔214是一种开口朝向所述底座22方向且没有贯穿所述基壁211的盲孔。每一透气座31的中空座体311具有沿所述组装方向D延伸且贯穿顶底并对应所述第一连接孔214的固定孔313。所述底座22还具有数个对应所述固定孔313且沿所述组装方向D由所述第一表面223延伸至所述第二表面224而贯穿顶底的第二连接孔225。

所述锁固单元5包括数个可拆卸地连接所述主体单元2与所述透气座31的锁固件51。每一锁固件51穿入各自的第二连接孔225并穿经所对应的每一透气座31的固定孔313后被锁接定位于各自的所述盖座21的第一连接孔214，而将所述主体单元2与所述透气座组3组合连接。

使用者能在拆卸所述锁固件51后，依实际需求增加或减少所述透气座31的个数并再次组装于所述盖座21与所述底座22间，本实用新型通过将所述透气座31以模块化设计，便于让使用者能随意增减所述透气座31的个数，以调整出气的均匀度，适用性较佳。此外，在任一个透气座31的所述透气片312的出气效果不佳时，只需更换所述透气座31即可，而不需要将所述透气座组3全部更换，维护成本较低。

参考图3、图5，及图8，所述挡流片6沿所述长度方向L延伸且包括一设置于所述主体单元2及所述透气座组3的连接部61，及一由所述连接部61朝外并朝所述底座22的方向倾斜延伸的斜挡部62，通过所述斜挡部62能阻挡所述设备内的气流。能理解的是，所述挡流片6也能仅设置于所述主体单元2，或仅设置于所述透气座组3，同样具有能使所述挡流片6被固定的作用。

所述安装组7设置于所述盖座21，所述安装组7包括两在所述长度方向L上相间隔的安装板71，每一安装板概呈L型且具有一锁接于所述盖座21的基壁211的固接板壁711，及一由所述固接板壁711朝外延伸的锁接板壁712，所述锁接板壁712用来将本第一实施例锁接在所述设备。在其他的变化例中，所述安装组7也能包括一个所述安装板71，且所述安装板71沿所述长度方向L延伸，同样具有将本第一实施例锁接在所述设备的作用。

参阅图3、图5与图7，借此，将本第一实施例安装在所述半导体无尘生产线的所述设备的一开口(图未示)，并使所述挡流片6远离所述开口且面向所述设备的内部，作业者通过所述设备的开口传送一晶圆盒(图未示)内的晶圆到所述设备内。所述气嘴41连接于所述外部气体A，所述外部气体A经由所述气嘴41通过所述进气口213并进入所述容室210。当本第一实施例的内部气压达到于预定值时，所述外部气体A会顺着所述气流方向I流动且由所述出气长槽220朝外流出而形成一道强烈的气流墙W，且所述气流墙W经由所述透气片312的过滤而也会被净化。通过所述气流墙W能阻挡所述设备内的污染物进入所述晶圆盒内，以维持晶圆的洁净度。

值得说明的是，所述外部气体A顺着所述底座22的所述倒角面部2212流动，能提高流动顺畅度以集中气流而增强所述气流墙W的强度。还要特别说明的是，通过所述挡流片6的斜挡部62能阻挡所述设备内部的气流干扰打散所述气流墙W，因此，能维持本第一实施例的所述气流墙W的强度。

参阅图9，本实用新型的一第二实施例类似于所述第一实施例，其差异处在于：

所述底座22的所述出气长槽220对称地设置于所述底座22的中央，且具有较大的开口尺寸，而能产生较大范围的所述气流墙W。通过拆卸所述锁固件51，即可更换不同的所述底座22以适用于各种设备，因此，适用佳性。本第二实施例同样具有与所述第一实施例相同的效果。

综上所述，本实用新型的气帘装置将所述透气座31以模块化设计，能随意组合所述透气座31的个数，适用性佳，且可更换其中一所述透气座31，维护成本较低。另外，依应用需求而选择适当流量的所述底座22，还能节省所述外部气体A的用量，以降低耗材成本，因此，确实能达成本实用新型的目的。

以上所述者，仅为本实用新型的实施例而已，当不能以此限定本实用新型实施的范围，即凡依本实用新型权利要求书及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本实用新型的范围。

Claims (10)

1.一种气帘装置，其特征在于：包含：

主体单元，包括：

盖座，具有两个贯穿顶底的进气口，所述进气口用来进气；

底座，沿组装方向与所述盖座相间隔，所述底座具有贯穿顶底的出气长槽；及

透气座组，夹设于所述盖座与所述底座间且沿所述组装方向可拆卸地连接所述盖座与所述底座，所述透气座组包括至少一透气座，所述透气座具有中空座体及至少一透气片，所述中空座体围绕界定出贯穿顶底并供气体通过的流道，所述透气片连接于所述中空座体并遮盖于所述流道的一端且用来供气体通过，并定义出气体可由所述进气口流经所述流道并由所述出气长槽流出的气流方向。

2.根据权利要求1所述的气帘装置，其特征在于：所述透气座组包括数个沿所述组装方向叠置于所述盖座与所述底座间的所述透气座，其中一所述透气座具有两个所述透气片。

3.根据权利要求2所述的气帘装置，其特征在于：所述盖座包括基壁，及由所述基壁朝外延伸的环壁，由所述基壁与所述环壁围绕界定出开口朝向所述透气座组且与所述进气口相通的容室。

4.根据权利要求3所述的气帘装置，其特征在于：还包含锁固单元，所述锁固单元包括数个可拆卸地连接所述主体单元与所述透气座的锁固件。

5.根据权利要求4所述的气帘装置，其特征在于：所述盖座的环壁具有数个相间隔且朝向所述透气座组并对应所述锁固件的第一连接孔，每一透气座的中空座体具有沿所述组装方向延伸且贯穿顶底的固定孔，所述底座还具有数个对应所述固定孔且沿所述组装方向延伸并贯穿顶底的第二连接孔，每一锁固件穿入各自的第二连接孔并穿经所对应的固定孔后被定位于各自的第一连接孔。

6.根据权利要求1所述的气帘装置，其特征在于：所述底座包括围绕界定出所述出气长槽的内环面、反向于所述内环面的外环面，及连接于所述内环面及所述外环面的第一表面与第二表面，所述第一表面与所述第二表面沿所述组装方向间隔设置，所述内环面具有连接于所述第二表面的直向面部，及由所述直向面部朝所述第一表面方向且向外倾斜并延伸至所述第一表面的倒角面部。

7.根据权利要求1所述的气帘装置，其特征在于：还包含挡流片，且所述主体单元沿长度方向延伸，所述长度方向实质上垂直于所述组装方向，所述挡流片沿所述长度方向延伸且包括设置于所述主体单元及所述透气座组的至少一者的连接部，及由所述连接部朝外并朝所述底座的方向倾斜延伸的斜挡部。

8.根据权利要求1所述的气帘装置，其特征在于：还包含数个密封环，其中一所述密封环设置于所述盖座与所述透气座间，另一所述密封环设置于所述底座与所述透气座间。

9.根据权利要求8所述的气帘装置，其特征在于：共包含三个所述密封环，所述透气座组包括两个所述透气座，其中一所述密封环设置于所述盖座与相邻的所述透气座间，另一所述密封环设置于所述底座与相邻的所述透气座间，再另一所述密封环设置于所述透气座间。

10.根据权利要求1所述的气帘装置，其特征在于：所述透气座的透气片是由金属材质制成且具有多个用来供气体通过的微孔。