CN209164646U - 一种抽真空分流气道切换机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开的抽真空分流气道切换机构，包括固定轴套、旋转轴套和阀芯组件；旋转轴套可相对转动地套设在固定轴套外侧，固定轴套外侧设有用于与抽真空装置连接的排气结构，以及与固定轴套内腔连通的第一进气口，旋转轴套外侧设有若干与第一进气口连通的第二进气口，阀芯组件包括阀芯和阀芯垫圈，阀芯垫圈密封设于固定轴套内腔内使固定轴套内腔分为第一腔体和第二腔体，排气结构与第一腔体连通，阀芯垫圈沿固定轴套内腔往复运动，使第一进气口选择性地连通第一腔体或第二腔体。本实用新型的抽真空分流气道切换机构，抽气管通过第二进气口选择性地与抽真空装置连接实现抽气管选择性工作，避免了抽真空装置和抽气管造成损坏，使用可靠。
Description
技术领域
本实用新型属于抽真空辅助装置技术领域，具体涉及一种抽真空分流气道切换机构。
背景技术
市面上的采用风机做抽真空装置的设备一般使用多个抽气管直接相连，实现抽真空装置对多个分流抽气管抽真空吸气，如果风机频繁启停，容易造成风机损坏，设备工作时需要单方向旋转时，会造成抽气管频繁弯曲和造成多条抽气管缠绕致使设备不能正常工作，限制了设备工作时的旋转角度，同时也会造成抽气管损毁，更换费时费力，给使用者带来不便。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种使设备带动抽气管旋转时不受角度限制、使用可靠的抽真空分流气道切换机构。
为了达到上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
一种抽真空分流气道切换机构，包括固定轴套、旋转轴套和阀芯组件；所述旋转轴套可相对转动地套设在所述固定轴套外侧，所述固定轴套外侧设有用于与抽真空装置连接的排气结构，以及与固定轴套内腔连通的第一进气口，所述旋转轴套外侧设有若干第二进气口，所述第一进气口通过所述第二进气口与外界连通，所述阀芯组件包括阀芯和连接在阀芯末端的阀芯垫圈，所述阀芯垫圈密封设于固定轴套内腔内使固定轴套内腔分为第一腔体和第二腔体，所述排气结构与所述第一腔体连通，所述阀芯垫圈沿固定轴套内腔轴向方向往复运动，以使第一进气口选择性地连通第一腔体或第二腔体。
与现有技术相比，本实用新型的抽真空分流气道切换机构，通过设置阀芯垫圈在固定轴套内腔轴向方向往复运动，使得抽气管通过第二进气口选择性地与抽真空装置连接实现抽气管选择性工作，避免了抽真空装置的频繁启停造成损坏，固定轴套和旋转轴套之间可相对转动也避免了抽气管之间造成缠绕或弯曲而导致损坏，使用可靠。
优选的，还包括阀芯驱动机构，所述阀芯驱动机构与所述阀芯传动连接，所述阀芯驱动机构控制阀芯伸出或缩进实现阀芯垫圈沿固定轴套内腔轴向方向往复运动；采用阀芯驱动机构控制阀芯组件工作，使用方便。
优选的，所述固定轴套与旋转轴套之间通过至少一个轴承相对转动连接；选购轴承连接的方式实现两者之间相对转动，装配使用方便。
优选的，所述轴承设置有两个，所述旋转轴套内腔内周设有对应数量的轴承安装台阶，两轴承抵靠在对应的轴承安装台阶上；采用这种结构，有效定位轴承的安装位置，方便装配。
优选的，所述第一进气口设于两轴承之间，通过这样设置，实现第一进气口和第二进气口之间密封性连通，结构设置方式简单、巧妙。
优选的，所述固定轴套靠近第一腔体一侧设有的定位轴肩，所述定位轴肩与其中一轴承安装台阶相对设置，其中一轴承的另一外侧抵靠在定位轴肩上；通过这样设置，有效固定靠近排气结构的轴承的安装位置。
优选的，所述固定轴套外侧还设有与第二腔体连通的第三进气口，所述第三进气口与外界连通；或者，所述第三进气口用于与吹气装置连接，通过这样设置，避免与第二进气口连接的抽气管停止工作时内部形成负压，加快负压消失。
优选的，还包括套设在固定轴套靠近第二腔体一侧的连接轴套，所述阀芯驱动机构与连接轴套通过连接件可拆卸连接；通过这样使阀芯驱动机构与固定轴套装配成一体，使用方便。
优选的，还包括固定安装板，所述固定安装板上设有若干连接孔，所述固定轴套或旋转轴套通过第二连接件设于固定安装板上采用这种结构，方便本实用新型抽真空分流气道切换机构整体装配。
附图说明
图1本实用新型抽真空分流气道切换机构的示意图；
图2为抽真空分流气道切换机构的爆炸图；
图3为抽真空分流气道切换机构的半剖视图。
具体实施方式
以下结合附图说明本实用新型的技术方案：
参见图1至3，本实用新型的抽真空分流气道切换机构，包括固定轴套1、旋转轴套2和阀芯31组件；所述旋转轴套2可相对转动地套设在所述固定轴套1外侧，所述固定轴套1外侧设有用于与抽真空装置连接的排气结构11，以及与固定轴套1内腔连通的第一进气口12，所述第一进气口12围绕固定轴套1外周设有若干个，所述旋转轴套2外侧设有若干第二进气口21，所述第一进气口12通过所述第二进气口21与外界连通,所述阀芯31组件包括阀芯31和连接在阀芯31末端的阀芯垫圈32，所述阀芯垫圈32密封设于固定轴套1内腔内使固定轴套1内腔分为第一腔体101和第二腔体102，所述排气结构11与所述第一腔体101连通，所述阀芯垫圈32沿固定轴套1内腔轴向方向往复运动，以使第一进气口12选择性地连通第一腔体101或第二腔体102。
与现有技术相比，本实用新型的抽真空分流气道切换机构，通过设置阀芯垫圈32在固定轴套1内腔轴向方向往复运动，使得抽气管通过第二进气口21选择性地与抽真空装置连接实现抽气管选择性工作，避免了抽真空装置的频繁启停造成损坏，固定轴套1和旋转轴套2之间可相对转动也避免了抽气管之间造成缠绕或弯曲而导致损坏，使用可靠。
参见图2和图3，作为优选方案，所述阀芯垫圈32和阀芯31优选为一体设置，还包括阀芯驱动机构33，在本实施例中，所述阀芯驱动机构33为气缸，所述阀芯31组件通过内六角螺钉30与阀芯驱动机构33的输出端连接，实现所述阀芯驱动机构33与所述阀芯31传动连接；所述阀芯驱动机构33控制阀芯31伸出或缩进实现阀芯垫圈32沿固定轴套1内腔轴向方向往复运动；采用阀芯驱动机构33控制阀芯31组件工作，使用方便。
作为优选方案，所述固定轴套1与旋转轴套2之间通过至少一个轴承相对转动连接；在本实施例中，所述轴承设置有两个，包括第一轴承51和第二轴承52，所述旋转轴套2内腔内周设有对应数量的轴承安装台阶22，两轴承的外侧抵靠在对应的轴承安装台阶22上；采用这种结构，有效定位轴承的安装位置，方便装配。
参见图3，作为进一步优选方案，所述第一进气口12设于两轴承之间，具体的，所述旋转轴套2内腔中部内周设有安装凸座220，所述安装凸座220两侧与固定轴套1内壁之间形成所述轴承安装台阶22，所述第一进气口12和第二进气口21对应安装凸座220设置，两轴承分别与固定轴套1与旋转轴套2密封连接，从而第一进气12、第二进气口21和旋转轴套2内腔之间密封连通，通过这样设置，实现第一进气口12和第二进气口21之间密封性连通，结构设置方式简单、巧妙。
参见图1至3，作为优选方案，所述排气结构11为设于固定轴套1端部的抽气出口，所述固定轴套1靠近第一腔体101一侧设有的定位轴肩13，所述定位轴肩13与其中一轴承安装台阶22相对设置，第一轴承51的另一外侧抵靠在定位轴肩13上；通过这样设置，有效固定第一轴承的安装位置。
参见图2和图3，作为优选方案，所述固定轴套1外侧还设有若干与第二腔体102连通的第三进气口14，所述第三进气口14与外界连通；或者，所述第三进气口14用于与吹气装置连接，通过这样设置，避免与第二进气口21连接的抽气管停止工作时内部形成负压，加快负压消失。
进一步的，所述固定轴套1位于第三进气口14外侧设有吹气转接套6，吹气转接套6抵靠在所述旋转轴套2靠近第二腔体102的一侧，结合第一轴承101固定旋转轴套2的安装位置，所述吹气转接套6设有连通第三进气口14的吹气入口61，所述吹气入口61用于与吹气装置连接。
作为优选方案，还包括套设在固定轴套1靠近第二腔体102一侧的连接轴套34，所述连接轴套34抵靠在吹气转接套6外侧以固定其安装位置，所述阀芯驱动机构33与连接轴套34通过连接件(如连接螺钉等)可拆卸连接；通过这样使阀芯驱动机构33与固定轴套1装配成一体，使用方便。
参见图1，作为优选方案，还包括固定安装板7，所述固定安装板上设有若干连接孔70，所述固定轴套1或旋转轴套2通过第二连接件(如连接螺钉等)设于固定安装板7上，在本实施例中所述固定安装板7固定设于旋转轴套2，这样设置方便本实用新型抽真空分流气道切换机构整体装配。
根据上述说明书的揭示和教导，本实用新型所属领域的技术人员还可以对上述实施方式进行变更和修改。因此，本实用新型并不局限于上面揭示和描述的具体实施方式，对本实用新型的一些修改和变更也应当落入本实用新型的权利要求的保护范围内。此外，尽管本说明书中使用了一些特定的术语，但这些术语只是为了方便说明，并不对本实用新型构成任何限制。
Claims (10)
1.一种抽真空分流气道切换机构，其特征在于：包括固定轴套、旋转轴套和阀芯组件；所述旋转轴套可相对转动地套设在所述固定轴套外侧，所述固定轴套外侧设有用于与抽真空装置连接的排气结构，以及与固定轴套内腔连通的第一进气口，所述旋转轴套外侧设有若干第二进气口，所述第一进气口通过所述第二进气口与外界连通，所述阀芯组件包括阀芯和连接在阀芯末端的阀芯垫圈，所述阀芯垫圈密封设于固定轴套内腔内使固定轴套内腔分为第一腔体和第二腔体，所述排气结构与所述第一腔体连通，所述阀芯垫圈沿固定轴套内腔轴向方向往复运动，以使第一进气口选择性地连通第一腔体或第二腔体。
2.根据权利要求1所述的抽真空分流气道切换机构，其特征在于：还包括阀芯驱动机构，所述阀芯驱动机构与所述阀芯传动连接，所述阀芯驱动机构控制阀芯伸出或缩进实现阀芯垫圈沿固定轴套内腔轴向方向往复运动。
3.根据权利要求1所述的抽真空分流气道切换机构，其特征在于：所述固定轴套与旋转轴套之间通过至少一个轴承相对转动连接。
4.根据权利要求3所述的抽真空分流气道切换机构，其特征在于：所述轴承设置有两个，所述旋转轴套内腔内周设有对应数量的轴承安装台阶，两轴承抵靠在对应的轴承安装台阶上。
5.根据权利要求4所述的抽真空分流气道切换机构，其特征在于：所述第一进气口设于两轴承之间。
6.根据权利要求4或5所述的抽真空分流气道切换机构，其特征在于：所述固定轴套靠近第一腔体一侧设有的定位轴肩，所述定位轴肩与其中一轴承安装台阶相对设置，其中一轴承的另一外侧抵靠在定位轴肩上。
7.根据权利要求1所述的抽真空分流气道切换机构，其特征在于：所述固定轴套外侧还设有与第二腔体连通的第三进气口，所述第三进气口与外界连通。
8.根据权利要求7所述的抽真空分流气道切换机构，其特征在于：所述第三进气口用于与吹气装置连接。
9.根据权利要求2所述的抽真空分流气道切换机构，其特征在于：还包括套设在固定轴套靠近第二腔体一侧的连接轴套，所述阀芯驱动机构与连接轴套通过连接件可拆卸连接。
10.根据权利要求1所述的抽真空分流气道切换机构，其特征在于：还包括固定安装板，所述固定安装板上设有若干连接孔，所述固定轴套或旋转轴套通过第二连接件设于固定安装板上。
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|---|---|---|---|---|
| CN110469737A (zh) * | 2019-09-16 | 2019-11-19 | 深圳市集银科技有限公司 | 一种真空气路360度旋转机构 |
| CN112652553A (zh) * | 2020-12-09 | 2021-04-13 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 装载腔室及半导体加工设备 |
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