CN209129955U - 用于流体控制装置的接头模块 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及用于流体控制装置的接头模块，该接头包括第一单元以及第二单元以形成为具特定形状的接头，如此一来，该接头与相邻的接头彼此叠合而具有简易拆卸的效果，本实用新型亦提供包括该接头的流体控制装置。

Description

用于流体控制装置的接头模块

技术领域

本实用新型涉及一种用于流体控制装置的接头模块，尤指一种可简易拆解和组装，以及弹性化模块与高密封性的流体控制装置。

背景技术

流体控制装置为半导体产业中常使用的一种装置，其目的在于供给半导体制造过程中，包括扩散、蚀刻、溅射等过程所需的气体。目前流体控制装置主要包括多种设备，譬如减压阀、压力计、质量流量控制器、气体过滤器、手动阀、第一截止阀、第二截止阀等，并包括用于连接该些流体控制设备的各式接头，以构成通路使流体得以顺利流通。

即便流体控制装置已广泛地应用于半导体产业，然仍有缺陷待改善。举例来说，由于流体控制装置中包括多种设备，故在流体控制装置的拆卸及组装难易度即为一待改善的议题，目前已提出的解决方案包括减少流体控制装置中所使用的组件数量，进而达到组装容易的效果。

譬如，美国专利公开号US20150075660A1的流体控制装置亦提出组装问题的改善方法。其装置中包括将多个流体控制机器串行配置成一列的上层以及用来连接上层的多个流体控制机器的通路块的下层，该些相邻的通路块之间彼此通过倒U字型配管连接，不仅容易并用多列用通路块及单列用通路块，也容易进行行列数的增减。

除此之外，流经流体控制装置的流体之中有些带有腐蚀性，是以，除了需改善流体控制装置的组件抗腐蚀性外、亦得考虑清洁维护的难易。再者，流体在流体控制装置中流动时也常出现泄漏的问题，特别当流动的气体带有危险或人体危害的时候，更是需要仔细避免流体外泄问题。

有鉴于此，亟需开发出一种可改善上述缺陷的新颖性流体控制装置，以满足产业的需求。

实用新型内容

本实用新型主要目的，在于解决现有流体控制装置不易拆解或组装的问题。

本实用新型另一目的，在于改善现有用于流体控制装置的接头中，气体通道容易有颗粒残留且清洗不易的缺点。

本实用新型又一目的，在于降低气体在流体控制装置流动的过程中泄漏的风险。

为了达到上述目的，本实用新型一实施例中提供一种包括至少两个流体流通孔的用于流体控制装置的接头，其包括：一第一单元，具有一上表面、一与该上表面相对的下表面、一设置于该上表面的第一流体流通孔、一设置于该上表面的第二流体流通孔以及一连通该第一流体流通孔与该第二流体流通孔且贯穿于设置该第一单元之中的第一信道；以及一第二单元，设置于该第一单元之下，包括一自该第一单元的该下表面的一部分突出的定位块以及一相邻于该下表面的另一部分与该定位块的第一凹陷部。

为了达到上述目的，本实用新型另一实施例中提供一种包括至少三个流体流通孔的用于流体控制装置的接头，其包括：一第一单元，具有一上表面、一与该上表面相对的下表面、一设置于该上表面的第一流体流通孔、一设置于该上表面的第二流体流通孔、以及一设置于该上表面的第四流体流通孔，该第一流体流通孔与该第四流体流通孔之间设置有一第一通道以连通该第一流体流通孔与该第四流体流通孔；一延伸单元，该延伸单元自该第一单元的一侧端朝外突出，该延伸单元包括一第三流体流通孔，且该第三流体流通孔和该第二流体流通孔之间设置有一第二通道以连通该第二流体流通孔与该第三流体流通孔；以及一第二单元，设置于该第一单元之下，包括一自该第一单元的该下表面的一部分突出的定位块以及一相邻于该下表面的另一部分与该定位块的第一凹陷部。

本实用新型又一实施例提供一种至少包括四个流体流通孔的接头，包括：一第一单元，具有一上表面、一与该上表面相对的下表面、一设置于该上表面的第一流体流通孔、一设置于该上表面的第二流体流通孔、一设置于该上表面的第四流体流通孔、一设置于该上表面的第五流体流通孔以及一设置于该上表面的第六流体流通孔，其中，该第一流体流通孔与该第五流体流通孔之间设置有一第一通道以连通该第一流体流通孔与该第五流体流通孔，该第二流体流通孔与该第六流体流通孔之间设置有一第二通道以连通该第二流体流通孔与该第六流体流通孔；一延伸单元，该延伸单元自该第一单元的一侧端朝外突出，该延伸单元包括一第三流体流通孔，且该第三流体流通孔与该第四流体流通孔之间设置有一第三通道以连通该第三流体流通孔与该第四流体流通孔；以及一第二单元，设置于该第一单元之下，包括一自该第一单元的该下表面的一部分突出的定位块以及一相邻于该下表面的另一部分与该定位块的第一凹陷部。

本实用新型再一实施例提供一种至少包括六个流体流通孔的接头，包括：一第一单元，具有一上表面、一与该上表面相对的下表面、一设置于该上表面的第一流体流通孔、一设置于该上表面的第二流体流通孔、一设置于该上表面的第四流体流通孔、一设置于该上表面的第五流体流通孔以及一设置于该上表面的第六流体流通孔，其中，该第一流体流通孔与该第五流体流通孔之间设置有一第一通道以连通该第一流体流通孔与该第五流体流通孔，该第二流体流通孔与该第六流体流通孔之间设置有一第二通道以连通该第二流体流通孔与该第六流体流通孔；一延伸单元，该延伸单元自该第一单元的一侧端朝外突出，该延伸单元包括一第三流体流通孔，且该第三流体流通孔与该第四流体流通孔之间设置有一第三通道以连通该第三流体流通孔与该第四流体流通孔；以及一第二单元，设置于该第一单元之下，包括一自该第一单元的该下表面的一部分突出的定位块以及一相邻于该下表面的另一部分与该定位块的第一凹陷部。

本实用新型还提供一种用于流体控制装置的接头模块，包括：多个连接块，该连接块沿一轴向排列，该连接块各包括一上半部以及一下半部，该上半部包括至少一流体入口、至少一流体出口、以及至少一连通该流体入口和该流体出口之间且朝一水平方向延伸的连接通道，该下半部具有一凹陷部及一远离该凹陷部并沿该轴向延伸突出的舌部，其中，该连接通道高于该舌部的一上表面；其中，相邻的该连接块通过该舌部容设于该凹陷部内而彼此连接。

本实用新型还提供一种用于流体控制装置的接头模块，包括：多个连接块，该连接块沿一轴向排列，该连接块各包括至少一流体入口、至少一流体出口、以及至少一连通该流体入口和该流体出口之间且朝一水平方向延伸而和该连接块的一底面相距一高度的连接通道，其中，该连接块的一端形成一突出的第一舌部，另一端形成一凹陷部，相邻的该连接块通过该第一舌部容设于该凹陷部内而彼此连接。

本实用新型还提供一种流体控制装置，包括：

一基座；

一设置于该基座上的接头模块，并包括：

一第一接头，包括：

一第一单元，具有一第一上表面、一与该第一上表面相对的第一下表面、一设置于该第一上表面的第一流体流通孔、一设置于该第一上表面的第二流体流通孔以及一连通该第一流体流通孔与该第二流体流通孔且贯穿于该第一单元之中的第一信道；以及

一第二单元，设置于该第一单元之下，包括一自该第一单元的该第一下表面的一部分突出的第一定位块以及一相邻于该第一下表面的另一部分与该第一定位块的第一凹陷部；以及

一第二接头，包括：

一第三单元，具有一第二上表面、一与该第二上表面相对的第二下表面、一设置于该第二上表面的第三流体流通孔、一设置于该第二上表面的第四流体流通孔以及一连通该第三流体流通孔与该第四流体流通孔且贯穿于该第三单元之中的第二信道；以及

一第四单元，设置于该第三单元之下，包括一自该第三单元的该第二下表面的一部分突出的第二定位块、一相邻于该第二下表面的另一部分与该二定位块的第二凹陷部以及一远离该第二凹陷部延伸的舌部，其中，该第一接头通过该第二单元的该第一凹陷部容设该第四单元的该舌部而和该第二接头彼此相邻靠接；以及

一流体控制件，通过该接头模块而紧固于该基座之上，且该流体控制件跨接于该第一接头和该第二接头。

本实用新型还提供一种流体控制装置，包括：

一沿一轴向延伸的基座；

一设置于该基座上方的流体控制件，该流体控制件具有一出口以及一入口；

一设置于该流体控制件和该基座之间的接头模块，包括：

多个连接块，该连接块沿该轴向排列，该连接块各包括：

一流体通道，包括设置于该连接块的一上表面的一流体入口及一流体出口、以及一连通该流体入口和该流体出口的U形连接通道；

一上舌部，突出形成于该连接块的一端，该上舌部具有一贯穿该上舌部的一底面的第一固定孔；以及

一下舌部，突出形成于该连接块的另一端，该下舌部具有一贯穿该下舌部的一顶面的第二固定孔；以及

一固定件，穿设于该连接块的该上舌部的该第一固定孔以及相邻的该连接块的该下舌部的该第二固定孔；

其中，该流体控制件跨接于两相邻的该连接块，且该流体控制件的该出口与其中一连接块的该流体入口连接，该流体控制件的该入口与另一连接块的该流体出口连接。

本实用新型还提供一种流体控制装置，包括：

一沿一轴向延伸的基座；

一设置于该基座上方的流体控制件，该流体控制件具有一出口以及一入口；

一设置于该流体控制件和该基座之间的接头模块，包括：

多个连接块，该连接块沿该轴向排列，该连接块各包括：

一流体通道，包括设置于该连接块的一上表面的一流体入口及一流体出口、以及一连通该流体入口和该流体出口的U形连接通道；

一上舌部，突出形成于该连接块的一端，该上舌部具有一贯穿该上舌部的一底面的第一固定孔；以及

一下舌部，突出形成于该连接块的另一端，该下舌部具有一贯穿该下舌部的一顶面的第二固定孔以及一贯穿该下舌部的一底面的第三固定孔；以及

一上固定件，穿设于该连接块的该上舌部的该第一固定孔以及相邻的该连接块的该下舌部的该第二固定孔；以及

一下固定件，穿设于该连接块的该下舌部的该第三固定孔以及该基座；

其中，该流体控制件跨接于两相邻的该连接块，且该流体控制件的该出口与其中一连接块的该流体入口连接，该流体控制件的该入口与另一连接块的该流体出口连接。

是以，本实用新型相较于现有技术所能达到的功效在于：

(1)本实用新型的流体控制装置通过具有特定形状的接头连结，该接头可简单地与相邻接头彼此叠合而具有简易拆卸或组装的优点，进而解决现有流体控制装置不易拆解或组装的问题；且基于上述接头，可以让该流体控制装置的组态具有模块化的优点，利用不同接头的排列组合，弹性地和众多流体控制件的组合。

(2)本实用新型的接头设计，使得当流体从一流体控制件经过该接头流动至相邻的流体控制件时，该流体仅经过单一的接头中的流体通道，而非多个次通道彼此相接所组成的流体通道；换言之，相邻接头之间的组装，并无设计流体通道的接合，据此降低流体信道的接口，减少流体外泄的可能而拥有良好的密封性。

(3)本实用新型的流体流通孔及/或该些流体流通孔之间的通道具有一镜面的表面，可有效改善流体流经时颗粒残留问题。

附图说明

图1A，为本实用新型2埠接头的第一态样的立体图。

图1B，为本实用新型2埠接头的第一态样的左侧视图。

图1C，为本实用新型2埠接头的第一态样的仰视图。

图1D，为本实用新型2埠接头的第一态样的俯视图。

图1E，为图1D的A-A剖视图。

图1F，为图1D的B-B剖视图。

图2，为本实用新型2埠接头的第二态样的立体图。

图3A，为本实用新型2埠接头的第三态样的立体图。

图3B，为本实用新型2埠接头的第三态样的左侧视图。

图3C，为本实用新型2埠接头的第三态样的仰视图。

图3D，为本实用新型2埠接头的第三态样的俯视图。

图3E，为图3D的C-C剖视图。

图4，为本实用新型2埠接头的第四态样的立体图。

图5A，为本实用新型3埠接头的第一态样的立体图。

图5B，为本实用新型3埠接头的第一态样的另一视角立体图。

图5C，本实用新型3埠接头的第一态样的左侧视图。

图5D，为本实用新型3埠接头的第一态样的仰视图。

图5E，为本实用新型3埠接头的第一态样的俯视图。

图5F，为图5E的D-D剖视图。

图5G，为图5E的E-E剖视图。

图6，为本实用新型3埠接头的第二态样的立体图。

图7A，为本实用新型4埠以上接头的第一态样的立体图。

图7B，为图7A的F-F剖视图。

图7C，为图7A的G-G剖视图。

图8，为本实用新型4埠以上接头的第二态样的立体图。

图9A，为本实用新型4埠以上接头的第三态样的立体图。

图9B，为本实用新型4埠以上接头的第三态样的左侧视图。

图9C，为本实用新型4埠以上接头的第三态样的仰视图。

图9D，为本实用新型4埠以上接头的第三态样的俯视图。

图9E，为图9D的H-H剖视图。

图9F，为图9D的I-I剖视图。

图10A，为本实用新型连接件的第一态样的立体图。

图10B，为图10A的J-J剖面图。

图10C，为图10A的K-K剖面图。

图11A，为本实用新型连接件的第二态样的立体图。

图11B，为图11A的L-L剖面图。

图12A，为本实用新型一实施例的流体控制装置的立体图。

图12B，为本实用新型一实施例的流体控制装置另一视角的立体图。

图12C，为本实用新型一实施例的流体控制装置的分解图。

图13，为本实用新型另一实施例的流体控制装置示意图。

具体实施方式

涉及本实用新型的详细说明及技术内容，现就配合图式说明如下：

本实用新型的流体控制装置中包括有多个排成一列的流体控制件、以及多个对应该些流体控制件的接头，且每一流体控制件与其接头连接使流体得以在连通的该流体控制件及在接头之间流动。

本实用新型的流体控制装置所包括的流体控制件并无特别的限制，可视需求任意选用。于一具体实施例中，该流体控制件选自由减压阀、压力计、质量流量控制器、过滤器、手动阀、2埠截止阀、3埠截止阀、高洁净调压阀、压力传感器及其组合所组成的群组。更具体地，可包括：手动阀、2埠截止阀、3埠截止阀、高洁净调压阀、压力传感器、过滤器、2埠截止阀、质量流量控制器、3埠截止阀、以及2埠截止阀。

而关于用于本实用新型流体控制装置的接头，依据其所具有的气路流通口数量可分为2埠接头、3埠接头、4埠以上接头、以及连接件，下文中将就该些接头进行说明。此外，在这些接头中，包括有多个单元，该单元各包括有上表面、下表面、第一侧表面、第二侧表面、第三侧表面、及第四侧表面等，为叙述上的方便，将同一方位的表面以相同名称描述，但冠以不同的标号，藉此区隔。

2埠接头

本实用新型的2埠接头指一接头上有两个流体流通孔，其中一为流体入口，另一为流体出口。

图1A至图1F为本实用新型2埠接头的第一态样1a。参图1A与图1B所示，该2埠接头1a具有一第一单元11以及一第二单元12，该第一单元11设置于该第二单元12上。

该第一单元11包括一第一定位块11a以及一第一舌部11c，且该第一单元11还具有一上表面111、一与该上表面111相对的下表面112、以及分别与该上表面111及该下表面112连接的一第一侧表面113、一第二侧表面114、一第三侧表面115、及一第四侧表面116，该第一侧表面113与该第三侧表面115对应设置，而该第二侧表面114与该第四侧表面116对应设置。该第二单元12包括一第二定位块12a以及一第二凹陷部12b，该第二定位块12a自该第一单元11的该下表面112的一部分突出，该第一单元11的该下表面112的另一部分则因该第二定位块12a的设置而内凹成该第二凹陷部12b，该第二凹陷部12b相邻于该下表面112的另一部分与该第二定位块12a之间，如图1E所示。其中该第二单元12具有一下表面122以及分别连接该下表面122的一第一侧表面123、一第二侧表面124、一第三侧表面125、及一第四侧表面126，该第一侧表面123与该第三侧表面125对应设置，而该第二侧表面124与该第四侧表面126对应设置。

该第一单元11与该第二单元12具有相同之宽度W，该第一单元11的长度L1则大于该第二单元12的长度L2，该第一单元11与该第二单元12为一体成形的结构，该第一单元11的该第三侧表面115与该第二单元12的该第三侧表面125切齐且成为一体成形的一面。同样地，该第一单元11的该第二侧表面114与该第二单元12的该第二侧表面124为一体成形的一面、该第一单元11的该第四侧表面116与该第二单元12的该第四侧表面126亦为一体成形的一面。

请续参考图1C、图1D与图1F，该第一单元11包括一第一定位销孔1111a、一第二定位销孔1111b、一第一流体流通孔1112a、一第二流体流通孔1112b、一第一螺纹孔1113a、一第二螺纹孔1113b、一第三螺纹孔1113c、一第四螺纹孔1113d、一第一下螺纹孔1121a、一第二下螺纹孔1121b、一第一螺栓孔1114a以及一第二螺栓孔1114b。其中，该第一定位销孔1111a及该第二定位销孔1111b设置于该上表面111靠近该第一侧表面113的一侧，且为一贯穿该上表面111以及该下表面112的贯孔。

该第一流体流通孔1112a及该第二流体流通孔1112b则分别设置于该上表面111靠近该第一侧表面113以及该第三侧表面115的一侧，其中，该第一流体流通孔1112a设置于该第一定位销孔1111a及第二定位销孔1111b之间、该第二流体流通孔1112b则设置在第三螺纹孔1113c及第四螺纹孔1113d之间。请参图1E，于该第一流体流通孔1112a及第二流体流通孔1112b之间设置有一第一通道1115a以连通该第一流体流通孔1112a及第二流体流通孔1112b，本实施例中，该第一通道1115a自该第一单元11靠近该第二定位块12a的一端延伸至该第一单元11靠近该第二凹陷部12b的一端，亦可视为自该第一单元11靠近该第三侧表面115的一端延伸至该第一单元11靠近该第一侧表面113的一端。为了避免流体流经该第一通道1115a时残存其中，可对该第一通道1115a进行处理使之具有一镜面表面。上述的「处理」，举例来说，可先在该第一侧表面113上设置一连通该第一通道1115a的开口并对该第一通道1115a进行一抛光处理使之具有一镜面表面之后，再以焊接方式将该开口封堵起来。

该第一螺纹孔1113a、该第二螺纹孔1113b、该第三螺纹孔1113c、该第四螺纹孔1113d、该第一下螺纹孔1121a、以及该第二下螺纹孔1121b均为具有螺纹的盲孔，即非贯穿的孔洞，其中，该第一螺纹孔1113a及该第二螺纹孔1113b设置在该上表面111靠近该第一侧表面113的一侧，该第一螺纹孔1113a邻近该第一定位销孔1111a，该第二螺纹孔1113b邻近该第二定位销孔1111b；而该第三螺纹孔1113c及该第四螺纹孔1113d设置在该上表面111靠近该第三侧表面115的一侧，且该第三螺纹孔1113c靠近该第二侧表面114、该第四螺纹孔1113d靠近该第四侧表面116；该第一下螺纹孔1121a及该第二下螺纹孔1121b设置在该下表面112，且靠近该第一螺栓孔1114a以及该第二螺栓孔1114b。

请参阅图1E，本实用新型的一实施例中，该第二流体流通孔1112b包括一扩大部11121、一台阶面11122以及一通道部11123，该扩大部11121的内径大于该通道部11123，该台阶面11122连接于该扩大部11121和该通道部11123之间并为一抛光镜面，藉此使该第二流体流通孔1112b与其他流体控制件连通时，可以达到密封的效果。其余实施例与态样中的流体流通孔，结构同上，以下将不赘述。

该第一螺栓孔1114a以及该第二螺栓孔1114b则分别设置于该上表面111靠近该第二侧表面114的一侧以及靠近该第四侧表面116的一侧。更具体地，该第一螺栓孔1114a设置在靠近该第一螺纹孔1113a与该第三螺纹孔1113c之间；而该第二螺栓孔1114b设置在靠近该第二螺纹孔1113b及该第四螺纹孔1113d之间。该第一螺栓孔1114a以及该第二螺栓孔1114b均为一贯通该上表面111以及该下表面112的贯孔，且该第一螺栓孔1114a以及该第二螺栓孔1114b的该贯孔中均设有一凸出部，使该第一螺栓孔1114a以及该第二螺栓孔1114b的该贯孔具有不同的直径R1及R2，其中，靠近该上表面111的直径为R1、而靠近该下表面112的直径为R2，且R1大于R2，如图1F所示。

本实用新型2埠接头的第二态样，如图2所示，该2埠接头1b除了其第三螺纹孔1113c与第四螺纹孔1113d之间的距离，相较第一态样1a中第三螺纹孔1113c以及第四螺纹孔1113d之间的距离更短以外，其余配置和结构与上述的第一态样1a相同。

图3A至图3E为本实用新型2埠接头的第三态样1c。该2埠接头1c具有一第一单元11以及一第二单元12，该第一单元11包括一第一定位块11a、一第一凹陷部11b以及一第一舌部11c，且该第一单元11还具有一上表面111、一与该上表面111相对的下表面112、以及分别与该上表面111及该下表面112连接的一第一侧表面113、一第二侧表面114、一第三侧表面115、及一第四侧表面116，该第一侧表面113与该第三侧表面115对应设置，而该第二侧表面114与该第四侧表面116对应设置；而该第二单元12包括一第二定位块12a、一第二凹陷部12b以及一第二舌部12c，该第二定位块12a自该第一单元11的该下表面112的一部分突出，该第一单元11的该下表面112的另一部分则因该第二定位块12a的设置而内凹成该第二凹陷部12b，该第二凹陷部12b相邻于该下表面112的另一部分与该第二定位块12a之间，如图3E所示。而该第二舌部12c自该第二定位块12a朝远离该第二凹陷部12b的一侧延伸且突出于该第一单元11，该第二单元12具有一上表面121、一与该上表面121相对的下表面122、以及分别与该上表面121及该下表面122连接的一第一侧表面123、一第二侧表面124、一第三侧表面125、及一第四侧表面126，该第一侧表面123与该第三侧表面125对应设置，而该第二侧表面124与该第四侧表面126对应设置。

本实施例中，该第一单元11与该第二单元12为一体成形的结构。详细来说，该第一单元11与该第二单元12具有相同的宽度W，该第一单元11的该第二侧表面114与该第二单元12的该第二侧表面124切齐形成一Z形平面、该第一单元11的该第四侧表面116与该第二单元12的该第四侧表面126亦切齐形成一Z形平面。

请参图3C、图3D，该第一单元11还包括一第一定位销孔1111a、一第二定位销孔1111b、一第一流体流通孔1112a、一第二流体流通孔1112b、一第一螺纹孔1113a、一第二螺纹孔1113b、一第三螺纹孔1113c、一第四螺纹孔1113d、一第一下螺纹孔1121a、一第二下螺纹孔1121b、一第一螺栓孔1114a以及一第二螺栓孔1114b。

该第一定位销孔1111a和该第二定位销孔1111b均为贯穿该上表面111与该下表面112的贯孔，该第一定位销孔1111a介于该第一螺纹孔1113a与该第一侧表面113之间，该第二定位销孔1111b介于该第二螺纹孔1113b与该第一侧表面113之间。该第一流体流通孔1112a及该第二流体流通孔1112b分别设置于该上表面111靠近该第一侧表面113以及该第三侧表面115的一侧。该第一流体流通孔1112a及该第二流体流通孔1112b之间设置有一第一通道1115a连通该第一流体流通孔1112a及该第二流体流通孔1112b，本实施例中，该第一通道1115a自该第一单元11靠近该第二定位块12a的一端延伸至该第一单元11靠近该第二凹陷部12b的一端。为了避免流体流经该第一通道1115a时残存其中，可如前文所述地对该通道进行抛光处理而使其具有一镜面表面。

该第一螺纹孔1113a、该第二螺纹孔1113b、该第三螺纹孔1113c、该第四螺纹孔1113d、该第一下螺纹孔1121a、以及该第二下螺纹孔1121b均为具有螺纹的盲孔，其中，该第一螺纹孔1113a及该第二螺纹孔1113b设置在该第一单元11的该上表面111靠近该第一侧表面113的一侧；该第三螺纹孔1113c设置在该上表面111靠近该第二侧表面114的一侧，而该第四螺纹孔1113d则靠近该第四侧表面116，本态样中，该第一螺纹孔1113a、该第二螺纹孔1113b、以及该第二流体流通孔1112b的排列略呈一等腰三角形的顶点；该第一下螺纹孔1121a及该第二下螺纹孔1121b设置在该下表面112，且靠近该第一螺栓孔1114a以及该第二螺栓孔1114b。

该第一螺栓孔1114a以及该第二螺栓孔1114b均为贯通该上表面111以及该下表面112的贯孔，该贯孔中均设有一凸出部，使该第一螺栓孔1114a以及该第二螺栓孔1114b的该贯孔具有不同的直径R1及R2：靠近该上表面111的直径为R1、而靠近该下表面112的直径为R2，且R1大于R2(该螺栓孔的结构请参考图1F)。本态样中，该第一螺栓孔1114a设置于该第一螺纹孔1113a及该第三螺纹孔1113c之间，该第二螺栓孔1114b则设置于该第二螺纹孔1113b及该第四螺纹孔1113d之间。

该第二单元12还包括一第一定位销孔1211a、一第二定位销孔1211b、一第一贯孔1216a、一第二贯孔1216b、一第五螺纹孔1213e以及一第六螺纹孔1213f。

该第一定位销孔1211a及该第二定位销孔1211b设置于该第二单元12的该上表面121靠近该第一单元11的一侧，且均为贯穿该上表面121以及该下表面122的贯孔。该第五螺纹孔1213e以及第六螺纹孔1213f则是设置在该第二单元12的该上表面121远离该第一单元11的一侧，本态样中，该第五螺纹孔1213e以及第六螺纹孔1213f为贯穿该上表面121以及该下表面122的贯孔，该第一贯孔1216a及该第二贯孔1216b则分别设置于该第一定位销孔1211a与该第五螺纹孔1213e之间、以及该第二定位销孔1211b与该第六螺纹孔1213f之间。

本实用新型2埠接头的第四态样1d，如图4所示。该2埠接头1d和该2埠接头1c之间的差异为，该2埠接头1d不具有该第一定位销孔1111a、该第二定位销孔1111b、该第一下螺纹孔1121a以及该第二下螺纹孔1121b，且该第一螺纹孔1113a及该第二螺纹孔1113b彼此较靠近，且相对于该第一流体流通孔1112a相互对称设置，此外，该第一螺纹孔1113a、该第二螺纹孔1113b以及该第一流体流通孔1112a排列于一虚拟直线上。其余配置和结构与上述的第三态样1c相同。

3埠接头

本实用新型的3埠接头指一接头上有三个可作为流体入口或流体出口的流通孔，举例来说，实际使用时可为一流体入口及两流体出口、两流体入口及一流体出口、或者仅使用其中两个流通孔作为一流体入口及一流体出口。

图5A至图5G为本实用新型3埠接头的第一态样2a，该3埠接头2a具有一第一单元11、一第二单元12以及一延伸单元13，该第一单元11包括一第一定位块11a、一第一凹陷部11b以及一第一舌部11c，该第一单元11具有一上表面111、一与该上表面111相对的下表面112、以及分别与该上表面111及该下表面112连接的一第一侧表面113、一第二侧表面114、一第三侧表面115、及一第四侧表面116，该第一侧表面113与该第三侧表面115对应设置，而该第二侧表面114与该第四侧表面116对应设置。

该第二单元12包括一第二定位块12a、一第二凹陷部12b以及一第二舌部12c，该第二定位块12a自该第一单元11的该下表面112的一部分突出，该第一单元11的该下表面112的另一部分则因该第二定位块12a的设置而内凹成该第二凹陷部12b，该第二凹陷部12b相邻于该下表面112的另一部分与该第二定位块12a之间，如图5B所示，该第二舌部12c自该第二定位块12a朝远离该第二凹陷部12b的一侧延伸而突出该第一单元11，该第二单元12亦具有一上表面121、一与该上表面121相对的下表面122、以及分别与该上表面121及该下表面122连接的一第一侧表面123、一第二侧表面124、一第三侧表面125、及一第四侧表面126，该第一侧表面123与该第三侧表面125对应设置，而该第二侧表面124与该第四侧表面126对应设置。

该延伸单元13自该第一单元11和该第二单元12靠近该第二侧表面114、124的一端朝外突出，该延伸单元13包括一上表面131、一与该上表面131相对的下表面132、以及分别与该上表面131及该下表面132连接的一第一侧表面133、一第二侧表面134及一第三侧表面135，该第一侧表面133与该第三侧表面135对应设置，该延伸单元13还包括一平行于该第二舌部12c延伸突出的挡墙137，如图5A所示。该延伸单元13的该第一侧表面133和第一单元11的该第二侧表面114之间形成一弧状的第一凹部21；该延伸单元13的该第三侧表面135和该第二单元12的该第二侧表面124之间亦形成一弧状的第二凹部22，该挡墙137和该第三侧表面115之间形成一弧状的第三凹部23。

本实施例中，该第一单元11、该第二单元12与该延伸单元13为一体成形的结构，即，该第一单元11与该第二单元12具有相同的宽度W。

该第一单元11还包括一第一定位销孔1111a、一第二定位销孔1111b、一第一流体流通孔1112a、一第二流体流通孔1112b、一第一螺纹孔1113a、一第二螺纹孔1113b、一第三螺纹孔1113c、一第四螺纹孔1113d、一第一下螺纹孔1121a、一第二下螺纹孔1121b、一第一螺栓孔1114a以及一第二螺栓孔1114b。该延伸单元13还包括一第三流体流通孔1312、一第五螺纹孔1313a以及一第六螺纹孔1313b。

其中，该第一定位销孔1111a以及该第二定位销孔1111b均设置于该上表面111靠近该第一侧表面113的一侧，且为一贯穿该上表面111以及该下表面112的贯孔。

该第一流体流通孔1112a以及该第二流体流通孔1112b分别设置于该上表面111靠近该第一侧表面113以及该第三侧表面115的一侧，该第三流体流通孔1312设置于该上表面131靠近该第二侧表面134的一侧。于该第一流体流通孔1112a及该第二流体流通孔1112b之间设置有一第一通道1115a以令该第一流体流通孔1112a及该第二流体流通孔1112b之间得以连通；并且，于该第二流体流通孔1112b与该第三流体流通孔1312之间还设置有一第二通道1115b以令该第二流体流通孔1112b及该第三流体流通孔1312之间得以连通，其中，该第一通道1115a与该第二通道1115b彼此相接连通且延伸的方向彼此垂直。换言之，该第一流体流通孔1112a通过该第一通道1115a与该第二通道1115b而和该第二流体流通孔1112b与该第三流体流通孔1312连通。为了避免流体流经该些通道时残存其中，于本态样中，该些通道均经处理而具有一镜面表面。

该第一螺纹孔1113a、该第二螺纹孔1113b、该第三螺纹孔1113c、该第四螺纹孔1113d、该第五螺纹孔1313a、该第六螺纹孔1313b、该第一下螺纹孔1121a及该第二下螺纹孔1121b均为具有螺纹的盲孔。其中，该第一螺纹孔1113a及该第二螺纹孔1113b设置在该第一单元11的该上表面111靠近该第一侧表面113的一侧，且该第一定位销孔1111a以及该第二定位销孔1111b亦设置在该上表面111靠近该第一侧表面113的一侧；该第三螺纹孔1113c设置在该上表面111靠近该第二侧表面114的一侧，而该第四螺纹孔1113d则设置在该上表面111靠近该第四侧表面116的一侧；该第五螺纹孔1313a及该第六螺纹孔1313b设置在该延伸单元13的该上表面131上靠近该第二侧表面134的一侧，且该第三流体流通孔1312设置在该第五螺纹孔1313a及该第六螺纹孔1313b之间。该第一下螺纹孔1121a及该第二下螺纹孔1121b设置在该下表面112，且靠近该第一螺栓孔1114a以及一第二螺栓孔1114b。

该第一螺栓孔1114a以及该第二螺栓孔1114b均为贯通该上表面111以及该下表面112的贯孔。与前述的该螺栓孔结构相同(请搭配参考图1F)，该贯孔中均设有一凸出部，使该第一螺栓孔1114a以及该第二螺栓孔1114b的该贯孔具有不同的直径R1及R2：靠近该上表面111的直径为R1、而靠近该下表面112的直径为R2，且R1大于R2。本态样中，该第一螺栓孔1114a的设置设置于该第一螺纹孔1113a及该第三螺纹孔1113c之间，该第二螺栓孔1114b则设置于该第二螺纹孔1113b及该第四螺纹孔1113d之间。

该第二单元12还包括一第三定位销孔1211c、一第四定位销孔1211d、一第一贯孔1216a、一第二贯孔1216b、一第七螺纹孔1213g以及一第八螺纹孔1213h。

该第三定位销孔1211c及该第四定位销孔1211d设置于该第二单元12的该上表面121靠近该第一单元11的一侧，且均为贯穿该上表面121以及该下表面122的贯孔。该第七螺纹孔1213g以及该第八螺纹孔1213h则是设置在该第二单元12的该上表面121远离该第一单元11的一侧，本态样中，该第七螺纹孔1213g以及该第八螺纹孔1213h亦为贯穿该上表面121以及该下表面122的贯孔。而该第一贯孔1216a及该第二贯孔1216b则分别设置于靠近该第三定位销孔1211c与该第七螺纹孔1213g、以及靠近该第四定位销孔1211d与该第八螺纹孔1213h。

本实用新型3埠接头的第二态样2b，如图6所示。该3埠接头2b，除了该第一单元11的该上表面111与第一态样不同之外，其余配置和结构均相同。于该3埠接头2b中，其第一单元11的该上表面111不包括该第一定位销孔1111a以及该第二定位销孔1111b，且该第一螺纹孔1113a及该第二螺纹孔1113b的位置移动使两者和该第一流体流通孔1112a排列于一虚拟直线上。

4埠及4埠以上接头

本实用新型所称的「4埠及4埠以上接头」指一接头上有四个或四个以上的流体流通孔，作为流体入口或流体出口，然并无特定的方向。

图7A至图7C为本实用新型4埠以上接头的第一态样3a，除了该第一单元11还包括一第四流体流通孔1112c之外，其余结构与前述的该3埠接头2a相同，故下文中仅针对其流体流通孔的结构进行说明而不再多赘述其他结构。

该4埠以上接头3a的该第一流体流通孔1112a以及该第二流体流通孔1112b分别设置于该上表面111靠近该第一侧表面113以及该第三侧表面115的一侧，该第四流体流通孔1112c则设置于该第一流体流通孔1112a与该第二流体流通孔1112b之间并靠近该第二流体流通孔1112b，于一实施例中，该第一流体流通孔1112a、该第二流体流通孔1112b、以及该第四流体流通孔1112c于该上表面111排列在一虚拟直线上。该第三流体流通孔1312设置于该延伸单元13的该上表面131上靠近该第二侧表面134的一侧，且该第三流体流通孔1312设置在该第五螺纹孔1313a及该第六螺纹孔1313b之间。

该第一流体流通孔1112a及该第四流体流通孔1112c之间设置有一第一通道1115a以连通该第一流体流通孔1112a及该第四流体流通孔1112c。于该第二流体流通孔1112b与该第三流体流通孔1312之间亦设置有一第二通道1115b以连通该第二流体流通孔1112b及该第三流体流通孔1312。不同于3端口接头的通道设计，本态样中，该第一通道1115a与该第二通道1115b彼此不连通，故形成4端口的结构，此外，该第一通道1115a与该第二通道1115b延伸的方向彼此垂直。为了避免流体流经该些通道时残存其中，于本态样中，该些通道均经处理而具有一镜面表面。

本实用新型4埠以上接头的第二态样3b，如图8所示。在该4埠以上接头3b中，除了该第一单元11的该上表面111与第一态样不同之外，其余配置和结构均相同。于第二态样中，在其第一单元11的该上表面111不设置该第一定位销孔1111a以及该第二定位销孔1111b，且该第一螺纹孔1113a及该第二螺纹孔1113b的位置移动使两者和该第一流体流通孔1112a排列于一虚拟直线上。

本实用新型4埠以上接头的第三态样3c，如图9A至图9F所示。于该4埠以上接头3c中具有一第一单元11、一第二单元12以及一延伸单元13。该第一单元11具有一上表面111、一与该上表面111相对之下表面112、以及分别与该上表面111及该下表面112连接的一第一侧表面113、一第二侧表面114、一第三侧表面115、及一第四侧表面116，该第一侧表面113与该第三侧表面115对应设置，而该第二侧表面114与该第四侧表面116对应设置。本态样中，该第二单元12包括一第二定位块12a以及一第二凹陷部12b，该第二定位块12a自该第一单元11的该下表面112的一部分突出，该第一单元11的该下表面112的另一部分则因该第二定位块12a的设置而内凹成该第二凹陷部12b，该第二凹陷部12b相邻于该下表面112的另一部分与该第二定位块12a之间，如图9E所示，其中该第二单元12具有一下表面122、以及与该下表面122连接的一第一侧表面123、一第二侧表面124、一第三侧表面125、及一第四侧表面126，该第一侧表面123与该第三侧表面125对应设置，而该第二侧表面124与该第四侧表面126对应设置。

该延伸单元13自该第一单元11和该第二单元12靠近该第二侧表面114、124的一侧端朝外突出，于本实施例中，该侧端和该第二定位块12a突出的端部相异，该延伸单元13包括一上表面131、一与该上表面131相对之下表面132、以及分别与该上表面131及该下表面132连接的一第一侧表面133、一第二侧表面134及一第三侧表面135，该第一侧表面133与该第三侧表面135对应设置。该延伸单元13的该第一侧表面133和该第一单元11的该第二侧表面114之间形成一弧状的第一凹部21；该延伸单元13的该第三侧表面135和该第一单元11的该第二侧表面114之间形成亦形成一弧状的第二凹部22，该第三侧表面135和该第二单元12的该第二侧表面124之间形成一弧状的第三凹部23。

本实施例中，该第一单元11、该第二单元12与该延伸单元13为一体成形的结构。本实施例中，该第二单元12的面积小于该第一单元11，使该第一单元11的该第三侧表面115与该第二单元12的该第三侧表面125切齐成为一平坦面。

该第一单元11还包括一第一定位销孔1111a、一第二定位销孔1111b、一第一流体流通孔1112a、一第二流体流通孔1112b、一第四流体流通孔1112c、一第五流体流通孔1112d、一第六流体流通孔1112e、一第一螺纹孔1113a、一第二螺纹孔1113b、一第三螺纹孔1113c、一第四螺纹孔1113d、一第七螺纹孔1113e、一第八螺纹孔1113f、一第九螺纹孔1113g、一第十螺纹孔1113h、一第一下螺纹孔1121a、一第二下螺纹孔1121b、一第一螺栓孔1114a以及一第二螺栓孔1114b。该延伸单元13还包括一第三流体流通孔1312、一第五螺纹孔1313a以及一第六螺纹孔1313b。其中，该第一定位销孔1111a以及该第二定位销孔1111b均设置于该上表面111靠近该第一侧表面113的一侧，且为一贯穿该上表面111以及该下表面112的贯孔。

该第一流体流通孔1112a、该第二流体流通孔1112b分别设置于该上表面111靠近该第一侧表面113以及该第三侧表面115的一侧，该第三流体流通孔1312设置在该延伸单元13的该上表面131上靠近该第二侧表面134的一侧，该第四流体流通孔1112c则设置于该第一流体流通孔1112a与该第二流体流通孔1112b之间，该第五流体流通孔1112d则设置于该第一流体流通孔1112a与该第四流体流通孔1112c之间，该第六流体流通孔1112e则设置于该第四流体流通孔1112c与该第二流体流通孔1112b之间，使得该第一流体流通孔1112a、该第二流体流通孔1112b、该第四流体流通孔1112c、该第五流体流通孔1112d、以及该第六流体流通孔1112e排列在一虚拟直线上。

于该第一流体流通孔1112a及第五流体流通孔1112d之间设置有一第一通道1115a以连通该第一流体流通孔1112a及该第五流体流通孔1112d；于该第二流体流通孔1112b与该第六流体流通孔1112e之间设置有一第二通道1115b以连通该第二流体流通孔1112b及该第六流体流通孔1112e；此外，该第三流体流通孔1312与该第四流体流通孔1112c之间设置有一第三通道1115c以连通该第三流体流通孔1312及该第四流体流通孔1112c。本态样中，该第一通道1115a、该第二通道1115b、以及该第三通道1115c彼此不连通，故形成6端口的结构，此外，该第一通道1115a与该第二信道1115b延伸的方向彼此平行，而该第一信道1115a与该第三通道1115c延伸的方向彼此垂直。且为了避免流体流经该些通道时残存其中，于本态样中，该些通道均经处理而具有一镜面表面。

该第一螺纹孔1113a、该第二螺纹孔1113b、该第三螺纹孔1113c、该第四螺纹孔1113d、该第五螺纹孔1313a、该第六螺纹孔1313b、该第七螺纹孔1113e、该第八螺纹孔1113f、该第九螺纹孔1113g、该第十螺纹孔1113h、该第一下螺纹孔1121a及该第二下螺纹孔1121b均为具有螺纹的盲孔。

其中，该第一螺纹孔1113a及该第二螺纹孔1113b设置在该第一单元11的该上表面111靠近该第一侧表面113的一侧，且该第一螺纹孔1113a及该第二螺纹孔1113b与该上表面111靠近该第一侧表面113的一侧之间分别设置该第一定位销孔1111a以及该第二定位销孔1111b。

该第三螺纹孔1113c以及该第九螺纹孔1113g均设置在该上表面111靠近该第二侧表面114的一侧，该第五螺纹孔1313a及该第六螺纹孔1313b设置在该延伸单元13的该上表面131上靠近该第二侧表面134之处。更具体地，该第三螺纹孔1113c设置在靠近该第一凹部21、该第九螺纹孔1113g则是设置靠近该第二凹部22。且该第三流体流通孔1312设置在该第五螺纹孔1313a及该第六螺纹孔1313b之间。

该第七螺纹孔1113e以及该第八螺纹孔1113f设置在该第一单元11靠近该第三侧表面115的一侧，使该第二流体流通孔1112b设置于该第七螺纹孔1113e以及该第八螺纹孔1113f之间。

而该第四螺纹孔1113d以及该第十螺纹孔1113h则靠近该第四侧表面116，且设置于该第二螺纹孔1113b以及该第八螺纹孔1113f之间，其中，该第四螺纹孔1113d靠近该第二螺纹孔1113b设置，而该第十螺纹孔1113h靠近该第八螺纹孔1113f设置。该第一下螺纹孔1121a及该第二下螺纹孔1121b设置在该下表面112，且靠近该第一螺栓孔1114a以及一第二螺栓孔1114b。

该第一螺栓孔1114a以及该第二螺栓孔1114b均为贯通该上表面111以及该下表面112的贯孔，该贯孔中均设有一凸出部，使该第一螺栓孔1114a以及该第二螺栓孔1114b的该贯孔具有不同的直径R1及R2：靠近该上表面111的直径为R1、而靠近该下表面112的直径为R2，且R1大于R2(请参考图1F)。本态样中，该第一螺栓孔1114a的设置是设置于该第一螺纹孔1113a及该第三螺纹孔1113c之间，该第二螺栓孔1114b则设置于该第二螺纹孔1113b及该第四螺纹孔1113d之间。

连接件

连接件作为连接上述2埠、3埠及4埠以上接头接头以及管体的用途，于本实用新型中，通过以下两种态样举例说明。

请搭配图10A至图10C，为本实用新型连接件的第一态样4a，该连接件4a具有一第一单元以及一第二单元。

该第一单元具有一上表面111、一与该上表面111相对的下表面(图未示)、以及分别与该上表面111及该下表面连接的一第一侧表面113、一第二侧表面114、一第三侧表面115、及一第四侧表面(图未示)，该第一侧表面113与该第三侧表面115对应设置，而该第二侧表面114与该第四侧表面(图未示)对应设置。

该第一单元的该上表面111包括一第一贯孔1116a、一第二贯孔1116b、以及一第一流体流通孔1112a，其中，该第一流体流通孔1112a设置于该第一贯孔1116a与该第二贯孔1116b之间。

本态样中，该第一贯孔1116a以及该第二贯孔1116b分别贯穿该上表面111以及该下表面(图未示)，而该第一流体流通孔1112a则是具有一位于该第二侧表面114的开口端1141。

该第二单元则为一具中空管状结构的组件，包括一内表面127以及一外表面128，且该第二单元的一端连通该第一流体流通孔1112a的该开口端1141。

本实用新型连接件的第二态样4b，如图11A至图11B所示。该连接件4b中仅包括一第一单元，该第一单元具有一上表面111、一与该上表面111相对的下表面112。于该第一单元11的该上表面111包括一第一贯孔1116a、一第二贯孔1116b、以及一凹槽1117，该凹槽1117设置于该第一贯孔1116a与该第二贯孔1116b之间。

本态样中，该第一贯孔1116a以及该第二贯孔1116b分别为贯穿该上表面111以及该下表面112的贯孔，而该凹槽1117则具有一凸出使该凹槽1117具有不同的直径：靠近该上表面111的直径大于靠近该下表面112的直径。

流体控制装置

以本实用新型来说，该流体控制装置主要包括一基座、多个连接块以及多个流体控制件，该连接块为自前述的2埠接头、3埠接头、4埠以上接头至少选择两者彼此邻接。接下来，将通过具体实施例说明如何将该些接头与设备结合而组成本实用新型的流体控制装置。惟先说明的是，前述的2埠接头、3埠接头、4埠以上接头、以及连接件彼此之间的组合并没有特定的顺序，本领域人士可依照实际需求从中选用适当的组合。

举例来说，欲将一过滤器经由该些接头组装于本实用新型的流体控制装置时，可将该过滤器与两种相同或不同态样的2埠接头连接、亦可选择使该过滤器与一2埠接头及一3埠接头连接；另一实施例中，如欲将一2埠截止阀经由该些接头组装于本实用新型的流体控制装置时，则两接头的其中一者可选用该2埠接头、另一者可为2埠接头、3埠接头、4埠以上接头、或者是连接件；又一实施例中，如欲将一3埠截止阀经由该些接头组装于本实用新型的流体控制装置时，则两接头的其中一者可选用该3埠接头、另一者可为2埠接头、3埠接头、4埠以上接头、或者是连接件。或于一实施例中，该2埠接头的第四态样1d为适合用在多个接头中的端部，即该2埠接头的第四态样1d的一侧与另一个接头连接，但另一侧则无。

请参阅图12A至图12C，为本实用新型的流体控制装置一实施例，该流体控制装置包括一基座20、多个连接块以及多个流体控制件，该连接块包括一2埠接头1d、一2埠接头1c以及一4埠以上接头3a，该流体控制件包括一进气件103、一手动阀104以及一第一2埠截止阀105a，该连接块设置于该基座20上，该连接块彼此叠接横向组装，而该流体控制件设置于该连接块上，此外，该流体控制装置还包括多个密封板30，该密封板30放置于该流体控制件和该连接块之间，该密封板30具有多个流体通过孔31、多个定位孔32以及设置于该流体通过孔31的垫片33。

该基座20的材质可为金属，包括多个定位槽201。涉及该连接块的组装，请参阅图12C，并以该2埠接头1c和该2埠接头1d来说明，该2埠接头1c的该第二单元12的该第二舌部12c设置于2埠接头1d的该第二单元12的该第二凹陷部12b，使将2埠接头1d的该第二单元12的该第三侧表面125抵顶于该2埠接头1c的该第二单元12的该第一侧表面123。该2埠接头1d的该第一定位销孔1211a、该第二定位销孔1211b、该第一贯孔1216a、该第二贯孔1216b、该第五螺纹孔1213e以及该第六螺纹孔1213f分别对准该2埠接头1c的该第一定位销孔1111a、该第二定位销孔1111b、该第一下螺纹孔1121a、该第二下螺纹孔1121b、该第一螺栓孔1114a以及该第二螺栓孔1114b。

其中，两第一固定件40a为分别贯穿该第一定位销孔1211a和该第一定位销孔1111a之间，以及该第二定位销孔1211b和该第二定位销孔1111b之间，而使该2埠接头1d和该2埠接头1c彼此定位；两第二固定件40b分别从该基座20的该定位槽201，而穿设于该第一贯孔1216a和该第一下螺纹孔1121a之间，以及该第二贯孔1216b和该第二下螺纹孔1121b之间，使该2埠接头1c和该2埠接头1d和该基座20彼此固定；两第三固定件40c分别贯穿该第一螺栓孔1114a和该第五螺纹孔1213e之间，以及该第二螺栓孔1114b和该第六螺纹孔1213f之间，使该2埠接头1c和该2埠接头1d彼此锁固。四个第四固定件40d穿过该手动阀104的穿孔、该密封板30的该定位孔32而锁固于该2埠接头1c的该第三螺纹孔1113c、该第四螺纹孔1113d以及该2埠接头1d的该第三螺纹孔1113c以及该第四螺纹孔1113d。于本实施例中，该第一固定件40a为一插销，而该第二固定件40b、该第三固定件40c、该第四固定件40d为一螺栓。此外，多个第五固定件40e穿过该进气件103的穿孔而锁固于该2埠接头1d的该第一螺纹孔1113a以及该第二螺纹孔1113b。

请续参照图13，为本实用新型一实施例的流体控制装置示意图。

该流体控制装置包括一基座20、一接头模块1、以及一流体控制件模块100。该流体控制件模块100包括多个流体控制件，本实施例中欲设置于该流体控制装置的流体控制件，由一气体进入的方向往该气体离开的方向，依序为：一进气件103、一手动阀104、一第一2埠截止阀105a、一第一3埠截止阀106a、一高洁净调压阀107、一压力传感器108、一过滤器109、一第二2埠截止阀105b、一质量流量控制器110、一第二3埠截止阀106b、以及一第三2埠截止阀105c。

参图13，该接头模块1包括多个连接块，该连接块沿一轴向排列，该连接块各包括一上半部U以及一下半部L，该上半部U包括至少一流体入口、至少一流体出口、以及至少一连通该流体入口和该流体出口之间且朝一水平方向延伸的连接通道C，该下半部L具有一凹陷部及一远离该凹陷部并沿该轴向延伸突出的舌部，本实施例中，该连接通道C高于该舌部的一上表面P，且该连接通道C和该连接块的一底面相距一高度，相邻的该连接块通过该舌部容设于该凹陷部内而彼此连接。该上半部U具有一纵向贯穿的上固定孔，该下半部L具有一纵向贯穿该舌部且和该上固定孔对应的下固定孔，相邻的该连接块通过至少一固定件穿设于该上固定孔以及该下固定孔而彼此固定，例如图12C中，该第三固定件40c分别贯穿该第一螺栓孔1114a和该第五螺纹孔1213e之间。于本实施例中，该流体入口、该流体出口以及该连接通道C形成一贯设于单一该连接块内的U形通道。

或者，该接头模块1包括多个连接块，该连接块为沿一轴向排列，该连接块各包括至少一流体入口、至少一流体出口、以及至少一连通该流体入口和该流体出口之间且朝一水平方向延伸而和该连接块的一底面相距一高度的连接通道，其中，该连接块的一端形成一突出的第一舌部，另一端形成一凹陷部，相邻的该连接块为通过该第一舌部容设于该凹陷部内而彼此连接，于本实施例中，该舌部的突出方向平行于该轴向。该第一舌部具有一纵向贯穿的第一固定孔，该连接块的该另一端还形成一突出的第二舌部，且该第二舌部具有一纵向贯穿的第二固定孔，相邻的该连接块通过一固定件穿设于该第一固定孔以及该第二固定孔而彼此固定。于本实施例中，该流体入口、该流体出口以及该连接通道C形成一贯设于单一该连接块内的U形通道。该流体控制件设置于该基座20和该接头模块1上方，该流体控制件具有一出口O以及一入口I，该出口O以及该入口I分别连接至该连接块的该流体入口以及相邻的该连接块的该流体出口。

涉及该固定孔、该固定件、该流体入口、该流体出口、该凹陷部以及该舌部等结构特征，请参图1A至图9F所示。

该接头模块1使该流体控制件得以紧固于该基座20上，其包括多个接头。图12所使用的接头，由一气体进入的方向往该气体离开的方向，依序为：该2埠接头1d、该2埠接头1c、该4埠以上接头3a、该2埠接头1d、该2埠接头1d、该2埠接头1d、该2埠接头1d、该2埠接头1a、该2埠接头1a、该4埠以上接头3a、以及该4埠以上接头3b，于本实用新型中，该些接头通过其第一单元与相邻接头的第二单元而彼此叠合，达到简单组装及拆卸的目的。除此之外，气体能够在该些接头及流体控制件之间流动，从而降低气体外泄的风险。

以上已将本实用新型做一详细说明，惟以上所述者，仅为本实用新型的一较佳实施例而已，当不能限定本实用新型实施的范围。即凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与修饰等，皆应仍属本实用新型的专利涵盖范围内。

Claims (4)

1.一种用于流体控制装置的接头模块，其特征在于包括：

多个连接块，该连接块沿一轴向排列，该连接块各包括一上半部以及一下半部，该上半部包括至少一流体入口、至少一流体出口、以及至少一连通该流体入口和该流体出口之间且朝一水平方向延伸的连接通道，该下半部具有一凹陷部及一远离该凹陷部并沿该轴向延伸突出的舌部，其中，该连接通道高于该舌部的一上表面；

其中，该上半部具有多个上固定孔，该些上固定孔包含多个设置在该上半部的一上表面且并未贯穿的第一螺纹孔、多个设置在该上半部的一下表面且并未贯穿的下螺纹孔、以及多纵向贯穿该上半部的螺栓孔；

其中，该下半部具有多个下固定孔，该些下固定孔包含多纵向贯穿该舌部且分别和每一该下螺纹孔对应的贯孔、以及多纵向贯穿该舌部且和分别和每一该螺栓孔对应的第二螺纹孔；

其中，相邻的该连接块通过多个固定件分别对应穿设于每一该上固定孔以及每一该下固定孔而彼此固定；

其中，相邻的该连接块通过该舌部容设于该凹陷部内而彼此连接。

2.如权利要求1所述的接头模块，其特征在于该流体入口、该流体出口以及该连接通道形成一贯设于单一该连接块内的U形通道。

3.一种用于流体控制装置的接头模块，其特征在于包括：

多个连接块，该连接块沿一轴向排列，该连接块各包括至少一流体入口、至少一流体出口、以及至少一连通该流体入口和该流体出口之间且朝一水平方向延伸而和该连接块的一底面相距一高度的连接通道，其中，该连接块的一端形成一突出的第一舌部，另一端形成一凹陷部，相邻的该连接块通过该第一舌部容设于该凹陷部内而彼此连接，该连接块的该另一端还形成一突出的第二舌部；

其中，该第一舌部具有多个第一固定孔，该些第一固定孔包含多个设置在该第一舌部的一上表面且并未贯穿的第一螺纹孔、多个设置在该第一舌部的一下表面且并未贯穿的下螺纹孔、以及多纵向贯穿该第一舌部的螺栓孔；

其中，该第二舌部具有多个第二固定孔，该些第二固定孔包含多纵向贯穿该第二舌部且分别和每一该下螺纹孔对应的贯孔、以及多纵向贯穿该第二舌部且和分别和每一该螺栓孔对应的第二螺纹孔；

其中，相邻的该连接块通过多个固定件分别对应穿设于每一该第一固定孔以及每一该第二固定孔而彼此固定。

4.如权利要求3所述的接头模块，其特征在于该流体入口、该流体出口以及该连接通道形成一贯设于单一该连接块内的U形通道。