CN209078918U - 一种石墨框矫正装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种石墨框矫正装置，包括主框架，所述主框架上垂直固定有连接框架，所述连接框架依次固定连接有若干固定杆，所述固定杆一侧固定有定位块；所述定位块远离固定杆一侧设置有矫正轮杆，所述矫正轮杆上固定有矫正轮，所述矫正轮杆两端均固定连接有牵引杆，所述牵引杆连接于活塞式气缸上，且活塞式气缸固定连接于主框架上。本实用新型通过矫正装置并配合着矫正的方法，通过矫正轮和定位块对石墨框进行挤压矫正，可以很好的修复变型石墨框，增加石墨框的使用寿命，实用性很强，非常值得推广。

Description

一种石墨框矫正装置

技术领域

本实用新型涉及石墨框技术领域，具体为一种石墨框矫正装置。

背景技术

板式减反射设镀膜设备生产过程为：自动化上料-主设备腔体-下料自动化，石墨框运行到上下料自动化中装料平台会跟石墨框晶条接触，进入腔体后石墨框在腔体内来回跑动，石墨框变形后往自动化装料平台上料时，触碰到石墨框后会导致硅片抖动变大，产生掉片；石墨框变形进入腔体内后由于导轨条与腔体内同步轮不匹配出现腔内跑偏或石墨框卡顿等现象，导致卡框，而且石墨框在减反射设镀膜设备腔体内的高温烘烤和自身重力的作用下容易造成变型，使石墨框在腔体内运载硅片时抖动较大，容易出现掉片或者运行过程中卡框，所以需要提供一种为了减少生产过程中腔内产生的异常及自动化处掉片的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种石墨框矫正装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种石墨框矫正装置，包括主框架，所述主框架上垂直固定有连接框架，所述连接框架依次固定连接有若干固定杆，所述固定杆一侧固定有定位块；

所述定位块远离固定杆一侧设置有矫正轮杆，所述矫正轮杆上固定有矫正轮，所述矫正轮杆两端均固定连接有牵引杆，所述牵引杆连接于活塞式气缸上，且活塞式气缸固定连接于主框架上。

优选的，所述固定杆与矫正轮杆之间设置有限位板，所述限位板固定连接于连接框架上。

优选的，所述限位板靠近矫正轮杆一侧开设有轮杆孔，所述轮杆孔与矫正轮杆活动连接。

优选的，所述主框架下方固定连接有支撑机构，所述支撑机构包括支撑板和底板，所述支撑板与主框架固定连接，底板通过连杆固定连接于支撑板上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过矫正装置并配合着矫正的方法，通过矫正轮和定位块对石墨框进行挤压矫正，可以很好的修复变型石墨框，增加石墨框的使用寿命，从而降低碎片率和因工艺腔掉片造成的不良品隔离率，以及降低石墨框抖动，解决石墨框与设备硬件配合，降低石墨框与硅片摩擦次数，实用性很强，非常值得推广。

附图说明

图1为本实用新型的矫正装置矫正石墨框时的结构主视示意图；

图2为本实用新型的矫正装置矫正石墨框时的结构左视示意图；

图3为本实用新型的矫正装置矫正石墨框时的结构俯视示意图；

图4为本实用新型的矫正装置5组矫正轮矫正石墨框时的结构主视示意图；

图5为本实用新型的石墨框刚插入5组矫正轮矫正装置时的结构主视示意图；

图6为本实用新型的A区结构示放大意图；

图7为本实用新型的矫正轮杆与活塞式气缸连接结构示意图；

图8为本实用新型的矫正装置未安装矫正轮时结构主视示意图；

图9为本实用新型的矫正装置未安装矫正轮时结构左视示意图；

图10为本实用新型的矫正装置未安装矫正轮时结构俯视示意图。

图中：1主框架、2连接框架、3固定杆、4定位块、5矫正轮杆、6矫正轮、7牵引杆、8活塞式气缸、9限位板、91轮杆孔、10支撑板、11连杆、12底板、100石墨框。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-10，本实用新型提供一种技术方案：

一种石墨框矫正装置，包括主框架1，主框架1上垂直固定有连接框架2，主框架1对称设置有两块，连接框架2垂直设置的将两块主框架1固定连接在一起，连接框架2依次固定连接有若干固定杆3，如说明书附图4所示，5根固定杆3竖直的间隔固定在连接框架2上，固定杆3一侧固定有定位块4，定位块4水平的固定在固定杆3上。

定位块4远离固定杆3一侧设置有矫正轮杆5，矫正轮杆5上固定有矫正轮6，矫正轮杆5和矫正轮6均设置于两根固定杆3之间，矫正轮杆5两端均固定连接有牵引杆7，牵引杆7水平设置，可以实现水平方向的移动，从而带动矫正轮杆5进行移动，对石墨框100进行矫正，牵引杆7连接于活塞式气缸8上，且活塞式气缸8固定连接于主框架1上，活塞式气缸8选用乐清市神威气动有限公司的SMC活塞气缸MUB32-40DZ，方便控制，而且可以很好的带动牵引杆7进行直线运动。

固定杆3与矫正轮杆5之间设置有限位板9，限位板9设置在上下两侧，限位板9固定连接于连接框架2上，用来对插入进入两根固定杆3之间的石墨框100进行限位，限位板9靠近矫正轮杆5一侧开设有轮杆孔91，轮杆孔91与矫正轮杆5活动连接，轮杆孔91的设置，使得矫正轮杆5可以在直线移动的过程中，不会被限位板9挡住，更好的对石墨框100进行挤压矫正。

主框架1下方固定连接有支撑机构，支撑机构包括支撑板10和底板12，支撑板10与主框架1固定连接，底板12通过连杆11固定连接于支撑板10上，通过支撑机构的设置，可以对主框架1进行支撑，方便使用。

石墨框的矫正方法，包括以下步骤：

S1、放板：将石墨框100插设于矫正轮6与定位块4之间，并保持竖直状态；

S2、矫正：启动活塞式气缸8，调整活塞式气缸8的气路压力，带动矫正轮6挤压石墨框100朝向定位块4运动，通过矫正轮6和定位块4将石墨框100夹持住；

S3、取板：关闭活塞式气缸8，使得矫正轮6复位，从矫正轮6和定位块4之间将石墨框100取出。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种石墨框矫正装置，包括主框架(1)，其特征在于：所述主框架(1)上垂直固定有连接框架(2)，所述连接框架(2)依次固定连接有若干固定杆(3)，所述固定杆(3)一侧固定有定位块(4)；

所述定位块(4)远离固定杆(3)一侧设置有矫正轮杆(5)，所述矫正轮杆(5)上固定有矫正轮(6)，所述矫正轮杆(5)两端均固定连接有牵引杆(7)，所述牵引杆(7)连接于活塞式气缸(8)上，且活塞式气缸(8)固定连接于主框架(1)上。

2.根据权利要求1所述的一种石墨框矫正装置，其特征在于：所述固定杆(3)与矫正轮杆(5)之间设置有限位板(9)，所述限位板(9)固定连接于连接框架(2)上。

3.根据权利要求2所述的一种石墨框矫正装置，其特征在于：所述限位板(9)靠近矫正轮杆(5)一侧开设有轮杆孔(91)，所述轮杆孔(91)与矫正轮杆(5)活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种石墨框矫正装置，其特征在于：所述主框架(1)下方固定连接有支撑机构，所述支撑机构包括支撑板(10)和底板(12)，所述支撑板(10)与主框架(1)固定连接，底板(12)通过连杆(11)固定连接于支撑板(10)上。