CN209065438U - 稀土氧化物纳米颗粒的生产设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种稀土氧化物纳米颗粒的生产设备，包括稀土氧化物前驱体供给装置，蒸发装置，冷却装置和收集装置。本实用新型的生产设备可以批量生产稀土氧化物纳米颗粒。

Description

稀土氧化物纳米颗粒的生产设备

技术领域

本实用新型涉及一种纳米颗粒生产设备，尤其是一种稀土氧化物纳米颗粒的生产设备。

背景技术

稀土氧化物纳米颗粒的尺寸小，比表面积大，从而产生量子尺寸效应和宏观量子隧道效应，使材料的电、磁、光、热、超导电性能发生变化。与常规颗粒形成的材料相比，稀土氧化物纳米颗粒形成的材料通常能够表现出更卓越的性能。因此，稀土氧化物纳米材料可以用于催化、陶瓷、超导材料等领域。

稀土氧化物纳米颗粒的制备方法包括固相法、沉淀法、水热法、凝胶法以及微乳液法。固相法是通过将硝酸稀土以及草酸通过固相混合球磨的方式制得稀土草酸盐中间体，然后高温分解制得稀土氧化物纳米颗粒。这种方法所得颗粒的形态不规则，均匀性差。沉淀法是向稀土盐溶液中加入草酸、碳酸等沉淀剂进行沉淀，然后经干燥、焙烧制得稀土氧化物纳米颗粒。这种方法所得颗粒难过滤，易团聚。水热法是在高温高压下，加快和强化粒子的水解反应，并最终形成纳米晶核。这种方法需要使用高温高压设备，操作安全系数低。凝胶法是采用有机络合物通过水解聚合的方式形成溶胶，溶胶蒸发后形成凝胶，将凝胶热处理形成纳米粒子。这种方法的反应时间较长，不容易实现工业化生产。微乳液法是向稀土盐溶液中加入表面活性剂、沉淀剂以及水形成微乳液滴，然后通过粒子交换法形成纳米粒子。这种方法的反应时间较长，不容易实现工业化生产。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种稀土氧化物纳米颗粒的生产设备，其可以批量地生产稀土氧化物纳米颗粒，从而容易实现工业化生产。本实用新型采用如下技术方案实现上述目的。

本实用新型提供一种稀土氧化物纳米颗粒的生产设备，包括：

稀土氧化物前驱体供给装置，其用于供给稀土氧化物前驱体粉末；

蒸发装置，其用于接收来自所述稀土氧化物前驱体供给装置的稀土氧化物前驱体粉末，并将其转化为稀土氧化物微流；

冷却装置，其用于接收所述稀土氧化物微流，并将其转化为稀土氧化物纳米颗粒；所述冷却装置包括能够旋转的筒状冷却件，该筒状冷却件外壁具有用于附着稀土氧化物纳米颗粒的衬底，该筒状冷却件的中心轴线与所述稀土氧化物微流的流动方向的夹角为45～90度；

收集装置，其用于收集所述稀土氧化物纳米颗粒。

根据本实用新型的生产设备，优选地，所述稀土氧化物前驱体供给装置包括储气部以及用于容纳稀土氧化物前驱体粉末的供给部，所述供给部位于所述储气部与所述蒸发装置之间的管线上。

根据本实用新型的生产设备，优选地，所述稀土氧化物前驱体供给装置还包括超微粉碎装置，其设置为能够将稀土氧化物前驱体粉碎为稀土氧化物前驱体粉末，然后送至供给部。

根据本实用新型的生产设备，优选地，所述超微粉碎装置包括储气罐、气体压缩机、流化床气流粉碎机、加料器和分离器；所述气体压缩机位于所述储气罐与所述流化床气流粉碎机之间的管线上；所述加料器与所述流化床气流粉碎机的进料口连通，所述流化床气流粉碎机的出料口与所述分离器的进料口连通，所述分离器的出料口与所述供给部连通。

根据本实用新型的生产设备，优选地，所述蒸发装置的内部设置有热源，所述热源选自钨电阻加热器、石墨加热器、高频感应线圈、电子束、激光、钼丝炉、高温碳棒、通电电极中的一种。

根据本实用新型的生产设备，优选地，所述筒状冷却件的内部设置有用于盛放冷源的空腔。

根据本实用新型的生产设备，优选地，所述收集装置包括刮离器以及收集器，所述刮离器包括能够旋转的刮刀，所述刮刀靠近所述衬底的表面，并设置为能够将附着于所述衬底的表面的稀土氧化物纳米颗粒刮下，使其落入所述收集器中。

根据本实用新型的生产设备，优选地，所述刮刀与所述蒸发装置分别相对设置于所述筒状冷却件的两端。

根据本实用新型的生产设备，优选地，所述蒸发装置和所述冷却装置之间设置有振动装置，所述振动装置设置为能够进一步分散稀土氧化物微流中的稀土氧化物微粒。

根据本实用新型的生产设备，优选地，所述蒸发装置、冷却装置以及收集装置均设置于同一密闭壳体内，所述壳体上设置有气体置换装置，所述气体置换装置用于保持壳体内部的惰性气体氛围。

本实用新型将蒸发装置蒸发形成的稀土氧化物微流附着于能够旋转的筒状冷却件，从而提高了稀土氧化物纳米颗粒的生产效率。根据本实用新型优选的技术方案，将超微粉碎装置与稀土氧化物前驱体粉末的供给部直接连通，从而可以将稀土氧化物前驱体原料直接形成纳米颗粒，从而进一步提高了生产效率。

附图说明

图1为本实用新型的一种稀土氧化物纳米颗粒的生产设备的结构示意图。

图2为本实用新型的一种气流超微粉碎装置的结构示意图。

图3为本实用新型的另一种气流超微粉碎装置的结构示意图。

附图标记说明如下：

100-稀土氧化物纳米颗粒的生产设备、10-稀土氧化物前驱体供给装置、20-蒸发装置、30-冷却装置、40-收集装置、50-气流超微粉碎装置、60-高频振动器、70-壳体、80-气体置换装置；11-储气部、12-供给部；21-电极板；31-第一驱动电机、32-冷却件、33-第一旋转轴、34-空腔、35-衬底、36-冷源供给部；41-第二驱动电机、42-第二旋转轴、43-刀叶、44-收集器；51-储气罐、52-气体压缩机、53-流化床气流粉碎机、54-加料器、55-分离器、56-成品收集器。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型作进一步的说明，但本实用新型的保护范围并不限于此。除非另有说明，否则本实用新型的各部件或装置均采用本领域已知的部件或装置。

本实用新型的稀土氧化物纳米颗粒的生产设备包括稀土氧化物前驱体供给装置、蒸发装置、冷却装置和收集装置。任选地，该生产设备还包括振动装置和/或气体置换装置。本实用新型的稀土氧化物可以为二氧化铈等。稀土氧化物纳米颗粒的粒径可以为1～100nm，例如5～15nm。蒸发装置、冷却装置以及收集装置均设置于同一密闭壳体内。下面进行详细描述。

<稀土氧化物前驱体供给装置>

本实用新型的稀土氧化物前驱体供给装置将稀土氧化物前驱体粉末供给至蒸发装置。稀土氧化物前驱体供给装置包括储气部和供给部。供给部位于储气部与蒸发装置之间的管线上。例如，供给部位于储气部与蒸发装置之间，并且将二者连通。供给部容纳有稀土氧化物前驱体粉末。稀土氧化物前驱体的实例包括但不限于碳酸铈、草酸铈、硬脂酸铈、葡萄糖酸铈、铈镐粉等。稀土氧化物前驱体粉末的粒径可以为1～50μm、优选为2～15μm。供给部的形状和结构并没有特别限制。在储气部的气流作用下，供给部的稀土氧化物前驱体粉末进入蒸发装置。

在某些实施方案中，储气部与供给部通过第一气道连通，供给部与蒸发装置通过第二气道连通。第一气道上安装有控制气体流速和流量的气体控制器，第二气道上设置有针阀，用于微调携带有稀土氧化物前驱体粉末的惰性气体的通过量。储气部内储存有惰性气体，例如氩气。惰性气体自储气部流出通过第一气道流入供给部内与稀土氧化物前驱体粉末混合在一起，惰性气体作为载体将稀土氧化物前驱体粉末通过第二气道吹入至蒸发装置中。

本实用新型的稀土氧化物前驱体供给装置还可以包括超微粉碎装置，其设置为能够将稀土氧化物前驱体粉碎为稀土氧化物前驱体粉末，然后送至供给部。超微粉碎装置可以采用本领域常规的气流超微粉碎装置。超微粉碎装置可以选自气流式气流超微粉碎机、球磨式气流超微粉碎机、重压式气流超微粉碎机中的一种，优选为气流式气流超微粉碎机。气流超微粉碎机可将稀土氧化物前驱体粉碎后输入至供给部，稀土氧化物前驱体的粒径可粉碎至1～50μm、优选为2～15μm。

根据本实用新型的一个实施方式，超微粉碎装置包括储气罐、气体压缩机、流化床气流粉碎机、加料器、分离器和成品收集器；所述气体压缩机位于所述储气罐与所述流化床气流粉碎机之间的管线上；所述加料器与所述流化床气流粉碎机的进料口连通，所述流化床气流粉碎机的出料口与所述分离器的进料口连通，所述分离器的出料口与所述成品收集器的进料口连通，所述成品收集器的出料口与所述供给部连通。将稀土氧化物前驱体通过加料器加入流化床气流粉碎机，储气罐的气体经过气体压缩机压缩后进入流化床气流粉碎机。在压缩气流的作用下，稀土氧化物前驱体粉碎为微小颗粒，经过分离器的筛分，合格的微小颗粒作为稀土氧化物前驱体粉末进入成品收集器中，然后供给至供给部。

根据本实用新型的另一个实施方式，超微粉碎装置包括储气罐、气体压缩机、流化床气流粉碎机、加料器和分离器；所述气体压缩机位于所述储气罐与所述流化床气流粉碎机之间的管线上；所述加料器与所述流化床气流粉碎机的进料口连通，所述流化床气流粉碎机的出料口与所述分离器的进料口连通，所述分离器的出料口与所述供给部直接连通。将稀土氧化物前驱体通过加料器加入流化床气流粉碎机，储气罐的气体经过气体压缩机压缩后进入流化床气流粉碎机。在压缩气流的作用下，稀土氧化物前驱体粉碎为微小颗粒，经过分离器的筛分，合格的微小颗粒作为稀土氧化物前驱体粉末直接供给至供给部。

<蒸发装置>

蒸发装置接收来自所述稀土氧化物前驱体供给装置的稀土氧化物前驱体粉末，并将其转化为稀土氧化物微流。蒸发装置的内部设置有热源。在热源的作用下，稀土氧化物前驱体粉末加热分解为稀土氧化物微粒，并以气流为载体形成稀土氧化物微流。热源可以选自钨电阻加热器、石墨加热器、高频感应线圈、电子束、激光、钼丝炉、高温碳棒、通电电极中的一种。热源优选为高频感应线圈、高温碳棒以及通电电极，更优选为通电电极。通电电极由正极板和负极板构成。

根据本实用新型的一个实施方式，蒸发装置包括外壳和热源。外壳包括侧部以及位于侧部两端且与侧部垂直的两个端部，热源包括电极板，其为正电极板和负电极板。正电极板和负电极板相对设置在侧部的内侧。外壳的一个端部开设有蒸发物进料口，另一个端部开设有蒸发物出料口。蒸发物进料口与第二气道连通。

<冷却装置>

冷却装置接收所述稀土氧化物微流，并将其转化为稀土氧化物纳米颗粒。冷却装置可以包括能够旋转的筒状冷却件，该筒状冷却件外壁具有用于附着稀土氧化物纳米颗粒的衬底，该筒状冷却件的中心轴线与所述稀土氧化物微流的流动方向的夹角为45～90度。优选地，筒状冷却件的中心轴线与所述稀土氧化物微流的流动方向的夹角为60～90度。更优选地，筒状冷却件的中心轴线与所述稀土氧化物微流的流动方向的夹角为85～90度。这样有利于改善微粒与衬底的接触，从而获得粒径分布窄且不易团聚的稀土氧化物纳米颗粒。

筒状冷却件的内部设置有空腔，用于盛放冷源。冷源可以为液氮。优选地，筒状冷却件顶部安装有向空腔内部输送冷源的管道，管道两端分别连通空腔以及冷源供给部。

根据本实用新型的一个实施方式，冷却装置包括第一驱动电机、筒状冷却件以及第一旋转轴，所述筒状冷却件为内部具有空腔的筒状物，冷却件的筒状外壁具有衬底。第一旋转轴与稀土氧化物微流的流动方向的夹角为45～90度，优选为60～90度，更优选为85～90度。第一旋转轴具有相对设置的第一端部和第二端部，第一端部穿过冷却件顶部、延伸并固定于空腔的底面，第一驱动电机的输出轴与第一旋转轴连接并联动冷却件的旋转。

<收集装置>

收集装置收集所述稀土氧化物纳米颗粒。收集装置包括刮离器以及收集器。刮离器包括能够旋转的刮刀，刮刀靠近衬底的表面，并能够将附着于衬底的表面的稀土氧化物纳米颗粒刮下，使其落入收集器中。优选地，刮刀由至少两个能够旋转的刀叶组成。刮刀与蒸发装置分别相对设置于筒状冷却件的两侧。

根据本实用新型的一个实施方式，刮离器包括第二驱动电机、第二旋转轴以及刮刀，所述刮刀由两个刀叶组成，所述第二旋转轴具有相对设置的第一端部和第二端部，第二驱动电机的输出轴与第二旋转轴的第一端部固定连接，第二旋转轴的第二端部与两个刀叶的一端铰接连接。衬底的表面与刀叶之间形成的间隙的下方设置有收集器。第二驱动电机联动刀叶旋转将衬底表面附着的稀土氧化物纳米颗粒刮离衬底，刮离后的稀土氧化物纳米颗粒落入收集器中。

<振动装置等>

振动装置将稀土氧化物微流中的微粒进一步分散，其设置在蒸发装置以及冷却装置之间。振动装置选自内部式振动器、条形振动器、电磁式振动器液压式振动器、电动式振动器以及高频振动器中的一种。优选地，振动装置为高频振动器。高频振动器参数可以为：振动频率为100～150Hz，振幅为1～5mm。

本实用新型的生产设备还具有壳体，其中容纳有蒸发装置、冷却装置以及收集装置；任选地，还容纳有振动装置。壳体上设置有气体置换装置，所述气体置换装置用于保持壳体内部的惰性气体氛围。气体置换装置包括三通阀，三通阀分别连通惰性气体存储罐、真空泵以及密闭壳体，壳体内部气体经过多次置换以保证壳体内部为惰性气体氛围。

实施例1

图1为本实用新型的一种稀土氧化物纳米颗粒的生产设备的结构示意图。如图1所示，稀土氧化物纳米颗粒的生产设备包括稀土氧化物前驱体供给装置10，蒸发装置20，冷却装置30以及收集装置40。稀土氧化物前驱体供给装置10包括储气部11、供给部12以及气流超微粉碎装置50。储气部11内储存有氩气，供给部12内部容纳有稀土氧化物前驱体(例如碳酸铈)粉末。储气部11与供给部12通过第一气道连通，供给部12与蒸发装置20通过第二气道连通。第一气道上安装有气体控制器，第二气道上设置有针阀。

图2为本实用新型的一种气流超微粉碎装置的结构示意图。如图2所示，气流超微粉碎装置50包括储气罐51、气体压缩机52、流化床气流粉碎机53、加料器54、分离器55以及成品收集器56。气体压缩机52位于储气罐51以及流化床气流粉碎机53之间并与二者连通，流化床气流粉碎机53、分离器55以及成品收集器56的上下两端各自分别设置有进料口以及出料口，流化床气流粉碎机53的出料口与分离器55的进料口连通，分离器55的出料口连通成品收集器56的进料口，流化床气流粉碎机53的进料口上连接有向流化床气流粉碎机53内部投料的加料器54，成品收集器56的出料口连通供给部12。

蒸发装置20包括外壳和热源，外壳包括侧部以及位于侧部两端且与侧部垂直的两个端部。热源为电极板21，电极板21包括正电极板、负电极板，二者相对固设于侧部的内壁。一个端部开设有蒸发物进料口，另一个端部开设有蒸发出料口。蒸发物进料口与第二气道连通。蒸发装置20与冷却装置30之间设置有高频振动器60。高频振动器60的振动参数为：频率为100～150Hz，振幅为2mm。冷却装置30包括第一驱动电机31、冷却件32、第一旋转轴33以及冷源供给部36。冷却件32为内部具有空腔34的筒状物，冷却件32的外壁形成衬底35。衬底35的表面与高频振动器60的出料口相对设置。第一旋转轴33与稀土氧化物微流的流动方向的夹角为90度。第一旋转轴33具有相对设置的第一端部和第二端部，第一端部穿过冷却件32顶部、延伸并固定于空腔34的底面，第一驱动电机31的输出轴与第一旋转轴33的第二端部连接并且联动冷却件32旋转。冷却件32的顶部安装有向空腔34内部输送冷源的管道，管道两端分别连通空腔34以及冷源供给部36。

收集装置40包括刮离器以及收集器44。刮离器包括第二驱动电机41、第二旋转轴42以及刮刀。刮刀包括两个刀叶43。第二旋转轴42具有相对设置的第一端部和第二端部，第二驱动电机41的输出轴与第二旋转轴42的第一端部固定连接，第二旋转轴42的第二端部与两个刀叶41的一端铰接连接。刀叶43与高频振动器60分别相对设置于筒状冷却件32的两侧。衬底35与刀叶43之间形成的间隙的下方设置有收集器44。第二驱动电机41联动刀叶43旋转将衬底35上附着的稀土氧化物纳米颗粒刮离衬底35并落入收集器44中。

蒸发装置20、冷却装置30和收集装置40均设置于同一密闭的壳体70内。壳体70设置有气体置换装置80。气体置换装置80包括三通阀，所述三通阀分别连通惰性气体存储罐(未图示)、真空泵(未图示)以及壳体70。壳体70的内部气体置换多次，以保证惰性气体氛围。

将碳酸铈通过加料器54进入气流超微粉碎装置50，粉碎为5～10μm的碳酸铈粉末。将成品收集器56的碳酸铈粉末通过供给装置10供给至蒸发装置20，在1100～1400℃下、在氩气氛围中形成碳酸铈微流，然后经过高频振动器60的处理，附着在冷却件32的衬底35上，形成5～15nm的碳酸铈纳米颗粒。刀叶43将这些纳米颗粒刮下，使其落入收集器44中。

实施例2

除了将蒸发装置20内部的热源(电极板)替换为高频感应线圈，其余部件与实施例1相同。

实施例3

图1为本实用新型的一种稀土氧化物纳米颗粒的生产设备的结构示意图。如图1所示，稀土氧化物纳米颗粒的生产设备包括稀土氧化物前驱体供给装置10，蒸发装置20，冷却装置30以及收集装置40。稀土氧化物前驱体供给装置10包括储气部11、供给部12以及气流超微粉碎装置50。储气部11内储存有氩气，供给部12内部容纳有稀土氧化物前驱体(例如碳酸铈)粉末。储气部11与供给部12通过第一气道连通，供给部12与蒸发装置20通过第二气道连通。第一气道上安装有气体控制器，第二气道上设置有针阀。

图3为本实用新型的另一种气流超微粉碎装置的结构示意图。如图3所示，气流超微粉碎装置50包括储气罐51、气体压缩机52、流化床气流粉碎机53、加料器54、分离器55。气体压缩机52位于储气罐51以及流化床气流粉碎机53之间并与二者连通，流化床气流粉碎机53、分离器55的上下两端各自分别设置有进料口以及出料口，流化床气流粉碎机53的出料口与分离器55的进料口连通，分离器55的出料口与供给部12直接连通，流化床气流粉碎机53的进料口上连接有向流化床气流粉碎机53内部投料的加料器54。

如图1所示，蒸发装置20包括外壳和热源，外壳包括侧部以及位于侧部两端且与侧部垂直的两个端部。热源为电极板21，电极板21包括正电极板、负电极板，二者相对固设于侧部的内壁。一个端部开设有蒸发物进料口，另一个端部开设有蒸发出料口。蒸发物进料口与第二气道连通。蒸发装置20与冷却装置30之间设置有高频振动器60。高频振动器60的振动参数为：频率为100～150Hz，振幅为2mm。冷却装置30包括第一驱动电机31、冷却件32、第一旋转轴33以及冷源供给部36。冷却件32为内部具有空腔34的筒状物，冷却件32的外壁形成衬底35。衬底35的表面与高频振动器60的出料口相对设置。第一旋转轴33与稀土氧化物微流的流动方向的夹角为90度。第一旋转轴33具有相对设置的第一端部和第二端部，第一端部穿过冷却件32顶部、延伸并固定于空腔34的底面，第一驱动电机31的输出轴与第一旋转轴33的第二端部连接并且联动冷却件32旋转。冷却件32的顶部安装有向空腔34内部输送冷源的管道，管道两端分别连通空腔34以及冷源供给部36。

收集装置40包括刮离器以及收集器44。刮离器包括第二驱动电机41、第二旋转轴42以及刮刀。刮刀包括两个刀叶43。第二旋转轴42具有相对设置的第一端部和第二端部，第二驱动电机41的输出轴与第二旋转轴42的第一端部固定连接，第二旋转轴42的第二端部与两个刀叶41的一端铰接连接。刀叶43与高频振动器60分别相对设置于筒状冷却件32的两侧。衬底35与刀叶43之间形成的间隙的下方设置有收集器44。第二驱动电机41联动刀叶43旋转将衬底35上附着的稀土氧化物纳米颗粒刮离衬底35并落入收集器44中。

蒸发装置20、冷却装置30和收集装置40均设置于同一密闭的壳体70内。壳体70设置有气体置换装置80。气体置换装置80包括三通阀，所述三通阀分别连通惰性气体存储罐(未图示)、真空泵(未图示)以及壳体70。壳体70的内部气体置换多次，以保证惰性气体氛围。

将碳酸铈通过加料器54进入气流超微粉碎装置50，粉碎为5～10μm的碳酸铈粉末。将经过分离器55筛分得到的碳酸铈粉末通过供给装置10供给至蒸发装置20，在1100～1400℃下、在氩气氛围中形成碳酸铈微流，然后经过高频振动器60的处理，附着在冷却件32的衬底35上，形成5～15nm的碳酸铈纳米颗粒。刀叶43将这些纳米颗粒刮下，使其落入收集器44中。

本实用新型并不限于上述实施方式，在不背离本实用新型的实质内容的情况下，本领域技术人员可以想到的任何变形、改进、替换均落入本实用新型的范围。

Claims (10)

1.一种稀土氧化物纳米颗粒的生产设备，其特征在于，包括：

稀土氧化物前驱体供给装置，其用于供给稀土氧化物前驱体粉末；

蒸发装置，其用于接收来自所述稀土氧化物前驱体供给装置的稀土氧化物前驱体粉末，并将其转化为稀土氧化物微流；

冷却装置，其用于接收所述稀土氧化物微流，并将其转化为稀土氧化物纳米颗粒；所述冷却装置包括能够旋转的筒状冷却件，该筒状冷却件外壁具有用于附着稀土氧化物纳米颗粒的衬底，该筒状冷却件的中心轴线与所述稀土氧化物微流的流动方向的夹角为45～90度；

收集装置，其用于收集所述稀土氧化物纳米颗粒。

2.根据权利要求1所述的生产设备，其特征在于，所述稀土氧化物前驱体供给装置包括储气部以及用于容纳稀土氧化物前驱体粉末的供给部，所述供给部位于所述储气部与所述蒸发装置之间的管线上。

3.根据权利要求2所述的生产设备，其特征在于，所述稀土氧化物前驱体供给装置还包括超微粉碎装置，其设置为能够将稀土氧化物前驱体粉碎为稀土氧化物前驱体粉碎粉末，然后送至供给部。

4.根据权利要求3所述的生产设备，其特征在于，所述超微粉碎装置包括储气罐、气体压缩机、流化床气流粉碎机、加料器和分离器；所述气体压缩机位于所述储气罐与所述流化床气流粉碎机之间的管线上；所述加料器与所述流化床气流粉碎机的进料口连通，所述流化床气流粉碎机的出料口与所述分离器的进料口连通，所述分离器的出料口与所述供给部连通。

5.根据权利要求4所述的生产设备，其特征在于，所述蒸发装置的内部设置有热源，所述热源选自钨电阻加热器、石墨加热器、高频感应线圈、电子束、激光、钼丝炉、高温碳棒、通电电极中的一种。

6.根据权利要求5所述的生产设备，其特征在于，所述筒状冷却件的内部设置有用于盛放冷源的空腔。

7.根据权利要求6所述的生产设备，其特征在于，所述收集装置包括刮离器以及收集器，所述刮离器包括能够旋转的刮刀，所述刮刀靠近所述衬底的表面，并设置为能够将附着于所述衬底的表面的稀土氧化物纳米颗粒刮下，使其落入所述收集器中。

8.根据权利要求7所述的生产设备，其特征在于，所述刮刀与所述蒸发装置分别相对设置于所述筒状冷却件的两端。

9.根据权利要求1～8任一项所述的生产设备，其特征在于，所述蒸发装置和所述冷却装置之间设置有振动装置，所述振动装置设置为能够进一步分散稀土氧化物微流中的稀土氧化物微粒。

10.根据权利要求9所述的生产设备，其特征在于，所述蒸发装置、冷却装置和收集装置均设置于同一密闭壳体内，所述壳体上设置有气体置换装置，所述气体置换装置用于保持壳体内部的惰性气体氛围。