CN102847950B - 高频等离子体多功能粉体生产设备 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种利用高频等离子体为热源制取纳米粉体的生产设备,该设备包括用于产生高频等离子体的高频等离子体发生装置Ⅱ、用于向等离子体发生装置Ⅱ输送粉体原料的送粉装置Ⅰ、主机室Ⅲ、粉体收集净化装置Ⅳ、气体冷却装置Ⅴ、供气蓄能装置Ⅵ、气体分配装置Ⅶ、回粉装置Ⅷ以及真空系统和为设备提供电力的电源系统以及电气控制系统;该设备可生产单质金属纳米粉、合金纳米粉及氧化物、氮化物、硼化物纳米粉,也可对热喷涂用粉体及其它粉体进行球形化、致密化加工处理,具有能源利用率高、产出率高、无污染、安全性好等优点。

Description

高频等离子体多功能粉体生产设备
技术领域
本发明涉及一种纳米粉生产设备,具体的说是一种利用高频等离子体为热源制取纳米粉体的生产设备,本设备可生产单质金属纳米粉、合金纳米粉及氧化物、氮化物、硼化物纳米粉,也可对热喷涂用粉体及其它粉体进行球形化、致密化加工处理。
背景技术
纳米科技自20世纪80年代开始受到世界性普遍关注,纳米科技已经对社会进步、经济发展、国家安全和人民生活水平的提高产生了深远的影响,在纳米技术中,纳米材料的制取和合成是最活跃的领域之一。
目前,金属纳米粉已经被应用于材料、电子、信息、航空、航天、环境和能源、医药、军工、制造业等领域,可用于新型高容量磁性材料、高效催化剂、磁流体、吸波材料、高效助燃剂的制备。
制取金属纳米粉的方法有溅射法、微波能法、电弧法、电爆炸法、激光法、化学法等,这些方法各有其优点和不足,但主要缺点是能源利用率低、产出率低,或者存在污染和安全问题,并且设备功能单一。
发明内容
本发明的目的是提供一种能源利用率高、产出率高、无污染、安全性好的高频等离子体多功能粉体生产设备。
本发明的目的是这样实现的,该设备包括:
用于向等离子体发生装置Ⅱ输送粉体原料的送粉装置Ⅰ;
位于主机室Ⅲ顶部、用于产生高频等离子体的高频等离子体发生装置Ⅱ;
通过管路与主机室Ⅲ相连接的粉体收集净化装置Ⅳ;
通过管路与粉体收集净化装置Ⅳ相连的气体冷却装置Ⅴ,气体冷却装置V通过水冷却或压缩机制冷方式对工作介质气体进行冷却;
通过管路与气体冷却装置Ⅴ连接的供气蓄能装置Ⅵ,用于对工作介质气体保压、蓄能;
通过管路与供气蓄能装置Ⅵ相连的气体分配装置Ⅶ,用于给送粉装置Ⅰ、高频等离子体发生装置Ⅱ、主机室Ⅲ提供工作介质气体;
连接送粉装置Ⅰ和主机室Ⅲ的回粉装置Ⅷ;
对设备抽真空的真空系统和为设备提供电力的电源系统以及电气控制系统。
将一定粒度的原料通过送粉装置输送到高频等离子体发生装置产生的等离子体焰流中,由等离子体焰流对其加热,使其熔融、汽化,然后在工作介质气体的携带下进入主机室。主机室为双层水冷结构并通入冷却工作介质气体,熔融、汽化的原料在冷却工作气体的作用下急剧冷却,凝固并形成微小颗粒。其中大颗粒原料在重力作用下沉积在主机室底部,纳米级的小颗粒被工作介质气体携带离开主机室,依次进入第一级收集仓、第二收集仓并在收集仓底部沉积,收集仓底部有包装箱,通过包装箱可以对各级收集仓收集到的粉体进行真空包装。沉积在主机室底部的大颗粒粉体可通过回粉装置返回到送粉装置,重新经过等离子体焰流,使其颗粒逐渐变小并最终汽化为纳米粉体。
工作介质气体由净化装置进行净化后流经气体冷却装置,然后由高压真空风机加压并输送到气体分配系统重新使用。
本发明中的等离子体室、主机室、第一级收集仓、第二收集仓均采用双层水冷结构,用于吸收等离子体产生的热量;气体冷却装置根据设备功率不同采用水冷方式或压缩机冷却方式,用于对循环使用的工作介质气体进行冷却。
本发明可用于生产单一金属纳米粉、合金纳米粉及氧化物、氮化物、硼化物纳米粉,也可对热喷涂用粉体及其它粉体进行球形化、致密化。
本发明由于采用上述结构具有以下优点:
1、采用高频等离子体加热原料,由于无电极,所以无电极污染,获得的纳米粉体纯度高。
2、高频等离子体焰流温度高,粉体产量大。
3、设备功能复合化,即可生产纳米粉体,也可以对热喷涂用粉体进行球形致密化。
附图说明
图1为本发明高频等离子体多功能粉体生产设备结构示意图。
图2为本发明送粉装置结构示意图。
图3为本发明高频等离子体发生装置结构示意图。
图4为本发明高频等离子体室结构示意图。
图5为本发明主机室结构示意图。
图6为本发明粉体收集净化装置结构示意图。
图7为本发明气体冷却装置结构示意图。
图8为本发明供气蓄能装置结构示意图。
图9为本发明水冷却真空罗茨风机结构示意图。
图10为本发明图9中A-A剖面图。
图11为本发明回粉装置结构示意图。
具体实施方式
由图1所示:本发明设备包括:
用于向等离子体发生装置Ⅱ输送粉体原料的送粉装置Ⅰ;
位于主机室Ⅲ顶部、用于产生高频等离子体的高频等离子体发生装置Ⅱ;
通过管路与主机室Ⅲ相连接的粉体收集净化装置Ⅳ;
通过管路与粉体收集净化装置Ⅳ相连的气体冷却装置Ⅴ,气体冷却装置V通过水冷却或压缩机制冷方式对工作介质气体进行冷却;
通过管路与气体冷却装置Ⅴ连接的供气蓄能装置Ⅵ,用于对工作介质气体保压、蓄能;
通过管路与供气蓄能装置Ⅵ相连的气体分配装置Ⅶ,用于给送粉装置Ⅰ、高频等离子发生装置Ⅱ、主机室Ⅲ提供工作介质气体;
连接送粉装置Ⅰ和主机室Ⅲ的回粉装置Ⅷ;
本发明设备另有真空系统对设备抽真空;另有电源系统及电气控制系统为设备提供电力、控制设备的运行;上述真空系统和电气控制系统为现有技术,在图中未表示。
本发明要求工作介质气体与外界气体隔绝,且工作介质气体在密闭系统中循环使用,工作前要抽真空,然后注入工作介质气体。
所述高频等离子体多功能粉体生产设备由送粉装置Ⅰ输送粉状原料,高频等离子体发生装置Ⅱ产生等离子焰流,粉状原料进入等离子焰流被加热、汽化,被工作介质气体携带进入主机室Ⅲ,被冷却气体冷却,大颗粒原料沉降在主机室底部,汽化的纳米级粉体随工作介质气体进入粉体收集净化装置Ⅳ并被收集,同时工作介质气体得到净化。净化后的工作介质气体经气体冷却装置V冷却后依次经过供气蓄能装置VⅠ、气体分配装置Ⅶ,由气体分配装置Ⅶ控制压力、流量,分别再输送到送粉装置Ⅰ、高频等离子发生装置Ⅱ、主机室Ⅲ,从而实现工作介质气体的循环使用。
改变本设备的相关工艺参数,如等离子体发生装置的功率、原料粒度、工作介质气体的流量,可以控制粉体原料在经过等离子体焰流时只是表面熔化或全部熔化而不汽化,熔融的粉体表面棱角及内部空洞消失,在液体张力的作用下形成球状,在主机室经冷却气体的冷却凝固成形。因此本设备也可对热喷涂用粉体及其它粉体进行球形化、致密化。
由图1所示:
所述的送粉装置Ⅰ有两套,两套送粉装置可通过阀门相互转换,当设备产量要求不高时可用一套。
由图2所示:
送粉装置Ⅰ分别包括罐体1、搅拌电机2、软轴3、主料斗4、送粉管5、料斗6、通气孔7、出粉管8、主动带轮9、配电盘10、驱动电机11、从动带轮12、送粉器13、送粉盘14、进气口15、真空表座16和视镜17,其中罐体1为密封容器,内部有搅拌电机2、软轴3、主料斗4、送粉管5、料斗6、主动带轮9、驱动电机11、从动带轮12、送粉盘13,配电盘10、进气口15、真空表座16、视镜17安装在罐体1上,出粉管8一端与送粉器13连接,另一端通向罐体1外部。
所述主料斗4下端为锥形、位于罐体1内部,下部由送粉管5与料斗6相连,软轴3在送粉管5内部,由搅拌电机2驱动可在送粉管5内自由转动,原料粉体可从主料斗4经送粉管5流入料斗6,料斗6为锥形中空结构,底部开孔并与圆形的送粉盘13有一定间隙,原料粉体可经料斗6底部孔流到送粉器13内部的送粉盘14,粉体输送气体从进气口15进入罐体,然后经通气孔7进入送粉器13并通过出粉管8带走送粉盘13上的原料粉体,完成送粉工作。送粉盘13的转动是由驱动电机11带动主动带轮9、经带传动带动从动带轮12转动,然后经传动轴转动来实现的,调节驱动电机11的转速可实现送粉量的调节。
罐体1内有照明装置,操作者可通过视镜17观察送粉装置的工作状态,配电盘10用于罐体1内部电机、照明的接线、配电。
罐体1为密闭结构,使用前要抽真空,然后充入工作介质气体,真空表座16用于接真空泵及真空表。
由图3所示:
所述高频等离子体发生装置Ⅱ由高频等离子体发生器18、等离子体室19及等离子体室气体冷却装置构成。等离子体室气体冷却装置包括进气口20、出气口22、离心风机23、离心风机出气口24、冷却器21及管路构成。进气口20、出气口22通过管路和等离子体室19联接,由离心风机23拖动介质气体(氮气)在等离子体室19和冷却器21间循环流动,用于带走等离子体室19内的热量;冷却器21为水冷或压缩机制冷,用于对从等离子体室19流出的介质气体(氮气)进行冷却。
由图4所示:
所述等离子体室19由等离子体室外罩25、等离子体室出气口26、冷却水管27、送粉管28、送粉气体进气口29、等离子体介质气体进气口30、内层冷却气体进气口31、内层管32、感应线圈33、绝缘密封套34、等离子体室进气口35、底座冷却水进水口36、底座37、主机室上盖38、密封圈39、中间管40、压盖41、底座冷却水出水口42、高压引弧杆43、绝缘套44、外层管45、外罩冷却水管46组成。
其中底座37置于主机室上盖38之上,等离子体室外罩25置于底座37之上;底座37为空心结构,可通过底座冷却水进水口36、底座冷却水出水口42通入循环冷却水对底座37冷却。等离子体室外罩25为双层水冷结构,可通过外罩冷却水管46通入循环冷却水对等离子体室外罩25进行冷却。冷却水管27用于通入循环循环冷却水,对等离子体室外罩25上部装置进行冷却。
送粉管28为中空结构,采用循环水冷方式冷却,与送粉装置相联接。送粉管28置于等离子体室外罩25中央,内层管32、中间管40、外层管45与送粉管28同轴布置并留有间隙。感应线圈33为环形、套在外层管45外部,通过绝缘密封套34安置在等离子体室外罩25上并与高频等离子体发生器18相连接。
高压引弧杆43通过绝缘套44安装在等离子体室外罩25上并可相对绝缘套44滑移,向等离子体室外罩25内移动高压引弧杆43使其可与中间管40接触,用于从外部导入高压电、激活等离子体工作介质气体完成点火工作,点火成功后可反向移动高压引弧杆43,使其脱离高温区。
送粉气体进气口29可导入送粉气体,送粉气体可通过气体通道由进气口29进入内层管32内部,携带粉体原料进入等离子体焰流。
等离子体介质气体进气口30用于导入等离子体介质气体,等离子体介质气体可通过气体通道经等离子体介质气体进气口30进入内层管32和中间管40之间的环形间隙、并通过中间管40流入主机室Ⅲ。
内层冷却气体进气口31用于导入冷却气体,冷却气体可通过气体通道流入中间管40、外层管45的环形间隙,然后进入等离子体室外罩25内部并经等离子体室出气口26流出,用于对中间管40进行冷却。内层冷却气体进气口31与图3中离心风机出气口24相连、等离子体室出气口26与图3中冷却器进气口20相连,在离心风机23的拖动下形成循环冷却气流。
由图5所示:
所述主机室Ⅲ由罐体47、罐体冷却进水管47、冷却气体上层进气口49、出气口50、罐体底部51、收集仓52、罐体冷却出水管53、冷却气体下层进气口54、压力表55、主机视窗56、主机室上盖38组成。
罐体47、罐体底部51为中空双层水冷结构,可通入循环冷却水对其冷却。图示罐体冷却进水管48、罐体冷却出水管53与循环水冷却装置相连接,循环水冷却装置在图中未表示。在罐体47上部有主机室上盖38,主机室上盖38与罐体47、罐体底部51形成密闭空间。出气口50位于罐体47下部的侧面,通过密闭管路与粉体收集净化装置Ⅳ相连。
罐体底部51下部与收集仓52连接,用于收集沉降在主机室Ⅲ底部的粉体。为观察主机室Ⅲ的工作状态,在罐体47上安装有主机视窗56;压力表55安装在罐体47上,用于指示主机室Ⅲ内部压力。罐体47上有冷却气体上层进气口49和冷却气体下层进气口54,冷却气体上层进气口49、冷却气体下层进气口54分别与气体分配装置Ⅶ相连,用于向主机室Ⅲ内通入冷却气体。
由图6所示:
所述粉体收集净化装置Ⅳ由第一收集仓58、第二收集仓60、终极净化仓65组成,通过管路依次连接。第一收集仓58底部有第一包装箱70,第二收集仓60底部有第二包装箱69,终极净化仓65底部有第三包装箱68。
第一收集仓58的第一收集仓进气口57与主机室Ⅲ的出气口50通过管路连接,第一收集仓出气口59通过管路与第二收集仓60的第二收集仓进气口62相连,管路中间有第一插板阀61。第二收集仓60的出气口63通过管路与终极净化仓65连接,管路中间设有第二插板阀64。终极净化仓65顶部设有废气排放装置66,上部侧面设有出气口67。
所述第一收集仓58、第二收集仓60、终极净化仓65的罐体都是双层水冷却结构,用于吸收工作介质气体从等离子体室携带来的热量。
原料粉体经过等离子加热、蒸发,被工作介质气体携带进入主机室Ⅲ,大颗粒沉积在主机室Ⅲ的底部,烟雾状的纳米级粉体从出气口50进入第一收集仓58进行旋风收集,其中一部分沉降在第一收集仓58的底部;其余未沉降的烟雾状纳米级粉体被工作介质气体携带进入第二收集仓60进行旋风收集,最终经终极净化仓65进行最终收集,并对工作介质气体进行净化,以利工作介质气体的循环使用。
沉降在收集仓、终极净化仓内的粉体可分别流入第一包装箱70、第二包装箱69、第三包装箱68,并在包装箱内部在惰性气体保护下进行人工包装。(包装箱结构专利见“金属超微粉真空包装箱”  ZL99244297.4)。
由图7所示:
所述气体冷却装置V由高压离心风机72、冷却器74构成,风机进气口71与终极净化仓65的出气口67通过管路相连,风机出气口73通入冷却器74内部。冷却器74内部为蛇形管路或空心散热片,根据等离子体发生器设备功率的大小不同,可采用循环水冷却方式或压缩机制冷方式,用于对工作介质气体进行冷却、降温;冷却后的工作介质气体经冷却器出风口75排出。
由图8所示:
所述供气蓄能装置Ⅵ由水冷却真空罗茨风机77、真空表座79、蓄能罐80、减压阀81、阀门83、气瓶组84组成,其中罗茨风机进气口76与冷却器出风口75经管路连接,罗茨风机出气口78经管路与蓄能罐80相连,中间有真空表座79及阀门。真空表座79可用于安装真空表,检测设备的真空度。在本高频等离子体多功能粉体生产设备使用前,需要对设备内部抽真空,然后由气瓶组84向设备内部提供工作介质气体,阀门83用于打开、截止气瓶组84和蓄能罐80的连接。水冷却真空罗茨风机77的转速可调,从而调节输气量和压力。
所述蓄能罐出气口82与气体分配装置Ⅶ相连接,为气体分配装置Ⅶ供气,供气蓄能装置Ⅵ用于为工作介质气体蓄能、保压,防止工作介质气体压力、流量波动过大。
由图9、10所示:
所述水冷却真空罗茨风机77用于输送工作介质气体并提升其工作压力。为保证高频等离子体多功能粉体生产设备能抽真空,保证外界空气不渗透到设备内部,需要将普通罗茨风机的动密封改成静密封。
所述水冷却真空罗茨风机77由如下主要零备件构成:冷却管85、叶片86、同步齿轮87、冷却水套89、叶轮90、右侧盖91、叶轮主轴92、套式联轴器93、电机94、电机进水管95、电机出水管96、电机端盖97、过渡盘98、右侧板99、机壳100、左侧板101、左侧盖102、罗茨风机进气口103、罗茨风机出气口104。
所述叶轮90安装在机壳100内部,机壳100左侧有左侧板101,右侧有右侧板99;叶轮90安装在叶轮主轴上,主轴两端设有轴承,轴承安装在左侧板101、右侧板99上。左侧盖102安装在左侧板101的左侧,在左侧盖102和左侧板101形成的空间内有冷却管85、两个同步齿轮87、两个叶片86,两个同步齿轮87相互啮合,以保证两个叶轮90运转时相互不磕碰、卡死;冷却管85用于将齿轮啮合的热量传导到外部;叶片86用于搅动气体,使散热均匀。电机94的主轴通过套式联轴器93与叶轮主轴92连接并输送运动和动力。
所述电机94的外壳为双层水冷却结构,有电机进水管95、电机出水管96,用于通入循环冷却水,为电机降温。电机端盖97通过过渡盘98与右侧盖91连接,右侧盖91在右侧板99的右侧。电机端盖97与过渡盘98之间间、右侧盖91与右侧板99之间都设有密封环。
如图11所示:
高频等离子体多功能粉体生产设备使用原材料为微米级粉末,在通过等离子体焰流过程中,可能不会完全熔融、汽化,还有部分大颗粒粉体沉降在主机室底部。为提高工作效率,本发明配有一套回粉装置在制取纳米粉时选用。该回粉装置可以在不打开主机室、送粉装置的情况下,通过风送装置,使沉积在主机室底部的大颗粒粉体回流到送粉装置的料斗中,从而简化操作、提高效率、保持粉体的纯度。
所述回粉装置由风机105、风机出风口106、进风管107、进气管122、吸粉管109、收集仓52、阀门110、回粉管111、分离室112、分离室入口113、出粉口116、气物分离装置114、风机回风管路115、粉体输送管117、粉体阀门118、粉体转换阀门119、送粉管120、平衡气管121等组成,与送粉装置Ⅰ相连。
所述收集仓52位于主机室的罐体底部51下侧,收集仓52与罐体底部51间有阀门110,打开阀门110可以使沉积在罐体底部51的大颗粒粉体流入收集仓52。收集仓52底部为锥形结构,吸粉管109安置在收集仓52底部,旁边有用于压力平衡的进气管122。
风机105输送工作介质气体经风机出风口106高速进入进风管107,进风管107与回粉管111直线相联通,吸粉管109与回粉管111相连通。当工作介质气体经进风管107高速流经收集仓52时,在吸粉管109内形成负压,携带收集仓52底部的大颗粒粉体进入回粉管111并被输送到分离室入口113,经出粉口116进入分离室112,大颗粒粉体沉降在分离室112的底部,工作介质气体经气物分离装置114进入风机回风管路115,在风机回风管路115上有平衡气管121与收集仓52上部连接,用于平衡气压,使粉体输送能连续进行。
气物分离室112通过粉体输送管117分别与送粉装置Ⅰ相连,粉体输送管117上有粉体阀门118,用于转换气物分离室112中粉体向送粉装置Ⅰ的输送。两套送粉装置Ⅰ分别通过出粉管8与送粉管120相连,中间分别有粉体转换阀门119,用于转换两个送粉装置Ⅰ的工作状态,可以做到一套送粉装置给等离子体室送粉,一套回收大颗粒粉体,保证生产的连续进行。
所述回粉装置为密闭系统,可随设备主机一起抽真空。

Claims (5)

1.一种高频等离子体多功能粉体生产设备,该设备包括:
用于向等离子体发生装置Ⅱ输送粉体原料的送粉装置Ⅰ;
位于主机室Ⅲ顶部、用于产生高频等离子体的高频等离子体发生装置Ⅱ;
通过管路与主机室Ⅲ相连接的粉体收集净化装置Ⅳ;
通过管路与粉体收集净化装置Ⅳ相连的气体冷却装置Ⅴ,气体冷却装置V通过水冷却或压缩机制冷方式对工作介质气体进行冷却;
通过管路与气体冷却装置Ⅴ连接的供气蓄能装置Ⅵ,用于对工作介质气体保压、蓄能;
通过管路与供气蓄能装置Ⅵ相连的气体分配装置Ⅶ,用于给送粉装置Ⅰ、高频等离子体发生装置Ⅱ、主机室Ⅲ提供工作介质气体;
连接送粉装置Ⅰ和主机室Ⅲ的回粉装置Ⅷ;
对设备抽真空的真空系统和为设备提供电力的电源系统以及电气控制系统;
其特征在于:
所述的送粉装置Ⅰ包括罐体(1)、搅拌电机(2)、软轴(3)、主料斗(4)、送粉管(5)、料斗(6)、通气孔(7)、出粉管(8)、主动带轮(9)、配电盘(10)、驱动电机(11)、从动带轮(12)、送粉器(13)、送粉盘(14)、进气口(15)、真空表座(16)和视镜(17),其中罐体(1)为密封容器,内部有搅拌电机(2)、软轴(3)、主料斗(4)、送粉管(5)、料斗(6)、主动带轮(9)、驱动电机(11)、从动带轮(12)、送粉盘(13),配电盘(10)、进气口(15)、真空表座(16)、视镜(17)安装在罐体(1)上,出粉管(8)一端与送粉器(13)连接,另一端通向罐体(1)外部;所述的送粉装置Ⅰ有两套,两套送粉装置可通过阀门相互转换,当设备产量要求不高时可用一套;
所述高频等离子体发生装置Ⅱ由高频等离子体发生器(18)、等离子体室(19)及等离子体室气体冷却装置构成,等离子体室气体冷却装置包括进气口(20)、出气口(22)、离心风机(23)、离心风机出气口(24)、冷却器(21)及管路构成;进气口(20)、出气口(22)通过管路和等离子体室(19)联接,由离心风机(23)拖动介质气体在等离子体室(19)和冷却器(21)间循环流动,用于带走等离子体室(19)内的热量;冷却器(21)为水冷或压缩机制冷,用于对从等离子体室(19)流出的介质气体进行冷却。
2.根据权利要求1所述的一种高频等离子体多功能粉体生产设备,其特征在于:所述主料斗(4)下端为锥形、位于罐体(1)内部,下部由送粉管(5)与料斗(6)相连,软轴(3)在送粉管(5)内部,由搅拌电机(2)驱动可在送粉管(5)内自由转动,原料粉体可从主料斗(4)经送粉管(5)流入料斗(6),料斗(6)为锥形中空结构,底部开孔并与圆形的送粉盘(13)有一定间隙,罐体(1)为密闭结构、内有照明装置。
3.根据权利要求1所述的一种高频等离子体多功能粉体生产设备,其特征在于:所述等离子体室(19)由等离子体室外罩(25)、等离子体室出气口(26)、冷却水管(27)、送粉管(28)、送粉气体进气口(29)、等离子体介质气体进气口(30)、内层冷却气体进气口(31)、内层管(32)、感应线圈(33)、绝缘密封套(34)、等离子体室进气口(35)、底座冷却水进水口(36)、底座(37)、主机室上盖(38)、密封圈(39)、中间管(40)、压盖(41)、底座冷却水出水口(42)、高压引弧杆(43)、绝缘套(44)、外层管(45)、外罩冷却水管(47)组成;
其中:
a、底座(37)置于主机室上盖(38)之上,等离子体室外罩(25)置于底座(37)之上,底座(37)为空心结构,可通冷却水;等离子体室外罩(25)为双层水冷结构;
b、送粉管(28)为中空结构,置于离子室外罩(25)中央,内层管(32)、中间管(40)、外层管(45)与送粉管(28)同轴布置并留有间隙;
c、感应线圈(33)为环形、套在外层管(45)外部,通过绝缘密封套(34)安置在等离子体室外罩(25)上并与高频等离子体发生器(18)相连接;
d、高压引弧杆(43)通过绝缘套(44)安装在离子室外罩(25)上并可相对绝缘套(44)滑移;
e、内层冷却气体进气口(31)与离心风机出气口(24)相连、离子室出气口(26)与冷却器进气口(20)相连。
4.根据权利要求1所述的一种高频等离子体多功能粉体生产设备,其特征在于:所述主机室Ⅲ由罐体(47)、罐体冷却进水管(47)、冷却气体上层进气口(49)、出气口(50)、罐体底部(51)、收集仓(52)、罐体冷却出水管(53)、冷却气体下层进气口(54)、压力表(55)、主机视窗(56)、主机室上盖(38)组成,其中:
a、罐体(47)、罐体底部(51)为双层水冷结构,罐体冷却进水管(48)、罐体冷却出水管(53)与循环水冷却装置相连接;在罐体(47)上部有主机室上盖(38),主机室上盖(38)与罐体(47)、罐体底部51形成密闭主机室,出气口(50)位于罐体(47)下部的侧面,通过密闭管路与粉体收集净化装置Ⅳ相连;在罐体(47)上安装有主机视窗(56),压力表(55)安装在罐体(47)上;
b、罐体底部(51)下部与收集仓(52)连接;
c、罐体(47)上有冷却气体上层进气口(49)和冷却气体下层进气口(54),冷却气体上层进气口(49)、冷却气体下层进气口(54)分别与气体分配装置Ⅶ相连。
5.根据权利要求1所述的一种高频等离子体多功能粉体生产设备,其特征在于:所述回粉装置Ⅷ由风机(105)、风机出风口(106)、进风管(107)、进气管(122)、吸粉管(109)、收集仓(52)、阀门(110)、回粉管(111)、分离室(112)、分离室入口(113)、出粉口(116)、气物分离装置(114)、风机回风管路(115)、粉体输送管(117)、粉体阀门(118)、粉体转换阀门(119)、送粉管(120)、平衡气管(121)等组成,与送粉装置Ⅰ相连,其中:
a、所述收集仓(52)位于主机室的罐体底部(51)下侧,收集仓(52)与罐体底部(51)间有阀门(110),打开阀门(110)可以使沉积在罐体底部(51)的未完全汽化的大颗粒粉体流入收集仓(52),收集仓(52)底部为锥形结构,吸粉管(109)安置在收集仓(52)底部,旁边有用于压力平衡的进气管(122);
b、风机(105)输送工作介质气体经风机出风口(106)高速进入进风管(107)、进风管(107)与回粉管(111)直线相联,吸粉管(109)与回粉管(111)相连,在风机回风管路(115)上有平衡气管(121)与收集仓(52)上部连接;
c、气物分离室(112)通过粉体输送管(117)分别与送粉装置Ⅰ相连,粉体输送管(117)上有粉体阀门(118),两套送粉装置Ⅰ分别通过出粉管(8)与送粉管(120)相连,中间分别有粉体转换阀门(119);
d、所述回粉装置是可随设备主机一起抽真空的密闭系统。
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