CN209021882U - 一种均匀打磨的游星轮装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及打磨领域，具体涉及一种均匀打磨的游星轮装置，包括底板，底板的顶部左右两侧的设有电动伸缩杆，底板的顶部设有下定盘，下定盘的顶部设有固定板，固定板的左右两侧对称设有固定件，底板中心插接有中心轴，固定板的左右两侧内腔固定插接有定位柱，定位柱的顶部有固接有研磨台，电动伸缩杆的伸缩端固接有支撑板，连接杆的顶部固接有电机台，电机台的顶部固接有打磨电机，打磨电机的底部动力输出端固接有转动轴，转动轴的底部固接有打磨件，支撑板顶部左侧固接有限位板，限位板的右侧壁固接有电动液压伸缩杆。本实用新型能解决了游星轮研磨时，换取的步骤比较繁琐，影响研磨工件的厚度、表面粗糙度的问题。

Description

一种均匀打磨的游星轮装置

技术领域

本实用新型涉及打磨领域，具体涉及一种均匀打磨的游星轮装置。

背景技术

对半导体晶片或玻璃衬底等板状的工件进行研磨的平面研磨装置通常具有旋转自如地配置的上定盘及下定盘、和保持上 述工件的游星轮，并构成为通过上定盘及下定盘来夹持该游星轮上所保持的上述工件，且 通过上述上定盘和下定盘来对该工件的表背面进行研磨。

在这种平面研磨装置中，公知通过在工件的厚度与游星轮的厚度之差成为规定值的时刻结束研磨而得到具有高平面度的工件。因此，以往，分别测定工件的厚度和游星轮的厚度，并对该工件的厚度与游星轮的厚度之差进行管理，进行研磨加工直至该间隔成为规定值，在现有技术中仍存有一些问题，研磨工件时要经常换研磨片，否则，工件研磨后形成的碎屑会影响游星轮运动，进而影响研磨工件的厚度、表面粗糙度等，导致工件的质量不合格，但换取研磨片时，上研磨片比较方便换取，下研磨片换取的步骤比较繁琐，浪费一定的时间。因此，我们提供了可节约时间、方便换取研磨片的装置。为此，我们设计一种均匀打磨的游星轮装置。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种均匀打磨的游星轮装置，解决了游星轮研磨时，换取的步骤比较繁琐，影响研磨工件的厚度、表面粗糙度的问题。

本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种均匀打磨的游星轮装置，包括底板，其特征在于：所述底板的顶部左右两侧的设有电动伸缩杆，所述底板的顶部设有下定盘，所述下定盘的顶部设有固定板，所述固定板的左右两侧对称设有固定件，所述底板中心插接有中心轴，且中心轴贯穿下定盘和固定板的中心处，所述固定板的左右两侧内腔固定插接有定位柱，所述定位柱的顶部有固接有研磨台，所述研磨台的顶部固接上定盘，所述电动伸缩杆的伸缩端固接有支撑板，所述支撑板的顶部左右两侧对称连接有连接杆，所述连接杆的顶部固接有电机台，所述电机台的顶部固接有打磨电机，所述打磨电机的底部动力输出端固接有转动轴，所述转动轴的底部固接有打磨件，且打磨件位于支撑板下方，所述支撑板顶部左侧固接有限位板，所述限位板的右侧壁固接有电动液压伸缩杆。

优选的，所述固定件呈L形，且固定件底部与下定盘的内腔插接。

优选的，所述研磨台的内腔左右两侧开有与定位柱相配合的圆形让位槽。

优选的，所述连接杆的支撑板滑动连接，且支撑板顶部设有与连接杆相配合的滑动轨道。

优选的，所述电机台的内腔开有滑动槽，所述滑动槽的内腔设有滑动块，且打磨电机位于滑动块的顶部，且连接杆位于滑动块的底部。

优选的，所述转动轴与滑动块连接处设有转动轴承。

本实用新型的有益效果为：本实用新型结构设计合理，打开上定盘，把待研磨的工件放进游星轮的工件卡持位上，放下上定盘，通过电动液压伸缩杆的伸缩调整研磨的位置，连接杆的支撑板滑动连接，且支撑板顶部设有与连接杆相配合的滑动轨道，便于位置的调节，并控制电动伸缩杆上下伸缩调节高度，然后打开打磨电机，对工件开始研磨，当研磨片进行替换时，移开上定盘，拧开固定板两端设有的固定件， 换取研磨片，节约了时间，同时减少因研磨面凹凸不平而致使工件研磨精度有偏差，提高研磨工件的质量，通过电动液压伸缩杆和电动伸缩杆的左右位置调节，使打磨的位置更精确，便于调整，灵活性更强。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是实用新型的结构示意图；

图2是上定盘的结构示意图；

图3是电机台的结构示意图。

图中：1-底板、2-电动伸缩杆、3-下定盘、4-固定板、5-固定件、6-中心轴、7-定位柱、8-研磨台、9-上定盘、10-支撑板、11-连接杆、12-电机台、13-打磨电机、14-转动轴、15-打磨件、16-限位板、17-电动液压伸缩杆。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参看图1-3：一种均匀打磨的游星轮装置，包括底板1，底板1的顶部左右两侧的设有电动伸缩杆2，底板1的顶部设有下定盘3，下定盘3的顶部设有固定板4，固定板4的左右两侧对称设有固定件5，固定件5呈L形，且固定件5底部与下定盘3的内腔插接，底板1中心插接有中心轴6，且中心轴6贯穿下定盘3和固定板4的中心处，固定板4的左右两侧内腔固定插接有定位柱7，定位柱7的顶部有固接有研磨台8，研磨台8的内腔左右两侧开有与定位柱7相配合的圆形让位槽，研磨台8的顶部固接上定盘9，电动伸缩杆2的伸缩端固接有支撑板10，支撑板10的顶部左右两侧对称连接有连接杆11，连接杆11的支撑板10滑动连接，且支撑板10顶部设有与连接杆11相配合的滑动轨道，连接杆11的顶部固接有电机台12，电机台12的顶部固接有打磨电机13，电机台12的内腔开有滑动槽，滑动槽的内腔设有滑动块，且打磨电机13位于滑动块的顶部，且连接杆11位于滑动块的底部，打磨电机13的底部动力输出端固接有转动轴14，转动轴14与滑动块连接处设有转动轴承，转动轴14的底部固接有打磨件15，且打磨件15位于支撑板10下方，支撑板10顶部左侧固接有限位板16，限位板16的右侧壁固接有电动液压伸缩杆17。

本实用新型在使用时，本实用新型结构设计合理，打开上定盘9，把待研磨的工件放进游星轮的工件卡持位上，放下上定盘9，通过电动液压伸缩杆17的伸缩调整研磨的位置，连接杆11与支撑板10滑动连接，且支撑板10顶部设有与连接杆11相配合的滑动轨道，便于位置的调节，并控制电动伸缩杆2上下伸缩调节高度，然后打开打磨电机13通过打磨件15对工件开始研磨，当研磨片进行替换时，移开上定盘9，拧开固定板4两端设有的固定件5，换取研磨片，节约了时间，同时减少因研磨面凹凸不平而致使工件研磨精度有偏差，提高研磨工件的质量，通过电动液压伸缩杆17和电动伸缩杆2的左右位置调节，使打磨的位置更精确，便于调整，灵活性更强。

上述实施例中所提到的电动伸缩杆、电动液压伸缩杆和打磨电机均为市场上易得到的电器元件，且电动伸缩杆、电动液压伸缩杆和打磨电机均均为本领域技术人员所掌握的成熟技术，在本实施例中仅对其进行使用，未对其结构和功能进行改变，且电动伸缩杆、电动液压伸缩杆和打磨电机均均设有与其相配合的开关，开关的位置由实际情况而定。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (6)

1.一种均匀打磨的游星轮装置，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）的顶部左右两侧的设有电动伸缩杆（2），所述底板（1）的顶部设有下定盘（3），所述下定盘（3）的顶部设有固定板（4），所述固定板（4）的左右两侧对称设有固定件（5），所述底板（1）中心插接有中心轴（6），且中心轴（6）贯穿下定盘（3）和固定板（4）的中心处，所述固定板（4）的左右两侧内腔固定插接有定位柱（7），所述定位柱（7）的顶部有固接有研磨台（8），所述研磨台（8）的顶部固接上定盘（9），所述电动伸缩杆（2）的伸缩端固接有支撑板（10），所述支撑板（10）的顶部左右两侧对称连接有连接杆（11），所述连接杆（11）的顶部固接有电机台（12），所述电机台（12）的顶部固接有打磨电机（13），所述打磨电机（13）的底部动力输出端固接有转动轴（14），所述转动轴（14）的底部固接有打磨件（15），且打磨件（15）位于支撑板（10）下方，所述支撑板（10）顶部左侧固接有限位板（16），所述限位板（16）的右侧壁固接有电动液压伸缩杆（17）。

2.根据权利要求1所述的一种均匀打磨的游星轮装置，其特征在于：所述固定件（5）呈L形，且固定件（5）底部与下定盘（3）的内腔插接。

3.根据权利要求1所述的一种均匀打磨的游星轮装置，其特征在于：所述研磨台（8）的内腔左右两侧开有与定位柱（7）相配合的圆形让位槽。

4.根据权利要求1所述的一种均匀打磨的游星轮装置，其特征在于：所述连接杆（11）的支撑板（10）滑动连接，且支撑板（10）顶部设有与连接杆（11）相配合的滑动轨道。

5.根据权利要求1所述的一种均匀打磨的游星轮装置，其特征在于：所述电机台（12）的内腔开有滑动槽，所述滑动槽的内腔设有滑动块，且打磨电机（13）位于滑动块的顶部，且连接杆（11）位于滑动块的底部。

6.根据权利要求1所述的一种均匀打磨的游星轮装置，其特征在于：所述转动轴（14）与滑动块连接处设有转动轴承。