CN209016027U - 一种自动有机清洗机及清洗系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于晶圆加工设备技术领域，提供了一种自动有机清洗机，包括机架，机架上设有密封罩，机架通过密封罩围设成一密封清洗腔，密封清洗腔内并排设有去胶剂工艺槽、IPA工艺槽和清洗水槽，密封清洗腔内还设有驱动装置驱动的提篮机构，机架外设有用以实现驱动装置控制的控制器。本实用新型实现了人工劳动力的有效替代，大大降低了工作人员的劳动强度，且清洗效率大大提高，清洗成本大大降低，此外，有效避免了工艺液对人体健康的伤害，且使得整个清洗车间的工作环境得到很大的改善。

Description

一种自动有机清洗机及清洗系统

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，尤其涉及一种自动有机清洗机及清洗系统。

背景技术

在晶圆加工生产过程中，经过电感耦合等离子(ICP)设备刻蚀加工完后的蓝宝石衬底(PSS)，需要进行清洗工艺处理，对衬底上的光刻胶进行去胶清洗。传统的去胶方法是，人工将产品搬运到各个超声波清洗工艺槽，进行手动清洗，按照下列工艺流程实现：产品放入提篮--提篮产品到去胶剂槽去胶--到IPA槽去除去胶剂--到水槽冲洗--取出提篮--取出清洗后产品；但人工进行手动清洗的方式，不但劳动强度大，清洗效率低，且工艺液去胶剂(硫酸跟双氧水比例混合)跟IPA(异丙醇)均是刺鼻性气味的液体，超声波清洗机工艺槽直接裸露在工作环境中，工作人员即使佩戴口罩和手套也会因为搬运提篮时接近溶液，溶液的刺鼻气味很容易造成人体不适，吸入人体会对人体健康造成危害(如异丙醇IPA是危险及有害物质，吸入过量异丙醇蒸气，会造成人体健康的危害，轻度会刺激眼睛及上呼吸道，高浓度可能造成头痛、恶心症状)。

因此，开发一种自动有机清洗机及清洗系统，不但具有迫切的研究价值，也具有良好的经济效益和工业应用潜力，这正是本实用新型得以完成的动力所在和基础。

实用新型内容

为了克服上述所指出的现有技术的缺陷，本发明人对此进行了深入研究，在付出了大量创造性劳动后，从而完成了本实用新型。

具体而言，本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种自动有机清洗机及清洗系统，以解决目前人工手动进行衬底上光刻胶清洗时存在的劳动强度大，清洗效率低，工作环境差以及对人体健康危害大的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：

一种自动有机清洗机，包括机架，所述机架上设有密封罩，所述机架通过所述密封罩围设成一密封清洗腔，所述密封清洗腔内并排设有去胶剂工艺槽、IPA工艺槽和清洗水槽，所述密封清洗腔内还设有驱动装置驱动的提篮机构，所述机架外设有用以实现所述驱动装置控制的控制器。

作为一种改进的技术方案，所述机架的一侧设有设备门和推拉观察窗，所述设备门铰接安装于所述机架上，且与所述清洗水槽对应设置，所述推拉观察窗滑动安装于所述机架上，且所述推拉观察窗与所述去胶剂工艺槽、所述IPA工艺槽对应设置。

作为一种改进的技术方案，所述机架另一侧的所述密封罩上分别开设有进气口、排气口、去胶剂排液口和IPA排液口，所述进气口和所述排气口均与所述密封清洗腔连通，所述去胶剂排液口与所述去胶剂工艺槽连通，所述IPA排液口与所述IPA工艺槽连通。

作为一种改进的技术方案，所述清洗水槽内设有隔板，所述隔板将所述清洗水槽分隔为清洗区和排水缓冲区，且所述隔板的底部设有排水阀，所述排水阀与所述控制器连接；

所述清洗区的底部设有两定位板，两所述定位板倾斜固定安装于所述清洗水槽的槽壁上，且两所述定位板的底边间具有与提篮宽度相适配的间距，所述清洗区的顶部两侧分别设有两喷淋水管，两所述喷淋水管固定安装于所述清洗水槽的槽壁上，且所述喷淋水管上均匀设有若干与所述喷淋水管连通的喷淋头，所述喷淋头具有一倾斜喷淋角度；

所述排水缓冲区的底部设有一废水排水口。

作为一种改进的技术方案，所述驱动装置包括X轴安装板、第一滑轨、第一驱动电机、第一传动带轮、第一传动带、第一滑座、Y轴安装板、第二滑轨、第二驱动电机、第二传动带轮、第二传动带和第二滑座；

所述X轴安装板水平固定安装于所述机架上，所述第一滑轨水平固定安装于所述X轴安装板上，所述第一驱动电机固定安装于所述X轴安装板的一端，且与所述控制器连接，所述第一传动带轮设有两个，且其中一所述第一传动带轮固定安装于所述第一驱动电机的输出轴上，另一所述第一传动带轮转动安装于所述X轴安装板的另一端，所述第一传动带架绕于两所述第一传动带轮之间，且与所述第一传动带轮传动啮合，所述第一滑座滑动安装于所述第一滑轨上，且与所述第一传动带固定连接；

所述Y轴安装板竖直固定安装于所述第一滑座上，所述第二滑轨竖直固定安装于所述Y轴安装板上，所述第二驱动电机固定安装于所述Y轴安装板的一端，且与所述控制器连接，所述第二传动带轮设有两个，且其中一所述第二传动带轮固定安装于所述第二驱动电机的输出轴上，另一所述第二传动带轮转动安装于所述Y轴安装板的另一端，所述第二传动带架绕于两所述第二传动带轮之间，且与所述第二传动带轮传动啮合，所述第二滑座滑动安装于所述第二滑轨上，且与所述第二传动带固定连接。

作为一种改进的技术方案，所述提篮机构包括提篮臂，所述提篮臂的顶端固定安装于所述第二滑座上，所述提篮臂的底端固定安装有滑杆，所述滑杆上滑动安装有两对应设置的滑块，所述滑块的底部固定安装有提篮挂钩，且两所述滑块间设有双头气缸，所述双头气缸的活塞杆分别与两所述滑块固定连接。

作为一种改进的技术方案，所述自动有机清洗机还包括报警装置，所述报警装置包括三色报警灯和蜂鸣器，所述三色报警灯和所述蜂鸣器分别与所述控制器连接。

作为一种改进的技术方案，所述自动有机清洗机还包括提篮，所述提篮为栅格状网板围设而成，且所述提篮的两侧均具有便于取放衬底盒的敞口，所述提篮的顶部两侧均设有提把，所述提篮的衬底盒放置板上固定安装有加强杆。

本实用新型同时公开了一种自动有机清洗系统，包括上述所述的自动有机清洗机，还包括清水储罐、废水调节池、活性炭吸附塔、去胶剂回收池和IPA回收池，所述清水储罐通过供水管与喷淋水管连通，且所述供水管上设有供水泵，所述供水泵与所述控制器连接，所述废水调节池通过排水管与废水排水口连通，所述活性炭吸附塔的入风口通过废气排气管与所述有机清洗机的排气口连通，所述活性炭吸附塔的出风口连通有气泵，所述去胶剂回收池通过第一废液回收管与去胶剂排液口连通，所述IPA回收池通过第二废液回收管与IPA排液口连通。

本实用新型同时公开了一种采用如上述所述的自动有机清洗机实现的清洗方法，包括如下步骤：

S1、将需要清洗的衬底产品放置到衬底盒内，并将其成盒放置到提篮内；

S2、打开设备门，将装有衬底产品的提篮放置到清洗水槽的清洗区内，关闭设备门；

S3、控制器控制驱动装置动作，通过挂钩将装有衬底产品的提篮提到去胶剂工艺槽内，并带动提篮于去胶剂溶液内上下抖动，清洗时间t1，进行去除光刻胶工艺；

S4、去除光刻胶工艺完成后，将上述提篮提到IPA工艺槽内，并并带动提篮于IPA溶液内上下抖动，清洗时间t2，进行去除去胶剂工艺；

S5、去除去胶剂工艺完成后，将上述提篮提到清洗水槽的清洗区内，控制器控制喷淋水管进水，通过喷淋头对提篮内衬底产品喷淋清洗，至清洗水槽内水完全浸没提篮，浸泡时间t3，进行最后的去除IPA工艺；

S6、去除IPA工艺完成后，打开排水阀，将清洗水槽的清洗区内废水排尽，取出上述提篮，同时放入下一个装有待清洗衬底的提篮。

采用了上述技术方案后，本实用新型的有益效果是：

(1)该自动有机清洗机结构简单，实现了衬底上光刻胶的自动清洗，节省了人力，大大降低了工作人员的劳动强度，且相较人工搬运产品提篮进行手动清洗的清洗方式，清洗效率大大提高，清洗成本大大降低。

(2)该自动有机清洗机通过密封罩围设成的密封清洗腔，整个清洗过程均在密封清洗腔内进行，有效避免了工艺液对人体健康的伤害，且使得整个清洗车间的工作环境得到很大的改善。

(3)在去除光刻胶工艺跟去除去胶剂工艺的清洗过程中，通过带动产品提篮于工艺液内上下抖动的清洗方式(涮洗)，相较传统的提篮只能浸没静置于工艺槽内清洗的方式，实现了对衬底产品的辅助清洗，进一步提高了对衬底产品的清洗效率，减小了清洗周期。

(4)设有的提篮结构，便于衬底产品成盒放置与清洗，且一次能够放置的衬底产品量多，进而进一步提高了清洗效率。

(5)清洗水槽内设有的定位板结构，便于提篮的放置，且提篮放置后，在定位板定位作用下，提篮自动滑到两个定位板之间，使得提篮的放置位置精确，不会出现倾斜、偏移现象，便于提篮机构对提篮的准确提取及喷淋头对提篮的精确喷淋水洗。

(6)设有的提篮机构，结构简单，通过控制双头气缸的活塞杆伸缩，便可实现提篮的取放操作，方便、实用。

(7)设有的喷淋水管及喷淋头结构，两排喷淋头呈倾斜角度对准提篮内产品进行喷淋清洗的清洗方式，相较传统的直接拿水管人工冲洗的清洗方式，清洗均匀，清洗效率高，清洗效果好，且用水量大大降低，此外，自动清洗、清洗完成后自动排水，不需人工排水，降低了工作人员的劳动强度。

(8)设有的报警装置，工人上料完成后，可在清洗时间段内做其他工作，无需看管，只需听到设备蜂鸣提示或看到警示灯提示后完成下料即可，方便实用。

(9)设有的设备门，便于实现上料及下料操作；设有的推拉观察窗，便于对去胶剂工艺槽和IPA工艺槽的清洗工艺进行定期或不定期的观察，若出现清洗故障，便于通过推拉观察窗进行即使维修处理。

(10)设有的排气口和进气口，能够将密封清洗腔内的废气及时抽出，使得密封清洗腔内的废气浓度大大降低，从而进一步降低了在打开门进行上下料操作过程中，废气对工作人员的危害及废气散发到工作车间中。

(11)设有的该清洗系统，在实现对衬底自动清洗的同时，便于对清洗过程中产生的废水跟废气进行处理，处理后排放，避免了环境污染，清洁环保，同时便于对使用后去胶剂溶液及IPA溶液的回收储放，以便回收再利用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。

图1为本实用新型自动有机清洗机的结构示意图；

图2为本实用新型自动有机清洗机的立体结构示意图；

图3为本实用新型自动有机清洗机的另一立体结构示意图；

图4为本实用新型提篮在驱动装置驱动下的转运结构示意图；

图5为本实用新型提篮于清洗水槽内的放置结构示意图；

图6为本实用新型驱动装置的结构示意图；

图7为本实用新型提篮机构的结构示意图；

图8为本实用新型清洗水槽的结构示意图；

图9为本实用新型提篮的结构示意图；

图10为本实用新型自动有机清洗系统的结构示意图；

图11为本实用新型活性炭吸附塔的结构示意图；

附图标记：1-机架；2-密封罩；201-进气口；202-排气口；3-去胶剂工艺槽；301-去胶剂排液口；4-IPA工艺槽；401-IPA排液口；5-清洗水槽；501-隔板；502-定位板；503-废水排水口；5a-清洗区；5b-排水缓冲区；6-驱动装置；601-X轴安装板；602-第一滑轨；603-第一驱动电机；604-第一传动带轮；605-第一传动带；606-第一滑座；607-Y轴安装板；608-第二滑轨；609-第二驱动电机；6010-第二传动带轮；6011-第二传动带；6012-第二滑座；7-提篮机构；701-提篮臂；702-滑杆；703-滑块；704-提篮挂钩；705-双头气缸；8-设备门；9-推拉观察窗；10-排水阀；11-喷淋水管；1101-喷淋头；12-三色报警灯；13-提篮；1301-提把；1302-衬底盒放置板；1303-加强杆；14-控制柜；15-控制触摸屏；16-控制按钮；17-衬底盒；18-清水储罐；19-废水调节池；20-活性炭吸附塔；2001-入风口；2002-出风口；2003-活性炭填充层；21-去胶剂回收池；22-IPA回收池；23-供水管；24-供水泵；25-排水管；26-废气排气管；27-气泵；28-第一废液回收管；29-第二废液回收管。

具体实施方式

下面结合具体的实施例对本实用新型进一步说明。但这些例举性实施方式的用途和目的仅用来例举本实用新型，并非对本实用新型的实际保护范围构成任何形式的任何限定，更非将本实用新型的保护范围局限于此。

如图1至图4所示，本实施例提供了一种自动有机清洗机，包括机架1，机架1为不锈钢管焊接而成的架体结构，机架1上设有密封罩2，机架1通过密封罩2围设成一密封清洗腔，密封清洗腔内并排设有去胶剂工艺槽3、IPA工艺槽4和清洗水槽5，密封清洗腔内还设有驱动装置6驱动的提篮机构7，机架1外设有用以实现驱动装置6控制的控制器。

由于对衬底的清洗工艺为：先经过去胶剂溶液清洗，再经过IPA溶液清洗，最后经过清水清洗，因此，为提高提篮13于各工艺槽4间的转运效率，同时考虑该清洗机设备的体积，去胶剂工艺槽3、IPA工艺槽4和清洗水槽5于密封清洗腔内成行依次排列设置，即IPA工艺槽4位于去胶剂工艺槽3和清洗水槽5之间。

如图2所示，机架1的一侧设有设备门8和推拉观察窗9，设备门8通过合页铰接安装于机架1上，且与清洗水槽5对应设置，推拉观察窗9滑动安装于机架1上，且推拉观察窗9与去胶剂工艺槽3、IPA工艺槽4对应设置，本实施例中，推拉观察窗9设置有上下两层；设有的设备门8，便于实现上料及下料操作，设有的推拉观察窗9，便于对去胶剂工艺槽3和IPA工艺槽4的清洗工艺进行定期或不定期的观察，若出现清洗故障，便于通过推拉观察窗9进行即使维修处理。

本实施例中，密封罩2、设备门8及推拉观察窗9均采用有机玻璃制成，在满足密封使用性能的同时，结构强度大，且便于透过有机玻璃对清洗机内的清洗状态进行观测，以便依据清洗状态对清洗参数作灵活调节或依据工艺液使用情况进行更换处理等操作。

如图3所示，机架1另一侧的密封罩2上分别开设有进气口201、排气口202、去胶剂排液口301和IPA排液口401，进气口201和排气口202均与密封清洗腔连通，去胶剂排液口301与去胶剂工艺槽3连通，且位于去胶剂工艺槽3的底部，IPA排液口401与IPA工艺槽4连通，且位于IPA工艺槽4的底部；设有的排气口202和进气口201，能够将密封清洗腔内的废气及时抽出，使得密封清洗腔内的废气浓度大大降低，从而进一步降低了在打开门进行上下料操作过程中，废气对工作人员的危害及废气散发到工作车间中，设有的去胶剂排液口301和IPA排液口401为工艺槽4内工艺液的更换提供了便利。

本实施例中，去胶剂工艺槽3和IPA工艺槽4均可采用与现有相同的、具有超声清洗及温控加热功能的工艺槽4设备，且胶剂工艺槽4和IPA工艺槽4分别与控制器连接，由控制器控制，由于去胶剂工艺槽3和IPA工艺槽4均为现有的市售产品，其结构及工作原理为现有技术中的常规技术手段，为本领域技术人员所共识的，故在此不作赘述。

如图8所示，清洗水槽5内设有隔板501，隔板501将清洗水槽5分隔为清洗区5a和排水缓冲区5b，且隔板501的底部设有排水阀10，排水阀10与控制器连接，通过控制器控制排水与否。

如图5和图8共同所示，清洗区5a的底部设有两定位板502，两定位板502倾斜固定安装于清洗水槽5的槽壁上，且两定位板502的底边间具有与提篮13宽度相适配的间距，清洗区5a的顶部两侧分别设有两根喷淋水管11，两根喷淋水管11固定安装于清洗水槽5的槽壁上，且喷淋水管11上均匀设有若干与喷淋水管11连通的喷淋头1101，喷淋头1101具有一倾斜喷淋角度，本实施例中，喷淋头1101的喷淋角度为45°，当然，实际的喷淋角度可依据实际的清洗需求对喷淋水管11进行调节；清洗水槽5内设有的定位板502结构，便于提篮13的放置，方便工作人员准确将提篮13放到正确的位置，且提篮13放置后，在定位板502定位作用下，提篮13自动滑到两个定位板502之间，使得提篮13的放置位置精确，不会出现倾斜、偏移现象，便于提篮机构7对提篮13的准确提取及喷淋头1101对提篮13的精确喷淋水洗。

设有的上述喷淋水管11及喷淋头1101结构，两排喷淋头1101呈倾斜角度对准提篮13内产品进行喷淋清洗的清洗方式，相较传统的直接拿水管(通常为φ30的水管)人工冲洗的清洗方式，清洗均匀，清洗效率高，清洗效果好，且用水量大大降低，此外，自动清洗、清洗完成后自动排水，不需人工排水，降低了工作人员的劳动强度。

本实施例中，排水缓冲区5b的底部设有一废水排水口503，便于清洗后废水的排出。

该自动有机清洗机还包括用以盛放衬底产品的提篮13，提篮13结构如图9所示，提篮13为栅格状网板围设而成，且提篮13的两侧均具有便于取放衬底盒17的敞口，提篮13的顶部两侧均设有提把1301，本实施例中，提篮13的中间位置固定安装有一网板，通过网板将提篮13分隔为上下两层，网板跟提篮13的底板作为放置衬底盒17的衬底盒放置板1302，且其上固定安装有加强杆1303，在增加该提篮13结构强度的同时，便于衬底盒17的放置，使用时，将待清洗衬底放置于衬底盒17内，再将衬底盒17放置于该提篮13内；设有的该提篮13结构，便于衬底产品成盒放置与清洗，且一次能够放置的衬底产品量多，进而进一步提高了清洗效率。

为实现对提篮13的自动提取及搬运，如图7所示，提篮机构7包括提篮臂701，提篮臂701的底端固定安装有滑杆702，滑杆702上滑动安装有两对应设置的滑块703，滑块703的底部固定安装有提篮挂钩704，且两滑块703间设有双头气缸705，双头气缸705的活塞杆分别与两滑块703固定连接；设有的该提篮机构7，结构简单，通过控制双头气缸705的活塞杆伸缩，便可实现提篮13的取放操作，方便、实用。

为实现对提篮机构7的驱动，从而通过提篮机构7搬运提篮13于各工艺槽4间清洗及转运，如图6所示，本实施例中，驱动装置6包括X轴安装板、第一滑轨602、第一驱动电机603、第一传动带轮604、第一传动带605、第一滑座606、Y轴安装板、第二滑轨608、第二驱动电机609、第二传动带轮6010、第二传动带6011和第二滑座6012；X轴安装板水平固定安装于机架1上，第一滑轨602水平固定安装于X轴安装板上，第一驱动电机603固定安装于X轴安装板的一端，且与控制器连接，第一传动带轮604设有两个，且其中一第一传动带轮604固定安装于第一驱动电机603的输出轴上，另一第一传动带轮604转动安装于X轴安装板的另一端，第一传动带605架绕于两第一传动带轮604之间，且与第一传动带轮604传动啮合，第一滑座606滑动安装于第一滑轨602上，且与第一传动带605固定连接；Y轴安装板竖直固定安装于第一滑座606上，第二滑轨608竖直固定安装于Y轴安装板上，第二驱动电机609固定安装于Y轴安装板的一端，且与控制器连接，第二传动带轮6010设有两个，且其中一第二传动带轮6010固定安装于第二驱动电机609的输出轴上，另一第二传动带轮6010转动安装于Y轴安装板的另一端，第二传动带6011架绕于两第二传动带轮6010之间，且与第二传动带轮6010传动啮合，第二滑座6012滑动安装于第二滑轨608上，且与第二传动带6011固定连接。通过驱动装置6及提篮机构7对提篮13转运时的结构示意图如图4所示。

该自动有机清洗机还包括报警装置，报警装置包括三色报警灯12和蜂鸣器，三色报警灯12和蜂鸣器分别与控制器连接，三色报警灯12和蜂鸣器均可采用现有的市售产品，在此不作赘述；设有的该报警装置，工人上料完成后，可在清洗时间段内做其他工作，无需看管，当整个清洗周期完成，废水经废水排水口503排尽后，三色报警灯12和蜂鸣器工作，只需听到设备蜂鸣提示或看到警示灯提示后完成下料即可，以进行一个新的清洗周期，方便实用。

控制器可选用单片机或PLC控制芯片，通过控制程序实现对第一驱动电机603、第二驱动电机609、排水阀10、三色报警灯12和蜂鸣器等的协调控制，本实施例中，在机架1外分别设有控制柜14、控制触摸屏15及控制按钮16，实现清洗控制操作，需要说明的是，本实用新型功能实现所依赖的上述控制设备及计算机软件程序属于本领域技术人员公知常识，其创新点在于清洗机的结构和新的硬件连接关系。

本实施例同时公开了一种采用如上述所述的自动有机清洗机实现的清洗方法，包括如下步骤：

S1、将需要清洗的衬底产品放置到衬底盒17内，并将其成盒放置到提篮13内；

S2、打开设备门8，将装有衬底产品的提篮13放置到清洗水槽5的清洗区5a内，关闭设备门8；

S3、控制器控制驱动装置6动作，通过挂钩将装有衬底产品的提篮13提到去胶剂工艺槽3内，并带动提篮13于去胶剂溶液内上下抖动，清洗时间t1，进行去除光刻胶工艺；

S4、去除光刻胶工艺完成后，将上述提篮13提到IPA工艺槽4内，并并带动提篮13于IPA溶液内上下抖动，清洗时间t2，进行去除去胶剂工艺；

S5、去除去胶剂工艺完成后，将上述提篮13提到清洗水槽5的清洗区5a内，控制器控制喷淋水管11进水，通过喷淋头1101对提篮13内衬底产品喷淋清洗，至清洗水槽5内水完全浸没提篮13，浸泡时间t3，进行最后的去除IPA工艺；

S6、去除IPA工艺完成后，打开排水阀10，将清洗水槽5的清洗区5a内废水排尽，取出上述提篮13，同时放入下一个装有待清洗衬底的提篮13。

本实施例中，清洗时间t1、t2、t3均可依据实际清洗情况进行灵活设定与调控，由控制器控制，当达到设定的清洗时间值，控制器控制电机动作，自动进行下个清洗工艺的清洗操作。

基于上述结构的自动有机清洗机及清洗方法，清洗机结构简单，体积小，实现了衬底上光刻胶的自动清洗，节省了人力，单周期每提篮13(12盒衬底产品，重量为15KG)，之前需要两个工作人员来回频繁搬运到各个工艺槽4，劳动强度大，现在只需一人将提篮13放到设备上，利用该自动有机清洗机完成全部清洗动作即可，大大降低了工作人员的劳动强度，相较人工搬运产品提篮13进行手动清洗的清洗方式，清洗效率大大提高，且在去除光刻胶工艺跟去除去胶剂工艺的清洗过程中，通过带动产品提篮13于工艺液内上下抖动的清洗方式(涮洗)，相较传统的提篮13只能浸没静置于工艺槽4内清洗的方式，实现了对衬底产品的辅助清洗，进一步提高了对衬底产品的清洗效率，之前一次清洗12盒衬底产品需要60分钟，而利用该自动有机清洗机清洗现在仅需35分钟，清洗效率高，大大减小了清洗周期；此外，该自动有机清洗机通过密封罩2围设成的密封清洗腔，实现了去胶剂工艺槽3与IPA工艺槽4与外界工作环境的密封隔离，整个清洗过程均在密封清洗腔内进行，有效避免了工艺液对人体健康的伤害，且使得整个清洗车间的工作环境得到很大的改善。

由于该自动有机清洗机结构简单，制作该清洗设备的人工跟材料总投入为2.5万元，该清洗机使用5个月便可收回投入成本，经试验该设备至少能够正常工作使用5年，单台设备可节省清洗成本近30万元，清洗成本大大降低。

本实施例同时公开了一种自动有机清洗系统，如图10所示，包括上述的自动有机清洗机，还包括清水储罐18、废水调节池19、活性炭吸附塔20、去胶剂回收池21和IPA回收池22，清水储罐18通过供水管23与喷淋水管11连通，且供水管23上设有供水泵24，供水泵24与控制器连接，通过控制器控制供水与否及供水时间，废水调节池19通过排水管25与废水排水口503连通，活性炭吸附塔20的入风口2001通过废气排气管26与有机清洗机的排气口202连通，活性炭吸附塔20的出风口2002连通有气泵27，去胶剂回收池21通过第一废液回收管28与去胶剂排液口301连通，IPA回收池22通过第二废液回收管29与IPA排液口401连通。

由于废水为清洗残留在衬底产品上的IPA溶液后的清洗水，清洗后的废水经排水管25流入废水调节池19暂时储存，对废水调节池19内的废水处理时，可检测废水的PH值，依据检测的PH值，向废水调节池19内添加适量的弱碱添加剂并反应后，便可实现废水的排放，处理后的废水满足排放标准。

活性炭吸附塔20内的活性炭填充层2003内充满活性炭，塔体设计为上方倒料，下方出料，废气经过内部的活性炭填充层2003的活性炭吸附后排放，经吸附处理后排放的气体满足排放标准，活性炭吸附塔20的结构示意图如图11所示；本实施例中，活性炭吸附塔20采用江苏秀坤环境科技有限公司生产的处理风量为4000CMH的吸附设备。

设有的该自动有机清洗系统，在实现对衬底自动清洗的同时，便于对清洗过程中产生的废水跟废气进行处理，处理后排放，避免了环境污染，清洁环保，同时便于对使用后去胶剂溶液及IPA溶液的回收储放，以便回收再利用。

应当理解，这些实施例的用途仅用于说明本实用新型而非意欲限制本实用新型的保护范围。此外，也应理解，在阅读了本实用新型的技术内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动、修改和/或变型，所有的这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种自动有机清洗机，其特征在于：包括机架，所述机架上设有密封罩，所述机架通过所述密封罩围设成一密封清洗腔，所述密封清洗腔内并排设有去胶剂工艺槽、IPA工艺槽和清洗水槽，所述密封清洗腔内还设有驱动装置驱动的提篮机构，所述机架外设有用以实现所述驱动装置控制的控制器。

2.如权利要求1所述的一种自动有机清洗机，其特征在于：所述机架的一侧设有设备门和推拉观察窗，所述设备门铰接安装于所述机架上，且与所述清洗水槽对应设置，所述推拉观察窗滑动安装于所述机架上，且所述推拉观察窗与所述去胶剂工艺槽、所述IPA工艺槽对应设置。

3.如权利要求2所述的一种自动有机清洗机，其特征在于：所述机架另一侧的所述密封罩上分别开设有进气口、排气口、去胶剂排液口和IPA排液口，所述进气口和所述排气口均与所述密封清洗腔连通，所述去胶剂排液口与所述去胶剂工艺槽连通，所述IPA排液口与所述IPA工艺槽连通。

4.如权利要求3所述的一种自动有机清洗机，其特征在于：所述清洗水槽内设有隔板，所述隔板将所述清洗水槽分隔为清洗区和排水缓冲区，且所述隔板的底部设有排水阀，所述排水阀与所述控制器连接；

所述清洗区的底部设有两定位板，两所述定位板倾斜固定安装于所述清洗水槽的槽壁上，且两所述定位板的底边间具有与提篮宽度相适配的间距，所述清洗区的顶部两侧分别设有两喷淋水管，两所述喷淋水管固定安装于所述清洗水槽的槽壁上，且所述喷淋水管上均匀设有若干与所述喷淋水管连通的喷淋头，所述喷淋头具有一倾斜喷淋角度；

所述排水缓冲区的底部设有一废水排水口。

5.如权利要求4所述的一种自动有机清洗机，其特征在于：所述驱动装置包括X轴安装板、第一滑轨、第一驱动电机、第一传动带轮、第一传动带、第一滑座、Y轴安装板、第二滑轨、第二驱动电机、第二传动带轮、第二传动带和第二滑座；

所述X轴安装板水平固定安装于所述机架上，所述第一滑轨水平固定安装于所述X轴安装板上，所述第一驱动电机固定安装于所述X轴安装板的一端，且与所述控制器连接，所述第一传动带轮设有两个，且其中一所述第一传动带轮固定安装于所述第一驱动电机的输出轴上，另一所述第一传动带轮转动安装于所述X轴安装板的另一端，所述第一传动带架绕于两所述第一传动带轮之间，且与所述第一传动带轮传动啮合，所述第一滑座滑动安装于所述第一滑轨上，且与所述第一传动带固定连接；

所述Y轴安装板竖直固定安装于所述第一滑座上，所述第二滑轨竖直固定安装于所述Y轴安装板上，所述第二驱动电机固定安装于所述Y轴安装板的一端，且与所述控制器连接，所述第二传动带轮设有两个，且其中一所述第二传动带轮固定安装于所述第二驱动电机的输出轴上，另一所述第二传动带轮转动安装于所述Y轴安装板的另一端，所述第二传动带架绕于两所述第二传动带轮之间，且与所述第二传动带轮传动啮合，所述第二滑座滑动安装于所述第二滑轨上，且与所述第二传动带固定连接。

6.如权利要求5所述的一种自动有机清洗机，其特征在于：所述提篮机构包括提篮臂，所述提篮臂的顶端固定安装于所述第二滑座上，所述提篮臂的底端固定安装有滑杆，所述滑杆上滑动安装有两对应设置的滑块，所述滑块的底部固定安装有提篮挂钩，且两所述滑块间设有双头气缸，所述双头气缸的活塞杆分别与两所述滑块固定连接。

7.如权利要求1-6任一项所述的一种自动有机清洗机，其特征在于：还包括报警装置，所述报警装置包括三色报警灯和蜂鸣器，所述三色报警灯和所述蜂鸣器分别与所述控制器连接。

8.如权利要求1-6任一项所述的一种自动有机清洗机，其特征在于：还包括提篮，所述提篮为栅格状网板围设而成，且所述提篮的两侧均具有便于取放衬底盒的敞口，所述提篮的顶部两侧均设有提把，所述提篮的衬底盒放置板上固定安装有加强杆。

9.一种自动有机清洗系统，其特征在于：包括如权利要求1所述的自动有机清洗机，还包括清水储罐、废水调节池、活性炭吸附塔、去胶剂回收池和IPA回收池，所述清水储罐通过供水管与喷淋水管连通，且所述供水管上设有供水泵，所述供水泵与所述控制器连接，所述废水调节池通过排水管与废水排水口连通，所述活性炭吸附塔的入风口通过废气排气管与所述有机清洗机的排气口连通，所述活性炭吸附塔的出风口连通有气泵，所述去胶剂回收池通过第一废液回收管与去胶剂排液口连通，所述IPA回收池通过第二废液回收管与IPA排液口连通。