CN205032431U - 一种硅料浸泡清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅料浸泡清洗装置，包括鼓风系统，所述鼓风系统用于为硅料浸泡池通入气体，所述鼓风系统的输气管插入所述硅料浸泡池的酸液内。所述硅料浸泡清洗装置，通过增加鼓风系统给硅料浸泡池中通入气体，使得硅料浸泡池中的酸液流动，相当于对硅料进行了一定程度的搅拌，使那些未能与酸液充分接触的硅料和酸液充分接触，同时使酸液的流动，酸液浓度更加均匀，反应速度更快，这样就能使硅料的浸泡更加充分，除杂更加完全，减少了浸泡时间，降低了生产周期。

Description

一种硅料浸泡清洗装置

技术领域

本实用新型涉及多晶硅铸锭领域，特别是涉及一种硅料浸泡清洗装置。

背景技术

多晶硅铸锭技术的竞争，其实际上就是硅锭质量的竞争，而硅料纯度直接决定了多晶硅质量。

目前，需要浸泡除杂的硅料在浸泡过程只是使用酸液浸泡一定的时间，而该过程中未对硅料进行搅拌，这样就导致了在浸泡过程中酸液浓度不均，硅料在浸泡池内不会翻腾，部分接触紧密的小硅料就不能被充分浸泡，杂质不能被充分去除，导致酸液未能和硅料进行充分接触，进而导致硅料浸泡效果不佳，进而影响多晶铸锭质量。也有部分公司在硅料浸泡清洗过程中，偶尔会对浸泡中的硅料进行人工搅拌，但是挥发出的酸性气体会侵害工作人员。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种硅料浸泡清洗装置，使接触紧密的不易清洗的硅料充分和酸液接触，被充分清洗干净，同时也避免了工作人员在人工搅拌浸泡硅料的时候被酸雾和溅起的酸液侵蚀，对员工起到很好的保护作用。

为解决上述技术问题，本实用新型实施例提供了一种硅料浸泡清洗装置，包括鼓风系统，所述鼓风系统用于为硅料浸泡池通入气体，所述鼓风系统的输气管插入所述硅料浸泡池的酸液内。

其中，所述鼓风系统为硅料浸泡池通入的气体为氮气和/或氩气。

其中，所述鼓风系统为硅料浸泡池通入的气体为压缩气体。

其中，所述鼓风系统的输气管的排气口在所述硅料浸泡池内的酸液中水平放置。

其中，所述鼓风系统的输气管为聚四氟乙烯输气管。

其中，还包括排风系统，所述排风系统的输入端与所述硅料浸泡池的废气端连接，用于处理所述硅料浸泡池排出的废气。

其中，还包括设置于所述硅料浸泡池顶部的密封槽，用于对所述硅料浸泡池顶部密封，所述密封槽内装有水或弱碱。

本实用新型实施例所提供的硅料浸泡清洗装置，与现有技术相比，具有以下优点：

本实用新型实施例提供的薄膜电容器外壳，包括壳体和设置于所述壳体外壁的导流管。

本实用新型实施例提供的硅料浸泡清洗装置，包括鼓风系统，所述鼓风系统用于为硅料浸泡池通入气体，所述鼓风系统的输气管插入所述硅料浸泡池的酸液内。

所述硅料浸泡清洗装置，通过增加鼓风系统给硅料浸泡池中通入气体，使得硅料浸泡池中的酸液流动，相当于对硅料进行了一定程度的搅拌，使那些未能与酸液充分接触的硅料和酸液充分接触，同时使酸液的流动，酸液浓度更加均匀，反应速度更快，这样就能使硅料的浸泡更加充分，除杂更加完全，减少了浸泡时间，降低了生产周期。同时，也能有效的避免操作人员在手动搅拌过程中受到的酸碱的侵害。

综上所述，本实用新型实施例所提供的硅料浸泡清洗装置，通过增加鼓风系统，为硅料浸泡池中通入气体，使硅料的浸泡更加充分，除杂更加完全，减少了浸泡时间，有效的避免操作人员在手动搅拌过程中受到的酸碱的侵害。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例所提供的硅料浸泡清洗装置的一种实施方式的俯视图示意图；

图2为本实用新型实施例所提供的硅料浸泡清洗装置的一种实施方式的纵截面示意图。

具体实施方式

正如背景技术部分所述，现有技术中，需要浸泡除杂的硅料在浸泡过程只是使用酸液浸泡一定的时间，而该过程中未对硅料进行搅拌，这样就导致了在浸泡过程中酸液浓度不均，硅料在浸泡池内不会翻腾，部分接触紧密的小硅料就不能被充分浸泡，杂质不能被充分去除，导致酸液未能和硅料进行充分接触，进而导致硅料浸泡效果不佳，进而影响多晶铸锭质量。也有部分公司在硅料浸泡清洗过程中，偶尔会对浸泡中的硅料进行人工搅拌，但是挥发出的酸性气体会侵害工作人员。

基于此，本实用新型实施例提供了一种硅料浸泡清洗装置，包括鼓风系统，所述鼓风系统用于为硅料浸泡池通入气体，所述鼓风系统的输气管插入所述硅料浸泡池的酸液内。

综上所述，本实用新型实施例所提供的硅料浸泡清洗装置，通过增加鼓风系统给硅料浸泡池中通入气体，使得硅料浸泡池中的酸液流动，相当于对硅料进行了一定程度的搅拌，使那些未能与酸液充分接触的硅料和酸液充分接触，同时使酸液的流动，酸液浓度更加均匀，反应速度更快，这样就能使硅料的浸泡更加充分，除杂更加完全，减少了浸泡时间，降低了生产周期。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。

在以下描述中阐述了具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以多种不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广。因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。

请参考图1和图2，图1为本实用新型实施例所提供的硅料浸泡清洗装置的一种实施方式的俯视图示意图；图2为本实用新型实施例所提供的硅料浸泡清洗装置的一种实施方式的纵截面示意图。

在一种具体方式中，所述硅料浸泡清洗装置，包括鼓风系统，所述鼓风系统用于为硅料浸泡池通入气体，所述鼓风系统的输气管10插入所述硅料浸泡池的酸液内。

所述硅料浸泡清洗装置，通过增加鼓风系统给硅料浸泡池中通入气体，使得硅料浸泡池中的酸液流动，相当于对硅料进行了一定程度的搅拌，使那些未能与酸液充分接触的硅料和酸液充分接触，同时使酸液的流动，酸液浓度更加均匀，反应速度更快，这样就能使硅料的浸泡更加充分，除杂更加完全，减少了浸泡时间，降低了生产周期。同时，也能有效的避免操作人员在手动搅拌过程中受到的酸碱的侵害。

其中，所述鼓风系统为硅料浸泡池通入的气体为氮气和/或氩气。需要说明的是，所述鼓风系统为硅料浸泡池通入的气体只要不与硅料和酸液反应即可，可以使用氮气或氩气等单质气体，可以使用氮气和氩气的混合气体，还可以使用其它的气体，本实用新型对硅料浸泡池通入的气体的类型、通气速率不做具体限定，只是氮气为常用气体，价格较低，可以降低生产成本。

而所述鼓风系统为硅料浸泡池通入的气体可以为常压气体，也可以为压缩气体。在硅料浸泡池中通入压缩气体，在进入硅料浸泡池后，气体迅速膨胀，起到了搅拌的作用，使得硅料浸泡池中的温度分布均匀，使得硅料与酸液充分接触，同时使酸液的流动，酸液浓度更加均匀，反应速度更快，这样就能使硅料的浸泡更加充分，除杂更加完全，减少了浸泡时间，降低了生产周期。

所述鼓风系统的输气管10的排气口可以是朝上放置，也可以是朝下放置，也可以水平放置，但是朝上或朝下放置时，由于气体是在竖直方向喷出，只能引起附近的酸液在上下翻滚，而水平放置时，可以使得酸液在水平方向上进行流动，搅拌的效率更高。因此，优选的，所述鼓风系统的输气管10的排气口在所述硅料浸泡池内的酸液中水平放置。

由于所述鼓风系统的输气管10是需要插入到所述硅料浸泡池的酸液内的，必然要求所述鼓风系统的输气管10具有耐化学酸腐蚀特性，所述输气管10道可以由PPN制成，PPN是聚丙烯的一种(聚丙烯是PP)，也可以由PP(聚丙烯)制成，或者由PVDF(聚四氟乙烯)制成，还可以是由几种材料混合制成，由于聚四氟乙烯管是常用的耐化学酸腐蚀能力较好的管子，成本较低，即所述鼓风系统的输气管10为聚四氟乙烯输气管10。当然，还可以选择其它的耐化学酸腐蚀的材料制成的管道作为所述鼓风系统的输气管10，本实用新型对此不作具体限定。

由于所述硅料浸泡池中的硅料与酸液反应会产生一些有害气体，为防止影响到车间环境和确保工作人员的安全，所述硅料浸泡清洗装置还包括排风系统，所述排风系统的输入端与所述硅料浸泡池的废气口20连接，用于处理所述硅料浸泡池排出的废气。

虽然所述硅料浸泡池一般是密封的，顶部设置有盖子，但是在硅料和酸液反应过程中产生的有害气体还是有可能通过所述硅料浸泡池的池体与顶盖之间的缝隙，逃出所述硅料浸泡清洗装置，对车间环境造成污染，对工作人员的安全造成威胁，因此所述硅料浸泡清洗装置一般还包括设置于所述硅料浸泡池顶部的密封槽30，用于对所述硅料浸泡池顶部密封，所述密封槽30内装有水或弱碱。这样即使有害气体能够从所述硅料浸泡池的顶部跑出，也必然会经过设置在顶端的密封槽30内的液体的处理，被所述密封槽30中的水或者弱碱吸收。所述密封槽30中的弱碱可以是苏打或者小苏打制成的溶液，还可以是其它的弱碱溶液，选择弱碱溶液是因为弱碱溶液对人体的伤害非常的轻微，即使不小心碰到，伤害也不会很大，容易处理，但是强碱容易对人体的皮肤就极有可能造成较大的伤害，危险性大，同时所述的弱碱容易一般不选择易挥发的弱碱溶液，因为本身具有挥发性，对车间环境造成污染和对工作人员造成伤害。

当然，在上述的硅料浸泡清洗装置中，通入所述硅料浸泡池中的输气管10可以是一条，可以是多条，其中的多条可以是多条独立的输气管10，可以是输气管10的进气口是一个管口，出气口是多个管口，本实用新型对此不作具体限定。而所述硅料浸泡池的横截面可以是圆形也可以是方形，还可以是其它形状，本实用新型对此不做具体限定。

在上述的硅料浸泡清洗装置中，为了进一步提高操作过程中的安全性，监测所述硅料浸泡池的密封性，可以定期、不定期或者持续监测所述密封槽中的PH值，如果PH值减少较快，说明漏气严重，需要尽快的提高硅料浸泡池的密封性。

本实用新型中，可以是直接设置一根管道，一端浸入硅料浸泡池中，另一端设置在所述硅料浸泡池的盖子上，由鼓风系统的输气管的排气口与位于盖子上的该管道接口连通，也可以是鼓风系统的输气管直接通过盖子上的通孔浸泡入所述硅料浸泡池的酸液中，本实用新型对此不作具体限定。

具体的硅料浸泡清洗装置的使用过程如下：

(1)、在所述装料浸泡前，将插入酸液的管道接上，关闭废液阀40，然后装入待浸泡硅料和浸泡酸液，盖上盖子，将鼓风系统的管道接入压缩气体入口，废气口管道接入排风管道；

(2)、打开压缩气体装置对浸泡池中的硅料进行鼓风搅拌；

(3)、根据不同硅料大小，调节压缩气体气流量大小；

(4)、待浸泡完毕后，关闭压缩气体装置，打开废液阀40，排放废酸液；

(5)、打开盖子，取出浸泡过的硅料进行清洗。

综上所述，本实用新型实施例所提供的硅料浸泡清洗装置，通过增加鼓风系统给硅料浸泡池中通入气体，使得硅料浸泡池中的酸液流动，相当于对硅料进行了一定程度的搅拌，使那些未能与酸液充分接触的硅料和酸液充分接触，同时使酸液的流动，酸液浓度更加均匀，有利于废气的排出，使得反应速度更快，这样就能使硅料的浸泡更加充分，除杂更加完全，减少了浸泡时间，降低了生产周期。同时，也能有效的避免操作人员在手动搅拌过程中受到的酸碱的侵害。

以上对本实用新型所提供的硅料浸泡清洗装置进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。

Claims (7)

1.一种硅料浸泡清洗装置，其特征在于，包括鼓风系统，所述鼓风系统用于为硅料浸泡池通入气体，所述鼓风系统的输气管插入所述硅料浸泡池的酸液内。

2.如权利要求1所述的硅料浸泡清洗装置，其特征在于，所述鼓风系统为硅料浸泡池通入的气体为氮气和/或氩气。

3.如权利要求1或2所述的硅料浸泡清洗装置，其特征在于，所述鼓风系统为硅料浸泡池通入的气体为压缩气体。

4.如权利要求1所述的硅料浸泡清洗装置，其特征在于，所述鼓风系统的输气管的排气口在所述硅料浸泡池内的酸液中水平放置。

5.如权利要求1所述的硅料浸泡清洗装置，其特征在于，所述鼓风系统的输气管为聚四氟乙烯输气管。

6.如权利要求1所述的硅料浸泡清洗装置，其特征在于，还包括排风系统，所述排风系统的输入端与所述硅料浸泡池的废气端连接，用于处理所述硅料浸泡池排出的废气。

7.如权利要求1所述的硅料浸泡清洗装置，其特征在于，还包括设置于所述硅料浸泡池顶部的密封槽，用于对所述硅料浸泡池顶部密封，所述密封槽内装有水或弱碱。