CN208992450U - 加工装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种加工装置，该加工装置具有卡盘，其用于保持基板；加工台，其保持所述卡盘；以及加工轴，所述加工轴包括：用于对基板加工的加工工具、用于驱动加工轴的电动机、用于保持电动机的电动机保持部、以及使电动机保持部升降的升降机构；所述加工装置的特征在于，在所述电动机上设置有用于将电动机安装到电动机保持部时使用的吊装部件或吊装部件安装部。

Description

加工装置

技术领域

本实用新型涉及一种加工装置，该加工装置对基板(例如晶圆)等被加工物进行磨削加工。

背景技术

在制作半导体元件的过程中，需要利用加工装置对作为被加工物的大致圆板形状的晶圆进行磨削，该加工装置中包括其用于保持基板的卡盘、安装有加工工具的加工轴以及用于保持所述卡盘、并使卡盘移动的加工台，其中，加工轴上安装有用于磨削的加工工具、驱动该加工工具进行旋转的电动机，以及保持该电动机的电动机保持部。

通常来说，加工装置中使用的电动机重量较大，在对加工轴进行组装的过程中，通过人力将电动机装入到电动机保持部的作业比较困难，特别是在通过人力安装时，电动机上缺少施力的部位，很难将电动机提升到所需的高度。此外，也考虑采用小型的起吊设备进行协助，但是电动机本身并不具有固定起吊设备的部位，需要绳索对于电动机绑定后再起吊，由此产生电动机吊起时的形态不固定、不便于安装，绳索的绑定容易脱落等问题。

例如，在专利文献1的加工装置中，加工轴上所设置的电动机上并不具有起吊时的固定部件，因此，在将该电动机向保持架装入时也存在上述的不便于安装的问题。另外，在加工装置中设置外框体的情况下，电动机在安装时需要吊起的高度更高，因此，进一步增加了安装的难度。

现有技术文献

专利文献1JP特开2014-200870A

实用新型内容

实用新型要解决的问题

本实用新型正是鉴于这种情况而完成的，其目的在于提供一种能够在将重量较大的电动机向电动机保持部安装时能够便于对电动机施力、或者说便于起吊设备与电动机之间进行固定的结构，从而解决现有技术中电动机的安装困难的问题。

用于解决问题的方案

本实用新型的第1技术方案的加工装置具有卡盘，其用于保持基板；加工台，其保持所述卡盘；以及加工轴，所述加工轴包括：用于对基板加工的加工工具、用于驱动加工轴的电动机、用于保持电动机的电动机保持部、以及使电动机保持部升降的升降机构；所述加工装置的特征在于，在所述电动机上设置有用于将电动机安装到电动机保持部时使用的吊装部件或吊装部件安装部。

基于第1技术方案的加工装置，通过在电动机上设置吊装部件，可以利用吊装部件对电动机施加吊起的力，从而便于将电动机安装到电动机保持部；此外，也可以在电动机上仅设置吊装部件安装部，在需要对电动机进行吊起作业时，将吊装部件安装到吊装部件安装部上，从而利用后续安装的吊装部件进行电动机的吊起作业。

本实用新型的第2技术方案的加工装置的特征在于：所述吊装部件或所述吊装部件安装部设置在电动机的上部。

基于第2技术方案的加工装置，能够尽量减少电动机本体对于吊装部件或起吊设备的干涉，方便进行吊起安装作业。

本实用新型的第3技术方案的加工装置的特征在于：所述吊装部件安装部设置在电动机的外壳体上。

基于第3技术方案的加工装置，能够尽量减少设置吊装部件对于电动机整体结构的改变，便于吊装部件向吊装部件安装部的安装作业。

本实用新型的第4技术方案的加工装置的特征在于：所述吊装部件安装部设置在固定部件上，所述固定部件设置于电动机的外壳体上。

基于第4技术方案的加工装置，通过在固定部件上设置吊装部件安装部，能够更加灵活地选择吊装部件安装部的设置位置以及安装空间，尽量避免设置吊装部件对于电动机自身结构产生的影响。

本实用新型的第5技术方案的加工装置的特征在于：所述吊装部件安装部为螺纹孔，所述固定部件为带有螺纹孔的支架。

基于第5技术方案的加工装置，能够通过螺纹孔这样的结构不仅加工作业简单，也便于进行吊装部件的安装，并且能够节约吊装部件安装部的设置空间。

本实用新型的第6技术方案的加工装置的特征在于：所述吊装部件具有把手部、或者呈环状或钩状的连接部。

基于第6技术方案的加工装置，通过形成把手部便于人工作业时手动提升电动机，通过形成环状或钩状的连接部便于起吊设备作业时连接绳索或吊钩部件。

本实用新型的第7技术方案的加工装置的特征在于：在所述电动机的上部延伸出电动机驱动用的电源配线。

基于第7技术方案的加工装置，能够避免电源配线与电动机保持部干涉，同时避免影响吊装部件的使用。

本实用新型的第8技术方案的加工装置的特征在于：所述电动机和电动机保持部的底部之间通过连接部件固定连接。

基于第8技术方案的加工装置，通过吊装部件进行安装时容易调整电动机的安装形态，从而能够良好地进行电动机和电动机保持部的底部之间的对位安装。

本实用新型的第9技术方案的加工装置的特征在于：所述吊装部件或吊装部件安装部形成有多个，各设置位置之间的连线的中心或连线所形成的图形的重心位于电动机的中心轴线。

基于第9技术方案的加工装置，能够分担电动机作用在每个吊装部件上的作用力，增加吊装部件的可靠性，并且容易确定电动机的重心位置，便于在吊装作业时保持电动机的姿态。

本实用新型的第10技术方案的加工装置的特征在于：具有多个所述加工轴，各所述加工轴分别具有用于调节所述电动机保持部在上下方向上平衡的平衡汽缸，所述多个加工轴中的第1加工轴具有用于使所述电动机保持部向水平方向移动的水平方向移动机构，多个所述加工轴中的第2加工轴与所述第1加工轴并列设置，在所述第2加工轴中，从加工台侧朝向加工轴侧依次设置有第2电动机保持部、第2升降电动机、以及第2平衡汽缸，在第1加工轴中，从加工台侧朝向加工轴侧依次设置有第1电动机保持部和第1升降电动机，第1平衡汽缸相对于第1升降电动机配置在所述水平方向移动机构的移动方向上。

基于第10技术方案的加工装置，能够充分地利用加工装置中各部件的设置空间以及各部件的移动功能，方便电动机朝向电动机保持部的对位以及安装。

实用新型的效果

采用本实用新型的加工装置，通过在电动机上设置吊装部件或吊装部件安装部，能够在将重量较大的电动机向电动机保持部安装时便于对电动机施力、或者说便于起吊设备与电动机之间进行固定，从而解决现有技术中电动机的安装困难的问题，能够实现良好地对位安装。

附图说明

图1为示出加工装置的结构的俯视图。

图2为示出在电动机上设置吊装部件的立体图。

图3为示出在电动机上设置吊装部件安装部的立体图。

图4a为示出在电动机上设置具有吊装部件的固定部件的立体图；图4b为示出在电动机上设置具有吊装部件安装部的固定部件的立体图。

附图标记说明

1.加工装置；2.晶圆搬送装置；3.电气设备室；4.电动机；5.电动机保持部；6.升降机构；7.吊装部件；8.吊装部件安装部；9.固定部件；10.电源配线；11.卡盘；121、122、123.加工轴；13.加工台；141、142、143.平衡汽缸；15.液承接部；151.隔板；152.壁部；161、162、163.升降电动机；17.加工工具；A1～A4.区域；W.晶圆；20.清洗用喷嘴；21.第1晶圆搬送机构；22.第2晶圆搬送机构

具体实施方式

接下来，参照附图说明本实用新型的加工装置的实施方式。附图是为了展示本实用新型而适当地进行了强调、省略、比率的调整的示意性的图，有时与实际的形状、位置关系以及比率不同。

图1为示出加工装置1的结构的立体图。如图1所示，本实用新型的加工装置1与晶圆搬送装置2相连，晶圆搬送装置2具有第1晶圆搬送机构21以及第2晶圆搬送机构22。第1晶圆搬送机构21与第2晶圆搬送机构22相配合，将收纳于晶圆收纳区域的晶圆W搬送到加工装置1中。另外，在加工装置1的与晶圆搬送装置2相反的一侧形成有电气设备室3。以下，将加工装置1的靠晶圆搬送装置2侧称为搬入位置侧。

加工装置1具有：多个卡盘11，其用于保持晶圆W；3个加工轴121、122、123，其安装有磨削构件(未图示)；加工台13，在其中心部分配设有旋转轴，在旋转轴的径向外侧保持有多个所述卡盘11，通过旋转轴的转动，使该卡盘11在搬入晶圆W的搬入位置与配置有多个加工轴121、122、123的加工位置之间移动；液供给部14，其对保持于卡盘11的晶圆W供给液体；液承接部15，其配置于加工台13的外周，用于承接液体；以及第1隔板132，其设于加工台13之上并朝向加工台13的边缘延伸，将相邻的卡盘11彼此隔开；在加工装置1中，还具有第2隔板151，该第2隔板151设于液承接部15的与第1隔板132相对应的位置，并与所述第1隔板132一起将所述液承接部15划分为多个区域A1～A4。第2隔板151的一端与加工台13及第1隔板132相连，另一端与壁部152相连。

另外，如图1所示，多个加工轴121、122、123分别具有用于调节电动机保持部5在上下方向上平衡的平衡汽缸141、142、143，所述多个加工轴121、122、123中的第1加工轴123具有用于使所述电动机保持部5向水平方向移动的水平方向移动机构(未图示)，多个所述加工轴121、122、123中的第2加工轴121、122与所述第1加工轴123并列设置，在所述第2加工轴121、122中，从转台侧朝向加工轴侧依次设置有第2电动机保持部51、52、第2升降电动机161、162、以及第2平衡汽缸141、142，在第1加工轴123中，从转台侧朝向加工轴侧依次设置有第1电动机保持部53和第1升降电动机163，第1平衡汽缸143相对于第1升降电动机163配置在所述水平方向移动机构的移动方向上。

下面参照图2～图4说明本发明的加工轴121、122、123中涉及的电动机4的结构。

实施例1

如图2所示，加工轴121包括用于对基板W加工的加工工具17、用于驱动加工轴121的电动机4、用于保持电动机4的电动机保持部5、以及使电动机保持部5升降的升降机构6。在所述电动机4的壳体的上表面形成有2个呈环状的吊装部件7，该吊装部件7分别位于电动机4的中心轴线两侧对称的位置，当对2两个吊装部件7分别施加相同的提升的作用力时，电动机4的重心稳定在电动机4的中心轴线上，从而使电动机4能够保持良好的安装形态，便于作业人员的安装与定位作业。在电动机4安装到电动机保持部5上之后，通过未图示的连接部件(例如螺钉)将电动机4的外壳体上的缩颈部分或凸缘部分与电动机保持部5的底面固定连接。另外，在电动机4的壳体的上表面还形成有电源配线10，用于对电动机4供给电源。

在本实施例1中，吊装部件7设置为两个，但不限于此，也可以设置1和或3个以上。设置一个的情况下，该吊装部件7优选设置在电动机的中心轴线上，在设置3个以上的情况下，优选这些吊装部件7之间连线所形成的多边形的重心位于中心轴线上。

另外，吊装部件7不限于环状，也可以形成为钩状或突出状，只要便于绳索的固定或吊装机械的固定即可。另外，如果电动机4的重量在允许人工操作的范围内的话，吊装部件7也可以形成为便于用手把持的形状。

另外，吊装部件7也不限于设置在电动机4的上部，也可以设置在电动机4的侧部或者电动机4的壳体的向外侧延伸出的凸缘部上，只要能够便于吊装电动机4，本领域技术人员可以根据需要选择吊装部件7的设置位置。

实施例2

如图3所示，在实施例2中，在电动机4的壳体上并没有直接设置吊装部件7，而是设置了吊装部件安装部8，该吊装部件安装部8上形成有螺孔，用于与可拆卸的吊装部件7上的螺杆进行固定连接。在需要对电动机4进行吊起作业时，将吊装部件7安装到吊装部件安装部8上，通过吊装部件7连接线缆或吊装设备。在不需进行吊起作业时，将吊装部件7从吊装部件安装部8上卸下，由此减小吊装部件7所占用的空间。

在实施例2中，吊装部件安装部8设置1个并且设置在电动机4的轴线上，当然也可以如实施例1中所说的那样，形成多个吊装部件安装部8，优选这些吊装部件安装部8之间连线所形成的多边形的重心位于中心轴线上。

在实施例2中吊装部件安装部8通过螺孔与吊装部件7上的螺杆进行连接，当然也可以是机械领域中常见的例如卡合等其它连接方式。

实施例2中仅针对与实施例1中不同的结构进行了说明，其它未说明的结构与实施例1或实施例1的变形例相同。

实施例3

如图4a和图4b所示，在实施例3中，在电动机4的壳体上并没有直接设置吊装部件7，也没有直接设置吊装部件安装部8，而是在电动机4的壳体上设置固定部件9。所述固定部件9可以与电动机4的壳体一体形成，也可以是分别形成后通过连接部件进行连接而成。在图4a中，固定部件9上直接设置了2个吊装部件7，在图4b中固定部件9上设置了吊装部件安装部8，通过该吊装部件安装部8安装吊装部件7。在实施例3中，通过设置固定部件9，能够选择吊装部件7的施力位置，通过将固定部件9例如设置在电动机上部的边缘或者电动机壳体的凸缘部，从而将吊装部件7的作用力分散到希望作用的位置，从而避免电动机4在吊起的过程中因作用点的作用力集中而造成损伤。另外，通过固定部件9的设置，对于吊装部件7或线缆的连接制造了更大的空间，避免在起吊过程中对于电源配线10或电动机外壳体等部分造成损伤。另外，固定部件9本身也可以作为把手部件，在人力作业时提供施力点，在不需要安装吊装部件7的情况下也可以完成安装作业。

另外，在实施例3中仅针对与实施例1和实施例2中不同的结构固定部件9进行了说明，其它未说明的结构与实施例1和2、及其变形例相同。

上述实施方式只是用于说明本实用新型，除此之外，还有多种不同的实施方式，而这些实施方式都是本领域技术人员在领悟本实用新型的技术思想后能够想到的，故，在此不再一一列举。

Claims (10)

1.一种加工装置，其具有：卡盘，其用于保持基板；加工台，其保持所述卡盘；以及加工轴；所述加工轴包括：用于对基板加工的加工工具、用于驱动所述加工工具的电动机、用于保持所述电动机的电动机保持部、以及使所述电动机保持部升降的升降机构；所述加工装置的特征在于，

在所述电动机上设置有用于将所述电动机安装到所述电动机保持部时使用的吊装部件或吊装部件安装部。

2.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于：

所述吊装部件或所述吊装部件安装部设置在所述电动机的上部。

3.根据权利要求1或2所述的加工装置，其特征在于：

所述吊装部件安装部设置在所述电动机的外壳体上。

4.根据权利要求1或2所述的加工装置，其特征在于：

所述吊装部件或所述吊装部件安装部设置在固定部件上，所述固定部件设置于所述电动机的外壳体上。

5.根据权利要求4所述的加工装置，其特征在于：

所述吊装部件安装部为螺纹孔，所述固定部件为带有螺纹孔的支架。

6.根据权利要求1或2所述的加工装置，其特征在于：

所述吊装部件具有把手部、或者呈环状或钩状的连接部。

7.根据权利要求1或2所述的加工装置，其特征在于：

在所述电动机的上部延伸出电动机驱动用的电源配线。

8.根据权利要求1或2所述的加工装置，其特征在于：

所述电动机和所述电动机保持部的底部之间通过连接部件固定连接。

9.根据权利要求1或2所述的加工装置，其特征在于：

所述吊装部件或所述吊装部件安装部形成有多个，各设置位置之间的连线的中心或连线所形成的图形的重心位于所述电动机的中心轴线。

10.根据权利要求1或2所述的加工装置，其特征在于：

其具有多个所述加工轴和多个所述卡盘，

各所述加工轴分别具有用于调节所述电动机保持部在上下方向上平衡的平衡汽缸，

多个所述加工轴中的第1加工轴具有用于使所述电动机保持部向水平方向移动的水平方向移动机构，

多个所述加工轴中的第2加工轴与所述第1加工轴并列设置，

在所述第2加工轴中，从加工台侧朝向加工轴侧依次设置有第2电动机保持部、第2升降电动机、以及第2平衡汽缸，

在所述第1加工轴中，从加工台侧朝向加工轴侧依次设置有第1电动机保持部和第1升降电动机，第1平衡汽缸相对于第1升降电动机配置在所述水平方向移动机构的移动方向上。