CN208977573U - 一种用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置，包括止跌环、插销座、插销件和推拉机构，止跌环固定在上磨盘升降杆的外周侧面上，止跌环的直径大于上磨盘升降杆的直径，插销座上设置有贯穿其顶面和底面的中空窗，插销座顶面两侧边缘设置有插销槽，插销座通过插销座固定螺栓孔固定安装在研磨机龙门架的横梁下面，中空窗可使上磨盘升降杆和止跌环上下通过，插销件的端部为插销脚，两个插销脚的平行间距大于上磨盘升降杆的直径，并且小于止跌环的直径，推拉机构与插销件固定连接；该用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置可以有效地防止当气缸或其配套空气压缩系统出现意外事件时，上磨盘跌落对研磨机操作人员或有关物品带来损害。

Description

一种用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置

技术领域

本实用新型涉及一种用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置。

背景技术

半导体晶片(下称：晶片)的双面研磨机(下称：研磨机)，用于对晶片的双面磨削减薄。研磨机的磨削机构主要由上、下两个磨盘组成，被磨削的晶片放置在两个磨盘的相对盘面之间，磨削时研磨机的上、下两个磨盘按需要的力度贴住晶片，然后做相对旋转。研磨时须在两个磨盘之间加入液体状的磨料。研磨经过一段时间，就达到对晶片磨削减薄的效果。

研磨晶片前，必须将晶片按要求放置在研磨机下磨盘的盘面上，这时研磨机的上磨盘处于“提升”位，示意图如附图1；研磨时，研磨机的上磨盘要处于“下降”位，示意图如附图2；研磨后，要将晶片从上、下磨盘间的盘面上取走，这时研磨机的上磨盘要再次处于提升位......如此循环直到完成研磨任务后停机。停机时，研磨机的上磨盘也处于提升位。

研磨机是利用龙门架上的提升气缸(小型气缸)，作用于上磨盘升降杆来提升和下降研磨机的上磨盘(见附图1和附图2)，在提升位时，也要通过提升气缸内的压缩空气来支撑气缸内的活塞，使上磨盘能悬停在空中。较大型的研磨机，上磨盘的重量超过100公斤，尤其是研磨机经过长年使用之后，沉重的上磨盘依靠一个小型气缸内的压缩空气来支撑，难以保证不会发生压缩空气泄漏失压的意外，这样就存在着操作人员在上磨盘的下方放置晶片和取走晶片时的安全风险。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中的缺陷，提供一种可以有效地防止当气缸或其配套空气压缩系统出现意外事件时，上磨盘跌落对研磨机操作人员或有关物品带来损害的用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置，来解决现有技术中存在的问题。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置，包括止跌环、插销座、插销件和推拉机构，所述止跌环固定在上磨盘升降杆的外周侧面上，所述止跌环的直径大于上磨盘升降杆的直径，所述插销座上设置有贯穿其顶面和底面的中空窗，所述插销座顶面两侧边缘设置有插销槽，所述插销座通过插销座固定螺栓孔固定安装在研磨机龙门架的横梁下面，安装时，所述插销座的中空窗垂直对中于上磨盘升降杆的中轴线，所述中空窗可使上磨盘升降杆和止跌环上下通过，所述插销槽作为插销件的横向滑动轨道，所述插销件的端部为插销脚，所述插销脚呈分叉状，两个插销脚的平行间距大于上磨盘升降杆的直径，并且小于止跌环的直径，所述推拉机构与插销件固定连接，用于驱动插销件运动。

为了进一步实现本实用新型，所述止跌环采用内嵌式螺杆固定在上磨盘升降杆上。

为了进一步实现本实用新型，所述推拉机构为推拉气缸。

为了进一步实现本实用新型，所述推拉气缸的推拉杆与插销件的端部固定连接，所述推拉气缸固定在研磨机龙门架的横梁下面。

为了进一步实现本实用新型，所述推拉气缸采用缓冲型、双作用气缸。

为了进一步实现本实用新型，所述止跌环、插销座、插销件均为不锈钢制成。

有益效果

本实用新型在上磨盘升降杆上加装一个固定的止跌环，在龙门架的横梁下面加装一套支撑机构，两者配合形成一个上磨盘的“止跌”装置，当上磨盘处于提升位时，由于止跌装置形成的保护，可以增加操作人员在上磨盘的下方放置晶片和取走晶片时的安全性，可以有效地防止当气缸或其配套空气压缩系统出现意外事件时，上磨盘跌落对研磨机操作人员或有关物品带来损害。

附图说明

图1为现有硅晶片双面研磨机的上磨盘处于提升位的结构示意图；

图2为现有硅晶片双面研磨机的上磨盘处于下降位的结构示意图；

图3为本实用新型用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置的结构示意图；

图4为本实用新型用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置的安装示意图。

附图标记说明：

1、止跌环；2、插销座；21、中空窗；22、插销槽；23、插销座固定螺栓孔；3、插销件；31、插销脚；4、推拉机构；5、中心对称轴线；6、左右对称轴线。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步地详细的说明，这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构。

实施例一

如图3-图4所示，本实用新型用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置包括止跌环1、插销座2、插销件3和推拉机构4，其中：

止跌环1被固定在上磨盘升降杆的外周侧面适当位置上，止跌环1采用内嵌式螺杆固定在上磨盘升降杆上，止跌环1的直径要明显大于上磨盘升降杆的直径。

插销座2上设置有贯穿其顶面和底面的中空窗21，插销座2顶面两侧边缘设置有插销槽22，插销座2通过插销座固定螺栓孔23固定安装在研磨机龙门架的横梁下面，安装时，插销座2的中空窗21垂直对中于上磨盘升降杆的中轴线，中空窗21可使上磨盘升降杆和止跌环1上下通过。

插销槽22是作为插销件3的横向滑动轨道，同时插销槽22限制插销件3除滑动方向以外的其余方向的移动，插销件3的端部为插销脚31，插销脚31呈分叉状，两个插销脚31的平行间距大于上磨盘升降杆的直径，并且又明显小于止跌环1的直径。

推拉机构4与插销件3固定连接，用于驱动插销件3运动，推拉机构4为推拉气缸，推拉气缸采用缓冲型、双作用气缸，推拉气缸的推拉杆与插销件3的端部固定连接，推拉气缸固定在研磨机龙门架的横梁下面，推拉气缸工作时，提供推、拉的动力可以将推拉气缸的推拉杆，连同插销件3一起推进或拉出插销座2的插销槽22，推拉机构4也可以采用缓冲型气缸以外的其它类型的双作用气缸。

上磨盘升降杆的中心对称轴线5，是上磨盘升降杆上升和下降运动，以及上磨盘处于提升位或下降位时的上磨盘升降杆的中心对称轴线，是固定不变的。

插销机构(插销座2、插销件3)和推拉机构4的左右对称轴线6，是插销机构和推拉机构4的各个部分安装时的左右对称轴线。安装时，还必须与上磨盘升降杆的中心对称轴线5垂直相交。

止跌环1、插销座2、插销件3均为不锈钢制成。

研磨机在工作过程中，当上磨盘处于提升位时，上磨盘升降杆将止跌环，提升至插销座的插销槽的水平位置之上。这时，推拉气缸提供推进动力，将插销件推进到插销座的插销槽中的“卡位”上。在卡位上，由于插销件的插销脚的两个插销脚的平行间距大于上磨盘升降杆的直径，而小于止跌环的直径，这时止跌环就被“卡”在插销件的插销脚的两个插销脚上面，即使发生提升气缸失压而不能支撑上磨盘的意外，止跌环也会被卡架在插销件的插销脚的上面，而不至于使上磨盘升降杆连同上磨盘一同跌落；当上磨盘需要处于下降位时，推拉气缸提供拉出动力，将插销件拉出，使插销件的插销脚离开上述的卡位，这样上磨盘就可如常到达下降位；周而复始，直至研磨机完成工作。

本实用新型在上磨盘升降杆上加装一个固定的止跌环，在龙门架的横梁下面加装一套支撑机构，两者配合形成一个上磨盘的“止跌”装置，当上磨盘处于提升位时，由于止跌装置形成的保护，可以增加操作人员在上磨盘的下方放置晶片和取走晶片时的安全性，可以有效地防止当气缸或其配套空气压缩系统出现意外事件时，上磨盘跌落对研磨机操作人员或有关物品带来损害。

本实用新型不会对研磨机原本的工艺技术指标造成任何的影响。由于采用“卡位”的技术方案限制上磨盘的意外跌落，所以装置的各个配件都可以是易取材，易加工，和量轻化的(相对于研磨机来说)，不会对研磨机本身增加额外的振动、压重等因数。

本实用新型不会对研磨机今后的研发和技术创新造成任何障碍。本装置安装的位置，是研磨机历来的无用空间。本装置的推拉气缸使用的压缩空气，也是研磨机本身的提升气缸所正在使用的。在电气控制方面，仅增加几个简单的压缩空气阀门，和其关联线路。

本实用新型极大限度地提高了研磨机上磨盘在提升位时的安全可靠性。由于采用的是“卡位”的硬技术方案，就非常简单和明了地化解了上磨盘可能跌落而带来的危险。

本实用新型有效地减轻了操作人员在进行放置晶片和取走晶片操作时，记挂上磨盘是否会突然下跌的心理负担，有利于增加工作的愉悦而提升工作效率。

本实用新型可以适当延长提升气缸和其配套空气压缩系统的保养周期和使用寿命，节约成本。由于采用的是“卡位”式止跌的硬技术，其不会随研磨机工作时间的累计增长而失效。即使是提升气缸或其配套空气压缩系统出现突发事件，由于“卡位”式的止跌保护，也可以免除研磨机上磨盘从提升位上突然跌落而带来的危险。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施方式，本实用新型并不局限于上述实施方式，在实施过程中可能存在局部微小的结构改动，如果对本实用新型的各种改动或变型不脱离本实用新型的精神和范围，且属于本实用新型的权利要求和等同技术范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型。

Claims (6)

1.一种用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置，其特征在于，包括止跌环、插销座、插销件和推拉机构，所述止跌环固定在上磨盘升降杆的外周侧面上，所述止跌环的直径大于上磨盘升降杆的直径，所述插销座上设置有贯穿其顶面和底面的中空窗，所述插销座顶面两侧边缘设置有插销槽，所述插销座通过插销座固定螺栓孔固定安装在研磨机龙门架的横梁下面，安装时，所述插销座的中空窗垂直对中于上磨盘升降杆的中轴线，所述中空窗可使上磨盘升降杆和止跌环上下通过，所述插销槽作为插销件的横向滑动轨道，所述插销件的端部为插销脚，所述插销脚呈分叉状，两个插销脚的平行间距大于上磨盘升降杆的直径，并且小于止跌环的直径，所述推拉机构与插销件固定连接，用于驱动插销件运动。

2.根据权利要求1所述的用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置，其特征在于，所述止跌环采用内嵌式螺杆固定在上磨盘升降杆上。

3.根据权利要求1所述的用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置，其特征在于，所述推拉机构为推拉气缸。

4.根据权利要求3所述的用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置，其特征在于，所述推拉气缸的推拉杆与插销件的端部固定连接，所述推拉气缸固定在研磨机龙门架的横梁下面。

5.根据权利要求3所述的用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置，其特征在于，所述推拉气缸采用缓冲型、双作用气缸。

6.根据权利要求1所述的用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置，其特征在于，所述止跌环、插销座、插销件均为不锈钢制成。