CN208883986U - 门体组件联动结构和原子沉积装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种门体组件联动结构和原子沉积装置。门体组件联动结构用于和原子沉积装置中的双层加热腔室配合，包括安装台和门体组件，安装台上设置有滑轨和驱动电机，驱动电机通过丝杠带动门体组件在滑轨上运动。安装台靠近双层加热腔室位置设置有滚轮组件和顶升板，顶升板比滚轮组件距离双层加热腔室更近。本实用新型实施方式中的门体组件联动结构中，顶升板和滚轮组件顶起载舟板，避免满载的载舟板因承重发生形变而与双层加热腔室难以对接的情况，同时，滚轮组件能协助门体组件更顺畅地进入到双层加热腔室内部。

Description

门体组件联动结构和原子沉积装置

技术领域

本实用新型涉及原子层沉积领域，尤其涉及一种门体组件联动结构和原子沉积装置。

背景技术

在相关技术中，载舟板满载后通常会产生一定量的形变，不仅影响门体组件和加热腔室之间的配合，长此以往，还产生了一些不可逆的形变，影响装载硅片。

实用新型内容

本实用新型实施方式提供的一种门体组件联动结构，用于和原子沉积装置中的双层加热腔室配合，包括安装台和门体组件，所述安装台上设置有滑轨和驱动电机，所述驱动电机通过丝杠带动所述门体组件在所述滑轨上运动，

所述安装台靠近所述双层加热腔室位置设置有滚轮组件和顶升板，所述顶升板比所述滚轮组件距离所述双层加热腔室更近。

本实用新型实施方式中的门体组件联动结构中，顶升板和滚轮组件顶起载舟板，避免满载的载舟板因承重发生形变而与双层加热腔室难以对接的情况，同时，滚轮组件能协助门体组件更顺畅地进入到双层加热腔室内部。

在某些实施方式中，所述门体组件包括载舟板，所述载舟板和所述门体组件固定连接且和所述安装台间隔设置。

在某些实施方式中，所述滚轮组件包括在所述门体组件的运动方向上转动的滚轮，所述滚轮和所述载舟板接触。

在某些实施方式中，所述安装台上设置有固定座，所述驱动电机和所述丝杠设置在所述固定座上，所述固定座上还设置有伸缩结构，所述伸缩结构连接所述门体组件，所述伸缩结构关于所述丝杠对称。

在某些实施方式中，还包括行走履带，所述行走履带固定连接所述门体组件。

本实用新型实施方式提供一种原子沉积装置，包括如上任一实施方式所述的门体组件联动结构。

本实用新型实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本实用新型实施方式的门体组件联动结构的立体结构示意图；

图2是图1中的门体组件联动结构在I处的放大示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

请参阅图1和图2，本实用新型实施方式提供的一种门体组件联动结构，用于和原子沉积装置中的双层加热腔室200配合，包括安装台301和门体组件100，安装台301上设置有滑轨303和驱动电机304，驱动电机304通过丝杠带动门体组件100在滑轨303上运动。安装台301靠近双层加热腔室位置设置有滚轮组件305和顶升板306，顶升板306比滚轮组件305距离双层加热腔室更近。

本实用新型实施方式中的门体组件联动结构中，顶升板306和滚轮组件305顶起载舟板117，避免满载的载舟板117因承重发生形变而与双层加热腔室难以对接的情况，同时，滚轮组件305能协助门体组件100更顺畅地进入到双层加热腔室内部。

在某些实施方式中，门体组件100包括载舟板117，载舟板117和门体组件100固定连接且和安装台301间隔设置。

由于双层加热腔室中，外层腔室和内层腔室之间间隔，所以载舟板117设置成对应结构，以便门体组件100和双层加热腔室配合后，载舟板117能深入内层腔室中。

在某些实施方式中，滚轮组件305包括在门体组件100的运动方向上转动的滚轮310，滚轮310和载舟板117接触。

如此，在将载舟板117送入加热腔室中的过程中，滚轮310既起了承载门体组件100的作用，分担载舟板117的承重，又使载舟板117更轻易地进入到腔室中。

在某些实施方式中，安装台301上设置有固定座307，驱动电机304和丝杠设置在固定座307上，固定座307上还设置有伸缩结构308，伸缩结构308连接门体组件100，伸缩结构308关于丝杠对称。

如此，伸缩结构308配合丝杠一起驱动门体组件100进出加热腔室，提高了门体组件100运动的稳定性，也保护了位于载舟板117上的硅片。

在某些实施方式中，还包括行走履带309，行走履带309固定连接门体组件100。

如此，提高了门体组件100运动的稳定性。

本实用新型实施方式提供一种原子沉积装置，包括如上任一实施方式的门体组件联动结构。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施方式”、“某些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施方式，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种门体组件联动结构，用于和原子沉积装置中的双层加热腔室配合，其特征在于，包括安装台和门体组件，所述安装台上设置有滑轨和驱动电机，所述驱动电机通过丝杠带动所述门体组件在所述滑轨上运动，

所述安装台靠近所述双层加热腔室位置设置有滚轮组件和顶升板，所述顶升板比所述滚轮组件距离所述双层加热腔室更近。

2.根据权利要求1所述的门体组件联动结构，其特征在于，所述门体组件包括载舟板，所述载舟板和所述门体组件固定连接且和所述安装台间隔设置。

3.根据权利要求2所述的门体组件联动结构，其特征在于，所述滚轮组件包括在所述门体组件的运动方向上转动的滚轮，所述滚轮和所述载舟板接触。

4.根据权利要求1所述的门体组件联动结构，其特征在于，所述安装台上设置有固定座，所述驱动电机和所述丝杠设置在所述固定座上，所述固定座上还设置有伸缩结构，所述伸缩结构连接所述门体组件，所述伸缩结构关于所述丝杠对称。

5.根据权利要求4所述的门体组件联动结构，其特征在于，还包括行走履带，所述行走履带固定连接所述门体组件。

6.一种原子沉积装置，其特征在于，包括如权利要求1-5任一项所述的门体组件联动结构。