CN208852854U - 一种气体混合装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及气体混合技术领域，公开一种气体混合装置。其中气体混合装置包括柜体以及均设置于所述柜体内部的第一气体进气管路、第二气体进气管路、混合管路、混合气体排出管路以及废气排出管路，所述第一气体进气管路和所述第二气体进气管路的一端相连通，且所述混合管路的一端连接所述第一气体进气管路和所述第二气体进气管路连通的一端，所述混合管路的另一端分别连通于所述混合气体排出管路和所述废气排出管路；所述第一气体进气管路上设置有流量计；所述第二气体进气管路上设置有流量控制器，且所述流量控制器根据所述流量计的读数调节所述第二气体进气管路内的气体流量。本实用新型能精确控制混合气体比例，操作方便，安全性能好。
Description
技术领域
本实用新型涉及气体混合技术领域，尤其涉及一种气体混合装置。
背景技术
在半导体行业作业过程中，通常需要使用保护气体确保作业过程中产品不发生氧化，随着行业的发展，对气体的需求量越来越大，传统的供应模式费用较高，交货周期长，需要空间大，人员操作频繁等，而气体混合装置可以减少这方面的问题，提供更加稳定安全的供应。
企业一般选择使用混合气体作为保护气体，但是在使用时，气体混合容易发生意外，当混合比例超出一定范围时，可能影响作业过程中产品的品质，甚至可能引发一定的危险；在实际中，气体混合往往难以控制，混配比例难以控制在相对稳定的范围。
实用新型内容
基于以上所述，本实用新型的目的在于提供一种气体混合装置，能精确控制混合气体比例，操作方便，安全性能好。
为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
一种气体混合装置，用于按一定比例混合不同的气体，所述气体混合装置包括柜体以及均设置于所述柜体内部的第一气体进气管路、第二气体进气管路、混合管路、混合气体排出管路以及废气排出管路，所述第一气体进气管路和所述第二气体进气管路的一端相连通，且所述混合管路的一端连接所述第一气体进气管路和所述第二气体进气管路连通的一端，所述混合管路的另一端分别连通于所述混合气体排出管路和所述废气排出管路，所述混合气体排出管路和所述废气排出管路上分别设置有混合气体气动阀和废气气动阀；所述第一气体进气管路上设置有流量计；所述第二气体进气管路上设置有流量控制器，且所述流量控制器根据所述流量计的读数调节所述第二气体进气管路内的气体流量。
作为一种优选方案，所述第一气体进气管路上设有第一气体进气口，在所述流量计和所述第一气体进气口之间设置有第一气动阀和第一调压阀。
作为一种优选方案，所述第二气体进气管路上设有第二气体进气口，在所述流量控制器和所述第二气体进气口之间设置有第二气动阀和第二调压阀。
作为一种优选方案，所述第一气体进气管路和所述第二气体进气管路上分别设置有第一压力表和第二压力表。
作为一种优选方案，所述混合气体排出管路上设置有混合气出口。
作为一种优选方案，所述混合气体排出管路上设置有压力传感器。
作为一种优选方案，所述废气排出管路包括沿气体流向方向依次设置的单向阀以及废气排出口。
作为一种优选方案，所述混合气体排出管路连通有缓冲罐，所述缓冲罐用于将多余的混合气体进行储存。
作为一种优选方案，所述柜体内设置有排风装置。
作为一种优选方案，所述柜体内设置有警报器以及喷淋装置。
本实用新型的有益效果为：
第一气体从第一气体进气管路流入，同时第二气体从第二气体进气管路流入，且第二气体进气管路中的流量控制器根据第一气体进气管路中流量计的读数调节第二气体的流量以精确控制混合气体比例。
另外，当整个装置中留有残余气体或混合气体未达规定比例，可关闭混合气体排出管路的混合气体气动阀，打开废气气动阀将废气通过废气排出管路排出，以确保混合气体比例稳定。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型具体实施例提供的气体混合装置示意图；
图中：
10-柜体；11-排风装置；12-警报器；13-喷淋装置；
20-第一气体进气管路；21-流量计；22-第一气体进气口；23-第一气动阀； 24-第一调压阀；25-第一压力表；
30-第二气体进气管路；31-流量控制器；32-第二气体进气口；33-第二气动阀；34-第二调压阀；35-第二压力表；
40-混合管路；
50-混合气体排出管路；51-混合气体气动阀；52-混合气出口；53-压力传感器；54-缓冲罐；
60-废气排出管路；61-废气气动阀；62-单向阀；63-废气排出口。
具体实施方式
为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1所示，本实施例提供一种气体混合装置，该气体混合装置包括柜体 10以及均设置于柜体10内部的第一气体进气管路20、第二气体进气管路30、混合管路40、混合气体排出管路50以及废气排出管路60，第一气体进气管路 20和第二气体进气管路30的一端相连通，且混合管路40的一端连接第一气体进气管路20和第二气体进气管路30连通的一端，混合管路40的另一端分别连通于混合气体排出管路50和废气排出管路60；第一气体进气管路20上设置有流量计21；第二气体进气管路30上设置有流量控制器31。
进一步的，柜体10内设置有排风装置11，可以及时排出柜体10内气体，防止危险气体聚集。
柜体10内设置有警报器12以及喷淋装置13，警报器12包括压力警报器和高温警报器，当压力过高时，压力警报器发出报警信号；高温警报器对温度进行实时监测，当温度过高时，高温警报器发出报警信号，同时，喷淋装置13在柜体10内进行喷淋，降低柜体10内的温度。
第一气体进气管路20上设有第一气体进气口22，在流量计21和第一气体进气口22之间依次设置有第一气动阀23、第一调压阀24和第一压力表25。第一气体从第一气体进气口22流入后，第一气动阀23和第一调压阀24分别调节第一气体的流量和压力，第一压力表25用于指示第一气体经调节后的压力，流量计21指示第一气体经调节后的流量。
第二气体进气管路30上设有第二气体进气口32，在流量控制器31和第二气体进气口32之间依次设置有第二气动阀33、第二调压阀34和第二压力表35。第二气体从第二气体进气口32流入后，第二气动阀33和第二调压阀34分别调节第二气体的流量和压力，第二压力表35用于指示第二气体经调节后的压力，流量控制器31根据流量计21的读数调节第二气体进气管路30内的气体流量。
较佳的，流量控制器31可采用可编辑逻辑控制器精确控制第二气体的流量。
混合管路40的一端连接第一气体进气管路20和第二气体进气管路30连通的一端，混合管路40的另一端分别连通于混合气体排出管路50和废气排出管路60。第一气体和第二气体进入混合管路40进行充分混合得到混合气体。
混合气体排出管路50上依次设置有混合气体气动阀51和混合气出口52，混合气体气动阀51可控制混合气体排出管路50的开闭。混合气体流入混合气体排出管路50，经混合气体气动阀51调节流量后，由混合气出口52排出。
较佳的，混合气体排出管路50上设置有压力传感器53，用于监测混合气体的压力，并实时将信号传送至压力警报器。
较佳的，混合气体排出管路50连通有缓冲罐54，缓冲罐54用于将多余的混合气体进行储存。
进一步的，当整个装置中留有残余气体或混合气体未达规定比例时，需要由废气排出管路60排出废气。废气排出管路60上依次设有废气气动阀61、单向阀62以及废气排出口63，废气气动阀61可控制废气排出管路60的开闭，单向阀62用于限制气体流向。打开废气气动阀61，废气流入废气排出管路60，通过单向阀62后，由废气排出口63排出。
需要注意的是，当混合气体流入混合气体排出管路50时，废气排出管路60 应处于关闭状态；当废气流入废气排出管路60时，混合气体排出管路50应处于关闭状态。
注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。
Claims (10)
1.一种气体混合装置，其特征在于，所述气体混合装置包括柜体(10)以及均设置于所述柜体(10)内部的第一气体进气管路(20)、第二气体进气管路(30)、混合管路(40)、混合气体排出管路(50)以及废气排出管路(60)，所述第一气体进气管路(20)和所述第二气体进气管路(30)的一端相连通，且所述混合管路(40)的一端连接所述第一气体进气管路(20)和所述第二气体进气管路(30)连通的一端，所述混合管路(40)的另一端分别连通于所述混合气体排出管路(50)和所述废气排出管路(60)，所述混合气体排出管路(50)和所述废气排出管路(60)上分别设置有混合气体气动阀(51)和废气气动阀(61)；所述第一气体进气管路(20)上设置有流量计(21)；所述第二气体进气管路(30)上设置有流量控制器(31)，且所述流量控制器(31)根据所述流量计(21)的读数调节所述第二气体进气管路(30)内的气体流量。
2.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述第一气体进气管路(20)上设有第一气体进气口(22)，在所述流量计(21)和所述第一气体进气口(22)之间设置有第一气动阀(23)和第一调压阀(24)。
3.根据权利要求2所述的气体混合装置，其特征在于，所述第二气体进气管路(30)上设有第二气体进气口(32)，在所述流量控制器(31)和所述第二气体进气口(32)之间设置有第二气动阀(33)和第二调压阀(34)。
4.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述第一气体进气管路(20)和所述第二气体进气管路(30)上分别设置有第一压力表(25)和第二压力表(35)。
5.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述混合气体排出管路(50)上设置有混合气出口(52)。
6.根据权利要求5所述的气体混合装置，其特征在于，所述混合气体排出管路(50)上设置有压力传感器(53)。
7.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述废气排出管路(60)包括沿气体流向方向依次设置的单向阀(62)以及废气排出口(63)。
8.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述混合气体排出管路(50)连通有缓冲罐(54)，所述缓冲罐(54)用于将多余的混合气体进行储存。
9.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述柜体(10)内设置有排风装置(11)。
10.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述柜体(10)内设置有警报器(12)以及喷淋装置(13)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821536932.8U CN208852854U (zh) | 2018-09-19 | 2018-09-19 | 一种气体混合装置 |
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| CN208852854U true CN208852854U (zh) | 2019-05-14 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110624426A (zh) * | 2019-09-30 | 2019-12-31 | 广州供电局有限公司 | 气体混合装置 |
| CN112058109A (zh) * | 2020-09-12 | 2020-12-11 | 米兰 | 一种工业废气处理用中和气体混入装置 |
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2018
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