CN208840168U - 一种高效硅片清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高效硅片清洗机，属于硅片清洗技术领域，包括清洗槽、硅片挂篮、干燥装置、PLC控制箱和挂篮搬运装置，PLC控制箱、清洗槽和干燥装置依次设置，清洗槽包括多个清洗箱，清洗箱内设置药剂箱、液位计、温度传感器、进水管、出水管和超声波发生器，硅片挂篮用于放置硅片并放置于清洗箱内，干燥装置采用离心干燥和热风干燥两种方式，硅片挂篮搬运装置将硅片挂篮从上一个清洗箱搬运至下一个清洗箱，第四个清洗箱内的硅片挂篮搬运至干燥装置中，挂钩脱离硅片挂篮，硅片搬运装置恢复回上一个清洗箱上方，挂钩与新的硅片挂篮结合，硅片搬运装置重复上述运动。本实用新型供具有清洗效果更好、药剂自动添加、硅片自动搬运和干燥等优点。

Description

一种高效硅片清洗机

技术领域

本实用新型属于硅片清洗技术领域，具体涉及一种高效硅片清洗机。

背景技术

随着世界经济的不断发展，现代化建设对高效能源需求不断增长。光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的主要能源的一种，日益受到世界各国的重视并得到大力发展。单晶硅片、多晶硅片作为光伏发电的太阳能电池片的基础材料，拥有广泛的市场需求。

硅片清洗是指在氧化、光刻、外延、扩散和引线蒸发等工序前,采用物理或化学的方法去除硅片表面的污染物和自身氧化物, 以得到符合清洁度要求的硅片表面的过程。在光伏太阳能产业中, 硅片在加工中表面会产生硅料多晶边皮、顶料、片料、埚底料以及原生多晶料，需要清洗设备进行表面清洗，而超声波太阳能清洗机可以有效去除硅片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破坏晶片表面特性，在硅片生产加工中得到广泛应用。

公告号为CN205732105U，公告日为2016年11月30日的中国文献公开了一种太阳能板加工用硅片清洗机，包括机箱和清洗槽，所述清洗槽内装在机箱内部，所述清洗槽左侧位于机箱上设有电控箱，其特征在于，所述机箱内部位于清洗槽的正下方设有底座，底座上固定安装有超声波换能器，所述清洗槽的底部面板由振动面钢板构成，所述振动面钢板位于超声波换能器的上端面，且接触连接，所述清洗槽中部对称设有加热隔板，两个所述加热隔板底端连接有加热电阻丝网，所述加热隔板与清洗槽相对两侧壁之间有间隙，间隙内部设有温度传感器，所述振动面钢板右端设有出水管，所述清洗槽右侧壁上部设有进水管，所述加热隔板之间架设有支撑框架。

该专利通过加热隔板和加热电阻丝网，包围式进行加热能够较为快速均匀的对清洗液进行加热，温度传感器时刻检测温度，保持清洗液较为稳定的温度，提高清洗效果，支撑框架架设在加热隔板上，便于取放，简化操作，但是清洗槽添加药剂时还需要手动计量后添加，硅片需要人工取出，工作效率底，没有干燥装置，还需要去除硅片进行干燥增加了工作量。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种清洗效果更好、药剂自动添加、硅片自动搬运和硅片自动干燥的高效硅片清洗机。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

一种高效硅片清洗机，其特征在于：包括清洗槽、硅片挂篮、干燥装置、PLC控制箱和挂篮搬运装置，所述PLC控制箱、清洗槽和干燥装置依次设置；

所述清洗槽包括依次排布的多个清洗箱，所述清洗箱左侧设置有药剂箱，所述药剂箱底部设置有加药管，所述加药管上设置加药阀和加药流量计，所述药剂箱下方设置加热装置，所述清洗箱右侧由上到下依次设置液位计和温度传感器，所述清洗箱底部左右两端分别设置进水管和出水管，所述进水管和出水管上分别设置进水电磁阀和出水电磁阀，所述各个进水管通过进水总管相连，所述各个出水管通过出水总管相连，所述进水管与出水管之间设置超声波发生器；

所述硅片挂篮用于放置硅片，所述硅片挂篮放置于清洗箱内，所述硅片挂篮底面和四个侧壁均设置有小孔；

所述干燥装置包括干燥箱体，所述干燥箱体底部左右两侧均设置有排水管，所述排水管上设置排水阀，所述排水管和出水总管相连，所述排水管之间设置有干燥甩盘，所述干燥甩盘连接干燥电机联轴器，所述干燥电机联轴器和干燥电机相连，所述干燥箱体侧壁设置有湿度传感器和温度传感器，所述干燥箱体底面设有进气管，所述进气管上设置有加热装置和风机，所述硅片挂篮放置在干燥甩盘上，所述干燥箱体上还设置有防撞环；

所述挂篮搬运装置包括龙门支架、横向丝杆、横向电机、伸缩式液压杆、电机安装板、横向移动块、横杆和两个横向丝杆固定座，所述龙门支架右上方设置电机安装板，所述电机安装板上设置横向电机，所述横向电机通过联轴器和横向丝杆相连，所述横向丝杆通过轴承和横向丝杆固定座相连，所述横向丝杆固定座另一端和龙门支架相连，所述横向丝杆和横向移动块通孔相配合，所述横向移动块下端和横杆固定连接，所述横杆上均匀设置四个伸缩式液压杆，所述伸缩式液压杆输出端固定连接挂钩机构，所述挂钩机构包括连接杆和两个挂钩，所述挂钩底部挂有硅片挂篮；

所述PLC控制箱包括PLC控制器、指示灯和显示屏，所述PLC控制器与指示灯、显示屏、进水电磁阀、出水电磁阀、加药阀、加药流量计、液位计、超声波发生器、温度传感器、干燥电机、湿度传感器、加热装置、风机、排水阀、收缩式液压杆和横向电机相连。

优选的，所述清洗槽包括依次排布的四个清洗箱，所述四个清洗箱分别为酸液清洗箱、碱液清洗箱、清洁液清洗箱和清水清洗箱。

优选的，所述硅片挂篮上沿设置有加强筋。

优选的，所述药剂箱上部设置有加药口，所述药剂箱设置有药剂液位计，所述药剂液位计和PLC控制器相连。

优选的，所述清洗箱和硅片挂篮采用不锈钢316材质。

优选的，所述干燥箱体底面上部设置多个出气孔。

优选的，所述防撞环采用硅胶材质。

优选的，所述横向丝杆上设置两个限位开关，所述限位开关和PLC控制器相连。

优选的，所述电机安装板下方设置支撑杆，所述支撑杆一端与电机安装板下端相连，所述支撑杆另一端与龙门支架相连。

本技术方案的有益效果如下：

一、本实用新型提供的高效硅片清洗机，包括清洗槽、硅片挂篮、干燥装置、PLC控制箱和挂篮搬运装置，PLC控制箱、清洗槽和干燥装置依次设置，清洗箱中设置药剂箱，添加物料更加方便，加药阀和加药流量计使得加药量更准确和方便，加热装置和温度传感器保证清洗箱中温度控制在60-70℃，在这个温度范围内清洗效果更好；硅片挂篮用于放置硅片，所述硅片挂篮放置于清洗箱内，干燥装置采用离心干燥和热风干燥两种方式，在保证干燥效果的前提下更加节省能源，温度传感器监控干燥箱体内的温度，温度传感器和加热装置配合保证干燥箱体的温度在60-70℃，湿度传感器检测干燥箱体内的湿度，当湿度满足干燥要求后，停止加热，通过风机进行风冷，快速将硅片温度降低，保证工作效率，硅片降至室温后手动取出硅片挂篮，挂篮搬运装置用于搬运硅片挂篮，清洗时伸缩式液压杆上下运动，增强清洗效果，清洗一次后将硅片挂篮搬运到下一个清洗箱，第四个清洗箱内的硅片挂篮搬运到干燥装置中，挂钩脱离硅片挂篮，硅片搬运装置恢复回上一个清洗箱上方，挂钩与新的硅片挂篮结合，硅片搬运装置重复上述运动，PLC控制箱包括PLC控制器、指示灯和显示屏，指示灯用于显示各个清洗箱的运行状态，显示屏中显示各个清洗箱和干燥箱体内的温度、湿度等参数，PLC控制器与指示灯、显示屏、进水电磁阀、出水电磁阀、加药阀、加药流量计、液位计、超声波发生器、温度传感器、干燥电机、湿度传感器、加热装置、风机、排水阀、伸缩式液压杆和横向电机相连，PLC控制器控制使得工作效率更高并且更节省劳动成本。

二、本实用新型提供的高效硅片清洗机，清洗槽包括依次排布的四个清洗箱，四个清洗箱分别为酸液清洗箱、碱液清洗箱、清洁液清洗箱和清水清洗箱，硅片在清洗槽中进行酸洗、碱洗、清洗剂清洗和漂洗，保证了硅片的清洗效果。

三、本实用新型提供的高效硅片清洗机，硅片挂篮上沿设置有加强筋，加强硅片挂篮的稳固性，使得硅片挂篮使用寿命更长。

四、本实用新型提供的高效硅片清洗机，药剂箱上部设置有加药口，药剂箱设置有药剂液位计，根据药剂液位计显示的药剂液位，适时添加药剂，保证硅片清洗机正常运行。

五、本实用新型提供的高效硅片清洗机，清洗箱和硅片挂篮采用不锈钢316材质，防止药剂对清洗箱和硅片挂篮的腐蚀，使得清洗箱和硅片挂篮使用寿命更长。

六、本实用新型提供的高效硅片清洗机，干燥箱体底面上部设置多个出气孔，保证出风更均匀，使得干燥和冷却更快捷。

七、本实用新型提供的高效硅片清洗机，防撞环采用硅胶材质，防止硅片损伤，减少了硅片破损率，减少不必要的损失。

八、本实用新型提供的高效硅片清洗机，横向丝杆上设置两个限位开关，使得横向移动块在限位开关之间移动，满足生产需要。

九、本实用新型提供的高效硅片清洗机，电机安装板下方设置支撑杆，所述支撑杆一端与电机安装板下端相连，所述支撑杆另一端与龙门支架相连，增加了电机安装板的稳固性，防止电机安装板因横向电机震动造成电机安装板破损。

附图说明

本实用新型的前述和下文具体描述在结合以下附图阅读时变得更清楚，附图中：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型清洗槽的结构示意图；

图3是本实用新型硅片挂篮的结构示意图；

图4是本实用新型干燥装置的结构示意图；

图5是本实用新型挂篮搬运装置的结构示意图；

图6是本实用新型PLC控制箱的结构示意图；

图中：

1、清洗槽；2、硅片挂篮；3、干燥装置；4、PLC控制箱；5、挂篮搬运装置；6、清洗箱；7、药剂箱；8、加药管；9、加药阀；10、加药流量计；11、加热装置；12、液位计；13、温度传感器；14、进水管；15、出水管；16、进水电磁阀；17、出水电磁阀；18、进水总管；19、出水总管；20、超声波发生器；21、干燥箱体；22、排水管；23、排水阀；24、干燥甩盘；25、干燥电机联轴器；26干燥电机；27、湿度传感器；28、进气管；29、风机；30、防撞环；31、龙门支架；32、横向丝杆；33、横向电机；34、收缩式液压杆；35、电机安装板；36、横向移动块；37、横杆；38、横向丝杆固定座；39、连接杆；40、挂钩；41、PLC控制器；42、指示灯；43、显示屏；44、加强筋；45、加药口；46、药剂液位计；47、出气孔；48、限位开关；49、支撑杆。

具体实施方式

下面通过几个具体的实施例来进一步说明实现本实用新型目的技术方案，需要说明的是，本实用新型要求保护的技术方案包括但不限于以下实施例。

实施例1

作为本实用新型一种最基本的实施方案，本实施例公开了一种高效硅片清洗机，如图1所示，包括清洗槽1、硅片挂篮2、干燥装置3、PLC控制箱4和挂篮搬运装置5，所述PLC控制箱4、清洗槽1和干燥装置3依次设置；

如图2所示，所述清洗槽1包括依次排布的四个清洗箱6，所述清洗箱6左侧设置有药剂箱7，所述药剂箱7底部设置有加药管8，所述加药管8上设置加药阀9和加药流量计10，所述加药阀9为电磁阀，所述加药流量计10采用DMF-1系列质量流量计，所述药剂箱6下方设置加热装置11，所述加热装置11为电加热器，所述清洗箱6右侧由上到下依次设置液位计12和温度传感器13，所述液位计12采用TR-800DK系列智能型电子双色自动控制仪，所述温度传感器13采用法兰片PT100铂热电阻温度传感器，所述清洗,6底部左右两端分别设置进水管14和出水管15，所述进水管14和出水管15上分别设置进水电磁阀16和出水电磁阀17，所述各个进水管14通过进水总管18相连，所述各个出水管15通过出水总管19相连，所述进水管14与出水管15之间设置超声波发生器20；

如图3所示，所述硅片挂篮2用于放置硅片，所述硅片挂篮2放置于清洗箱6内，所述硅片挂篮底面和四个侧壁均设置有小孔；

如图4所示，所述干燥装置3包括干燥箱体21，所述干燥箱体21底部左右两侧均设置有排水管22，所述排水管22上设置排水阀23，所述排水管22和出水总管19相连，所述排水管22之间设置有干燥甩盘24，所述干燥甩盘24连接干燥电机联轴器25，所述干燥电机联轴器25和干燥电机26相连，所述干燥箱体21侧壁设置有湿度传感器27和温度传感器13，所述湿度传感器采用KZWS/JD绝对湿度传感器，所述干燥箱体21底面设有进气管28，所述进气管28上设置有加热装置11和风机29，所述硅片挂篮2放置在干燥甩盘24上，所述干燥箱体21上还设置有防撞环30，所述防撞环30用于防止硅片挂篮2转动时碰撞干燥箱体21；

如图5所示，所述挂篮搬运装置5包括龙门支架31、横向丝杆32、横向电机33、伸缩式液压杆34、电机安装板35、横向移动块36、横杆37和两个横向丝杆固定座38，所述龙门支架31右上方设置电机安装板35，所述电机安装板35上设置横向电机33，所述横向电机33通过联轴器和横向丝杆32相连，所述横向丝杆32通过轴承和横向丝杆固定座38相连，所述横向丝杆固定座38另一端和龙门支架31相连，所述横向丝杆32和横向移动块36通孔相配合，所述横向移动块36下端和横杆37固定连接，所述横杆37上均匀设置四个伸缩式液压杆34，所述伸缩式液压杆34输出端固定连接挂钩机构，所述挂钩机构包括连接杆39和两个挂钩40，所述挂钩40底部挂有硅片挂篮2；

如图6所示，所述PLC控制箱41包括PLC控制器41、指示灯42和显示屏43，所述PLC控制器41采用西门子S7-400，所述PLC控制器41与指示灯41、显示屏42、进水电磁阀16、出水电磁阀17、加药阀9、加药流量计10、液位计12、超声波发生器20、温度传感器13、干燥电机26、湿度传感器27、加热装置11、风机29、排水阀23、收缩式液压杆34和横向电机33相连。

本实用新型提供的高效硅片清洗机，包括清洗槽1、硅片挂篮2、干燥装置3、PLC控制箱4和挂篮搬运装置5，PLC控制箱4、清洗槽1和干燥装置3依次设置，清洗箱6中设置药剂箱7，添加物料更加方便，加药阀9和加药流量计10使得加药量更准确和方便，加热装置11和温度传感器13保证清洗箱6中温度控制在60-70℃，在这个温度范围内清洗效果更好；硅片挂篮2用于放置硅片，所述硅片挂篮2放置于清洗箱6内，干燥装置3采用离心干燥和热风干燥两种方式，在保证干燥效果的前提下更加节省能源，温度传感器13监控干燥箱体21内的温度，温度传感器13和加热装置11配合保证干燥箱体的温度在60-70℃，湿度传感器27检测干燥箱体21内的湿度，当湿度满足干燥要求后，停止加热，通过风机29进行风冷，快速将硅片温度降低，保证工作效率，硅片降至室温后手动取出硅片挂篮2；挂篮搬运装置5用于搬运硅片挂篮2，清洗时伸缩式液压杆34上下运动，增强清洗效果，清洗一次后将硅片挂篮2搬运到下一个清洗箱6，第四个清洗箱6内的硅片挂篮2搬运到干燥装置3中，挂钩40脱离硅片挂篮2，硅片搬运装置5恢复回上一个清洗箱6上方，挂钩40与新的硅片挂篮2结合，硅片搬运装置5重复上述运动，PLC控制箱4包括PLC控制器41、指示灯42和显示屏43，指示灯用42于显示各个清洗箱6的运行状态，显示屏43中显示各个清洗箱6和干燥箱体21内的温度、湿度等参数，PLC控制器41与指示灯41、显示屏42、进水电磁阀16、出水电磁阀17、加药阀9、加药流量计10、液位计12、超声波发生器20、温度传感器13、干燥电机26、湿度传感器27、加热装置11、风机29、排水阀23、收缩式液压杆34和横向电机33相连，PLC控制器41控制使得工作效率更高并且更节省劳动成本。

实施例2

作为本实用新型一种优选的实施方案，本实施例公开了一种高效硅片清洗机，如如图1所示，包括清洗槽1、硅片挂篮2、干燥装置3、PLC控制箱4和挂篮搬运装置5，所述PLC控制箱4、清洗槽1和干燥装置3依次设置；

如图2所示，所述清洗槽1包括依次排布的四个清洗箱6，所述清洗箱6左侧设置有药剂箱7，所述药剂箱7底部设置有加药管8，所述加药管8上设置加药阀9和加药流量计10，所述加药阀9为电磁阀，所述加药流量计10采用DMF-1系列质量流量计，所述药剂箱6下方设置加热装置11，所述加热装置11为电加热器，所述清洗箱6右侧由上到下依次设置液位计12和温度传感器13，所述液位计12采用TR-800DK系列智能型电子双色自动控制仪，所述温度传感器13采用法兰片PT100铂热电阻温度传感器，所述清洗,6底部左右两端分别设置进水管14和出水管15，所述进水管14和出水管15上分别设置进水电磁阀16和出水电磁阀17，所述各个进水管14通过进水总管18相连，所述各个出水管15通过出水总管19相连，所述进水管14与出水管15之间设置超声波发生器20；

如图3所示，所述硅片挂篮2用于放置硅片，所述硅片挂篮2放置于清洗箱6内，所述硅片挂篮底面和四个侧壁均设置有小孔；

如图4所示，所述干燥装置3包括干燥箱体21，所述干燥箱体21底部左右两侧均设置有排水管22，所述排水管22上设置排水阀23，所述排水管22和出水总管19相连，所述排水管22之间设置有干燥甩盘24，所述干燥甩盘24连接干燥电机联轴器25，所述干燥电机联轴器25和干燥电机26相连，所述干燥箱体21侧壁设置有湿度传感器27和温度传感器13，所述湿度传感器采用KZWS/JD绝对湿度传感器，所述干燥箱体21底面设有进气管28，所述进气管28上设置有加热装置11和风机29，所述硅片挂篮2放置在干燥甩盘24上，所述干燥箱体21上还设置有防撞环30，所述防撞环30用于防止硅片挂篮2转动时碰撞干燥箱体21；

如图5所示，所述挂篮搬运装置5包括龙门支架31、横向丝杆32、横向电机33、伸缩式液压杆34、电机安装板35、横向移动块36、横杆37和两个横向丝杆固定座38，所述龙门支架31右上方设置电机安装板35，所述电机安装板35上设置横向电机33，所述横向电机33通过联轴器和横向丝杆32相连，所述横向丝杆32通过轴承和横向丝杆固定座38相连，所述横向丝杆固定座38另一端和龙门支架31相连，所述横向丝杆32和横向移动块36通孔相配合，所述横向移动块36下端和横杆37固定连接，所述横杆37上均匀设置四个伸缩式液压杆34，所述伸缩式液压杆34输出端固定连接挂钩机构，所述挂钩机构包括连接杆39和两个挂钩40，所述挂钩40底部挂有硅片挂篮2；

如图6所示，所述PLC控制箱41包括PLC控制器41、指示灯42和显示屏43，所述PLC控制器41采用西门子S7-400，所述PLC控制器41与指示灯41、显示屏42、进水电磁阀16、出水电磁阀17、加药阀9、加药流量计10、液位计12、超声波发生器20、温度传感器13、干燥电机26、湿度传感器27、加热装置11、风机29、排水阀23、收缩式液压杆34和横向电机33相连。

优选的，所述清洗槽1包括依次排布的四个清洗箱6，所述四个清洗箱6分别为酸液清洗箱、碱液清洗箱、清洁液清洗箱和清水清洗箱，所述酸液清洗箱、碱液清洗箱和清洁液清洗箱的药剂箱7内分别加入酸液、碱液和清洗剂，所述清水清洗箱的药剂箱7内不加药剂。

优选的，所述硅片挂篮2上沿设置有加强筋44。

优选的，所述药剂箱7上部设置有加药口45，所述药剂箱设置有药剂液位计46，所述药剂液位计46和PLC控制器41相连。

优选的，所述清洗箱6和硅片挂篮2采用不锈钢316材质。

优选的，所述干燥箱体21底面上部设置多个出气孔47。

优选的，所述防撞环30采用硅胶材质。

优选的，所述横向丝杆32上设置两个限位开关48，所述限位开关48和PLC控制器41相连。

优选的，所述电机安装板35下方设置支撑杆49，所述支撑杆49一端与电机安装板35下端相连，所述支撑杆49另一端与龙门支架31相连。

本实用新型提供的高效硅片清洗机，包括清洗槽1、硅片挂篮2、干燥装置3、PLC控制箱4和挂篮搬运装置5，PLC控制箱4、清洗槽1和干燥装置3依次设置，清洗箱6中设置药剂箱7，添加物料更加方便，加药阀9和加药流量计10使得加药量更准确和方便，加热装置11和温度传感器13保证清洗箱6中温度控制在60-70℃，在这个温度范围内清洗效果更好；硅片挂篮2用于放置硅片，所述硅片挂篮2放置于清洗箱6内，干燥装置3采用离心干燥和热风干燥两种方式，在保证干燥效果的前提下更加节省能源，温度传感器13监控干燥箱体21内的温度，温度传感器13和加热装置11配合保证干燥箱体的温度在60-70℃，湿度传感器27检测干燥箱体21内的湿度，当湿度满足干燥要求后，停止加热，通过风机29进行风冷，快速将硅片温度降低，保证工作效率，硅片降至室温后手动取出硅片挂篮2；挂篮搬运装置5用于搬运硅片挂篮2，清洗时伸缩式液压杆34上下运动，增强清洗效果，清洗一次后将硅片挂篮2搬运到下一个清洗箱6，第四个清洗箱6内的硅片挂篮2搬运到干燥装置3中，挂钩40脱离硅片挂篮2，硅片搬运装置5恢复回上一个清洗箱6上方，挂钩40与新的硅片挂篮2结合，硅片搬运装置5重复上述运动，PLC控制箱4包括PLC控制器41、指示灯42和显示屏43，指示灯用42于显示各个清洗箱6的运行状态，显示屏43中显示各个清洗箱6和干燥箱体21内的温度、湿度等参数，PLC控制器41与指示灯41、显示屏42、进水电磁阀16、出水电磁阀17、加药阀9、加药流量计10、液位计12、超声波发生器20、温度传感器13、干燥电机26、湿度传感器27、加热装置11、风机29、排水阀23、收缩式液压杆34和横向电机33相连，PLC控制器41控制使得工作效率更高并且更节省劳动成本。

清洗槽1包括依次排布的四个清洗箱6，四个清洗箱6分别为酸液清洗箱、碱液清洗箱、清洁液清洗箱和清水清洗箱，硅片在清洗槽中进行酸洗、碱洗、清洗剂清洗和漂洗，保证了硅片的清洗效果。硅片挂篮2上沿设置有加强筋44，加强硅片挂篮2的稳固性，使得硅片挂篮2使用寿命更长。药剂箱7上部设置有加药口45，药剂箱45设置有药剂液位计46，根据药剂液位计46显示的药剂液位，适时添加药剂，保证硅片清洗机正常运行。清洗箱9和硅片挂篮2采用不锈钢316材质，防止药剂对清洗箱6和硅片挂篮2的腐蚀，使得清洗箱6和硅片挂篮2使用寿命更长。干燥箱体21底面上部设置多个出气孔47，保证出风更均匀，使得干燥和冷却更快捷。防撞环30采用硅胶材质，防止硅片损伤，减少了硅片破损率，减少不必要的损失。横向丝杆32上设置两个限位开关48，使得横向移动块36在限位开关48之间移动，满足生产需要。电机安装板35下方设置支撑杆49，所述支撑杆49一端与电机安装板35下端相连，所述支撑杆49另一端与龙门支架31相连，增加了电机安装板35的稳固性，防止电机安装板35因横向电机33震动造成电机安装板35破损。

Claims (9)

1.一种高效硅片清洗机，其特征在于：包括清洗槽（1）、硅片挂篮（2）、干燥装置（3）、PLC控制箱（4）和挂篮搬运装置（5），所述PLC控制箱（4）、清洗槽（1）和干燥装置（3）依次设置；

所述清洗槽（1）包括依次排布的多个清洗箱（6），所述清洗箱（6）左侧设置有药剂箱（7），所述药剂箱（7）底部设置有加药管（8），所述加药管（8）上设置加药阀（9）和加药流量计（10），所述药剂箱（7）下方设置加热装置（11），所述清洗箱（6）右侧由上到下依次设置液位计（12）和温度传感器（13），所述清洗箱（6）底部左右两端分别设置进水管（14）和出水管（15），所述进水管（14）和出水管（15）上分别设置进水电磁阀（16）和出水电磁阀（17），所述各个进水管（14）通过进水总管（18）相连，所述各个出水管（15）通过出水总管（19）相连，所述进水管（14）与出水管（15）之间设置超声波发生器（20）；

所述硅片挂篮（2）用于放置硅片，所述硅片挂篮（2）放置于清洗箱（6）内，所述硅片挂篮（2）底面和四个侧壁均设置有小孔；

所述干燥装置（3）包括干燥箱体（21），所述干燥箱体（21）底部左右两侧均设置有排水管（22），所述排水管（22）上设置排水阀（23），所述排水管（23）和出水总管（19）相连，所述排水管（23）之间设置有干燥甩盘（24），所述干燥甩盘（24）连接干燥电机联轴器（25），所述干燥电机联轴器（25）和干燥电机（26）相连，所述干燥箱体（21）侧壁设置有湿度传感器（27）和温度传感器（13），所述干燥箱体（21）底面设有进气管（28），所述进气管（28）上设置有加热装置（11）和风机（29），所述硅片挂篮（2）放置在干燥甩盘（24）上，所述干燥箱体（21）上还设置有防撞环（30）；

所述挂篮搬运装置（5）包括龙门支架（31）、横向丝杆（32）、横向电机（33）、伸缩式液压杆（34）、电机安装板（35）、横向移动块（36）、横杆（37）和两个横向丝杆固定座（38），所述龙门支架（31）右上方设置电机安装板（35），所述电机安装板（35）上设置横向电机（33），所述横向电机（33）通过联轴器和横向丝杆（32）相连，所述横向丝杆（32）通过轴承和横向丝杆固定座（38）相连，所述横向丝杆固定座（38）另一端和龙门支架（31）相连，所述横向丝杆（32）和横向移动块（36）通孔相配合，所述横向移动块（36）下端和横杆（37）固定连接，所述横杆（37）上均匀设置四个伸缩式液压杆（34），所述伸缩式液压杆（34）输出端固定连接挂钩机构，所述挂钩机构包括连接杆（39）和两个挂钩（40），所述挂钩（40）底部挂有硅片挂篮；

所述PLC控制箱（4）包括PLC控制器（41）、指示灯（42）和显示屏（43），所述PLC控制器（41）与指示灯（42）、显示屏（43）、进水电磁阀（16）、出水电磁阀（17）、加药阀（9）、加药流量计（10）、液位计（12）、超声波发生器（20）、温度传感器（13）、干燥电机（26）、湿度传感器（27）、加热装置（11）、风机（29）、排水阀（23）、收缩式液压杆（34）和横向电机（33）相连。

2.如权利要求1所述的一种高效硅片清洗机，其特征在于：所述清洗槽（1）包括依次排布的四个清洗箱（6），所述四个清洗箱（6）分别为酸液清洗箱、碱液清洗箱、清洁液清洗箱和清水清洗箱。

3.如权利要求1所述的一种高效硅片清洗机，其特征在于：所述硅片挂篮（2）上沿设置有加强筋（44）。

4.如权利要求1所述的一种高效硅片清洗机，其特征在于：所述药剂箱（7）上部设置有加药口（45），所述药剂箱（7）设置有药剂液位计（46），所述药剂液位计（46）和PLC控制器（41）相连。

5.如权利要求1所述的一种高效硅片清洗机，其特征在于：所述清洗箱（6）和硅片挂篮（2）采用不锈钢316材质。

6.如权利要求1所述的一种高效硅片清洗机，其特征在于：所述干燥箱体（21）底面上部设置多个出气孔（47）。

7.如权利要求1所述的一种高效硅片清洗机，其特征在于：所述防撞环（30）采用硅胶材质。

8.如权利要求1所述的一种高效硅片清洗机，其特征在于：所述横向丝杆（32）上设置两个限位开关（48），所述限位开关（48）和PLC控制器（41）相连。

9.如权利要求1所述的一种高效硅片清洗机，其特征在于：所述电机安装板（35）下方设置支撑杆（49），所述支撑杆（49）一端与电机安装板（35）下端相连，所述支撑杆（49）另一端与龙门支架（31）相连。