CN208794860U - 一种硅片清洗机用干燥装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片清洗机用干燥装置，属于硅片清洗技术领域，包括干燥箱体，干燥箱体底部左右两侧均设置有排水管，排水管上设置排水阀，排水管和出水总管相连，排水管之间设置有干燥甩盘，干燥甩盘连接干燥电机联轴器，干燥电机联轴器和干燥电机相连，干燥箱体侧壁设置有湿度传感器和温度传感器，干燥箱体底面设有进气管，进气管上设置有加热装置和风机，硅片挂篮放置在干燥甩盘上，干燥箱体上还设置有防撞环，干燥箱体顶部设置有出风口，硅片清洗机用干燥装置还设置有PLC控制器，PLC控制器与排水阀、干燥电机、湿度传感器、温度传感器、加热装置和风机相连。本实用新型具有干燥效率高更好和更节能等优点。

Description

一种硅片清洗机用干燥装置

技术领域

本实用新型属于硅片清洗技术领域，具体涉及一种硅片清洗机用干燥装置。

背景技术

随着世界经济的不断发展，现代化建设对高效能源需求不断增长。光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的主要能源的一种，日益受到世界各国的重视并得到大力发展。单晶硅片、多晶硅片作为光伏发电的太阳能电池片的基础材料，拥有广泛的市场需求。

硅片清洗是指在氧化、光刻、外延、扩散和引线蒸发等工序前,采用物理或化学的方法去除硅片表面的污染物和自身氧化物, 以得到符合清洁度要求的硅片表面的过程。在光伏太阳能产业中, 硅片在加工中表面会产生硅料多晶边皮、顶料、片料、埚底料以及原生多晶料，需要清洗设备进行表面清洗，而超声波太阳能清洗机可以有效去除硅片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破坏晶片表面特性，在硅片生产加工中得到广泛应用。

公告号为CN205833721U，公告日为2016年12月28日的中国文献公开了全自动太阳能硅片制绒清洗干燥设备，其特征在于：包括碱洗槽、水洗槽、干燥设备、支架以及设置在支架上的传送带，传送带从左至右依次穿过碱洗槽、水洗槽以及干燥设备；干燥设备下端通过进风管连接有鼓风机，鼓风机的出风口设置有空气加热装置，干燥设备上端设置有出风管；干燥设备内设置有温度传感器，温度传感器与空气加热装置之间实现信号连接。

该专利硅片通过碱洗槽、水洗槽清洗完毕后将被直接送至干燥设备中烘干，操作简单方便，大大地缩短了生产时间，提高了工作效率，但是直接通过热风干燥消耗能源大，不节能。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种干燥效率高更好和更节能的硅片清洗机。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

一种硅片清洗机用干燥装置，包括干燥箱体，其特征在于：所述干燥箱体底部左右两侧均设置有排水管，所述排水管上设置排水阀，所述排水管和出水总管相连，所述排水管之间设置有干燥甩盘，所述干燥甩盘连接干燥电机联轴器，所述干燥电机联轴器和干燥电机相连，所述干燥箱体侧壁设置有湿度传感器和温度传感器，所述干燥箱体底面设有进气管，所述进气管上设置有加热装置和风机，所述干燥甩盘上放置有硅片挂篮，所述干燥箱体上还设置有防撞环，所述干燥箱体顶部设置有出风口，所述硅片清洗机用干燥装置还设置有PLC控制器，所述PLC控制器与排水阀、干燥电机、湿度传感器、温度传感器、加热装置和风机相连。

优选的，所述干燥箱体底面上部设置多个出气孔。

优选的，所述防撞环采用硅胶材质。

优选的，所述防撞环有三个，所述防撞环均匀分布。

优选的，所述干燥甩盘上设置有防滑纹。

优选的，所述干燥甩盘上设置排水槽。

优选的，所述出风口设置有引风管，所述引风管上设置有引风机和过滤装置，所述引风机和PLC控制器相连。

本技术方案的有益效果如下：

一、本实用新型提供的硅片清洗机用干燥装置，干燥箱体底部左右两侧均设置有排水管，排水管上设置排水阀，排水管和出水总管相连，排水管之间设置有干燥甩盘，干燥甩盘连接干燥电机联轴器，干燥电机联轴器和干燥电机相连，干燥箱体侧壁设置有湿度传感器和温度传感器，干燥箱体底面设有进气管，进气管上设置有加热装置和风机，硅片挂篮放置在干燥甩盘上，干燥箱体上还设置有防撞环，干燥箱体顶部设置有出风口，硅片清洗机用干燥装置还设置有PLC控制器，所述PLC控制器与排水阀、干燥电机、湿度传感器、温度传感器、加热装置和风机相连，硅片挂篮放置在干燥甩盘上，通过干燥电机通过干燥电机联轴器带动干燥甩盘转动，进行离心干燥，随后通过风机向干燥箱体通入经过加热装置加热的热风，对硅片进行二次干燥，干燥过程中温度传感器监测干燥箱体内的温度，防止干燥箱体内温度过高，在干燥箱体内湿度满足干燥要求后，加热装置停止加热，风机继续向干燥箱体内通入冷风，对硅片进行降温，通过先离心干燥再进行热风干燥，达到节省能源并且干燥效率更高。

二、本实用新型提供的硅片清洗机用干燥装置，干燥箱体底面上部设置多个出气孔，使得出风更均匀，使得硅片热风干燥时加热更均匀，防止温度不均而造成硅片损坏。

三、本实用新型提供的硅片清洗机用干燥装置，防撞环采用硅胶材质，防止硅片损伤，减少了硅片破损率，减少不必要的损失。

四、本实用新型提供的硅片清洗机，防撞环有三个，所述防撞环沿干燥箱体侧壁由上到下均匀分布，进一步加强防撞性能，减少了硅片破损率，减少不必要的损失。

五、本实用新型提供的硅片清洗机，干燥甩盘上设置有防滑纹，增大干燥甩盘与硅片挂篮的摩擦力，防止硅片挂篮到处滑动，减少硅片损坏。

六、本实用新型提供的硅片清洗机，干燥甩盘上设置排水槽，将从硅片挂篮底面流出的水排出干燥甩盘，减少热风干燥时能量的消耗。

七、本实用新型提供的硅片清洗机，出风口设置有引风管，引风管上设置有引风机和过滤装置，引风机和引风管的设置加快水分离开干燥箱体的速度，避免热量的损耗，过滤装置能将风中的杂质过滤下来，防止杂质污染空气。

附图说明

本实用新型的前述和下文具体描述在结合以下附图阅读时变得更清楚，附图中：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型干燥甩盘的结构示意图；

图3是本实用新型的工作原理框图；

图中：

1、干燥箱体；2、排水管；3、排水阀；4、出水总管；5、干燥甩盘；6、干燥电机联轴器；7、干燥电机；8、湿度传感器；9、温度传感器；10、进气管；11、加热装置；12、风机；13、硅片挂篮；14、防撞环；15、出风口；16、PLC控制器；17、出气孔；18、防滑纹；19、排水槽；20、引风管；21、引风机；22、过滤装置。

具体实施方式

下面通过几个具体的实施例来进一步说明实现本实用新型目的技术方案，需要说明的是，本实用新型要求保护的技术方案包括但不限于以下实施例。

实施例1

作为本实用新型一种最基本的实施方案，本实施例公开了一种硅片清洗机用干燥装置，如图1和图3所示，包括干燥箱体1，所述干燥箱体1底部左右两侧均设置有排水管2，所述排水管2上设置排水阀3，所述排水管2和出水总管4相连，所述排水管2之间设置有干燥甩盘5，所述干燥甩盘5连接干燥电机联轴器6，所述干燥电机联轴器6和干燥电机7相连，所述干燥箱体1侧壁设置有湿度传感器8和温度传感器9，所述温度传感器9采用法兰片PT100铂热电阻温度传感器，所述干燥箱体1底面设有进气管10，所述进气管10上设置有加热装置11和风机12，所述加热装置11采用电加热器，所述干燥甩盘5上放置有硅片挂篮13，所述干燥箱体1上还设置有防撞环14，所述干燥箱体1顶部设置有出风口15，所述硅片清洗机用干燥装置还设置有PLC控制器16，所述PLC控制器采用西门子S7-400，所述PLC控制器16与排水阀3、干燥电机7、湿度传感器8、温度传感器9、加热装置11和风机12相连。

本实用新型提供的硅片清洗机用干燥装置，干燥箱体1底部左右两侧均设置有排水管2，排水管2上设置排水阀3，排水管2和出水总管4相连，排水管2之间设置有干燥甩盘5，干燥甩盘5连接干燥电机联轴器6，干燥电机联轴器6和干燥电机7相连，干燥箱体1侧壁设置有湿度传感器8和温度传感器9，干燥箱体1底面设有进气管10，进气管10上设置有加热装置11和风机12，硅片挂篮13放置在干燥甩盘5上，干燥箱体1上还设置有防撞环14，干燥箱体1顶部设置有出风口15，硅片清洗机用干燥装置还设置有PLC控制器16， PLC控制器16与排水阀3、干燥电机7、湿度传感器8、温度传感器9、加热装置11和风机12相连，硅片挂篮13放置在干燥甩盘5上，打开排水阀3，通过干燥电机7通过干燥电机联轴器6带动干燥甩盘5转动，进行离心干燥，随后关闭排水阀3，随后通过风机12向干燥箱体1通入经过加热装置11加热的热风，对硅片进行二次干燥，干燥过程中温度传感器9监测干燥箱体1内的温度，防止干燥箱体1内温度过高，在干燥箱体1内湿度满足干燥要求后，加热装置11停止加热，风机12继续向干燥箱体1内通入冷风，对硅片进行降温，通过先离心干燥再进行热风干燥，达到节省能源并且干燥效率更高。

实施例2

作为本实用新型一种优选的实施方案，本实施例公开了一种硅片清洗机用干燥装置，如如图1和图3所示，包括干燥箱体1，所述干燥箱体1底部左右两侧均设置有排水管2，所述排水管2上设置排水阀3，所述排水管2和出水总管4相连，所述排水管2之间设置有干燥甩盘5，所述干燥甩盘5连接干燥电机联轴器6，所述干燥电机联轴器6和干燥电机7相连，所述干燥箱体1侧壁设置有湿度传感器8和温度传感器9，所述温度传感器9采用法兰片PT100铂热电阻温度传感器，所述干燥箱体1底面设有进气管10，所述进气管10上设置有加热装置11和风机12，所述加热装置11采用电加热器，所述干燥甩盘5上放置有硅片挂篮13，所述干燥箱体1上还设置有防撞环14，所述干燥箱体1顶部设置有出风口15，所述硅片清洗机用干燥装置还设置有PLC控制器16，所述PLC控制器采用西门子S7-400，所述PLC控制器16与排水阀3、干燥电机7、湿度传感器8、温度传感器9、加热装置11和风机12相连。

优选的，所述干燥箱体1底面上部设置多个出气孔17。

优选的，所述防撞环14采用硅胶材质。

优选的，所述防撞环14有三个，所述防撞14环沿干燥箱体1侧壁由上到下均匀分布。

如图2所示，优选的，所述干燥甩盘5上设置有防滑纹18。

优选的，所述干燥甩盘5上设置排水槽19。

优选的，所述出风口15设置有引风管20，所述引风管20上设置有引风机21和过滤装置22，所述引风机21和PLC控制器16相连，所述过滤装置22采用活性炭吸附。

本实用新型提供的硅片清洗机用干燥装置，干燥箱体1底部左右两侧均设置有排水管2，排水管2上设置排水阀3，排水管2和出水总管4相连，排水管2之间设置有干燥甩盘5，干燥甩盘5连接干燥电机联轴器6，干燥电机联轴器6和干燥电机7相连，干燥箱体1侧壁设置有湿度传感器8和温度传感器9，干燥箱体1底面设有进气管10，进气管10上设置有加热装置11和风机12，硅片挂篮13放置在干燥甩盘5上，干燥箱体1上还设置有防撞环14，干燥箱体1顶部设置有出风口15，硅片清洗机用干燥装置还设置有PLC控制器16， PLC控制器16与排水阀3、干燥电机7、湿度传感器8、温度传感器9、加热装置11和风机12相连，硅片挂篮13放置在干燥甩盘5上，打开排水阀3，通过干燥电机7通过干燥电机联轴器6带动干燥甩盘5转动，进行离心干燥，随后关闭排水阀3，随后通过风机12向干燥箱体1通入经过加热装置11加热的热风，对硅片进行二次干燥，干燥过程中温度传感器9监测干燥箱体1内的温度，防止干燥箱体1内温度过高，在干燥箱体1内湿度满足干燥要求后，加热装置11停止加热，风机12继续向干燥箱体1内通入冷风，对硅片进行降温，通过先离心干燥再进行热风干燥，达到节省能源并且干燥效率更高。

干燥箱体1底面上部设置多个出气孔17，使得出风更均匀，使得硅片热风干燥时加热更均匀，防止温度不均而造成硅片损坏。防撞环14采用硅胶材质，防止硅片损伤，减少了硅片破损率，减少不必要的损失。防撞环14有三个，所述防撞环14沿干燥箱体1侧壁由上到下均匀分布，进一步加强防撞性能，减少了硅片破损率，减少不必要的损失。干燥甩盘5上设置有防滑纹18，增大干燥甩盘5与硅片挂篮13的摩擦力，防止硅片挂篮13到处滑动，减少硅片损坏。干燥甩盘5上设置排水槽19，将从硅片挂篮13底面流出的水排出干燥甩盘5，减少热风干燥时能量的消耗。出风口15设置有引风管20，引风管20上设置有引风机21和过滤装置22，引风机21和引风管20的设置加快水分离开干燥箱体1的速度，避免热量的损耗，过滤装置22能将风中的杂质过滤下来，防止杂质污染空气。

Claims (7)

1.一种硅片清洗机用干燥装置，包括干燥箱体（1），其特征在于：所述干燥箱体（1）底部左右两侧均设置有排水管（2），所述排水管（2）上设置排水阀（3），所述排水管（2）和出水总管（4）相连，所述排水管（2）之间设置有干燥甩盘（5），所述干燥甩盘（5）连接干燥电机联轴器（6），所述干燥电机联轴器（6）和干燥电机（7）相连，所述干燥箱体（1）侧壁设置有湿度传感器（8）和温度传感器（9），所述干燥箱体（1）底面设有进气管（10），所述进气管（10）上设置有加热装置（11）和风机（12），所述干燥甩盘（5）上放置有硅片挂篮（13），所述干燥箱体（1）上还设置有防撞环（14），所述干燥箱体（1）顶部设置有出风口（15），所述硅片清洗机用干燥装置还设置有PLC控制器（16），所述PLC控制器（16）与排水阀（3）、干燥电机（7）、湿度传感器（8）、温度传感器（9）、加热装置（11）和风机（12）相连。

2.如权利要求1所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述干燥箱体（1）底面上部设置多个出气孔（17）。

3.如权利要求1所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述防撞环（14）采用硅胶材质。

4.如权利要求1所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述防撞环（14）有三个，所述防撞环（14）均匀分布。

5.如权利要求1所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述干燥甩盘（5）上设置有防滑纹（18）。

6.如权利要求1所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述干燥甩盘（5）上设置排水槽（19）。

7.如权利要求1所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述出风口（15）设置有引风管（20），所述引风管（20）上设置有引风机（21）和过滤装置（22），所述引风机（21）和PLC控制器（16）相连。