CN208637387U - 晶圆安全防护系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种晶圆安全防护系统，包括若干个传感器，设置于晶舟的外侧，沿晶舟的周向间隔排布，且与晶舟具有间距；每个传感器包括发射端及接收端，所述发射端及接收端在垂直于晶圆面的垂线上上下一一对应设置。本实用新型通过环绕晶舟设置的若干个传感器，对偏出晶舟正常位置的异常晶圆进行检测，防止位置异常的晶圆造成设备异常甚至影响晶圆良率。此外，通过设置导轨，使传感器结构沿导轨可动，以便于晶舟的装载和卸载。

Description

晶圆安全防护系统

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，特别是涉及一种晶圆安全防护系统。

背景技术

在现今的半导体制造工艺中，炉管设备在作业时需要对晶舟内的晶圆数量及位置进行确认。现有的炉管设备一般使用读片传感器扫描晶圆，从晶舟开口的一侧与晶舟内正常放置的晶圆边缘保持一定的安全距离，沿垂直于晶圆平面的方向移动，对晶舟内的晶圆依次进行扫描，以确认晶舟内的晶圆数量及位置。在该过程中，如果有晶圆位置异常而偏出晶舟时，一旦偏出晶舟的距离超过所述安全距离，就可能导致读片传感器撞碎异常偏出的晶圆。此外，现有的读片传感器的检测范围仅限于晶舟开口附近区域，无法检测到晶圆发生异常碎片时，碎片从晶舟的其他位置偏出的情况，这也会导致后续处理过程中设备出现异常，甚至影响晶舟内其余晶圆的良率。

因此，针对检测晶舟内位置异常晶圆的应用需求，有必要提出一种新的晶圆安全防护系统，以解决上述问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种新的晶圆安全防护系统，用于解决现有技术中无法检测出晶舟中位置异常偏出的晶圆的问题。

为实现上述目的及其它相关目的，本实用新型提供一种晶圆安全防护系统，用于对晶舟上的晶圆进行检测，其特征在于，包括若干个传感器，所述传感器设置于所述晶舟的外侧，沿所述晶舟的周向间隔排布，且与所述晶舟具有间距；每个所述传感器包括发射端及接收端，所述发射端及所述接收端在垂直于晶圆面的垂线上上下一一对应设置。

作为本实用新型的一种优选方案，所述晶圆安全防护系统还包括：

若干个连接杆，垂直于晶圆面，设置于所述晶舟的外侧，沿所述晶舟的周向间隔排布，且与所述晶舟具有间距；

若干个顶部安装板，所述顶部安装板设置在所述连接杆上；

若干个底部安装板，所述底部安装板设置在所述连接杆上，且所述底部安装板位于同一个所述连接杆上的所述顶部安装板的下方位置；

所述发射端及所述接收端分别设置于各所述顶部安装板及各所述底部安装板上，且所述发射端与所述接收端在同一个所述连接杆上对应设置。

作为本实用新型的一种优选方案，所述晶圆安全防护系统还包括若干个导轨，所述连接杆分别位于各所述导轨上，且沿所述导轨移动。

作为本实用新型的一种优选方案，所述晶圆安全防护系统还包括若干个限位装置，所述限位装置位于各所述导轨上。

作为本实用新型的一种优选方案，所述晶圆安全防护系统还包括：

若干个基座，与所述连接杆相连接，位于各所述导轨与所述连接杆之间；

若干个滑块，与所述基座相连接，支撑并引导所述基座沿所述导轨滑动，位于各所述基座与所述导轨之间；

驱动所述基座带动所述连接杆沿所述导轨滑动的基座驱动装置，与所述基座相连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述基座驱动装置包括气缸。

作为本实用新型的一种优选方案，所述晶圆安全防护系统还包括控制器，所述控制器包括：

第一控制单元，所述第一控制单元与操作控制台及所述基座驱动装置相连接，用于控制所述基座驱动装置工作，并向所述操作控制台反馈工作信号；

第二控制单元，所述第二控制单元与所述安装板收放装置相连接，用于控制所述安装板收放装置工作；

第三控制单元，所述第三控制单元与所述传感器相连接，用于控制所述传感器工作。

作为本实用新型的一种优选方案，所述顶部安装板和所述底部安装板铰接于所述连接杆上。

作为本实用新型的一种优选方案，所述顶部安装板设置在所述连接杆上的位置为：所述顶部安装板撑开时，所述顶部安装板的位置高于所述晶舟内最顶层的晶圆插槽；所述底部安装板设置在所述连接杆上的位置为：所述底部安装板撑开时，所述底部安装板的位置低于所述晶舟内最底层的晶圆插槽。

作为本实用新型的一种优选方案，所述晶圆安全防护系统还包括安装板收放装置，一端与所述顶部安装板或所述底部安装板相连接，另一端与所述连接杆相连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述安装板收放装置包括气缸。

作为本实用新型的一种优选方案，所述晶圆安全防护系统还包括感应所述顶部安装板及所述底部安装板收放状态的感应器。

作为本实用新型的一种优选方案，所述感应器位于所述安装板收放装置上。

作为本实用新型的一种优选方案，连接于同一所述连接杆的所述顶部安装板及所述底部安装板上分别设有多个所述传感器。

作为本实用新型的一种优选方案，所述传感器的所述发射端和所述接收端分别设置于所述顶部安装板及所述底部安装板远离所述连接杆的端面上。

作为本实用新型的一种优选方案，所述顶部安装板及所述底部安装板远离所述连接杆的端面均为弧形面，所述弧形面的曲率与所述晶舟外壁的曲率相同。

如上所述，本实用新型提供一种晶圆安全防护系统，具有以下有益效果：

本实用新型引入了一种晶圆安全防护系统，通过环绕晶舟设置的若干个传感器，对偏出晶舟正常位置的异常晶圆进行检测，防止位置异常的晶圆造成设备异常甚至影响晶圆良率。此外，本实用新型还通过设置导轨，使传感器结构沿导轨可动，以便于晶舟的装载和卸载。

附图说明

图1显示为本实用新型实施例中提供的晶圆安全防护系统的示意图。

图2显示为本实用新型实施例中提供的晶圆安全防护系统的俯视图。

图3显示为本实用新型实施例中提供的晶圆安全防护系统扫描位置异常晶圆的示意图。

图4显示为本实用新型实施例中提供的晶圆安全防护系统扫描位置异常晶圆的俯视图。

图5显示为本实用新型实施例中提供的晶圆安全防护系统扫描异常碎片的示意图。

图6显示为本实用新型实施例中提供的晶圆安全防护系统扫描异常碎片的俯视图。

图7显示为本实用新型实施例中提供的晶圆安全防护系统的控制器的连接关系示意图

元件标号说明

001 晶圆

001a 位置异常晶圆

001b 异常碎片

101 导轨

102 晶舟

102a 晶舟柱

103 连接杆

104 顶部安装板

105 底部安装板

106 传感器

106a 发射端

106b 接收端

107 限位装置

108 安装板收放装置

201 控制器

201a 第一控制单元

201b 第二控制单元

201c 第三控制单元

202 操作控制台

203 基座驱动装置

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其它优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图1至图7。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，虽图示中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的形态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局形态也可能更为复杂。

请参阅图1至图2，本实用新型提供了一种晶圆安全防护系统，包括若干个传感器106，所述传感器106设置于所述晶舟102的外侧，沿所述晶舟102的周向间隔排布，且与所述晶舟102具有间距；每个所述传感器106包括发射端106a及接收端106b，所述发射端106a及所述接收端106b在垂直于晶圆面的垂线上上下一一对应设置。结合图1和图2可以看出，通过若干个上下一一对应设置的传感器106的发射端106a及接收端106b，所述传感器106可以全方位地监控晶舟102的外围区域，并检测出偏出所述晶舟102的异常晶圆。

作为示例，所述晶圆安全防护系统还包括：

若干个连接杆103，垂直于晶圆面，设置于所述晶舟102的外侧，沿所述晶舟102的周向间隔排布，且与所述晶舟102具有间距；

若干个顶部安装板104，所述顶部安装板104设置在所述连接杆103上；

若干个底部安装板105，所述底部安装板105设置在所述连接杆103上，且所述底部安装板105位于同一个所述连接杆103上的所述顶部安装板104的下方位置；

所述发射端106a及所述接收端106b分别设置于各所述顶部安装板104及各所述底部安装板105上，且所述发射端106a与所述接收端106b在同一个所述连接杆103上对应设置。

在本实施例中，所述发射端106a与所述接收端106b分别安装于顶部安装板104及底部安装板105上，而所述顶部安装板104和所述底部安装板105设置于同一连接杆103上，从而实现上下一一对应的位置设置。在本实用新型的其他实施案例中，所述发射端106a与所述接收端106b也可以安装于其他固定结构上，只要确保所述发射端106a与所述接收端106b能够在垂直于晶圆平面的垂线上呈上下一一对应设置即可。例如，所述发射端106a与所述接收端106b可以分别设置于炉管设备装载腔室的顶部和底部。

作为示例，所述晶圆安全防护系统还包括若干个导轨101，所述连接杆103分别位于各所述导轨101上，且沿所述导轨101移动。所述顶部安装板104和所述底部安装板105铰接于所述连接杆103上。所述顶部安装板104设置在所述连接杆103上的位置为：所述顶部安装板104撑开时，所述顶部安装板104的位置高于所述晶舟102内最顶层的晶圆插槽；所述底部安装板105设置在所述连接杆103上的位置为：所述底部安装板105撑开时所述底部安装板105的位置低于所述晶舟内最底层的晶圆插槽。

如图1所示，是本实施例中提供的晶圆安全防护系统的示意图，图2是其俯视图。需要指出的是，为了便于展示晶圆状态，俯视图图2、图4和图6中的晶舟102都作了部分透明化处理。在所述晶舟102的三根晶舟柱102a上设置有沟槽，形成插槽以固定晶圆，所述晶舟102的开口，即晶圆出入口，都位于图中所述晶舟102右侧位置。在本实施例中，设置了两条导轨101，位于所述晶舟102的外侧，环绕所述晶舟102间隔180°排布，且与所述晶舟102保持相同的距离。两条所述导轨101上对应设置了两根连接杆103，所述连接杆103可沿所述导轨101滑动。当所述晶圆安全防护系统处于工作状态时，所述连接杆103滑动至靠近所述晶舟102的位置；当所述晶圆安全防护系统不在工作状态时，所述连接杆103滑动至远离所述晶舟102的位置，以便所述晶舟102从设备中卸载。每个所述连接杆103上铰接有上下成对设置的顶部安装板104和底部安装板105。当所述晶圆安全防护系统在工作状态时，所述顶部安装板104和所述底部安装板105可以通过铰接结构撑开；当所述晶圆安全防护系统不在工作状态时，所述顶部安装板104和所述底部安装板105可以通过铰接结构收起，以节省设备内空间及便于设备装载和卸载所述晶舟102。所述顶部安装板104和所述底部安装板105装有成对设置的传感器106的发射端106a及接收端106b。所述传感器106工作时，光信号从所述发射端106a发出，并被所述接收端106b接收。当有异物遮挡在所述发射端106a和所述接收端106b之间时，所述接收端106b无法接收到所述发射端106a发出的光信号，所述传感器106就能检测到所述异物。为了使所述传感器106能够检测所述晶舟102中所有晶圆，所述顶部安装板104撑开时，所述顶部安装板104高于所述晶舟102内最顶层的晶圆插槽；所述底部安装板105撑开时，所述底部安装板105低于所述晶舟内最底层的晶舟插槽。这样设置可以使所述发射端106a和所述接收端106b之间的检测通路覆盖整个所述晶舟102。需要指出的是，在其他实施方案中，根据设备情况和实际需求，也可以设置两条以上的所述导轨101及对应数量的所述连接杆103。例如，采用三条所述导轨101间隔120°排布，或者四条所述导轨101间隔90°排布。

本实用新型用于对晶舟内的晶圆位置进行监控。优选地，是对炉管设备的晶舟进行监控。在炉管设备对晶舟进行装载或卸载前，先由本实用新型所提供的晶圆安全防护系统对晶舟进行扫描，防止晶舟内的晶圆位置出现异常。

如图3和图4所示，是所述晶舟102内出现位置异常晶圆001a的情况。所述位置异常晶圆001a从所述晶舟102开口处偏出其在所述晶舟102内的正常位置，并遮挡了所述传感器106的发射端106a和接收端106b之间形成的检测通路。此时，晶圆安全防护系统判断所述晶舟102内出现异常，向炉管设备的操作控制台发出报警，由所述操作控制台控制炉管设备停止后续的晶舟装载或卸载作业。需要指出的是，参照图4，由于若干所述晶舟柱102a对所述晶圆001起到了定位固定的作用，如果所述晶圆001保持完整未碎片，则其偏出所述晶舟102的方向仅能是所述晶舟102的开口处，即所述晶圆001放入所述晶舟102的位置，而在该位置一般会设置读片传感器以扫描晶圆数量和位置。如果所述晶圆001偏出到所述读片传感器的扫描运动轨迹上，就会被所述读片传感器撞碎。因此，所述检测通路与晶圆正常位置的设置距离至少应该不大于所述读片传感器与晶圆正常位置的距离，即所述检测通路比所述读片传感器更接近所述晶舟102，以准确检出所述读片传感器可能撞碎晶圆的情况。

如图5和图6所示，是所述晶舟102内出现异常碎片001b的情况。相比完整晶圆偏出所述晶舟102的情况，所述异常碎片001b可能从各个方向偏出。如图5和图6中所示，是为了展示所述异常碎片001b可能出现偏出的方向，实际晶圆碎片时可能仅从一个方向上偏出所述晶舟102。由于本实用新型提供的晶圆安全防护系统采用了环绕所述晶舟102设置的传感器106，所述传感器106的发射端106a和接收端106b之间形成的检测通路也环绕所述晶舟102。因此，对于从任意方向上偏出所述晶舟102的所述异常碎片001b，所述传感器106都可以准确检测到并发出异常报警。

作为示例，所述晶圆安全防护系统还包括若干个限位装置107，所述限位装置107位于各所述导轨101上。所述限位装置107对于所述连接杆103在所述导轨101上的运动起到限位作用，防止所述连接杆103过于接近所述晶舟102而碰触晶圆，或从所述导轨101上脱出。例如，所述限位装置107可以采用插设于所述导轨101上的限位螺丝，或是其他可以限制所述导轨101上滑块运动的固定部件。优选地，可以通过设置所述限位装置107的位置以设定所述传感器106与所述晶舟102的安全距离。当所述晶圆安全防护系统处于工作状态时，所述连接杆103沿所述导轨101移动到所述限位装置107所限定的位置，此时，所述传感器106处于工作状态并检测所述晶舟102内的异常晶圆。

作为示例，连接于同一所述连接杆103的所述顶部安装板104及所述底部安装板105上分别设有多个所述传感器106。如图1和图2所示，在本实施例中，在每个所述连接杆103的安装板上都安装有三对传感器106，即在所述顶部安装板104上设置有三个发射端106a，在所述底部安装板105上设置有三个接收端106b，所述传感器106之间的间距相同。在其他实施例中，也可以根据设备实际情况增加所述传感器106的数量，每个所述连接杆103的安装板上的所述传感器106的数量至少应大于三对，以确保检测精度。优选地，可以采用复数个传感器106环绕所述晶舟102密集设置以形成光幕，从而提高对异常偏出的检测精度。

作为示例，所述顶部安装板104及所述底部安装板105远离所述连接杆103的端面均为弧形面，所述弧形面的曲率与所述晶舟102外壁的曲率相同。如前文所述，所述传感器106需要环绕所述晶舟102设置，因此，将所述顶部安装板104及所述底部安装板105远离所述连接杆103的端面设置为弧形面，可以确保安装在所述顶部安装板104及所述底部安装板105上的所述传感器106的发射端106a和接收端106b按照设计贴近所述晶舟102。

作为示例，所述晶圆安全防护系统还包括：

若干个基座，与所述连接杆103相连接，位于各所述导轨101与所述连接杆103之间；

若干个滑块，与所述基座相连接，支撑并引导所述基座沿所述导轨101滑动，位于各所述基座与所述导轨之间；

驱动所述基座带动所述连接杆沿所述导轨滑动的基座驱动装置，与所述基座相连接。

由于所述连接杆103为杆状结构，直接设置于所述导轨101上可能会存在结构稳定性的问题。因此需要将所述连接杆103连接并固定在一基座上，并通过该基座的运动带动所述连接杆103运动。所述导轨101上设置有可沿所述导轨101水平滑动的滑块，将所述基座固定于所述滑块上，则所述连接杆103就可沿所述导轨101稳定运动。优选地，所述导轨101为弧形曲线导轨，所述滑块为弧形曲线滑块。所述弧形曲线滑块可以更好地贴合所述弧形曲线导轨的形状，如图1所示，为了节省在设备内部的占用空间，所述导轨101可以设置为弧形曲线导轨，所述弧形曲线滑块贴合设置于所述弧形曲线导轨上，并沿所述弧形曲线导轨运动。所述基座驱动装置连接所述基座，为所述基座的运动提供动力来源。优选地，所述基座驱动装置可以是气缸。

作为示例，所述晶圆安全防护系统还包括安装板收放装置108，一端与所述顶部安装板104或所述底部安装板105相连接，另一端与所述连接杆103相连接。如图1所示，所述安装板收放装置108的一端连接所述顶部安装板104或所述底部安装板105，另一端连接所述连接杆103，通过铰接结构，将所述顶部安装板104或所述底部安装板105撑开或收起。所述安装板收放装置108可以是由气缸驱动的伸缩杆结构，通过所述伸缩杆的伸缩，使所述顶部安装板104或所述底部安装板105撑开或收起。

作为示例，所述晶圆安全防护系统还包括感应所述顶部安装板104及所述底部安装板105收放状态的感应器，所述感应器位于所述安装板收放装置108上。所述顶部安装板104及所述底部安装板105的撑开和收起需要和设备的工作状态一致。当设备工作时，所述顶部安装板104及所述底部安装板105撑开；当设备不工作时，所述顶部安装板104及所述底部安装板105收起。所述感应器感应到的收放状态信号应当与设备的工作状态相符。

作为示例，所述基座驱动装置及所述安装板收放装置均包括气缸。如前文所述，所述基座的运动和所述安装板的收放都可以使用气缸作为其驱动动力来源。

作为示例，所述晶圆安全防护系统还包括控制器201，所述控制器201包括：

第一控制单元201a，所述第一控制单元201a与操作控制台202及所述基座驱动装置203相连接，用于控制所述基座驱动装置203工作，并向所述操作控制台202反馈工作信号；

第二控制单元201b，所述第二控制单元201b与所述安装板收放装置203相连接，用于控制所述安装板收放装置203工作；

第三控制单元201c，所述第三控制单元201c与所述传感器106相连接，用于控制所述传感器106工作。

请参阅图7，所述第一控制单元201a与所述操作控制台202及所述基座驱动装置203相连接，在所述操作控制台202上的所述晶舟及晶圆传送装置均归位时，控制所述基座驱动装置203工作，并向所述操作控制台202反馈工作信号；所述第二控制单元201b与所述安装板收放装置108相连接，控制所述安装板收放装置108工作；所述第三控制单元201c与所述传感器106相连接，控制所述传感器106工作。所述操作控制台202是位于炉管设备上用于控制所述炉管设备作业的单元。所述晶圆安全防护系统需要与所述操作控制台202实现安全互锁，以确保所述晶圆安全防护系统在对所述晶舟201进行扫描时，所述操作控制台202不会控制炉管设备对所述晶舟201进行装载或卸载作业，以免出现部件相互碰撞，甚至撞坏晶圆。即所述操作控制台202控制炉管设备进行装载或卸载作业时，所述晶圆安全防护系统不工作；而所述晶圆安全防护系统工作时，所述操作控制台202不控制炉管设备进行装载或卸载作业。通过所述第一控制单元201a与所述操作控制台202及所述基座驱动装置203相连接，实时与所述操作控制台202通信，确保所述晶圆安全防护系统工作时，所述操作控制台202控制所述晶舟及晶圆传送装置均处于归位状态，不影响所述晶圆安全防护系统各传动结构的动作。所述第二控制单元201b与所述安装板收放装置108相连接，通过控制所述安装板收放装置108，使所述顶部安装板104或所述底部安装板105在所述晶圆安全防护系统工作时撑开，在所述晶圆安全防护系统停止工作时收起。所述第三控制单元201c连接所述传感器106，当所述晶圆安全防护系统工作时，控制所述传感器106对所述晶舟201进行检测。

综上所述，本实用新型提供了一种晶圆安全防护系统，包括：若干个连接杆，垂直于晶圆面，设置于晶舟的外侧，沿晶舟周向间隔排布，且与晶舟具有间距；若干个顶部安装板，设置在连接杆上；若干个底部安装板，位于同一个连接杆上的顶部安装板的下方位置；若干个传感器，每个传感器包括发射端及接收端，发射端及接收端分别设置于各顶部安装板及各底部安装板上，且发射端与接收端在同一个连接杆上对应设置。本实用新型通过环绕晶舟设置的若干个传感器，对偏出晶舟正常位置的异常晶圆进行检测，防止位置异常的晶圆造成设备异常甚至影响晶圆良率。此外，通过设置导轨，使传感器结构沿导轨可动，以便于晶舟的装载和卸载。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (16)

1.一种晶圆安全防护系统，用于对晶舟上的晶圆进行检测，其特征在于，包括若干个传感器，所述传感器设置于所述晶舟的外侧，沿所述晶舟的周向间隔排布，且与所述晶舟具有间距；每个所述传感器包括发射端及接收端，所述发射端及所述接收端在垂直于晶圆面的垂线上上下一一对应设置。

2.根据权利要求1所述的晶圆安全防护系统，其特征在于，所述晶圆安全防护系统还包括：

若干个连接杆，垂直于晶圆面，设置于所述晶舟的外侧，沿所述晶舟的周向间隔排布，且与所述晶舟具有间距；

若干个顶部安装板，所述顶部安装板设置在所述连接杆上；

若干个底部安装板，所述底部安装板设置在所述连接杆上，且所述底部安装板位于同一个所述连接杆上的所述顶部安装板的下方位置；

所述发射端及所述接收端分别设置于各所述顶部安装板及各所述底部安装板上，且所述发射端与所述接收端在同一个所述连接杆上对应设置。

3.根据权利要求2所述的晶圆安全防护系统，其特征在于，所述晶圆安全防护系统还包括若干个导轨，所述连接杆分别位于各所述导轨上，且沿所述导轨移动。

4.根据权利要求3所述的晶圆安全防护系统，其特征在于，所述晶圆安全防护系统还包括若干个限位装置，所述限位装置位于各所述导轨上。

5.根据权利要求3所述的晶圆安全防护系统，其特征在于，所述晶圆安全防护系统还包括：

若干个基座，与所述连接杆相连接，位于各所述导轨与所述连接杆之间；

若干个滑块，与所述基座相连接，支撑并引导所述基座沿所述导轨滑动，位于各所述基座与所述导轨之间；

驱动所述基座带动所述连接杆沿所述导轨滑动的基座驱动装置，与所述基座相连接。

6.根据权利要求5所述的晶圆安全防护系统，其特征在于，所述基座驱动装置包括气缸。

7.根据权利要求5所述的晶圆安全防护系统，其特征在于，所述晶圆安全防护系统还包括控制器，所述控制器包括：

第一控制单元，所述第一控制单元与操作控制台及所述基座驱动装置相连接，用于控制所述基座驱动装置工作，并向所述操作控制台反馈工作信号；

第二控制单元，所述第二控制单元与所述安装板收放装置相连接，用于控制所述安装板收放装置工作；

第三控制单元，所述第三控制单元与所述传感器相连接，用于控制所述传感器工作。

8.根据权利要求2所述的晶圆安全防护系统，其特征在于，所述顶部安装板和所述底部安装板铰接于所述连接杆上。

9.根据权利要求8所述的晶圆安全防护系统，其特征在于，所述顶部安装板设置在所述连接杆上的位置为：所述顶部安装板撑开时，所述顶部安装板的位置高于所述晶舟内最顶层的晶圆插槽；所述底部安装板设置在所述连接杆上的位置为：所述底部安装板撑开时，所述底部安装板的位置低于所述晶舟内最底层的晶圆插槽。

10.根据权利要求8所述的晶圆安全防护系统，其特征在于，所述晶圆安全防护系统还包括安装板收放装置，一端与所述顶部安装板或所述底部安装板相连接，另一端与所述连接杆相连接。

11.根据权利要求10所述的晶圆安全防护系统，其特征在于，所述安装板收放装置包括气缸。

12.根据权利要求8所述的晶圆安全防护系统，其特征在于，所述晶圆安全防护系统还包括感应所述顶部安装板及所述底部安装板收放状态的感应器。

13.根据权利要求12所述的晶圆安全防护系统，其特征在于，所述感应器安装在所述安装板收放装置上。

14.根据权利要求2所述的晶圆安全防护系统，其特征在于，连接于同一所述连接杆的所述顶部安装板及所述底部安装板上分别设有多个所述传感器。

15.根据权利要求2所述的晶圆安全防护系统，其特征在于，所述传感器的所述发射端和所述接收端分别设置于所述顶部安装板及所述底部安装板远离所述连接杆的端面上。

16.根据权利要求15所述的晶圆安全防护系统，其特征在于，所述顶部安装板及所述底部安装板远离所述连接杆的端面均为弧形面，所述弧形面的曲率与所述晶舟外壁的曲率相同。