CN208455053U - 汽车曲面玻璃镀膜设备 - Google Patents

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郭祖华
周凌
刘毅
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Hefei Wei Chi Technology Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种汽车曲面玻璃镀膜设备,包括用于置放曲面玻璃的真空室,所述的真空室内设置有与曲面玻璃的外弧面相互吻合且临近的加热器,所述的真空室的一侧边设置有与曲面玻璃的内弧面相互吻合且临近布置的溅射阴极,所述的真空室通过气阀与工艺气体罐连接。将曲面玻璃竖向布置于真空室内,真空室形成真空空间,曲面玻璃的外弧面设置有加热器用于将其提升至一定工艺温度,通过工艺气体罐向真空室冲入惰性气体提升至一定工艺压强,接通溅射阴极开始放电,使溅射阴极的靶材原子溅射至曲面玻璃的内弧面完成镀膜。

Description

汽车曲面玻璃镀膜设备
技术领域
本实用新型属于镀膜设备领域,特别涉及一种汽车曲面玻璃镀膜设备。
背景技术
目前,智能玻璃正在全面取代LOW-E玻璃,并在汽车、高铁、酒店、地标性建筑等高端领域广泛运用。现在普遍采用真空溅射镀膜的方式在智能玻璃上产生薄膜,溅射镀膜过程中,惰性气体在高压下辉光放电,产生离子,随后离子轰击靶材表面,使靶材表面的原子获得能量并逸出表面,沉积在工件上形成薄膜。但是现有技术中,针对汽车曲面玻璃的镀膜设备,并没有很好地的布置形式来实现镀膜。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种汽车曲面玻璃镀膜设备,用于对曲面玻璃进行均匀的镀膜。
为了实现上述目的,本实用新型采取以下技术方案:一种汽车曲面玻璃镀膜设备,包括用于置放曲面玻璃的真空室,所述的真空室内设置有与曲面玻璃的外弧面相互吻合且临近的加热器,所述的真空室的一侧边设置有与曲面玻璃的内弧面相互吻合且临近布置的溅射阴极,所述的真空室通过气阀与工艺气体罐连接。
所述的真空室的一侧边设置有真空阀门,真空室通过气阀与真空泵连接。
所述的加热器采用红外线加热单元,所述的加热器与曲面玻璃之间设置有相吻合的曲面状的透光玻璃,真空泵与工艺气体罐通过气阀与曲面玻璃所在的真空室连通。
所述的真空室与加热器的外弧面临近的内壁上设置有反光材料。
所述的曲面玻璃布置于基板上,曲面玻璃的两端设置有与基板构成滑动配合的夹持板,基板的两相对侧边布置有挡板,处于同一侧的夹持板与挡板之间设置有压缩弹簧。
上述技术方案中,将曲面玻璃竖向布置于真空室内,真空室形成真空空间,曲面玻璃的外弧面设置有加热器用于将其提升至一定工艺温度,通过工艺气体罐向真空室冲入惰性气体提升至一定工艺压强,接通溅射阴极开始放电,使溅射阴极的靶材原子溅射至曲面玻璃的内弧面完成镀膜。
附图说明
图1为本实用新型平面布置示意图;
图2为曲面玻璃布置主视图。
具体实施方式
结合图1、2对本实用新型做出进一步的说明:
一种汽车曲面玻璃镀膜设备,包括用于置放曲面玻璃1的真空室2,所述的真空室2内设置有与曲面玻璃1的外弧面相互吻合且临近的加热器3,所述的真空室2的一侧边设置有与曲面玻璃1的内弧面相互吻合且临近布置的溅射阴极4,所述的真空室2通过气阀与工艺气体罐5连接。将曲面玻璃1竖向布置于真空室2内,真空室2形成真空空间,曲面玻璃1的外弧面设置有加热器3用于将其提升至一定工艺温度,通过工艺气体罐5向真空室2冲入惰性气体提升至一定工艺压强,接通溅射阴极4开始放电,使溅射阴极4的靶材原子溅射至曲面玻璃1的内弧面完成镀膜。
所述的真空室2的一侧边设置有真空阀门6,真空室2通过气阀与真空泵7连接。真空阀门6在真空室2中,用来改变气流方向,调节气流量大小,用于切断或接通管路,通过与真空泵7的配合调节真空室2为真空环境。
所述的加热器3采用红外线加热单元,所述的加热器3与曲面玻璃1之间设置有相吻合的曲面状的透光玻璃8,真空泵7与工艺气体罐5通过气阀与曲面玻璃1所在的真空室2连通。透光玻璃8可采用铝酸盐玻璃,在镀膜过程中,溅射阴极4放电时产生游离的原子会溅射至加热器3的红外线灯管上,这样会造成红外线加热单元加热不稳定,此时设置透光玻璃8将真空室2隔成两个腔室,加热与镀膜互不干扰。
所述的真空室2与加热器3的外弧面临近的内壁上设置有反光材料。为了确保加热器3的红外线灯管的加热效率,在加热器3所在腔室的内壁上设置反光材料。
所述的曲面玻璃1布置于基板9上,曲面玻璃1的两端设置有与基板9构成滑动配合的夹持板10,基板9的两相对侧边布置有挡板11,处于同一侧的夹持板10与挡板11之间设置有压缩弹簧12。为了确保曲面玻璃1能在真空室2内固定并且便于拿取而设置基板9,其中将曲面玻璃1竖直放置于基板9上,然后采用竖直布置的夹持板10夹持在曲面玻璃1的左右两端,在压缩弹簧12的作用下,夹持板10固定住曲面玻璃1,当取下时只需再压缩弹簧12即可将曲面玻璃1轻松取下。

Claims (5)

1.一种汽车曲面玻璃镀膜设备,其特征在于:包括用于置放曲面玻璃(1)的真空室(2),所述的真空室(2)内设置有与曲面玻璃(1)的外弧面相互吻合且临近的加热器(3),所述的真空室(2)的一侧边设置有与曲面玻璃(1)的内弧面相互吻合且临近布置的溅射阴极(4),所述的真空室(2)通过气阀与工艺气体罐(5)连接。
2.根据权利要求1所述的汽车曲面玻璃镀膜设备,其特征在于:所述的真空室(2)的一侧边设置有真空阀门(6),真空室(2)通过气阀与真空泵(7)连接。
3.根据权利要求1所述的汽车曲面玻璃镀膜设备,其特征在于:所述的加热器(3)采用红外线加热单元,所述的加热器(3)与曲面玻璃(1)之间设置有相吻合的曲面状的透光玻璃(8),真空泵(7)与工艺气体罐(5)通过气阀与曲面玻璃(1)所在的真空室(2)连通。
4.根据权利要求3所述的汽车曲面玻璃镀膜设备,其特征在于:所述的真空室(2)与加热器(3)的外弧面临近的内壁上设置有反光材料。
5.根据权利要求1所述的汽车曲面玻璃镀膜设备,其特征在于:所述的曲面玻璃(1)布置于基板(9)上,曲面玻璃(1)的两端设置有与基板(9)构成滑动配合的夹持板(10),基板(9)的两相对侧边布置有挡板(11),处于同一侧的夹持板(10)与挡板(11)之间设置有压缩弹簧(12)。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110007539A (zh) * 2019-05-22 2019-07-12 江苏铁锚玻璃股份有限公司 高效均匀变色的曲面电致变色透明器件及其制备方法
TWI784332B (zh) * 2020-10-23 2022-11-21 大陸商業成科技(成都)有限公司 濺鍍系統
CN115627449A (zh) * 2022-11-02 2023-01-20 佛山市晶玻科技有限公司 曲面玻璃镀膜工艺

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