CN208385360U

CN208385360U - 一种固晶臂控制机构

Info

Publication number: CN208385360U
Application number: CN201820921872.5U
Authority: CN
Inventors: 陈勇伶
Original assignee: Shenzhen Silicon Valley Technology Co Ltd
Current assignee: Shenzhen Silicon Valley Semiconductor Equipment Co ltd
Priority date: 2018-06-14
Filing date: 2018-06-14
Publication date: 2019-01-15
Anticipated expiration: 2028-06-14

Abstract

本实用新型公开了一种固晶臂控制机构，固晶臂控制机构包括：固晶臂组件（3）、纵向移动组件（2）及转动组件（1）；纵向移动组件（2）驱动固晶臂组件（3）纵向运动，转动组件（1）驱动固晶臂组件（3）旋转运动;所述转动组件（1）与纵向移动组件（2）通过联接轴刚性连接，固晶臂组件（3）与纵向移动组件（2）螺丝紧固连接，从而驱动固晶臂组件（3）纵向移动及旋转运动完成晶片的固晶动作，实现快速稳定抓取及释放晶片，同时机械结构简单可靠，简化装配，降低成本。

Description

一种固晶臂控制机构

技术领域

本实用新型涉及电子元器件技术领域，尤其涉及的是一种晶片固晶机的固晶臂控制机构。

背景技术

目前，现有设备纵向移动组件与转动组件通过一条细长轴的刚性连接来实现联动，同时纵向移动组件偏心轴通过一组角轴承固定，转动组件与纵向移动组件采用的刚性连接结构不可调校。其缺点：1、细长轴机械加工容易变形导致同心度差，同时对材料的特性要求高，增加了成本及装配精度，降低了效率；2、偏心轴通过一组角轴承固定导致偏心轴刚性及稳定性降低，而且轴承游隙容易导致偏心轴出现串动，导致固晶品质降低。

因此，现有技术还有待于改进和发展。

实用新型内容

鉴于上述现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种固晶臂控制机构，旨在解决现有技术中固晶臂控制机构稳定性较差，零件加工精度高，装配精度要求较高，从而影响晶片固晶品质与效率及成本较高的缺陷。

本实用新型的技术方案如下：

一种固晶臂控制机构，包括固晶臂组件、纵向移动组件及转动组件，所述纵向移动组件与固晶臂组件通过螺丝锁紧连接，用于带动固晶臂组件纵向移动；所述转动组件与纵向移动组件刚性连接，用于带动固晶臂组件往返旋转运动。所述转动组件包括：旋转驱动源、旋转轴、夹紧轴、固晶臂固定座、联接轴、交叉导轨及旋转光电感应器片。所述驱动源与旋转轴通过夹紧轴联接，所述旋转轴与固晶臂座通过一副交叉导轨联接，固晶臂固定座通过交叉导轨与转轴纵向运动；所述联接轴通过螺丝固定在固晶臂固定座；所述旋转轴外缘固定连接有旋转感应器片，所述转动组件一侧设置有R轴光电感应器，所述旋转感应器片的高度与所述R轴光电感应器的高度相适配。

进一步地，所述固晶臂控制机构中，所述固晶臂组件包括：晶臂座、固晶臂、弹片、压紧块、调节弹簧。所述晶臂座与固晶臂通过弹片连接，弹片一端用压紧块与固晶臂连接，弹片另一端用压紧块与晶臂座联接；所述晶臂座中部设有固晶臂收容槽；所述固晶臂通过弹片与晶臂座联接后，固晶臂末端插入晶臂座收容槽内；所述固晶臂末端设置有臂力调节螺栓，所述晶臂座收容槽内设置有固晶臂水平调节螺丝。

进一步地，所述固晶臂控制机构中，所述纵向移动组件包括基座、纵向移动驱动源、联轴器、偏心轴、连杆、连杆轴、滑块座、联接板、纵向移动光电感应器片、直线导轨及滑块。所述驱动源与基座螺丝锁紧联接；所述驱动源通过联轴器与偏心轴联接；所述偏心轴通过两组角轴承固定在基座上；所述连杆两端设有两组球轴承，一端与偏心轴联接，另一端与连杆轴联接；所述直线导轨固定在基座上，所述滑块分别与滑块座及直线导轨联接，所述连杆轴及联接板与滑块座联接。

进一步地，所述固晶臂控制机构中，纵向移动组件的联接板内设置有一对角轴承，角轴承与转动组件中的联接轴刚性连接，从而实现固晶臂通过上述联接后完成旋转运动与纵向移动的联动。

与现有技术相比，本实用新型提供的固晶臂控制机构，其优点在于：1、偏心轴采用两对角轴承固定，提高了偏心轴的刚性与稳定性，同时也降低了轴承游隙对偏心轴的串动影响；2、将细长轴修改为更加优化结构设计的联接轴，联接轴相对于原技术的细长轴变的更短及外径更大，从而降低了零件的加工难度及提高了零件的刚性；3、装配时将联接轴固定在转动组件中的固晶臂固定座上，比较容易将联接轴的中心调校到与转动组件中驱动源的中心一致，保证同心度，从而提高了装配精度；4、转动组件中的联接轴与联接板上的角轴承紧固连接，联接板另一端用螺栓与滑块座紧固连接，此设计可以利用螺栓的装配间隙将转动组件与纵向移动组件的加工及装配累计误差消除，从而真正的实现固晶臂控制机构的转动及纵向移动的顺利联动，使该控制机构运行更平稳、顺畅。

附图说明

图1是本实用新型中固晶臂控制机构应用于固晶臂联动结构的较佳实施例中的结构示意图；

图2是本实用新型中固晶臂控制机构较佳实施例中转动组件的结构示意图；

图3是本实用新型中固晶臂控制机构较佳实施例中转动组件中交叉导轨示意图；

图4是本实用新型中固晶臂控制机构较佳实施例中转动组件剖面示意图；

图5是本实用新型中固晶臂控制机构较佳实施例中纵向移动组件剖面示意图；

图6是本实用新型中固晶臂控制机构较佳实施例中纵向移动组件结构简化示意图；

图7是本实用新型中固晶臂控制机构较佳实施例中纵向移动组件结构示意图；

图8是本实用新型中固晶臂控制机构较佳实施例中固晶臂组件结构示意图；

图9是本实用新型中固晶臂控制机构较佳实施例中固晶臂组件结构简化示意图；

附图中标号对应如下：固晶臂控制机构转动组件（1），转动组件中转动驱动源（11）、夹紧轴（12）、固晶臂固定座（13）、旋转感应器片（14）、旋转轴（15）、联接轴（16）、交叉导轨（17）；固晶臂控制机构纵向移动组件（2），纵向移动组件中联轴器（221）纵向移动驱动源（222）、基座（223）、角轴承（224）、偏心轴（225）、连杆（226）、球轴承（227）、滑块座（228）、联接板（229）、角轴承（230）、连杆轴（231）、纵向移动光电感应器（232）、纵向移动光电感应器片（233）、转动光电感应器座（234）、转动光电感应器（235）、滑块（236）、直线导轨（237）、止动螺母（238）；固晶臂控制机构固晶臂组件（3），固晶臂控制机构固晶臂组件中晶臂座（310）、水平调节螺钉（311）、调节螺母（312）、调节螺栓（313）、调节弹簧（314）、固晶臂（315）、吸嘴（316）、压紧块（317）、螺母（318）、弹片（319）、夹紧螺母（320）。

具体实施方式

本实用新型提供一种固晶臂控制机构，为使本实用新型的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并举实例对本实用新型进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1~图9所示，本实用新型提供了一种固晶臂控制机构，包括固晶臂组件（3）、纵向移动组件（2）及转动组件（1）。所述纵向移动组件（2）与转动组件（1）通过联接轴（16）连接，固晶臂组件(3)与转动组件（1）通过固晶臂固定座（13）螺栓紧固连接，实现固晶臂的往返旋转运动及纵向往复移动之间的相互联动。从而实现晶片固晶的拾取和释放功能。

具体地，如图2~4所示，所述固晶臂控制机构中转动组件（1）包括：转动驱动源（11）、夹紧轴（12）、固晶臂固定座（13）、旋转感应器片（14）、旋转轴（15）、联接轴（16）、交叉导轨（17）；所述夹紧轴（12）与旋转轴（15）上端螺丝紧固连接后固定在转动驱动源（11）中输出轴的外缘；所述旋转轴（15）通过交叉导轨（17）与固晶臂固定座（13）连接，固晶臂固定座（13）与旋转轴（15）之间通过交叉导轨（17）可往返移动；所述固晶臂固定座（13）与联接轴（16）螺栓紧固，联接轴（16）的中心调校到与转动驱动源（11）的中心一致。所述旋转轴（15）一侧设置有旋转感应器片（14），通过图5转动光电感应器（235）来控制图7固晶臂（315）的旋转角度及停顿位置。进一步具体地。如图5~7所示，所述固晶臂控制机构中纵向移动组件（2）包括联轴器（221）纵向移动驱动源（222）、基座（223）、角轴承（224）、偏心轴（225）、连杆（226）、球轴承（227）、滑块座（228）、联接板（229）、角轴承（230）、连杆轴（231）、纵向移动光电感应器（232）、纵向移动光电感应器片（233）、转动光电感应器座（234）、转动光电感应器（235）、滑块（236）、直线导轨（237）。所述纵向移动驱动源（222）用螺栓紧固在基座（223）上；所述两对角轴承（224）紧固在基座（223）；所述偏心轴（225）固定在角轴承（224）并用止动螺母（238）紧固；所述偏心轴（225）与纵向移动驱动源（222）通过联轴器（221）连接；所述连杆（226）两端各设置有一对球轴承（227），通过球轴承（227）一端与偏心轴（225）紧固连接，另一端与连杆轴（231）紧固连接；所述连杆轴（231）通过螺栓与滑块座（228）紧固连接，并调整到合适位置；所述滑块座（228）通过螺栓与滑块（236）紧固；所述直线导轨（237）通过螺栓紧固在基座（223）；所述滑块（236）与直线导轨（237）连接，滑块（236）沿直线导轨（237）移动；所述联接板（229）上设置有一对角轴承（230）；所述联接板（229）上的角轴承（230）与图3 上的联接轴（16）联接，并保证中心一致；所述联接板（229）另一端与滑块座（228）螺栓紧固连接，并调整到合适位置。从而实现转动运动与纵向移动的互相联动。通过偏心轴（225）的偏心距及固定在滑块座（228）上的纵向移动光电感应器片（233）与固定在基座（223）上的纵向移动光电感应器（232）来控制纵向移动距离及停顿位置。

进一步地，如图8~9所示，所述固晶臂控制机构中固晶臂组件（3）包括晶臂座（310）、水平调节螺钉（311）、调节螺母（312）、调节螺栓（313）、调节弹簧（314）、固晶臂（315）、吸嘴（316）、压紧块（317）、螺母（318）、弹片（319）、夹紧螺母（320）。所述弹片（319）一端与晶臂座（310）连接，另一端与固晶臂（315）连接；并用通过螺栓用压紧块（317）紧固连接，同时调整好固晶臂（315）与晶臂座（310）之间的合理间隙；所述晶臂座（310）设置有水平调节螺钉（311），通过水平调节螺钉（311）来调节吸嘴（316）的前后水平；所述固晶臂（315）末端设置有调节螺栓（313）；所述调节螺栓（313）上安装有调节弹簧（314）及调节螺母（312），通过调节螺母（312）的松紧来实现固晶臂（315）臂力大小的调节；所述固晶臂（315）前端设置有夹紧螺母（320），通过夹紧螺母（320）用螺栓固定吸嘴（316）；所述固晶臂组件（1）与图2固晶臂固定座（13）螺栓紧固连接。

应当理解的是，本实用新型的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。

Claims

1.一种固晶臂控制机构，其特征在于，包括固晶臂组件、纵向移动组件及转动组件，所述纵向移动组件与固晶臂组件通过螺丝锁紧连接，用于带动固晶臂组件纵向移动；所述纵向移动组件中通过偏心轴与连杆来实现纵向往复移动，所述偏心轴通过两对角轴承固定；所述转动组件与纵向移动组件通过联接轴刚性连接，用于带动固晶臂组件往返旋转运动。

2.根据权利要求1所述的固晶臂控制机构，其特征在于，所述转动组件包括：旋转驱动源、旋转轴、夹紧轴、固晶臂固定座、联接轴、交叉导轨及旋转感应器片；所述驱动源与旋转轴通过夹紧轴联接；所述旋转轴与固晶臂固定座通过一副交叉导轨联接；固晶臂固定座通过交叉导轨与转轴纵向运动；所述联接轴通过螺丝固定在固晶臂固定座；所述旋转轴外缘固定连接有旋转感应器片，所述转动组件一侧设置有旋转轴光电感应器，所述旋转感应器片的高度与所述旋转轴光电感应器的高度相适配。

3.根据权利要求1所述的固晶臂控制机构，其特征在于，所述固晶臂组件包括：晶臂座、固晶臂、弹片、压紧块、调节弹簧；所述晶臂座与固晶臂通过弹片连接，弹片一端用压紧块与固晶臂连接，弹片另一端用压紧块与晶臂座联接；所述晶臂座中部设有固晶臂收容槽；所述固晶臂通过弹片与晶臂座联接后，固晶臂末端插入晶臂座收容槽内；所述固晶臂末端设置有臂力调节螺栓，所述晶臂座收容槽内设置有固晶臂水平调节螺丝。

4.根据权利要求1所述的固晶臂控制机构，其特征在于，所述纵向移动组件包括基座、纵向移动驱动源、联轴器、偏心轴、连杆、连杆轴、滑块座、联接板、纵向移动光电感应器片、直线导轨及滑块；所述驱动源与基座螺丝锁紧联接；所述驱动源通过联轴器与偏心轴联接；所述偏心轴通过两组角轴承固定在基座上；所述连杆两端设有两组球轴承，一端与偏心轴联接，另一端与连杆轴联接；所述直线导轨固定在基座上，所述滑块分别与滑块座及直线导轨联接，所述连杆轴及联接板与滑块座联接。

5.根据权利要求4所述的固晶臂控制机构，其特征在于，所述纵向移动组件还包括：纵向移动光电感应器片及光电感应器，所述纵向移动光电感应器片固定在滑块座上，所述光电感应器固定在基座上。