CN208093528U - 一种运行平稳的硅片移栽装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种运行平稳的硅片移栽装置。目前，大多生产硅片的企业都是采用手工方式搬运，将硅片逐个插入硅片篮，然后人工将片篮搬运至清洗设备上，由于硅片很薄，在搬运过程中很容易刮伤人员，加上手工搬运用力不均。本实用新型涉及一种运行平稳的硅片移栽装置，其中：所述伺服电机驱动同步带轮和第一齿轮转动，驱动第一齿轮与第一X轴上的齿条啮合，同时带动第二同步带轮通过同步带带动第一同步带轮，从而带动第三齿轮。本装置采用电机带动齿轮和同步轮，同时能同步的驱动另一边的X轴齿轮齿条啮合，实现驱动第一X轴和第二X轴上的滑块同步前进后退，实现Y轴的平稳移栽，同时通过Z轴上的气爪、摆台、和电缸来任意调整片篮所需要的姿态。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其是一种运行平稳的硅片移栽装置。
背景技术
在光伏或半导体领域，将线切好的硅片装入片篮，然后放入清洗设备清洗，目前，大多生产硅片的企业都是采用手工方式搬运，将硅片逐个插入硅片篮，然后人工将片篮搬运至清洗设备上，由于硅片很薄，在搬运过程中很容易刮伤人员，加上手工搬运用力不均，很容易在放置时将硅片弄碎。现有人工搬运方式的缺点主要表现：一在自动化这方面不足，需要人工操作，做不到自动化生产和自动化传送的操作，所以，对于用户而言，使用起来很不方便。二在处理速度方面不足，人工取片篮、转运、放置，极大的增大了硅片片篮的转运时间，三个在对硅片损伤上面，像以往所使用的手动操作，很容易引起硅片受损，且容易对人员造成伤害。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种运行平稳的硅片移栽装置，为克服上述的不足，本装置采用电机带动齿轮和同步轮，同时能同步的驱动另一边的X轴齿轮齿条啮合，实现驱动第一X轴和第二X轴上的滑块同步前进后退，实现Y轴的平稳移栽，同时通过Z轴上的气爪、摆台、和电缸来任意调整片篮所需要的姿态，从而达到运行平稳的移栽硅片的功能，且快速、高效、安全的移栽硅片到所需要的位置。
为了解决上述问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：
一种运行平稳的硅片移栽装置，包括第一X轴、Y轴、第二X轴、Z轴；其中：第一X 轴、第二X轴装有底座、限位块、缓冲垫、第一传感器导轨、第二传感器导轨、滑轨、滑块、齿条、第一接近传感器、第二接近传感器，Y轴装有横梁、安装板、电机座、主动轴、 Z轴安装板、从动轴、同步带张紧板、伺服电缸、第一同步带轮、第一齿轮、导向轴支座、线性导向轴、同步带、伺服电机、同步带连接板第二同步带轮、第二齿轮、第三齿轮，其第一齿轮和第二同步带轮固定在同一根主动轴上，第一同步带轮和第三齿轮固定在同一根从动轴上，第二齿轮和第三齿轮啮合，Z轴装有摆台转接板、滑台安装板、气爪转接板、第一定位块、夹爪、第二定位块、安装座、气爪、光电传感器、电缸、气动摆台、磁性开关传感器，Y轴通过滑块固定在第一X轴和第二X轴上的滑轨上滑行，Z轴固定在Y轴的Z轴安装板上，Z轴安装板固定在伺服电缸上，通过控制伺服电缸实现Z轴的滑动。
一种运行平稳的硅片移栽装置，其中：所述伺服电机驱动同步带轮和第一齿轮转动，驱动第一齿轮与第一X轴上的齿条啮合，同时带动第二同步带轮通过同步带带动第一同步带轮，从而带动第三齿轮，转而使第二齿轮转动与第二X轴的齿条啮合，这样的话实现第一X轴和第二X轴上的滑块同步前进或后退，固定在滑块上的Y轴就能平行移动。
一种运行平稳的硅片移栽装置，其中：Z轴通过气爪的伸缩带动固定在其上面的夹爪，同时夹爪上有固定第一定位块、第二定位块、光电传感器，实现对片篮的固定和抓取，光电传感器来判断是否有抓取到片篮，气爪通过气爪转接板固定在气动摆台上，从而通过气动摆台的旋转摆动调整片篮的放置姿态，气动摆台通过摆台转接板固定在电缸上，通过驱动电缸实现片篮高度上的提升和下降。
本实用新型的优点在于：本装置采用电机带动齿轮和同步轮，同时能同步的驱动另一边的X轴齿轮齿条啮合，实现驱动第一X轴和第二X轴上的滑块同步前进后退，实现Y 轴的平稳移栽，同时通过Z轴上的气爪、摆台、和电缸来任意调整片篮所需要的姿态，从而达到运行平稳的移栽硅片的功能，且快速、高效、安全的移栽硅片到所需要的位置。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图。
附图标记：第一X轴1、Y轴2、第二X轴3、Z轴4、底座5、限位块6、缓冲垫 7、第一传感器导轨8、第二传感器导轨9、滑轨10、滑块11、齿条12、第一接近传感器 13、第二接近传感器14、横梁15、安装板16、电机座17、主动轴18、Z轴安装板19、从动轴20、同步带张紧板21、伺服电缸22、第一同步带轮23、第一齿轮24、导向轴支座 25、线性导向轴26、同步带27、伺服电机28、同步带连接板29、摆台转接板30、滑台安装板31、气爪转接板32、第一定位块33、夹爪34、第二定位块35、安装座36、气爪37、光电传感器38、电缸39、气动摆台40、磁性开关传感器41、第二同步带轮42、第二齿轮 43、第三齿轮44。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例1、一种运行平稳的硅片移栽装置，包括第一X轴1、Y轴2、第二X轴3、Z 轴4；其中：第一X轴1、第二X轴3装有底座5、限位块6、缓冲垫7、第一传感器导轨8、第二传感器导轨9、滑轨10、滑块11、齿条12、第一接近传感器13、第二接近传感器 14，Y轴2装有横梁15、安装板16、电机座17、主动轴18、Z轴安装板19、从动轴20、同步带张紧板21、伺服电缸22、第一同步带轮23、第一齿轮24、导向轴支座25、线性导向轴26、同步带27、伺服电机28、同步带连接板29第二同步带轮42、第二齿轮43、第三齿轮44，其第一齿轮24和第二同步带轮42固定在同一根主动轴18上，第一同步带轮23 和第三齿轮44固定在同一根从动轴20上，第二齿轮43和第三齿轮44啮合，Z轴4装有摆台转接板30、滑台安装板31、气爪转接板32、第一定位块33、夹爪34、第二定位块35、安装座36、气爪37、光电传感器38、电缸39、气动摆台40、磁性开关传感器41，Y轴2 通过滑块11固定在第一X轴1和第二X轴3上的滑轨10上滑行，Z轴4固定在Y轴2的 Z轴安装板19上，Z轴安装板19固定在伺服电缸22上，通过控制伺服电缸22实现Z轴4 的滑动。
实施例2、一种运行平稳的硅片移栽装置，其中：所述伺服电机28驱动同步带轮42和第一齿轮24转动，驱动第一齿轮24与第一X轴1上的齿条12啮合，同时带动第二同步带轮42通过同步带27带动第一同步带轮23，从而带动第三齿轮44，转而使第二齿轮43转动与第二X轴3的齿条12啮合，这样的话实现第一X轴1和第二X轴3上的滑块11同步前进或后退，固定在滑块11上的Y轴2就能平行移动。其余实施例1。
实施例3、一种运行平稳的硅片移栽装置，其中：Z轴4通过气爪37的伸缩带动固定在其上面的夹爪34，同时夹爪34上有固定第一定位块33、第二定位块35、光电传感器 38，实现对片篮的固定和抓取，光电传感器38来判断是否有抓取到片篮，气爪37通过气爪转接板32固定在气动摆台40上，从而通过气动摆台40的旋转摆动调整片篮的放置姿态，气动摆台40通过摆台转接板30固定在电缸39上，通过驱动电缸39实现片篮高度上的提升和下降。其余实施例1。
工作原理：
启动伺服电机28和伺服电缸22，伺服电机28和驱动同步带轮42和第一齿轮24转动，驱动第一齿轮24与第一X轴1上的齿条12啮合，同时带动第二同步带轮42通过同步带27带动第一同步带轮23，从而带动第三齿轮44，转而使第二齿轮43转动与第二X轴3的齿条12啮合，这样的话实现第一X轴1和第二X轴3上的滑块11同步前进或后退，实现固定在滑块11上的Y轴2就能在X方向平稳移动，伺服电缸22带动Z轴安装板19上固定的 Z轴4，实现Y方向的平稳移动，通过控制伺服电机28和伺服电缸22，实现X和Y方向的移动到片篮所在的位置，启动电缸39，同时启动气爪37和气动摆台40，气爪37伸开，气动摆台40旋转到片篮所需的朝向，电缸39带动固定在其上的组件下降到抓取片篮所需的高度，然后气爪37缩回，夹住片篮，电缸39带动固定在其上的组件上升到所需的高度，启动伺服电机28和伺服电缸22，使片篮移动到所需要放置的位置，同时启动气动摆台40调整片篮所需要放置的朝向，电缸39带动固定在其上的组件再次下降到所需高度，然后气爪37 再次张开，将片篮放置在指定位置，如上述所述完成片篮的平稳移栽动作。
Claims (3)
1.一种运行平稳的硅片移栽装置，包括第一X轴(1)、Y轴(2)、第二X轴(3)、Z轴(4)；其特征在于：第一X轴(1)、第二X轴(3)装有底座(5)、限位块(6)、缓冲垫(7)、第一传感器导轨(8)、第二传感器导轨(9)、滑轨(10)、滑块(11)、齿条(12)、第一接近传感器(13)、第二接近传感器(14)，Y轴(2)装有横梁(15)、安装板(16)、电机座(17)、主动轴(18)、Z轴安装板(19)、从动轴(20)、同步带张紧板(21)、伺服电缸(22)、第一同步带轮(23)、第一齿轮(24)、导向轴支座(25)、线性导向轴(26)、同步带(27)、伺服电机(28)、同步带连接板(29)第二同步带轮(42)、第二齿轮(43)、第三齿轮(44)，其第一齿轮(24)和第二同步带轮(42)固定在同一根主动轴(18)上，第一同步带轮(23)和第三齿轮(44)固定在同一根从动轴(20)上，第二齿轮(43)和第三齿轮(44)啮合，Z轴(4)装有摆台转接板(30)、滑台安装板(31)、气爪转接板(32)、第一定位块(33)、夹爪(34)、第二定位块(35)、安装座(36)、气爪(37)、光电传感器(38)、电缸(39)、气动摆台(40)、磁性开关传感器(41)，Y轴(2)通过滑块(11)固定在第一X轴(1)和第二X轴(3)上的滑轨(10)上滑行，Z轴(4)固定在Y轴(2)的Z轴安装板(19)上，Z轴安装板(19)固定在伺服电缸(22)上，通过控制伺服电缸(22)实现Z轴(4)的滑动。
2.根据权利要求1所述的一种运行平稳的硅片移栽装置，其特征在于：所述伺服电机(28)驱动同步带轮(42)和第一齿轮(24)转动，驱动第一齿轮(24)与第一X轴(1)上的齿条(12)啮合，同时带动第二同步带轮(42)通过同步带(27)带动第一同步带轮(23)，从而带动第三齿轮(44)，转而使第二齿轮(43)转动与第二X轴(3)的齿条(12)啮合，这样的话实现第一X轴(1)和第二X轴(3)上的滑块(11)同步前进或后退，固定在滑块(11)上的Y轴(2)就能平行移动。
3.根据权利要求1所述的一种运行平稳的硅片移栽装置，其特征在于：Z轴(4)通过气爪(37)的伸缩带动固定在其上面的夹爪(34)，同时夹爪(34)上有固定第一定位块(33)、第二定位块(35)、光电传感器(38)，实现对片篮的固定和抓取，光电传感器(38)来判断是否有抓取到片篮，气爪(37)通过气爪转接板(32)固定在气动摆台(40)上，从而通过气动摆台(40)的旋转摆动调整片篮的放置姿态，气动摆台(40)通过摆台转接板(30)固定在电缸(39)上，通过驱动电缸(39)实现片篮高度上的提升和下降。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN110604073A (zh) * | 2019-11-06 | 2019-12-24 | 滨州市五岳机械设备有限公司 | 一种蛋胚自动移栽装置 |
| CN111570655A (zh) * | 2020-06-06 | 2020-08-25 | 陈佳莲 | 一种加工建材用模具的自动进料装置 |
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