CN208020018U - 自清洁抛光液输送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种自清洁抛光液输送装置，自清洁抛光液输送装置包括：基座、悬臂、清洗装置、用于向容水腔内供水的第一输水管和抛光液管，基座上设有基座孔；悬臂可转动地设在基座上，悬臂内限定出容水腔，悬臂下端设有连通容水腔的喷嘴；清洗装置设在悬臂上方以对悬臂进行喷水清洗；第一输水管穿过基座孔后与容水腔连通；抛光液管向上穿过基座孔后向下伸出悬臂。由此，通过基座、悬臂和清洗装置配合，能够把悬臂上的抛光液冲洗掉，可以保证悬臂的表面清洁，从而可以防止抛光液在悬臂上产生结晶，进而可以提升产品的抛光质量。

Description

自清洁抛光液输送装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，尤其是涉及一种自清洁抛光液输送装置。

背景技术

大规模集成电路生产过程中，晶圆需要经过多道工序最终形成产品，化学机械抛光是其中的一道关键工序。在化学机械抛光工艺中，抛光液输送装置悬在抛光盘上方，将抛光液从供应源输送到抛光盘合适的落点，抛光液输送装置的洁净程度会影响到晶圆抛光缺陷的数量和抛光质量的稳定性。

相关技术中，目前使用的抛光液输送装置存在以下问题：抛光液输送装置悬在抛光盘上方，抛光过程中，抛光液会飞溅到抛光液输送装置的表面，如果抛光液输送装置表面的抛光液得不到及时清理，抛光液会结晶，抛光液输送装置的悬臂表面的固体颗粒会越聚越多，固体颗粒掉落到抛光盘表面，会划伤抛光过程中的晶圆，造成产品良率降低。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种自清洁抛光液输送装置，该自清洁抛光液输送装置能够把悬臂上的抛光液冲洗掉，可以保证悬臂的表面清洁，从而可以防止抛光液在悬臂上产生结晶。

根据本实用新型的自清洁抛光液输送装置包括：基座、悬臂、清洗装置、用于向容水腔内供水的第一输水管和抛光液管，所述基座上设有基座孔；所述悬臂可转动地设在所述基座上，所述悬臂内限定出容水腔，所述悬臂下端设有连通所述容水腔的喷嘴；所述清洗装置设在所述悬臂上方以对所述悬臂进行喷水清洗；所述第一输水管穿过所述基座孔后与所述容水腔连通；所述抛光液管向上穿过所述基座孔后向下伸出所述悬臂。

根据本实用新型的自清洁抛光液输送装置，能够把悬臂上的抛光液冲洗掉，可以保证悬臂的表面清洁，从而可以防止抛光液在悬臂上产生结晶，进而可以提升产品的抛光质量。

可选地，所述的自清洁抛光液输送装置还包括第二输水管，所述容水腔通过所述第二输水管与所述清洗装置相连。

进一步地，所述悬臂包括：第一本体、喷嘴座和罩壳，所述第一本体包括彼此相连的固定部和悬挂部，所述固定部设在所述基座上；所述喷嘴座设在所述悬挂部的底部，所述喷嘴设在所述喷嘴座底部，所述容水腔形成在所述喷嘴座内；所述罩壳设在所述第一本体的上方，所述清洗装置设在所述罩壳上方以对朝向所述罩壳喷水。

具体地，所述容水腔的靠近所述固定部的一端设有出水口，所述第二输水管连接在所述出水口处。

可选地，所述喷嘴座的顶壁中部设有与所述容水腔连通的连接管，所述连接管穿过所述悬挂部后与所述第一输水管相连。

可选地，所述第一输水管与所述清洗装置相连以向所述清洗装置供水。

进一步地，所述清洗装置包括：第二本体，所述第二本体内部设有中心孔，所述第二本体的壁上设有与所述中心孔连通的进水口和喷水口，所述进水口用于进水，所述喷水口用于朝向所述悬臂喷水。

具体地，所述第二本体设在所述悬臂顶部且倾斜设置。

附图说明

图1是根据本实用新型实施例的自清洁抛光液输送装置的剖视图；

图2是根据本实用新型实施例的自清洁抛光液输送装置的基座的局部结构示意图；

图3是根据本实用新型实施例的自清洁抛光液输送装置的清洗装置的立体视角的半剖视图；

图4是根据本实用新型实施例的自清洁抛光液输送装置的罩壳的示意图；

图5是根据本实用新型实施例的自清洁抛光液输送装置的第一本体的示意图；

图6是根据本实用新型实施例的自清洁抛光液输送装置的喷嘴座的立体视角的半剖视图。

附图标记：

自清洁抛光液输送装置10；

基座1；基座孔11；上端面12；下端面13；

悬臂2；

第一本体21；固定部211；悬挂部212；第一通孔213；第二通孔214；

喷嘴座22；容水腔221；出水口222；连接管223；喷嘴224；抛光液管固定孔225；

罩壳23；

清洗装置3；第二本体31；中心孔32；进水口33；喷水口34；

第一输水管4；第二输水管5；抛光液管6。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考图1-图6描述根据本实用新型实施例的自清洁抛光液输送装置10。

如图1-图6所示，根据本实用新型实施例的自清洁抛光液输送装置10包括：基座1、悬臂2、清洗装置3、用于向容水腔221内供水的第一输水管4，以及抛光液管6。

基座1上设有基座孔11，基座孔11沿着上下方向贯穿整个基座1，基座1具有上端面12和下端面13，基座1的上端面12和下端面13为安装面，悬臂2可转动地设在基座1的上端面12上。

悬臂2内限定出容水腔221，容水腔221内可储存有水，悬臂2的下端设置有连通容水腔221的喷嘴224，喷嘴224用于向位于悬臂2下方的晶圆喷水，从而可以对晶圆起到清洗的作用。

清洗装置3设在悬臂2的上方，清洗装置3可以向悬臂2喷水。在晶圆抛光的过程中，会向晶圆喷洒抛光液，但是现有的抛光液输送装置存在以下问题：抛光液输送装置悬在抛光盘上方，抛光过程中，抛光液会飞溅到抛光液输送装置的表面，如果抛光液输送装置表面的抛光液得不到及时清理，抛光液会结晶，抛光液输送装置的悬臂表面的固体颗粒会越聚越多，固体颗粒掉落到抛光盘表面，会划伤抛光过程中的晶圆，造成产品良率降低。

因此通过在悬臂2上方设置清洗装置3，从而如此设置的清洗装置3可以对悬臂2进行喷水清洗，能够把悬臂2上的抛光液冲洗掉，可以保证悬臂2的表面清洁，从而可以防止抛光液在悬臂2上产生结晶，进而可以提升产品的抛光质量。

第一输水管4穿过基座孔11后与容水腔221连通，由此第一输水管4能够把水输送到容水腔221内，可以保证容水腔221内的供水，从而可以保证悬臂2的工作可靠性。喷嘴224与容水腔221连通，从而喷嘴224用于将容水腔221内的水向下喷出，从而对晶圆进行清洗。

抛光液管6向上穿过基座孔11容水腔221后向下伸出悬臂2，抛光液管6内的抛光液能够从悬臂2内喷出，进行可以对晶圆进行抛光，从而可以保证自清洁抛光液输送装置10的工作性能。

其中，悬臂2上的抛光液被清洗装置3喷出的水清洗掉后会落到抛光盘上，当自清洁抛光液输送装置10的悬臂2向下喷水清洗抛光盘时，悬臂2向下喷出的水会把从悬臂2上冲落下来落到抛光盘上的抛光液冲洗掉，如此设置能够使抛光盘表面不会存留抛光液，也能够防止抛光液产生结晶掉落到抛光盘上，可以防止抛光液产生的结晶划伤抛光过程中的晶圆，从而可以提升产品的合格率。

根据本发明实施例的自清洁抛光液输送装置10，能够把悬臂2上的抛光液冲洗掉，可以保证悬臂2的表面清洁，从而可以防止抛光液在悬臂2上产生结晶，进而可以提升产品的抛光质量。此外，通过使第一输水管4与容水腔221连通，并且使喷嘴224与容水腔221连通，从而可以利用喷嘴224均匀地将水喷洒在晶圆表面上，优化晶圆的清洗效果。

可选地，如图1所示，第一输水管4用于向悬臂2供水，当第一输水管4通水时，第一输水管4内的水能够从悬臂2内向下喷出，可以保证悬臂2的工作可靠性，从而可以进一步保证抛光盘上的抛光液能够被悬臂2喷出的水冲洗掉。

进一步地，第一输水管4由基座1内部穿过后与悬臂2相连，其中，悬臂2内可以设置有容水腔221，容水腔221沿着悬臂2的长度方向上设置，第一输水管4与容水腔221连通，当第一输水管4内通水时，第一输水管4可以向悬臂2供水。

根据本实用新型的一个具体实施例，清洗装置3与第一输水管4相连，第一输水管4向清洗装置3供水，其中，清洗装置3与第一输水管4连通，当第一输水管4内通水时，第一输水管4内的水可以流到清洗装置3内，然后清洗装置3内的水会喷到悬臂2上，如此设置能够实现清洗装置3清洗悬臂2表面的抛光液的工作目的，可以保证自清洁抛光液输送装置10的工作可靠性。

如图1所示，根据本实用新型的另一个具体实施例，自清洁抛光液输送装置10还可以包括：第二输水管5，容水腔221通过第二输水管5与清洗装置3相连，通过设置第二输水管5，悬臂2的容水腔221内的水能够通过第二输水管5流到清洗装置3内，从而可以实现向清洗装置3供水的工作目的。

具体地，容水腔221的靠近固定部211的一端设有出水口222，出水口222设置在喷嘴座22的一个端面，第二输水管5连接在出水口222处，如此设置可以使容水腔221内的水更好地流入至第二输水管5内，并且，喷嘴座22上与出水口222所在的端面相对的另一个端面设置有沿上下方向的抛光液管6固定孔225，抛光液管6的出口固定在抛光液管6固定孔225内。

进一步地，如图1和图5所示，悬臂2可以包括：第一本体21、喷嘴座22和罩壳23，第一本体21包括彼此相连的固定部211和悬挂部212，固定部211设在基座1上，其中，固定部211具有上表面和下表面，悬挂部212也具有上表面和下表面，悬臂2的固定部211上设置有第一通孔213，悬臂2的悬挂部212上设置有第二通孔214，悬臂2的固定部211的下表面安装在基座1的上端面12上，固定部211的第一通孔213与基座1的基座孔11对应，如此设置能够把第一通孔213与基座孔11连通，可以保证抛光液管6和第一输水管4顺利穿过基座1和第一本体21，从而可以保证完成抛光液管6和第一输水管4的布置工作。

喷嘴座22设在悬挂部212的底部，喷嘴224设置在喷嘴座22的底部，容水腔221形成在喷嘴座22内，容水腔221如此设置能够保证容水腔221内的水可以流到喷嘴座22内，可以保证喷嘴座22内有水喷出，并且，第二输水管5与容水腔221连通，其中，第二输水管5的一端与容水腔221连通，第二输水管5的另一端与清洗装置3连通，这样设置可以保证容水腔221内的水能够流到清洗装置3内，从而可以保证清洗装置3内有水喷出。

另外，喷嘴座22的下表面可以设置有多个喷嘴224，当第一输水管4通水时，喷嘴座22的容水腔221内的水可以从多个喷嘴224喷出。

罩壳23设在第一本体21的上方，罩壳23的外形与第一本体21的外形适配，罩壳23将第一本体21、抛光液管6和第一输水管4罩在罩壳23的内部，如此设置能够对第一本体21、抛光液管6和第一输水管4起到保护作用，可以防止第一本体21、抛光液管6和第一输水管4受到损伤，从而可以延长第一本体21、抛光液管6和第一输水管4的使用寿命。

并且，清洗装置3设在罩壳23上方，如此设置能够保证清洗装置3喷出的水落到悬臂2上，可以保证清洗装置3朝向罩壳23喷水，从而可以进一步保证清洗工作的顺利进行。

可选地，如图6所示，喷嘴座22的顶壁中部设有与容水腔221连通的连接管223，连接管223与悬臂2的第二通孔214对应，其中，连接管223穿过悬挂部212后与第一输水管4相连，如此设置能够使第一输水管4与喷嘴座22更好地装配在一起，可以防止第一输水管4与容水腔221分离。

进一步地，如图1和图3所示，清洗装置3可以包括：第二本体31，第二本体31内部设有中心孔32，中心孔32沿着第二本体31的长度方向上设置，第二本体31的壁上设有与中心孔32连通的进水口33和喷水口34，进水口33与第二输水管5连通，如此设置可以实现进水口33用于进水的工作目的，喷水口34处也可以设置有喷嘴224，喷嘴224用于朝向悬臂2喷水，其中，第一输水管4穿过基座1、第一本体21和第二通孔214后，第一输水管4连接于喷嘴座22的连接管223。

具体地，第二本体31设在悬臂2顶部，而且第二本体31倾斜设置，例如：第二本体31沿着图1中从左向右的方向上倾斜向上设置，这样设置能够使清洗装置3的喷水口34喷出的水覆盖悬臂2，可以提升对悬臂2的清洗效果。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种自清洁抛光液输送装置，其特征在于，包括：

基座，所述基座上设有基座孔；

悬臂，所述悬臂可转动地设在所述基座上，所述悬臂内限定出容水腔，所述悬臂下端设有连通所述容水腔的喷嘴；

清洗装置，所述清洗装置设在所述悬臂上方以对所述悬臂进行喷水清洗；

用于向所述容水腔内供水的第一输水管，所述第一输水管穿过所述基座孔后与所述容水腔连通；

抛光液管，所述抛光液管向上穿过所述基座孔后向下伸出所述悬臂。

2.根据权利要求1所述的自清洁抛光液输送装置，其特征在于，还包括第二输水管，所述容水腔通过所述第二输水管与所述清洗装置相连。

3.根据权利要求2所述的自清洁抛光液输送装置，其特征在于，所述悬臂包括：

第一本体，所述第一本体包括彼此相连的固定部和悬挂部，所述固定部设在所述基座上；

喷嘴座，所述喷嘴座设在所述悬挂部的底部，所述喷嘴设在所述喷嘴座底部，所述容水腔形成在所述喷嘴座内；

罩壳，所述罩壳设在所述第一本体的上方，所述清洗装置设在所述罩壳上方以对朝向所述罩壳喷水。

4.根据权利要求3所述的自清洁抛光液输送装置，其特征在于，所述容水腔的靠近所述固定部的一端设有出水口，所述第二输水管连接在所述出水口处。

5.根据权利要求3所述的自清洁抛光液输送装置，其特征在于，所述喷嘴座的顶壁中部设有与所述容水腔连通的连接管，所述连接管穿过所述悬挂部后与所述第一输水管相连。

6.根据权利要求1所述的自清洁抛光液输送装置，其特征在于，所述第一输水管与所述清洗装置相连以向所述清洗装置供水。

7.根据权利要求1所述的自清洁抛光液输送装置，其特征在于，所述清洗装置包括：第二本体，所述第二本体内部设有中心孔，所述第二本体的壁上设有与所述中心孔连通的进水口和喷水口，所述进水口用于进水，所述喷水口用于朝向所述悬臂喷水。

8.根据权利要求7所述的自清洁抛光液输送装置，其特征在于，所述第二本体设在所述悬臂顶部且倾斜设置。