CN207845759U - 一种带有承片圈结构的蒸镀行星锅 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种带有承片圈结构的蒸镀行星锅，包括电机、支架、支撑臂、行星锅及坩埚；电机带动支架旋转，支撑臂的一端与支架固定，支撑臂的另外一端与行星锅的转轴轴接；行星锅在轨道上自转；电子束轰击坩埚内的源，源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅内，从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆上；所述硅晶圆通过弹片及2个固定螺丝固定在行星锅的内侧；承片圈径向外侧嵌入凹槽内以保证硅晶圆浮起于行星锅上，不与行星锅接触；所述两个固定螺丝与硅晶圆的圆心角为88°‑90°。本实用新型可以避免蒸镀过程中硅晶圆的碎裂。
Description
技术领域
本实用新型涉及电子技术领域，具体说是一种蒸镀装置。
背景技术
现有的蒸镀设备结构形式很多，典型的是硅晶圆紧贴行星锅体，该结构在蒸发过程中造成硅晶圆与行星锅粘连，造成硅晶圆在取出时碎裂；另外，现有的结构采用两个螺丝之间的角度为110°，由于角度过大，蒸镀过程中，温度变化较大，而由于温度造成的热缩力及膨胀力在两个螺丝之间直接压迫硅晶圆，容易造成硅晶圆碎裂。
实用新型内容
为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种行星锅，可有效解决上述技术问题，具体技术方案如下：
一种蒸镀行星锅，包括电机、支架、支撑臂、行星锅及坩埚；电机带动支架旋转，支撑臂的一端与支架固定，支撑臂的另外一端与行星锅的转轴轴接；行星锅在轨道上自转；电子束轰击坩埚内的源，源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅内，从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆上；行星锅上设置多个通孔，所述通孔内设置承片圈，硅晶圆设置在所述承片圈内，所述述承片圈通过弹片及2个固定螺丝固定在行星锅的内侧；所述弹片的结构是：弹片距离行星锅一定距离设置凹槽，弹片通过两个螺丝固定在行星锅上；所述2个固定螺丝也设置相应的凹槽，承片圈径向外侧嵌入所述凹槽内以保证硅晶圆浮起于行星锅上，不与行星锅接触；所述两个固定螺丝与硅晶圆的圆心角为88°-90°；所述行星锅的材料为工业纯钛。
本实用新型的优点是：
弹片使用两个螺丝固定，防止弹片在使用时转动，杜绝硅晶圆掉落；
弹片和螺丝，在装载在行星锅上的硅晶圆浮起于锅体上，不与行星锅接触，有效防止在蒸发过程中造成硅晶圆与行星锅粘连，造成硅晶圆在取出时碎裂。
减少固定两个固定硅晶圆的两个螺丝之间的角度至88°，减小对硅晶圆的内压力，降低碎片率。
材料更改：行星锅材料由316L不锈钢修改为工业纯钛，其优点是：
A.由于工业纯钛的密度仅为4.51g/cm3,而316L不锈钢的密度为7.98g/cm3，在相同体积下，钛金属行星锅比316L不锈钢行星锅轻45％。这样就减轻了操作工人的体力劳动，提高生产效率。
B.由于工业纯钛在20～700℃时，热膨胀系数为10.2x10-6/℃，而316L不锈钢在20～800℃时的热膨胀系数19.0×10-6/℃左右。这样就减小行星锅在300℃高温工作下的热变形，减少由于行星锅变形导致的硅晶圆碎裂报废。
C.由于工业纯钛的导热系数为19.3W/(m*K)，而316L不锈钢的导热系数为15.1W/(m*K)。这样就加快了腔体升温和降温速度，减少行星锅运转的前期升温时间和后期降温时间，提高生产效率。
D.众所周知，金属钛在常温下有优良的耐腐蚀性能，能耐大部分的无机酸、有机酸、碱溶液、盐溶液等。这样就增加了行星锅的使用寿命，减少成本。
E.由于设置了承片圈，因此，固定螺丝不直接与硅晶圆接触，由固定螺丝传导来的力被承片圈所分散，保证硅晶圆不会损坏。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为硅晶圆固定结构图；
图3为另一角度的硅晶圆固定结构图；
图4为承片圈结构示意图；
图5为图4的T位置的局部放大图。
具体实施方式
下面结合附图具体说明本实用新型，如图1-图5所示，本实用新型包括电机1、支架2、支撑臂3、行星锅4及坩埚6；电机1带动支架2旋转，支撑臂3的一端与支架2固定，支撑臂3的另外一端与行星锅4的转轴轴接；行星锅4在轨道8上自转；电子束轰击坩埚6内的源7，源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅4内，从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆5上；行星锅上设置多个通孔，所述通孔内设置承片圈，硅晶圆设置在所述承片圈14内，硅晶圆5外侧设置锅盖13；所述承片圈14通过弹片10及2个固定螺丝9固定在行星锅5的内侧；所述弹片10的结构是：弹片距离行星锅一定距离设置凹槽11，弹片通过两个螺丝12固定在行星锅上；所述2个固定螺丝9也设置相应的凹槽11，承片圈14径向外侧嵌入所述凹槽11内以保证硅晶圆5浮起于行星锅4上，不与行星锅4接触；所述两个固定螺丝9与硅晶圆的圆心角a为88°-90°。
所述行星锅的材料为工业纯钛。
由于工业纯钛在20～700℃时，热膨胀系数为10.2x10-6/℃，而316L不锈钢在20～800℃时的热膨胀系数19.0×10-6/℃左右。这样就减小行星锅在300℃高温工作下的热变形，并且，两个固定螺丝间的夹角减小，有利于减小硅晶圆所受到的两个固定螺丝的压力，进而减少由于行星锅变形导致的硅晶圆碎裂报废。
Claims (1)
1.一种带有承片圈结构的蒸镀行星锅，其特征在于：包括电机、支架、支撑臂、行星锅及坩埚；电机带动支架旋转，支撑臂的一端与支架固定，支撑臂的另外一端与行星锅的转轴轴接；行星锅在轨道上自转；电子束轰击坩埚内的源，源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅内，从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆上；行星锅上设置多个通孔，所述通孔内设置承片圈，硅晶圆设置在所述承片圈内，所述承片圈通过弹片及2个固定螺丝固定在行星锅的内侧；所述弹片的结构是：弹片距离行星锅一定距离设置凹槽，弹片通过两个螺丝固定在行星锅上；所述2个固定螺丝也设置相应的凹槽，承片圈径向外侧嵌入所述凹槽内以保证硅晶圆浮起于行星锅上，不与行星锅接触；所述两个固定螺丝与硅晶圆的圆心角为88°-90°。
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| CN201820292351.8U CN207845759U (zh) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | 一种带有承片圈结构的蒸镀行星锅 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114990493A (zh) * | 2022-06-23 | 2022-09-02 | 北海惠科半导体科技有限公司 | 蒸发镀膜装置及其镀膜方法 |
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2018
- 2018-03-02 CN CN201820292351.8U patent/CN207845759U/zh active Active
Cited By (2)
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| CN114990493A (zh) * | 2022-06-23 | 2022-09-02 | 北海惠科半导体科技有限公司 | 蒸发镀膜装置及其镀膜方法 |
| CN114990493B (zh) * | 2022-06-23 | 2024-01-12 | 北海惠科半导体科技有限公司 | 蒸发镀膜装置及其镀膜方法 |
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