CN207958484U - 一种混装结构的蒸镀行星锅 - Google Patents
一种混装结构的蒸镀行星锅 Download PDFInfo
- Publication number
- CN207958484U CN207958484U CN201820292364.5U CN201820292364U CN207958484U CN 207958484 U CN207958484 U CN 207958484U CN 201820292364 U CN201820292364 U CN 201820292364U CN 207958484 U CN207958484 U CN 207958484U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- pot
- planet
- silicon wafer
- planet pot
- support arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型公开一种混装结构的蒸镀行星锅，包括电机、支架、支撑臂、行星锅及坩埚；电机带动支架旋转，支撑臂的一端与支架固定，支撑臂的另外一端与行星锅的转轴轴接；行星锅在轨道上自转；电子束轰击坩埚内的源，源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅内，从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆上；行星锅上设置多个通孔，所述通孔内设置承片圈，硅晶圆设置在所述承片圈内的凸台上，硅晶圆的外侧设置盖板，所述盖板外侧与锅盖抵接；所述锅盖固定在行星锅转轴上。本实用新型的优点是：保证了一次蒸镀能加工更多数量的硅晶圆。
Description
技术领域
本实用新型涉及电子技术领域，具体说是一种蒸镀装置。
背景技术
现有的蒸镀设备结构形式很多，典型的是硅晶圆紧贴行星锅体，该结构在蒸发过程中造成硅晶圆与行星锅粘连，造成硅晶圆在取出时碎裂；另外，现有的结构采用两个螺丝之间的角度为110°，由于角度过大，蒸镀过程中，温度变化较大，而由于温度造成的热缩力及膨胀力在两个螺丝之间直接压迫硅晶圆，容易造成硅晶圆碎裂。
实用新型内容
为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种行星锅，可有效解决上述技术问题，具体技术方案如下：
一种混装结构的蒸镀行星锅，包括电机、支架、支撑臂、行星锅及坩埚；电机带动支架旋转，支撑臂的一端与支架固定，支撑臂的另外一端与行星锅的转轴轴接；行星锅在轨道上自转；电子束轰击坩埚内的源，源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅内，从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆上；行星锅上设置多个通孔，所述通孔内设置承片圈，硅晶圆设置在所述承片圈内的凸台上，硅晶圆的外侧设置盖板，所述盖板外侧与锅盖抵接；所述锅盖固定在行星锅转轴上。
所述行星锅的材料为工业纯钛。
所述锅盖内侧设置弹片，所述弹片的位置与盖板的位置对应。
本实用新型的优点是：采用钛为原料的行星锅，保证了一次蒸镀能加工更多数量的硅晶圆。
材料更改的优点是：行星锅材料由316L不锈钢修改为工业纯钛，其优点是：
A.由于工业纯钛的密度仅为4.51g/cm3,而316L不锈钢的密度为 7.98g/cm3，在相同体积下，钛金属行星锅比316L不锈钢行星锅轻 45％。这样就减轻了操作工人的体力劳动，提高生产效率。
B.由于工业纯钛在20～700℃时，热膨胀系数为10.2x10-6/℃，而 316L不锈钢在20～800℃时的热膨胀系数19.0×10-6/℃左右。这样就减小行星锅在300℃高温工作下的热变形，减少由于行星锅变形导致的硅晶圆碎裂报废。
C.由于工业纯钛的导热系数为19.3W/(m*K)，而316L不锈钢的导热系数为15.1W/(m*K)。这样就加快了腔体升温和降温速度，减少行星锅运转的前期升温时间和后期降温时间，提高生产效率。
D.众所周知，金属钛在常温下有优良的耐腐蚀性能，能耐大部分的无机酸、有机酸、碱溶液、盐溶液等。这样就增加了行星锅的使用寿命，减少成本。
E.由于设置了承片圈，因此，固定螺丝不直接与硅晶圆接触，由固定螺丝传导来的力被承片圈所分散，保证硅晶圆不会损坏。
附图说明
图1为行星锅蒸镀原理示意图；
图2为本实用新型的结构示意图；
图3为硅晶圆固定结构图；
图4为图3的局部放大图。
具体实施方式
下面结合附图具体说明本实用新型，如图1-图4所示，本实用新型包括电机1、支架2、支撑臂3、行星锅4及坩埚6；电机1带动支架2旋转，支撑臂3的一端与支架2固定，支撑臂3的另外一端与行星锅4的转轴轴接；行星锅4在轨道8上自转；电子束轰击坩埚6内的源7，源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅4内，从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆5上；行星锅上设置多个通孔，所述通孔内通过螺丝12固定承片圈14，硅晶圆5设置在所述承片圈14 内的凸台上，硅晶圆5的外侧设置盖板13，所述盖板13外侧与锅盖11抵接；所述锅盖11固定在行星锅转轴9上。
所述行星锅的材料为工业纯钛。
所述锅盖内侧设置弹片15，所述弹片15的位置与盖板13的位置对应，该结构的作用是保证盖板13与锅盖11抵接，保证硅晶圆5 单面的纯净性。
由于工业纯钛在20～700℃时，热膨胀系数为10.2x10-6/℃，而 316L不锈钢在20～800℃时的热膨胀系数19.0×10-6/℃左右。这样就减小行星锅在300℃高温工作下的热变形，并且，两个固定螺丝间的夹角减小，有利于减小硅晶圆所受到的两个固定螺丝的压力，进而减少由于行星锅变形导致的硅晶圆碎裂报废。
Claims (1)
1.一种混装结构的蒸镀行星锅，其特征在于：包括电机、支架、支撑臂、行星锅及坩埚；电机带动支架旋转，支撑臂的一端与支架固定，支撑臂的另外一端与行星锅的转轴轴接；行星锅在轨道上自转；电子束轰击坩埚内的源，源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅内，从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆上；行星锅上设置多个通孔，所述通孔内设置承片圈，硅晶圆设置在所述承片圈内的凸台上，硅晶圆的外侧设置盖板，所述盖板外侧与锅盖抵接；所述锅盖固定在行星锅转轴上；所述锅盖内侧设置弹片，所述弹片的位置与盖板的位置对应。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820292364.5U CN207958484U (zh) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | 一种混装结构的蒸镀行星锅 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820292364.5U CN207958484U (zh) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | 一种混装结构的蒸镀行星锅 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207958484U true CN207958484U (zh) | 2018-10-12 |
Family
ID=63740592
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201820292364.5U Active CN207958484U (zh) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | 一种混装结构的蒸镀行星锅 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN207958484U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110983252A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-04-10 | 深圳市提姆光电科技有限公司 | 蒸发电镀渐变色的装置及镀制渐变色的方法 |
-
2018
- 2018-03-02 CN CN201820292364.5U patent/CN207958484U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110983252A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-04-10 | 深圳市提姆光电科技有限公司 | 蒸发电镀渐变色的装置及镀制渐变色的方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN207891416U (zh) | 一种带有中心承片圈的蒸镀装置 | |
| CN207958484U (zh) | 一种混装结构的蒸镀行星锅 | |
| CN105241101B (zh) | 一种角度可调式太阳能热水器安装架 | |
| CN102094191B (zh) | 一种制备择优取向铜锡硫薄膜的方法 | |
| CN110592544A (zh) | 一种用于长外包壳管的立式磁控溅射镀膜装置 | |
| CN101876055B (zh) | 挡板冷却装置 | |
| CN207845759U (zh) | 一种带有承片圈结构的蒸镀行星锅 | |
| CN207918944U (zh) | 一种可改变自转周期的蒸镀行星锅 | |
| CN104089423A (zh) | 全玻璃高温真空集热管及其镀膜方法 | |
| CN207918943U (zh) | 一种蒸镀行星锅 | |
| CN207422874U (zh) | 一种用于治金行业的自动旋转真空管式炉 | |
| CN101122007A (zh) | 超声波作用下碘化汞薄膜的制备方法 | |
| CN205662595U (zh) | 一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置 | |
| CN104844016A (zh) | 一种在ito导电玻璃上沉积氧化铁薄膜的制备方法 | |
| CN209974882U (zh) | 一种真空镀膜加热装置 | |
| CN103374706A (zh) | 一种制备多晶硅薄膜的方法 | |
| CN104505462A (zh) | 一种有机金属卤化物薄膜及其制备方法与应用 | |
| CN201648511U (zh) | 挡板冷却机构 | |
| CN201687954U (zh) | 镀膜真空室的转板阀结构 | |
| CN211079318U (zh) | 一种磁控溅射和电子束蒸镀双腔镀膜装置 | |
| CN204265827U (zh) | 一种柔性衬底上卷对卷制备高结合力吸收层的装置 | |
| CN204385286U (zh) | 掠角反应沉积设备 | |
| CN102373420A (zh) | 坩埚及具有该坩埚的蒸镀设备 | |
| CN209848367U (zh) | 一种熊去氧胆酸浓缩结晶罐 | |
| CN209500853U (zh) | 一种连续进出料高真空有机小分子提纯专用设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |