CN207682144U - 一种晶体平面精密研磨抛光机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶体平面精密研磨抛光机，所述的底座安装在机架的底面上，电机安装在机架内，转轴通过轴承安装在机架内，抛光盘安装在转轴的顶面上，精密丝杠底部安装在底座上的安装孔里，精密丝杠的顶端安装在横梁上的安装孔里，手柄安装在精密丝杠的顶端，丝杠螺母安装在精密丝杠上，吊环安装在升降台的顶面上，工件安装在载套的底面上，砝码安装在载套内，升降台左端通过直线轴承安装在立柱上。本实用新型通过工件固定调节装置中各零部件的有机配合，既可以控制晶片的研磨厚度，又可以保证晶片平行度，防止样品磨偏，还代替了人手持工件的操作，降低了工人的劳动强度又调高了加工效率与工件的研磨质量。

Description

一种晶体平面精密研磨抛光机

技术领域

本实用新型属于一种抛光机技术领域，具体涉及一种晶体平面精密研磨抛光机。

背景技术

目前，现有的砷化镓生产中使用的抛光机工作时，需要人手持工件(晶片)并施加一定压力于工件使其紧贴于抛光盘表面，工件研磨面与抛光盘应绝对平行并均匀地压在抛光盘上，磨料颗粒或其他抛光介质摩擦工件表面。摩擦产生切削力，将工件表面凹凸不平的地方磨平，来达到抛光目的。这种抛光机对工人熟练程度有较高的要求，工作过程中，需要手始终紧压工件，所以劳动强度比较大。若压力太大，则工件表面产生新磨痕；若压力较小，则研磨抛光效率比较低。而且工人对工件拿捏不稳时，工件容易被磨偏且工件容易因抛光盘的离心力而被甩出，带有一定危险性。也无法控制工件磨削厚度，容易磨过。存在抛光速度慢、表面平整度和抛光一致性差等缺点。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足提供一种晶体平面精密研磨抛光机，其通过工件固定调节装置中各零部件的有机配合，既可以控制晶片的研磨厚度，又可以保证晶片平行度，防止样品磨偏，还代替了人手持工件的的操作，降低了工人的劳动强度又调高了加工效率与工件的研磨质量。

为实现上述技术目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种晶体平面精密研磨抛光机，其中：包括底座、精密丝杠、电机、配重块、钢丝绳、机架、抛光盘、工件、载套、丝杠螺母、升降台、载套座、砝码、手柄、滑轮机构、横梁、立柱、直线轴承、集尘管、转轴、从动带轮、V形带、吊环、滚针轴承和主动带轮，所述的底座固定安装在机架的底面上，所述的电机固定安装在机架内，所述的主动带轮固定安装在电机输出轴上，所述的从动带轮固定安装在转轴上，所述的转轴通过轴承安装在机架内，所述的V形带安装在从动带轮和主动带轮上，所述的抛光盘固定安装在转轴的顶面上，所述的集尘管安装在机架上的安装孔里，所述的精密丝杠底部固定安装在底座上的安装孔里，所述的精密丝杠的顶端安装在横梁上的安装孔里，所述的手柄固定安装在精密丝杠的顶端，所述的丝杠螺母安装在精密丝杠上且丝杠螺母固定安装在升降台上的安装孔里，所述的配重块通过钢丝绳安装在滑轮机构上，所述的滑轮机构安装在横梁上，所述的吊环安装在升降台的顶面上且吊环安装在滑轮机构上，所述的工件安装在载套的底面上，所述的载套通过滚针轴承安装在载套座上，所述的载套座安装在升降台上的安装孔里，所述的砝码安装在载套内，所述的立柱底部安装在底座上的安装孔里，所述的立柱顶端安装在横梁上的安装孔里，所述的升降台左端通过直线轴承安装在立柱上。

为优化上述技术方案，采取的具体措施还包括：

上述的横梁的底面上安装有两套滑轮机构。

上述的升降台上沿圆周方向均匀分布有6个或8个载套座。

上述的工件粘接在载套的底面上。

本实用新型抛光盘通过螺钉固定于转轴上。驱动装置主要由电机，V形带，转轴等组成。电机转动带动V形带运动，V形带带动转轴转动，由于抛光盘与转轴固联，因此抛光盘也随之转动。立柱的上、下两端通过螺栓分别与横梁、底座固定连接且与精密丝杠保持平行。升降台安装在横梁和底座之间且位于抛光盘的上方，其通孔处安装的直线轴承与立柱间隙配合，丝杠螺母与精密丝杠配成螺栓螺母副，直线运动时，摩擦阻力小，精度高，能获得高精度的平稳运动。升降台的中心设有吊环，与横梁上的滑轮机构、配重块通过钢丝绳连接形成配重机构，用来平衡升降台的重量，使其等于或者略大于升降台与其承载所有物件的重量和。升降台上带有带有辐射状排列的导轨，其上设有等距离的螺纹盲孔。载套座可以沿着导轨滑动，这样工件在升降台上的径向位置就可以调整，选择好位置后用螺钉将其固定在导轨上。底部固定有工件的载套安放在滚针轴承中，载套可以上下自由滑动，滚针轴承镶嵌在载套座中央。载套内部为中孔结构，空腔中可以放置若干砝码。精密丝杠的上端装配手柄，通过转动手柄带动丝杠旋转，由丝杠螺母副将回转运动转化为直线运动，便可带动升降台沿立柱作上下直线运动。横梁固定于立柱上方。

工件用胶粘接在载套上，放入安装在升降台上的载套座中，载套座内装有无内圈的滚针轴承，滚针轴承支撑载套既可以旋转又可以上下移动。载套与滚针轴承配合，保证载套底面与抛光盘平行，当工件的下表面，亦即磨削面偏离抛光盘的平行面时，此结构能够给予有效修正，防止工件磨偏，可很好地控制工件的平行度；摇动手柄，通过丝杠与螺母带动升降台上下移动，控制载套的上部凸缘与载套座的上表面的距离，可以有效控制工件的研磨厚度，也可防止工件被磨过或磨尽；抛光盘旋转时由摩擦力带动工件旋转，在研磨剂的参与下实现对工件的研磨，由于研磨过程中工件变薄，载套下移，当下移量与载套的上部凸缘与载套座的上表面的距离相同时，载套的凸缘与载套座的上表面接触，载套停止下移，可以有效地控制研磨工件的厚度；通过更换砝码，可以有效地控制研磨时的压力，可以有效地控制研磨效率。多立柱结构可以提高工作过程的平稳性。

本实用新型的优点在于以下几点：通过工件固定调节装置中各零部件的有机配合，既可以控制晶片的研磨厚度，又可以保证晶片平行度，防止样品磨偏，还代替了人手持工件的的操作，降低了工人的劳动强度又调高了加工效率与工件的研磨质量。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

其中的附图标记为：底座1、精密丝杠2、电机3、配重块4、钢丝绳5、机架6、抛光盘7、工件8、载套9、丝杠螺母10、升降台11、载套座12、砝码13、手柄14、滑轮机构15、横梁16、立柱17、直线轴承18、集尘管19、转轴20、从动带轮21、V形带22、吊环23、滚针轴承24、主动带轮25。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作出进一步说明：

一种晶体平面精密研磨抛光机，其中：包括底座1、精密丝杠2、电机3、配重块4、钢丝绳5、机架6、抛光盘7、工件8、载套9、丝杠螺母10、升降台11、载套座12、砝码13、手柄14、滑轮机构15、横梁16、立柱17、直线轴承18、集尘管19、转轴20、从动带轮21、V形带22、吊环23、滚针轴承24和主动带轮25，所述的底座1固定安装在机架6的底面上，所述的电机3固定安装在机架6内，所述的主动带轮25固定安装在电机3输出轴上，所述的从动带轮21固定安装在转轴20上，所述的转轴20通过轴承安装在机架6内，所述的V形带22安装在从动带轮21和主动带轮25上，所述的抛光盘7固定安装在转轴20的顶面上，所述的集尘管19安装在机架6上的安装孔里，所述的精密丝杠2底部固定安装在底座1上的安装孔里，所述的精密丝杠2的顶端安装在横梁16上的安装孔里，所述的手柄14固定安装在精密丝杠2的顶端，所述的丝杠螺母10安装在精密丝杠2上且丝杠螺母10固定安装在升降台11上的安装孔里，所述的配重块4通过钢丝绳5安装在滑轮机构15上，所述的滑轮机构15安装在横梁16上，所述的吊环23安装在升降台11的顶面上且吊环23安装在滑轮机构15上，所述的工件8安装在载套9的底面上，所述的载套9通过滚针轴承24安装在载套座12上，所述的载套座12安装在升降台11上的安装孔里，所述的砝码13安装在载套9内，所述的立柱17底部安装在底座1上的安装孔里，所述的立柱17顶端安装在横梁16上的安装孔里，所述的升降台11左端通过直线轴承18安装在立柱17上。

实施例中，横梁16的底面上安装有两套滑轮机构15。

实施例中，升降台11上沿圆周方向均匀分布有6个或8个载套座12。

实施例中，工件8粘接在载套9的底面上。

以上仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，应视为本实用新型的保护范围。

Claims (4)

1.一种晶体平面精密研磨抛光机，其特征在于：包括底座(1)、精密丝杠(2)、电机(3)、配重块(4)、钢丝绳(5)、机架(6)、抛光盘(7)、工件(8)、载套(9)、丝杠螺母(10)、升降台(11)、载套座(12)、砝码(13)、手柄(14)、滑轮机构(15)、横梁(16)、立柱(17)、直线轴承(18)、集尘管(19)、转轴(20)、从动带轮(21)、V形带(22)、吊环(23)、滚针轴承(24)和主动带轮(25)，所述的底座(1)固定安装在机架(6)的底面上，所述的电机(3)固定安装在机架(6)内，所述的主动带轮(25)固定安装在电机(3)输出轴上，所述的从动带轮(21)固定安装在转轴(20)上，所述的转轴(20)通过轴承安装在机架(6)内，所述的V形带(22)安装在从动带轮(21)和主动带轮(25)上，所述的抛光盘(7)固定安装在转轴(20)的顶面上，所述的集尘管(19)安装在机架(6)上的安装孔里，所述的精密丝杠(2)底部固定安装在底座(1)上的安装孔里，所述的精密丝杠(2)的顶端安装在横梁(16)上的安装孔里，所述的手柄(14)固定安装在精密丝杠(2)的顶端，所述的丝杠螺母(10)安装在精密丝杠(2)上且丝杠螺母(10)固定安装在升降台(11)上的安装孔里，所述的配重块(4)通过钢丝绳(5)安装在滑轮机构(15)上，所述的滑轮机构(15)安装在横梁(16)上，所述的吊环(23)安装在升降台(11)的顶面上且吊环(23)安装在滑轮机构(15)上，所述的工件(8)安装在载套(9)的底面上，所述的载套(9)通过滚针轴承(24)安装在载套座(12)上，所述的载套座(12)安装在升降台(11)上的安装孔里，所述的砝码(13)安装在载套(9)内，所述的立柱(17)底部安装在底座(1)上的安装孔里，所述的立柱(17)顶端安装在横梁(16)上的安装孔里，所述的升降台(11)左端通过直线轴承(18)安装在立柱(17)上。

2.根据权利要求1所述的一种晶体平面精密研磨抛光机，其特征在于：所述的横梁(16)的底面上安装有两套滑轮机构(15)。

3.根据权利要求1所述的一种晶体平面精密研磨抛光机，其特征在于：所述的升降台(11)上沿圆周方向均匀分布有6个或8个载套座(12)。

4.根据权利要求1所述的一种晶体平面精密研磨抛光机，其特征在于：所述的工件(8)粘接在载套(9)的底面上。