CN207578155U - 一种碳化硅加工用晶棒研磨装置 - Google Patents
一种碳化硅加工用晶棒研磨装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN207578155U CN207578155U CN201720790312.6U CN201720790312U CN207578155U CN 207578155 U CN207578155 U CN 207578155U CN 201720790312 U CN201720790312 U CN 201720790312U CN 207578155 U CN207578155 U CN 207578155U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- grinding
- crystal bar
- mold
- fixedly connected
- silicon carbide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种碳化硅加工用晶棒研磨装置，包括研磨模具和机架，所述机架的两侧固定连接于侧板的底部，所述侧板的内侧固定连接于导柱的一端，所述导柱的另一端滑动套接于导套的内腔中，所述导套固定连接于研磨模具的外侧，所述研磨模具与侧板之间还安装有第二气缸，所述机架的两端固定连接于龙门架的底部，所述龙门架上固定连接有第一气缸，所述第一气缸的伸缩端通过转轴转动连接有夹座，所述夹座内夹持固定有待研磨的晶棒。本实用新型通过弹簧可以逐渐增加研磨模具对晶棒的研磨厚度，通过控制研磨模具的内径可以精确的控制晶棒的研磨精度，晶棒的研磨精度和研磨效率大大提高。
Description
技术领域
本实用新型属于碳化硅加工装置技术领域，具体涉及一种碳化硅加工用晶棒研磨装置。
背景技术
碳化硅，是刚玉宝石中除红色的红宝石之外，其它颜色刚玉宝石的通称，主要成分是氧化铝(Al2O3)，碳化硅具有高声速、高硬度、高强度、耐高温、抗腐蚀性、光学穿透带宽、绝缘性好等优良性能，因而被大量用在光学元件、红外装置及光罩材料上，是光电领域内一种重要的基础性材料。在晶棒成型之后首先要对晶棒表面进行抛光研磨，现有晶棒研磨设备研磨精度难以控制，导致晶棒损耗增加，研磨效率低。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种碳化硅加工用晶棒研磨装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅加工用晶棒研磨装置，包括研磨模具和机架，所述机架的两侧固定连接于侧板的底部，所述侧板的内侧固定连接于导柱的一端，所述导柱的另一端滑动套接于导套的内腔中，所述导套固定连接于研磨模具的外侧，所述研磨模具与侧板之间还安装有第二气缸，所述机架的两端固定连接于龙门架的底部，所述龙门架上固定连接有第一气缸，所述第一气缸的伸缩端通过转轴转动连接有夹座，所述夹座内夹持固定有待研磨的晶棒。
优选的，所述导套的内腔中安装有弹簧。
优选的，所述研磨模具呈半环形结构，并相对设置，所述研磨模具的内壁上固定连接有一层研磨层，且相对设置的研磨模具的边缘设置有彼此相互配合的定位销和定位孔。
优选的，其中一个所述夹座上的转轴的一端连接于电机的输出轴。
优选的，所述晶棒位于研磨模具合模时的圆心处。
优选的，所述机架上安装有收集槽，所述收集槽位于研磨模具的正下方。
本实用新型的技术效果和优点：该碳化硅加工用晶棒研磨装置，通过弹簧可以推动导套，进而将研磨模具向晶棒推动，逐渐增加研磨的厚度，当研磨模具通过定位销和定位孔完成合模时，经过研磨后的晶棒的直径和研磨模具合模 时形成的内径相同，完成研磨，通过控制研磨模具的内径可以精确的控制晶棒的研磨精度，晶棒的研磨精度和研磨效率大大提高。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的侧视构示意图；
图3为本实用新型的图1中A处放大结构示意图。
图中：1研磨模具、101定位销、102定位孔、2第一气缸、3龙门架、4晶棒、5转轴、6导套、7导柱、8弹簧、9收集槽、10机架、11第二气缸、12侧板、13研磨层、14电机、15夹座。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型提供了如图1-3所示的一种碳化硅加工用晶棒研磨装置，包括研磨模具1和机架10，所述机架10的两侧固定连接于侧板12的底部，所述侧板12的内侧固定连接于导柱7的一端，所述导柱7的另一端滑动套接于导套6的内腔中，所述导套6固定连接于研磨模具1的外侧，所述研磨模具1与侧板12之间还安装有第二气缸11，所述机架10的两端固定连接于龙门架3的底部，所述龙门架3上固定连接有第一气缸2，所述第一气缸2的伸缩端通过转轴5转动连接有夹座15，所述夹座15内夹持固定有待研磨的晶棒4。
进一步的，所述导套6的内腔中安装有弹簧8，通过弹簧8可以推动导套6，进而将研磨模具1向晶棒4推动，在弹簧8的推力作用下，逐渐增加研磨的厚度，完成研磨。
进一步的，所述研磨模具1呈半环形结构，并相对设置，所述研磨模具1的内壁上固定连接有一层研磨层13，且相对设置的研磨模具1的边缘设置有彼此相互配合的定位销101和定位孔102，通过研磨层13对晶棒4的表面进行研磨，当研磨模具1通过定位销101和定位孔102完成合模时，晶棒4研磨完成，并且，晶棒4的直径和研磨模具1合模时形成的内径相同，因此，通过控制研磨模具1的内径可以精确的控制晶棒4的研磨精度。
进一步的，其中一个所述夹座15上的转轴5的一端连接于电机14的输出轴，通过电机14带动夹持晶棒4的夹座15进行转动，与研磨模具1内壁上的研磨层13相互作用进行晶棒4研磨。
进一步的，所述晶棒4位于研磨模具1合模时的圆心处，有效控制晶棒4的研磨精度。
进一步的，所述机架10上安装有收集槽9，所述收集槽9位于研磨模具1的正下方，研磨晶棒4时产生的粉末和研磨液通过左右研磨模具1之间的接缝处落入收集槽9中，防止研磨液污染。
具体的，使用时，在第二气缸11收缩，研磨模具1相互分离，将晶棒4加持固定在夹座15上，通过第一气缸2将晶棒4送入研磨模具1之间，然后取消第二气缸11的收缩状态，并变成自由伸缩状态，打开电机14带动晶棒4旋转，通过弹簧8可以推动导套6，进而将研磨模具1向晶棒4推动，逐渐增加研磨的厚度，当研磨模具1通过定位销101和定位孔102完成合模时，经过研磨后的晶棒4的直径和研磨模具1合模时形成的内径相同，完成研磨，通过控制研磨模具1的内径可以精确的控制晶棒4的研磨精度，晶棒4的研磨精度和研磨效率大大提高。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种碳化硅加工用晶棒研磨装置，包括研磨模具(1)和机架(10)，其特征在于：所述机架(10)的两侧固定连接于侧板(12)的底部，所述侧板(12)的内侧固定连接于导柱(7)的一端，所述导柱(7)的另一端滑动套接于导套(6)的内腔中，所述导套(6)固定连接于研磨模具(1)的外侧，所述研磨模具(1)与侧板(12)之间还安装有第二气缸(11)，所述机架(10)的两端固定连接于龙门架(3)的底部，所述龙门架(3)上固定连接有第一气缸(2)，所述第一气缸(2)的伸缩端通过转轴(5)转动连接有夹座(15)，所述夹座(15)内夹持固定有待研磨的晶棒(4)。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅加工用晶棒研磨装置，其特征在于：所述导套(6)的内腔中安装有弹簧(8)。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅加工用晶棒研磨装置，其特征在于：所述研磨模具(1)呈半环形结构，并相对设置，所述研磨模具(1)的内壁上固定连接有一层研磨层(13)，且相对设置的研磨模具(1)的边缘设置有彼此相互配合的定位销(101)和定位孔(102)。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅加工用晶棒研磨装置，其特征在于：其中一个所述夹座(15)上的转轴(5)的一端连接于电机(14)的输出轴。
5.根据权利要求1所述的一种碳化硅加工用晶棒研磨装置，其特征在于：所述晶棒(4)位于研磨模具(1)合模时的圆心处。
6.根据权利要求1所述的一种碳化硅加工用晶棒研磨装置，其特征在于：所述机架(10)上安装有收集槽(9)，所述收集槽(9)位于研磨模具(1)的正下方。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720790312.6U CN207578155U (zh) | 2017-07-03 | 2017-07-03 | 一种碳化硅加工用晶棒研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720790312.6U CN207578155U (zh) | 2017-07-03 | 2017-07-03 | 一种碳化硅加工用晶棒研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207578155U true CN207578155U (zh) | 2018-07-06 |
Family
ID=62717555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201720790312.6U Active CN207578155U (zh) | 2017-07-03 | 2017-07-03 | 一种碳化硅加工用晶棒研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN207578155U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109333334A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-02-15 | 郑州大学 | 一种圆柱形旋转弯曲疲劳试样用轴向研磨机 |
-
2017
- 2017-07-03 CN CN201720790312.6U patent/CN207578155U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109333334A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-02-15 | 郑州大学 | 一种圆柱形旋转弯曲疲劳试样用轴向研磨机 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107443248A (zh) | 一种间距可调型玻璃夹紧装置 | |
| CN105252370A (zh) | 玻璃磨边装置 | |
| CN205950450U (zh) | 一种基于光学工程的主动平移式双面抛光机 | |
| CN111702627A (zh) | 一种机械零件打磨设备 | |
| CN207578155U (zh) | 一种碳化硅加工用晶棒研磨装置 | |
| CN213998899U (zh) | 一种不锈钢加工的自动砂光线 | |
| CN113751158A (zh) | 一种用于生物实验室的材料研磨装置及研磨方法 | |
| CN105710746B (zh) | 一种光纤准直器球面透镜全自动研磨设备 | |
| CN206373782U (zh) | 一种全自动玻璃磨边机 | |
| CN210413918U (zh) | 一种眼镜片修边用砂轮打磨装置 | |
| CN205166585U (zh) | 玻璃磨边装置 | |
| CN210203564U (zh) | 一种多功能鞋底加工设备 | |
| CN207206149U (zh) | 全自动一出一插芯研磨机 | |
| CN203156571U (zh) | 一种新型平面磨床冷却系统 | |
| CN204893091U (zh) | 金刚石锯片全自动开刃机的锯片旋转及双面磨削机构 | |
| CN205600501U (zh) | 一种夹持稳定的光纤研磨机 | |
| CN210703997U (zh) | 一种用于冰晶粒子模型制作的边缘打磨装置 | |
| CN113752034A (zh) | 一种螺纹柱加工用具有热熔性能的塑性装置 | |
| CN210550319U (zh) | 一种保温杯生产用抛光设备 | |
| CN209902917U (zh) | 一种用于研磨机的研磨机构 | |
| CN109129077B (zh) | 一种玻璃表面打磨装置 | |
| CN106392806A (zh) | 一种智能定位的机械加工用抛光打磨装置 | |
| CN208084005U (zh) | 玻璃板倒角机 | |
| CN107020557A (zh) | 一种镜片磨边机 | |
| CN207788551U (zh) | 一种生产泵的模具的打磨装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | "change of name, title or address" | ||
| CP03 | "change of name, title or address" |
Address after: No.99, Tianyue South Road, Huaiyin District, Jinan City, Shandong Province Patentee after: Shandong Tianyue advanced technology Co., Ltd Address before: 250100 AB Block 1106-6-01, Century Fortune Center, West Side of Xinyu Road, Jinan High-tech Zone, Shandong Province Patentee before: Shandong Tianyue Advanced Materials Technology Co.,Ltd. |