CN207430609U - 一种可自动滴液的匀胶机 - Google Patents
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Abstract
一种可自动滴液的匀胶机，主要包括支架，吹风机，活塞，伸缩杆，滴液口，控制面板，导线，电源，控制器，匀胶机，底座，滴液瓶，螺栓；通过伸缩杆与滴液瓶以及吹风机三者在匀胶机上的循环应用，使得工作人员在进行涂膜工作时，可以不必取下试样晾干，可以在匀胶机上进行烘干处理后直接进行循环涂膜；通过控制器调节伸缩杆每次向下移动一定的距离，进行自动定量的滴加溶液，不会因为工作人员的手动滴液使得每次滴加的溶液体积不等，还可以通过调整支架位置使溶液每次都滴加在试样正中心位置，使工作人员进行涂膜工作时更加快速便捷，同时也能保证薄膜表面的清洁度和均匀度。
Description
技术领域
本实用新型涉及共还原法制备薄膜的实验设备，主要涉及一种可自动滴液的匀胶机。
背景技术
匀胶机是半导体薄膜制造工艺中关键性的一个设备，其工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。但现在实验室的匀胶机存在的最大问题就是需要手动滴液，工作效率慢且工作准确度差，这样很容易造成薄膜表面的不均匀，甚至因为工作人员的操作不当造成试样的浪费；且由于半导体涂膜过程中使用的前驱体溶液大部分都有毒，手动滴液稍有不慎会对工作人员身体造成极大的危害。故本实用新型设计出一种用于匀胶机上的可自动滴液的装置。
发明内容
一种可自动滴液的匀胶机，主要包括支架，吹风机，活塞，伸缩杆，滴液口，控制面板，导线，电源，控制器，匀胶机，底座，滴液瓶，螺栓；其主要特征在于：底座与支架固定连接；吹风机安装在支架上，并与控制面板通过导线相连接；控制面板通过导线分别与匀胶机、电源和控制器相连接；伸缩杆固定连接在支架上，并与活塞通过螺栓相连接；支架上设置有圆孔，滴液瓶安放在圆孔中，滴液瓶下方设置有滴液口；伸缩杆与控制器通过导线相连接；控制器通过导线分别与匀胶机和电源相连接；整套装置放置在匀胶机正上方。
工作时，将试样放置在匀胶机上，打开匀胶机使试样吸附在匀胶机上，打开电源开关，伸缩杆开始向下移动，带动活塞向下移动并将溶液通过滴液口从滴液瓶中滴下，通过控制器控制伸缩杆向下移动一定的距离，启动匀胶机开始工作；一段时间后，匀胶机停止工作并将信号传递给控制面板，通过控制面板控制吹风机工作一定的时间，吹风机工作结束后控制面板将信号传递给控制器，通过控制器控制伸缩杆工作，进行二次涂膜。当工作完成后可将滴液瓶取下进行清洗以便下一次使用。
一种可自动滴液的匀胶机，通过伸缩杆与滴液瓶以及吹风机三者在匀胶机上的循环应用，使得工作人员在进行涂膜工作时，可以不必取下试样晾干，可以在匀胶机上进行烘干处理后直接进行循环涂膜；通过控制器调节伸缩杆每次向下移动一定的距离，进行自动定量的滴加溶液，不会因为工作人员的手动滴液使得每次滴加的溶液体积不等，还可以通过调整支架位置使溶液每次都滴加在试样正中心位置，使工作人员进行涂膜工作时更加快速便捷，同时也能保证薄膜表面的清洁度和均匀度。
附图说明：
图1是一种可自动滴液的匀胶机的主视图。
图中1是支架，2是吹风机，3是活塞，4是伸缩杆，5是滴液口，6是控制面板，7是导线，8是电源，9是控制器，10是匀胶机，11是底座，12是滴液瓶，13是螺栓。
具体实施方式：
一种可自动滴液的匀胶机，主要包括支架，吹风机，活塞，伸缩杆，滴液口，控制面板，导线，电源，控制器，匀胶机，底座，滴液瓶，螺栓；其主要特征在于：底座与支架固定连接；吹风机安装在支架上，并与控制面板通过导线相连接；控制面板通过导线分别与匀胶机、电源和控制器相连接；伸缩杆固定连接在支架上，并与活塞通过螺栓相连接；支架上设置有圆孔，滴液瓶安放在圆孔中，滴液瓶下方设置有滴液口；伸缩杆与控制器通过导线相连接；控制器通过导线分别与匀胶机和电源相连接；整套装置放置在匀胶机正上方。
工作时，将试样放置在匀胶机上，打开匀胶机使试样吸附在匀胶机上，打开电源开关，伸缩杆开始向下移动，带动活塞向下移动并将溶液通过滴液口从滴液瓶中滴下，通过控制器控制伸缩杆向下移动一定的距离，启动匀胶机开始工作；一段时间后，匀胶机停止工作并将信号传递给控制面板，通过控制面板控制吹风机工作一定的时间，吹风机工作结束后控制面板将信号传递给控制器，通过控制器控制伸缩杆工作，进行二次涂膜。当工作完成后可将滴液瓶取下进行清洗以便下一次使用。
Claims (1)
1.一种可自动滴液的匀胶机，主要包括支架，吹风机，活塞，伸缩杆，滴液口，控制面板，导线，电源，控制器，匀胶机，底座，滴液瓶，螺栓；其主要特征在于：底座与支架固定连接；吹风机安装在支架上，并与控制面板通过导线相连接；控制面板通过导线分别与匀胶机、电源和控制器相连接；伸缩杆固定连接在支架上，并与活塞通过螺栓相连接；支架上设置有圆孔，滴液瓶安放在圆孔中，滴液瓶下方设置有滴液口；伸缩杆与控制器通过导线相连接；控制器通过导线分别与匀胶机和电源相连接；整套装置放置在匀胶机正上方。
Priority Applications (1)
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| CN201721478292.5U CN207430609U (zh) | 2017-11-08 | 2017-11-08 | 一种可自动滴液的匀胶机 |
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| CN201721478292.5U CN207430609U (zh) | 2017-11-08 | 2017-11-08 | 一种可自动滴液的匀胶机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207430609U true CN207430609U (zh) | 2018-06-01 |
Family
ID=62292252
Family Applications (1)
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| CN201721478292.5U Expired - Fee Related CN207430609U (zh) | 2017-11-08 | 2017-11-08 | 一种可自动滴液的匀胶机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN207430609U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111399399A (zh) * | 2020-04-28 | 2020-07-10 | 昆山德恩基电子科技有限公司 | 一种自动滴液机 |
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2017
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111399399A (zh) * | 2020-04-28 | 2020-07-10 | 昆山德恩基电子科技有限公司 | 一种自动滴液机 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20180601 Termination date: 20181108 |
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