CN207325414U - 一种酸洗硅料的设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种酸洗硅料的设备，包括硅料处理装置、导轨和悬臂吊具，其中，硅料处理装置包括预冲洗装置、酸洗装置、纯水装置、超声波装置和干燥装置，待清洗的硅料依次经过预冲洗装置、酸洗装置、纯水装置、超声波装置和干燥装置，实现对待清洗硅料的清洗。本申请中的导轨依次连接预冲洗装置、酸洗装置、纯水装置、超声波装置和干燥装置，并在导轨上设置可沿导轨移动的悬臂吊具，该悬臂吊具用于悬挂硅料，在导轨上移动实现对硅料的运输，不需要操作者搬运，从而降低了操作者的劳动强度。

Description

一种酸洗硅料的设备

技术领域

本实用新型涉及半导体材料技术领域，具体的说，涉及一种酸洗硅料的设备。

背景技术

高纯硅料是半导体和太阳能行业的基础原料，在使用前需要对其表面进行清洗，此外在各自的生产过程中产生的边角料也需要清洗再作为原料回炉。清洗共分为多个工序，常规的清洗使用氢氟酸和硝酸的混合溶液，大部分为人工将需要清洗的原料通过搬运至各个清洗工位进行清洗，导致劳动者的劳动强度大。

因此，如何提供一种酸洗硅料的设备，降低操作者的劳动强度，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种酸洗硅料的设备，降低操作者的劳动强度。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种酸洗硅料的设备，其包括：

硅料处理装置，所述硅料处理装置包括：预冲洗装置，所述预冲洗装置用于对硅料进行预冲洗；酸洗装置，所述酸洗装置用于对预冲洗后的硅料进行酸洗；纯水装置，所述纯水装置用于对酸洗后的硅料进行纯水清洗；超声波装置，所述超声波装置用于对纯水清洗后的硅料进行超声波清洗；干燥装置，所述干燥装置用于对超声波清洗后的硅料进行干燥；

导轨，所述导轨依次连接所述硅料处理装置的预冲洗装置、酸洗装置、纯水装置、超声波装置和干燥装置；

用于悬挂硅料的悬臂吊具，所述悬臂吊具可沿所述导轨移动且能够使所述硅料进入所述硅料处理装置。

优选地，上述的设备中，所述预冲洗装置、所述酸洗装置、所述纯水装置、所述超声波装置、所述干燥装置和所述导轨均集成在同一工作台上。

优选地，上述的设备中，所述酸洗装置的酸性清洗液为氢氟酸和硝酸的混合溶液。

优选地，上述的设备中，所述工作台上还设置有对所述酸性清洗液进行配比的配比装置。

优选地，上述的设备中，所述悬臂吊具通过丝杠与所述导轨连接，所述悬臂吊具可沿所述丝杠的轴线方向移动以调节硅料与所述硅料处理装置的距离。

优选地，上述的设备中，所述干燥装置为加热烘干机。

优选地，上述的设备中，所述干燥装置的加热温度为50℃-100℃。

经由上述的技术方案可知，本实用新型公开了一种酸洗硅料的设备，包括硅料处理装置、导轨和悬臂吊具，其中，硅料处理装置包括预冲洗装置、酸洗装置、纯水装置、超声波装置和干燥装置，待清洗的硅料依次经过预冲洗装置、酸洗装置、纯水装置、超声波装置和干燥装置，实现对待清洗硅料的清洗。本申请中的导轨依次连接预冲洗装置、酸洗装置、纯水装置、超声波装置和干燥装置，并在导轨上设置可沿导轨移动的悬臂吊具，该悬臂吊具用于悬挂硅料，在导轨上移动实现对硅料的运输，不需要操作者搬运，从而降低了操作者的劳动强度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的酸洗硅料的设备的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型的核心是提供一种酸洗硅料的设备，降低操作者的劳动强度。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，本实用新型公开了一种酸洗硅料的设备，包括硅料处理装置、导轨1和悬臂吊具2，其中，硅料处理装置包括预冲洗装置3、酸洗装置4、纯水装置5、超声波装置6和干燥装置7，待清洗的硅料依次经过预冲洗装置3、酸洗装置4、纯水装置5、超声波装置6和干燥装置7，实现对待清洗硅料的清洗。本申请中的导轨1依次连接预冲洗装置3、酸洗装置4、纯水装置5、超声波装置6和干燥装置7，并在导轨1上设置可沿导轨1移动的悬臂吊具2，该悬臂吊具2用于悬挂硅料，在导轨1上移动实现对硅料的运输，不需要操作者搬运，从而降低了操作者的劳动强度。

本申请中预冲洗装置3、酸洗装置4、纯水装置5、超声波装置6、干燥装置7和导轨1均集成在同一工作台上，每个工序由一个工位对应的装置完成，所有的装置按照工艺顺序依次排列，人工只负责上料和下料，中间所有的工序全部由计算机控制自动完成，以实现自动化处理，进一步减低操作者的劳动强度。对应自动化部分可通过设置在导轨1上对应不同工艺装置(预冲洗装置3、酸洗装置4、纯水装置5、超声波装置6和干燥装置7)行程开关和控制器实现。具体地，当悬臂吊具2运行到预冲洗装置3工位时，行程开关被触发，控制器控制悬臂吊具2停止运行，并将悬挂的硅料伸入到预冲洗装置3并启动预冲洗装置3进行预冲洗，完成预冲洗，然后控制器重新启动悬臂吊具2继续运行至酸洗装置，对于后续工位的控制过程与预冲洗装置3的控制过程相同，在此不做详细说明。

将硅料清洗的各个工序由原来的人工分散操作，整合到一台自动化程度高的设备中，不但节省大量人力，降低酸洗操作时的人身安全风险，同时有效进行标准化作业，还可以减少各环节的浪费问题。人工只负责上料和下料，中间环节全部由机器完成操作节省人工。

本申请中的酸洗装置的酸性清洗液为氢氟酸和硝酸的混合溶液。为了降低对操作者的影响，优选的，在工作台上还设置有对酸性清洗液进行配比的配比装置。

人工清洗不利益标准化的操作，人工清洗时要靠感觉判定清洗的时间，清洗时间存在很大的差异，为了将硅料清洗干净有时清洗时间特别长，混酸和硅料的反应剧烈，长时间清洗造成不必要的浪费，自动化清洗可以有效控制清洗的时间，节约成本。

本申请中的悬臂吊具2通过丝杠与导轨1连接，并且悬臂吊具2可沿丝杠的轴线方向移动以调节硅料与硅料处理装置的距离。具体地，悬臂吊具2沿导轨1的移动可为前后移动，即从上一个工位移动到下一个工位，还可实现上下移动，以将硅料放入各个工位并取出。

本申请中的干燥装置7为加热烘干机，采用加热烘干机对硅料进行加热干燥，此处仅提供了一种具体的干燥方式，在实际中也可采用其他干燥方式，例如干燥剂。

对于干燥装置7的加热温度为50℃-100℃。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (7)

1.一种酸洗硅料的设备，其特征在于，包括：

硅料处理装置，所述硅料处理装置包括：预冲洗装置(3)，所述预冲洗装置(3)用于对硅料进行预冲洗；酸洗装置(4)，所述酸洗装置(4)用于对预冲洗后的硅料进行酸洗；纯水装置(5)，所述纯水装置(5)用于对酸洗后的硅料进行纯水清洗；超声波装置(6)，所述超声波装置(6)用于对纯水清洗后的硅料进行超声波清洗；干燥装置(7)，所述干燥装置(7)用于对超声波清洗后的硅料进行干燥；

导轨(1)，所述导轨(1)依次连接所述硅料处理装置的预冲洗装置(3)、酸洗装置(4)、纯水装置(5)、超声波装置(6)和干燥装置(7)；

用于悬挂硅料的悬臂吊具(2)，所述悬臂吊具(2)可沿所述导轨(1)移动且能够使所述硅料进入所述硅料处理装置。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述预冲洗装置(3)、所述酸洗装置(4)、所述纯水装置(5)、所述超声波装置(6)、所述干燥装置(7)和所述导轨(1)均集成在同一工作台上。

3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述酸洗装置(4)的酸性清洗液为氢氟酸和硝酸的混合溶液。

4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述工作台上还设置有对所述酸性清洗液进行配比的配比装置。

5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述悬臂吊具(2)通过丝杠与所述导轨(1)连接，所述悬臂吊具(2)可沿所述丝杠的轴线方向移动以调节硅料与所述硅料处理装置的距离。

6.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述干燥装置(7)为加热烘干机。

7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述干燥装置(7)的加热温度为50℃-100℃。