CN207129665U - 玻璃基板搬运装置 - Google Patents
玻璃基板搬运装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN207129665U CN207129665U CN201720637485.4U CN201720637485U CN207129665U CN 207129665 U CN207129665 U CN 207129665U CN 201720637485 U CN201720637485 U CN 201720637485U CN 207129665 U CN207129665 U CN 207129665U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- module
- mechanical arm
- sensing module
- glass substrate
- base plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 99
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 62
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 13
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 238000013467 fragmentation Methods 0.000 description 1
- 238000006062 fragmentation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001727 in vivo Methods 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Controlling Sheets Or Webs (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型公开一种玻璃基板搬运装置，包括卡匣及机械手臂，其特征在于，所述机械手臂上安装有一位置检知模块，用以检知玻璃基板相对于基准点的位置偏移量及偏移角度，该位置检知模块具有：第一位置感测模块；第二位置感测模块，与所述第一位置感测模块配合，用以侦测玻璃基板的第一边缘相对于基准点的位置偏移量及偏移角度；第三位置感测模块，与所述第一位置感测模块/所述第二位置感测模块配合，用以侦测所述玻璃基板的第二边缘相对于基准点的位置偏移量及偏移角度。解决现有玻璃基板传送过程中，对卡匣内的玻璃基板进行取放片时，需外部支撑机构辅助取片及辅助作业使工序复杂的问题，从而缩短玻璃基板的移送时间，增加生产效率，提高产能。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种玻璃基板搬运装置，尤其涉及一种自动检知位置偏移量及偏移角度的玻璃基板搬运装置。
背景技术
在液晶面板的制造过程中，用于制造这些面板的玻璃基板一般会在多个工艺设备之间转运以完成多种工艺处理。为了便于运输、管理和提高搬运的效率，现有技术一般采用卡匣承载多张玻璃基板或显示面板来实现搬运。随着显示技术的发展，液晶面板的玻璃基板尺寸逐渐向大尺寸发展，玻璃基板的厚度也越来越薄，对卡匣搬运及玻璃基板搬送系统的稳定性要求越来越高。
例如在液晶面板生产的过程中，在玻璃基板采用卡匣进行运输时，若玻璃基板位置在卡匣内发生较大偏移，那么在机械手臂取片时，由于玻璃偏移较大，造成机械手臂取片过程中与卡匣发生干涉破片；另一方面，对于无校正动作的机械手臂，机械手臂将偏移的玻璃移送至工艺设备入口的承载机构中，使得初始放片位置偏移，经常导致工艺设备发生破片或者制程异常，如产品镀膜偏移，造成制造产能较大损失。
专利号：CN 202138781 U有公开一种自动校正玻璃位置的装置，其在卡匣的顶部设置有一缓存体，并在缓存体内增加带有滚珠的支撑，避免划伤。即利用卡匣上方增加多个Clamp(卡夹)的硬件定位机构，利用一般侦测原理，将偏移的玻璃信息传递给机械手臂，然后由机械手臂从卡匣中将偏移的玻璃取出，放在缓存体中，进行Clamp(卡夹)定位，最后，再由机械手臂将缓存体中的玻璃取出放入工艺设备中，由于上述校正过程分成三部分硬件完成，严重影响了工艺设备的生产节拍(tact time)。而且，在卡匣的顶部设置有一缓存体需要对每个卡匣本体进行硬件改造，工程量较大，成本较高，实现困难。
本发明的主要目的在于缩短玻璃基板的移送时间，以增加生产效率，提高产能。
实用新型内容
鉴于上述问题，本实用新型提供一种玻璃基板搬运装置，以解决现有玻璃基板传送过程中，对包装箱内的玻璃基板进行取放片时，需外部支撑机构辅助支撑取片及辅助作业工序复杂的问题。
为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：本实用新型实施例提供了一种玻璃基板搬运装置，包括卡匣及机械手臂，所述机械手臂上安装有一位置检知模块，用以检知玻璃基板相对于基准点的位置偏移量及偏移角度，所述位置检知模块具有：
第一位置感测模块；
第二位置感测模块，与所述第一位置感测模块配合，用以侦测玻璃基板的第一边缘相对于基准点的位置偏移量及偏移角度；
第三位置感测模块，与所述第一位置感测模块/所述第二位置感测模块配合，用以侦测玻璃基板的第二边缘相对于基准点的位置偏移量及偏移角度。
优选地，所述机械手臂上还安装有控制模块，与所述位置检知模块相连，根据侦测到的位置偏移量及偏移角度计算出所述机械手臂所需的补偿量。
优选地，所述机械手臂上还安装有角度限制模块，根据所述第一位置感测模块/所述第二位置感测模块侦测到的位置偏移量及偏移角度，限制所述机械手臂取片时的补偿量。
优选地，所述机械手臂上还安装有调整模块，与所述角度限制模块相连，根据所述机械手臂所需补偿量调整所述机械手臂。
优选地所述机械手臂上还安装有报警模块，与所述角度限制模块相连，当所述机械手臂所需补偿量超出限制时报警。
优选地，所述第一位置感测模块、所述第二位置感测模块及所述第三位置感测模块，为一光学传感器。
优选地，所述光学传感器发出多束感应光线。
优选地，所述光学传感器发出的多束感应光线的长度根据不同需求进行调整。
附图说明
图1为本实用新型实施例的玻璃基板搬运装置的俯视图；
图2为本实用新型实施例的玻璃基板搬运装置的各模块示意图；
图3为本实用新型实施例的玻璃基板搬运装置的第一位置感测模块/第二位置感测模块示意图；
图4为本实用新型实施例的玻璃基板搬运装置的第三位置感测模块示意图；
图5为本实用新型实施例的玻璃基板搬运装置的取片示意图1；
图6为本实用新型实施例的玻璃基板搬运装置的取片示意图2；
图7为本实用新型实施例的玻璃基板搬运装置的放片示意图。
其中：1、卡匣；2、玻璃基板；3、机械手臂；31、机械手臂本体；32、叉齿；40、位置检知模块；41、第一感测模块；42、第二感测模块；43、第三感测模块；50、控制模块；60、调整模块；70、角度限制模块；80、报警模块；A、第一边缘；B、第二边缘。
具体实施方式
为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对本实用新型的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。
图1为本实用新型实施例的玻璃基板搬运装置的俯视图，包括卡匣1及机械手臂3，卡匣1内层叠的装有玻璃基板2，每个玻璃基板2上下距离固定，以可容纳机械手臂3插入搬运为宜；机械手臂3包括机械手臂本体31及向前伸出的叉齿32，机械手臂3的叉齿32上安装有一位置检知模块40，用以检知玻璃基板2相对于基准点的位置偏移量及偏移角度。所述的位置检知模块40包括第一位置感测模块41；第二位置感测模块42，与第一位置感测模块41配合，用以侦测玻璃基板2的第一边缘A相对于该基准点的位置偏移量及偏移角度；第三位置感测模块43，与第一位置感测模块41/第二位置感测模块42配合，用以侦测玻璃基板2的第二边缘B相对于该基准点的位置偏移量及偏移角度。第一位置感测模块41和第二位置感测模块42分别安装在叉齿32靠近机械手臂本体31的一端，另一第三位置感测模块43安装在机械手臂本体31靠近任一叉齿32的旁边。
进一步地，如图2所示，图2为本实用新型实施例的玻璃基板搬运装置的各模块示意图，机械手臂本体31上还安装有控制模块50、调整模块60、角度限制模块70及报警模块80。以取片为例，位置检知模块40侦测到玻璃基板2的位置偏移量及偏移角度后，把信息传递给控制模块50，控制模块50计算得出需要机械手臂3补偿的偏移量及偏移角度，并同时传递给角度限制模块70。设定M为最大的玻璃基板位置偏移量及偏移角度，Q为位置检知模块40第一位置感测模块41和第二位置感测模块42侦测到的玻璃基板2第一边缘A的实际位置偏移量及偏移角度；当Q＜M时，角度限制模块70传出调整信息给调整模块60，调整模块60进行调整，机械手臂3进行补偿偏移；当Q＞M时，角度限制模块70传出停止信号给报警模块80，报警模块80报警并停止机械手臂3运动，工作人员及时做出处理。需要说明的是，放片时，玻璃基板2放置的工作区域为一个开放的区域，所以位置检知模块40侦测到玻璃基板2的位置偏移量及偏移角度后，把信息传递给控制模块50，控制模块50计算得出需要机械手臂3补偿的偏移量及偏移角度，调整模块60调整机械手臂。
进一步地，如图3所示，图3为本实用新型实施例的玻璃基板搬运装置的第一位置感测模块41/第二位置感测模块42示意图。第一位置感测模块41和第二位置感测模块42安装在叉齿靠近机械手臂本体的一端(未示出)，第一位置感测模块41/第二位置感测模块42为一光学传感器，可发出多束感应光线，所述的感应光线不仅可以侦测玻璃基板2的位置偏移量及偏移角度，而且还可以根据不同需求调整光线的长短。图3所示的第一位置感测模块41/第二位置感测模块42以发出3束感应光线为例，以中间感应光线为基准点，当玻璃基板2的第一边缘A与基准点重合时为对齐，当玻璃基板2与基准点错开时，玻璃基板的位置偏移。基准点两边的感应光线可同时精确侦测出前后偏移的量H；以中间感应光线为基准点，可侦测出玻璃基板的偏移角度，因此，第一位置感测模块41配合第二位置感测模块42可用于侦测玻璃基板2第一边缘A的位置偏移量及偏移角度。此外，该第一位置感测模块41/第二位置感测模块42还可以根据不同需求调整光线的长短，当第一位置感测模块41/第二位置感测模块42调整为需要的短光线时，此短光线只可以侦测到需要搬运的玻璃基板2的位置偏移量及偏移角度，避免了在机械手臂3的叉齿32插入卡匣1内时，检测到其它玻璃基板2的位置偏移量及偏移角度，从而错误的调整机械手臂的补偿量，造成损坏；当第一位置感测模块41/第二位置感测模块42调整为需要的长光线时，在机械手臂3的叉齿32插入卡匣1内，该长的感应光线根据光的直线传播原理，可以很好的检测出卡匣1内存在偏移的玻璃基板，及该片玻璃基板2的位置偏移量及偏移角度。
进一步地，如图4所示，图4为本实用新型实施例的玻璃基板搬运装置的第三位置感测模块43示意图。第三位置感测模块43安装在机械手臂本体靠近任一叉齿的旁边(未示出)，第三位置感测模块43为一光学传感器，可发出多束感应光线，所述的感应光线不仅可以侦测玻璃基板2的位置偏移量及偏移角度，而且可以根据不同需求调整光线的长短。图4所示的第三位置感测模块43以发出3束感应光线为例，以中间感应光线为基准点，当玻璃基板2与基准点重合时为对齐，当玻璃基板2与基准点错开时，玻璃基板的位置偏移。基准点两边的感应光线可同时精确侦测出左右偏移的量L；以中间感应光线为基准点，可侦测出玻璃基板的偏移角度，因此，第一位置感测模块41/第二位置感测模块42配合第三位置感测模块43可用于侦测玻璃基板2第二边缘B的位置偏移量及偏移角度。
进一步地，如图5和图6所示，图5和图6为本实用新型实施例的玻璃基板搬运装置的取片示意图。取片时，机械手臂3的叉齿32插入卡匣1内，位置检测模块40的第一位置感测模块41和第二位置感测模块42检测出所需取片的玻璃基板2的偏移量及偏移角度，从而调整机械手臂3的角度，顺利取片。图5为第一位置感测模块41作为基准点，与所取玻璃基板2的边缘A重合；第二位置感测模块42作为基准点，与所取玻璃基板2的边缘A错开，第一位置感测模块41和第二位置感测模块42两个基准点形成一条X轴基准线a，基准线a不能与第一边缘A重合，在满足角度限制的条件下，调整机械手臂3，补偿玻璃基板2的位置偏移量及偏移角度，使基准线a与第一边缘A重合，顺利从卡匣1内取片。图6为第一位置感测模块41作为基准点，与所取玻璃基板2的边缘A错开；第二位置感测模块42作为基准点，与所取玻璃基板2的边缘A错开，第一位置感测模块41和第二位置感测模块42两个基准点形成一条X轴基准线a，基准线a不能与第一边缘A重合，在满足角度限制的条件下，调整机械手臂3，使基准线a与第一边缘A重合，补偿玻璃基板2的位置偏移量及偏移角度，顺利从卡匣1内取片。
进一步地，如图7所示，图7为本实用新型实施例的玻璃基板搬运装置的放片示意图。放片时，机械手臂3的叉齿32上放置有所取的玻璃基板2，此时玻璃基板2经过取片过程第一边缘A与基准线a已重合，第三位置感测模块43作为基准点，与所取玻璃基板2的边缘B错开，第一位置感测模块41/第二位置感测模块42和第三位置感测模块43两个基准点形成一条Y轴基准线b，基准线b不能与第二边缘B重合，调整机械手臂3在放置玻璃基板2时的角度，补偿玻璃基板2第二边缘B的位置偏移量及偏移角度，把玻璃基板2准确地放置于工作区域中，顺利放片。需要说明的是，玻璃基板放置的工作区域为一个开放的区域，所以调整机械手臂时，没有角度限制的需求。
以上是本实用新型的全部内容，在本说明书中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，除了包含所列的那些要素，而且还可包含没有明确列出的其他要素。
在本说明书中，所涉及的前、后、上、下等方位词是以附图中零部件位于图中以及零部件相互之间的位置来定义的，只是为了表达技术方案的清楚及方便。应当理解，所述方位词的使用不应限制本申请请求保护的范围。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种玻璃基板搬运装置，包括卡匣及机械手臂，其特征在于，所述机械手臂上安装有一位置检知模块，用以检知玻璃基板相对于基准点的位置偏移量及偏移角度，所述位置检知模块具有：
第一位置感测模块；
第二位置感测模块，与所述第一位置感测模块配合，用以侦测玻璃基板的第一边缘相对于基准点的位置偏移量及偏移角度；
第三位置感测模块，与所述第一位置感测模块/所述第二位置感测模块配合，用以侦测玻璃基板的第二边缘相对于基准点的位置偏移量及偏移角度。
2.如权利要求1所述的玻璃基板搬运装置，其特征在于，所述机械手臂上还安装有控制模块，与所述位置检知模块相连，根据侦测到的位置偏移量及偏移角度计算出所述机械手臂所需的补偿量。
3.如权利要求1所述的玻璃基板搬运装置，其特征在于，所述机械手臂上还安装有角度限制模块，根据所述第一位置感测模块/所述第二位置感测模块侦测到的位置偏移量及偏移角度，限制所述机械手臂取片时的补偿量。
4.如权利要求3所述的玻璃基板搬运装置，其特征在于，所述机械手臂上还安装有调整模块，与所述角度限制模块相连，根据所述机械手臂所需补偿量调整所述机械手臂。
5.如权利要求3所述的玻璃基板搬运装置，其特征在于，所述机械手臂上还安装有报警模块，与所述角度限制模块相连，当所述机械手臂所需补偿量超出限制时报警。
6.如权利要求1所述的玻璃基板搬运装置，其特征在于，所述第一位置感测模块、所述第二位置感测模块及所述第三位置感测模块，为一光学传感器。
7.如权利要求6所述的玻璃基板搬运装置，其特征在于，所述光学传感器发出多束感应光线。
8.如权利要求7所述的玻璃基板搬运装置，其特征在于，所述光学传感器发出的多束感应光线的长度根据不同需求进行调整。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720637485.4U CN207129665U (zh) | 2017-06-03 | 2017-06-03 | 玻璃基板搬运装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720637485.4U CN207129665U (zh) | 2017-06-03 | 2017-06-03 | 玻璃基板搬运装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207129665U true CN207129665U (zh) | 2018-03-23 |
Family
ID=61631644
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201720637485.4U Active CN207129665U (zh) | 2017-06-03 | 2017-06-03 | 玻璃基板搬运装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN207129665U (zh) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109230534A (zh) * | 2018-09-18 | 2019-01-18 | 东旭集团有限公司 | 定位装置 |
| CN109592413A (zh) * | 2018-12-24 | 2019-04-09 | 惠科股份有限公司 | 一种搬送装置和切割系统 |
| CN110026804A (zh) * | 2019-04-04 | 2019-07-19 | 惠科股份有限公司 | 一种切割机台、用于基板的切割机台及切割方法 |
| CN110371549A (zh) * | 2018-12-04 | 2019-10-25 | 天津京东深拓机器人科技有限公司 | 对象拾取控制方法、装置及设备 |
| CN112591477A (zh) * | 2020-11-11 | 2021-04-02 | 东风汽车集团有限公司 | 一种差厚板料垛拆垛方法 |
| CN112660828A (zh) * | 2020-12-29 | 2021-04-16 | 飞马智科信息技术股份有限公司 | 一种取代Map传感器的液晶面板检测控制系统及方法 |
| CN113232020A (zh) * | 2021-05-14 | 2021-08-10 | 山西光兴光电科技有限公司 | 取片机器人取片位置校正系统及校正方法 |
| CN113942835A (zh) * | 2021-10-29 | 2022-01-18 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 玻璃装载装置 |
-
2017
- 2017-06-03 CN CN201720637485.4U patent/CN207129665U/zh active Active
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109230534A (zh) * | 2018-09-18 | 2019-01-18 | 东旭集团有限公司 | 定位装置 |
| CN110371549A (zh) * | 2018-12-04 | 2019-10-25 | 天津京东深拓机器人科技有限公司 | 对象拾取控制方法、装置及设备 |
| CN109592413A (zh) * | 2018-12-24 | 2019-04-09 | 惠科股份有限公司 | 一种搬送装置和切割系统 |
| WO2020133627A1 (zh) * | 2018-12-24 | 2020-07-02 | 惠科股份有限公司 | 搬送装置和切割系统 |
| CN110026804A (zh) * | 2019-04-04 | 2019-07-19 | 惠科股份有限公司 | 一种切割机台、用于基板的切割机台及切割方法 |
| CN112591477A (zh) * | 2020-11-11 | 2021-04-02 | 东风汽车集团有限公司 | 一种差厚板料垛拆垛方法 |
| CN112660828A (zh) * | 2020-12-29 | 2021-04-16 | 飞马智科信息技术股份有限公司 | 一种取代Map传感器的液晶面板检测控制系统及方法 |
| CN112660828B (zh) * | 2020-12-29 | 2022-03-08 | 飞马智科信息技术股份有限公司 | 一种取代Map传感器的液晶面板检测控制方法 |
| CN113232020A (zh) * | 2021-05-14 | 2021-08-10 | 山西光兴光电科技有限公司 | 取片机器人取片位置校正系统及校正方法 |
| CN113942835A (zh) * | 2021-10-29 | 2022-01-18 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 玻璃装载装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN207129665U (zh) | 玻璃基板搬运装置 | |
| KR101745045B1 (ko) | 반송 기구의 위치 결정 방법, 피처리체의 위치 어긋남량 산출 방법 및 반송 기구의 티칭 데이터의 수정 방법 | |
| KR100251239B1 (ko) | 기판이송적재방법 및 기판이송적재장치 | |
| CN101190525A (zh) | 自动校正机械手臂 | |
| KR100723119B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 그 반송 위치 설정 방법 | |
| JP7296303B2 (ja) | アライメントシステム、成膜装置、成膜方法、電子デバイスの製造方法、および、アライメント装置 | |
| CN108000522A (zh) | 一种基于单机器人对工件偏移后误差检测补偿方法 | |
| JP4576694B2 (ja) | 被処理体の処理システムの搬送位置合わせ方法及び被処理体の処理システム | |
| JP2010507498A (ja) | 基板取り扱いロボットの改善した校正方法 | |
| TW200416933A (en) | System and method for on-the-fly eccentricity recognition | |
| US9972519B2 (en) | Substrate transporting apparatus and method of operating the same | |
| CN101383311A (zh) | 晶片传输系统 | |
| CN105417066A (zh) | 基板位置偏移检测及校正装置和基板搬运系统 | |
| TWI397943B (zh) | 位置修正裝置、真空處理裝置及位置修正方法 | |
| CN114952898A (zh) | 机器人系统、设备制造装置、设备制造方法、教学位置调整方法及计算机可读取记录介质 | |
| JP2003282383A (ja) | 位置合わせ用基板 | |
| CN105514010A (zh) | 一种硅片安全运输方法 | |
| CN105514011B (zh) | 安全传输硅片的机械手及方法 | |
| KR20170118987A (ko) | 이송 로봇의 오토 티칭 시스템 | |
| CN109523580A (zh) | 一种图像采集模块的计算方法、图像采集模块及分拣系统 | |
| KR20060065627A (ko) | 박판 형상물의 변위량 검출 방법 및 변위량 수정 방법 | |
| CN1876529B (zh) | 玻璃基板移送装置 | |
| CN103935138B (zh) | 一种打码系统、方法及装置 | |
| CN105609453A (zh) | 一种半导体晶圆的传送装置 | |
| JP2005093807A (ja) | 半導体製造装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 215301, 1, Longteng Road, Kunshan, Jiangsu, Suzhou Patentee after: InfoVision Optoelectronics(Kunshan)Co.,Ltd. Address before: 215301, 1, Longteng Road, Kunshan, Jiangsu, Suzhou Patentee before: Infovision Optoelectronics (Kunshan) Co.,Ltd. |