CN207129195U - 一种真空包装机台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空包装机台，属于半导体制造技术领域，应用于晶圆盒包装，包括真空塑封装置和操作台，真空塑封装置位于操作台的一侧，于操作台的中部设置一圆形的通孔，真空包装机台还包括：摄像头，设置于真空塑封装置上，摄像头与一电脑连接；一可旋转地连接于伸缩单元上的转盘，可套嵌于通孔处，也可位于操作台的上方。上述技术方案的有益效果是：将真空包装机台的操作台的中部设置有可升降可旋转的转盘，扩展了操作台的工作空间和高度，满足晶圆包装的要求，使得整个晶圆包装过程都在真空包装机台上完成，避免了来回搬运，操作便利，降低了操作员的负担，提高产能。

Description

一种真空包装机台

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种应用于晶圆盒包装的真空包装机台。

背景技术

在晶圆生产完后，需要对其进行包装。晶圆包装包括下步骤：按照晶圆的尺寸大小，选择合适的晶圆盒，并将晶圆放置在晶圆盒中，晶圆盒上贴有标签纸；对晶圆盒上的标签纸进行拍照，以对包装的晶圆进行记录；然后将晶圆盒套入防静电袋中(装袋)；再对防静电袋进行抽真空处理；最后再整理防静电袋使防静电袋贴合晶圆盒形状包裹，并在防静电袋上缠绕防静电胶带固定防静电袋。

现有的技术中，在包装晶圆盒的过程中，对防静电袋进行抽真空处理需要在包装机上完成，由于现有的包装机的操作台的高度及大小的限制，通过需要在包装机旁在放置一张桌面较大且高度适宜的包装桌，作为装袋和缠绕防静电胶带的操作台，因此，工作人员在包括晶圆盒的过程中，需要将晶圆盒在包装机和包装桌之间来回搬运，操作不便，包装效率低。

发明内容

根据现有技术中存在的上述问题，现提供一种旨在提高晶圆盒包装效率的真空包装机台，包括真空塑封装置和操作台，所述真空塑封装置位于所述操作台的一侧，于所述操作台的中部设置一圆形的通孔，所述真空包装机台还包括：

摄像头，设置于所述真空塑封装置上，所述摄像头与一电脑连接；

伸缩单元，设置于所述操作台的下方，所述伸缩单元设置有一处于伸出状态的第一位置及一处于缩回状态的第二位置；

转盘，可旋转地设置于所述伸缩单元上，并于所述伸缩单元处于第二位置时套嵌于所述通孔处，以及于所述伸缩单元处于所述第一位置时位于所述操作台的上方。

较佳的，上述真空包装机台中，还包括驱动装置，连接所述伸缩单元，用于驱动所述伸缩单元伸出及缩回。

较佳的，上述真空包装机台中，所述驱动装置为电机。

较佳的，上述真空包装机台中，所述伸缩单元为电动伸缩杆。

较佳的，上述真空包装机台中，胶带支架，设置于所述操作台上。

较佳的，上述真空包装机台中，还包括上升开关按钮，设置于所述操作台上；

所述上升开关按钮与所述驱动装置连接。

较佳的，上述真空包装机台中，下降开关按钮设置于所述操作台上；

所述下降开关按钮与所述驱动装置连接。

上述技术方案的有益效果是：将真空包装机台的操作台的中部设置有可升降可旋转的转盘，扩展了操作台的工作空间和高度，满足晶圆盒包装的要求，使得整个晶圆盒包装过程都在真空包装机台上完成，避免了来回搬运，操作便利，降低了操作员的负担，提高产能。

附图说明

图1是本实用新型的较佳的实施例中，一种真空包括机台的结构示意图；

图2是本实用新型的较佳的实施例中，操作台的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。

本实用新型的较佳的实施例中，如图1和图2所示，提供一种真空包装机台，应用于晶圆盒包装，包括真空塑封装置1和操作台2，真空塑封装置1位于操作台2的一侧，用于在晶圆盒包装过程中对防静电袋抽真空，真空塑封装置1为现有可以对防静电袋抽真空的设备，这里不再赘述；于操作台2的中部设置一圆形的通孔3，真空包装机台还包括：

伸缩单元4，设置于操作台2的下方，伸缩单元4设置有一处于伸出状态的第一位置及一处于缩回状态的第二位置；

转盘5，可旋转地设置于伸缩单元4上，并于伸缩单元4处于第二位置时套嵌于通孔3处，以及于伸缩单元4处于第一位置时位于操作台2的上方，在晶圆盒包装过程中，晶圆盒放置在转盘5上；

摄像头6，设置于真空塑封装置1上，摄像头4与一电脑连接，摄像头4用于在晶圆盒包装过程中，对晶圆盒上的标签进行拍照并自动保存在电脑中。

上述技术方案中，将真空包装机台的操作台2的中部设置有可升降可旋转的转盘5，扩展了操作台2的工作空间和高度，满足晶圆盒包装的要求，使得整个晶圆盒包装过程都在真空包装机台上完成，避免了来回搬运，操作便利，降低了操作员的负担，提高产能；

进一步地，在真空塑封装置1上设置一摄像头6，摄像头6连接一电脑，在晶圆盒包装过程中，由摄像头6对晶圆盒上的标签纸进行拍照后直接保存到电脑中，不用额外使用相机拍照传到电脑中。本实施例中，摄像头6的拍照动作由鼠标控制，由电脑控制摄像头6拍照并自动保存照片是现有技术，这里不再赘述。

本实用新型的较佳的实施例中，还包括驱动装置7，连接伸缩单元4，用于驱动伸缩单元4伸出及缩回。

本实施例中，真空包装机台还包括用于支撑操作台2的支架，驱动装置7设置于支架上。

本实用新型的较佳的实施例中，驱动装置7为电机。

进一步地，本实用新型的较佳的实施例中，伸缩单元4为电动伸缩杆。

本实用新型的较佳的实施例中，还包括胶带支架8，设置于操作台2上，用于固定晶圆盒包装时使用的防静电胶带。

本实施例中，胶带支架8包括一支杆，和垂直设置于支杆上的支撑板，防静电胶带中部的卷筒套设在支杆上并放置在支撑板上。

本实用新型的较佳的实施例中，还包括上升开关按钮91和下降开关按钮92，设置于操作台2上并且与驱动装置7电连接，提供给操作人员控制驱动装置7驱动伸缩单元4伸缩，从而控制转盘5的高度。

本实施例中，真空包装机台的使用方法如下：

初始状态时，伸缩单元4处于缩回状态，转盘5套嵌于通孔3处，此时将晶圆盒放置在转盘5上，通过鼠标控制摄像头6对晶圆盒上的标签纸拍照；然后将晶圆盒套入防静电袋中，使用真空塑封装置1对防静电袋进行抽真空处理；然后按下上升开关按钮91，使转盘5上升到适宜高度，对防静电袋进行整理，整理过程中通过手动转动转盘5，来移动晶圆盒方位，不必搬运晶圆盒；在防静电袋整理完毕后，将固定在胶带支架8上防静电胶带的自由端粘在套有防静电袋的晶圆盒上，通过手动转动转盘5使防静电胶带缠绕在套有防静电袋的晶圆盒上。

本实用例中，将可升降转盘5、摄像头6和胶带支架8整合在真空包装机台上，通过此辅助装置共同起作用，使全部包装过程均在真空包装机台上完成，摄像头6可以拍照自动保存在电脑，不用额外用相机拍照传照片到电脑，同时转盘5升降旋转，使胶带缠绕都在真空包装机台上完成，避免了来回搬运，提高自动化，操作便利，降低了操作员的负担，提高产能。

以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (7)

1.一种真空包装机台，应用于晶圆盒包装，包括真空塑封装置和操作台，所述真空塑封装置位于所述操作台的一侧，其特征在于，于所述操作台的中部设置一圆形的通孔，所述真空包装机台还包括：

摄像头，设置于所述真空塑封装置上，所述摄像头与一电脑连接；

伸缩单元，设置于所述操作台的下方，所述伸缩单元设置有一处于伸出状态的第一位置及一处于缩回状态的第二位置；

转盘，可旋转地设置于所述伸缩单元上，并于所述伸缩单元处于第二位置时套嵌于所述通孔中，以及于所述伸缩单元处于所述第一位置时位于所述操作台的上方。

2.如权利要求1所述的真空包装机台，其特征在于，还包括驱动装置，连接所述伸缩单元，用于驱动所述伸缩单元伸出及缩回。

3.如权利要求2所述的真空包装机台，其特征在于，所述驱动装置为电机。

4.如权利要求3所述的真空包装机台，其特征在于，所述伸缩单元为电动伸缩杆。

5.如权利要求1所述的真空包装机台，其特征在于，还包括胶带支架，设置于所述操作台上。

6.如权利要求2所述的真空包装机台，其特征在于，还包括上升开关按钮，设置于所述操作台上；

所述上升开关按钮与所述驱动装置连接。

7.如权利要求2所述的真空包装机台，其特征在于，下降开关按钮设置于所述操作台上；

所述下降开关按钮与所述驱动装置连接。