CN207056302U - 废气处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种废气处理装置，包括：罩壳；进气装置；加热装置；收容装置；固定装置，具有筒状本体，其中，筒状本体上端封接于罩壳上底下表面并罩在收容装置外围，与收容装置外壁留有第二间隙，以形成向下的反应通道；入气装置，从罩壳相应于第二距离所约束的位置引入，以向收容装置的上方空间导入反应气；固定装置则相应于入气装置引入的位置开有气孔；以及承载装置，用于从下面承载所述罩壳。依据本实用新型废气处理效果良好，且不容易产生堵塞。

Description

废气处理装置

技术领域

本发明涉及一种废气处理装置，属于废气处理的中间工艺设备。

背景技术

由于废气中成分非常复杂，单一的处理方式无法达到所期望的处理效果，例如，在废气处理的某些环节，例如避免灰尘影响反应气的接触，应降低含尘量；在某些环节，例如降尘环节，含水量会影响降尘。因此，发明人认为，对于废气的处理，最优的处理方式是分阶段处理，从而达到最优的处理效果。

相对于其他的工业废气，电子产业生产和制造过程中所产生的废气成分相对更为复杂，尤其是含有大量的有毒有害物质。中国大陆目前雾霾极其严重，废气中的有害气体以及粉尘是产生雾霾的主要成分。随着环保意识的增强，从政策层面以及法律层面，都对废气的处理提出了更高的要求。

对于废气中的有害化学成分，一般通过燃烧式、电浆式或者其他反应方式以产生无害化合物，发明人认为，再进行有害化学成分的化学处理前，最好进行含尘量的降低。

对于废气中粉尘的处理，最简单的方法可见于中国专利文献CN201318679Y，其采用一根除尘竖管，在除尘竖管的上端设置喷雾喷头，烟气从除尘竖管的下部进入，基于喷淋将烟气中的灰尘洗消掉。该种方式属于一种湿式除尘冷却装置，应当理解，烟气温度通常都比较高，喷淋过程中会产生水蒸气，水蒸气的存在会使排气压力进一步增大，加之烟气自身的排气压力，导致小颗粒的灰尘随着烟气和水蒸气一同被排出。该种方式某种程度上能够降低含尘量，但会增加含水量，在某些化合反应中，水的存在会产生一定的副作用。此外，喷淋方式进行降尘会占用比较多的水资源，进而产生比较多的工业废水。

同样地，对于废气的处理，还可见于中国专利文献CN201381889Y，其公开了一种发动机废气过滤消音水箱，其基本原理是将水箱通过横向隔板分隔成左右两部分，横向隔板设置有通孔，水箱两边一边进气，一边出气，从而直接通过水与尾气的接触，脱除尾气中的杂质和灰尘。该种方式，尾气与水的接触面积小，脱除效果有限。并且该种排气方式需要在水中进行，排气压力增加比较大。此外，废气中的尘灰悬浮在水中，清理相对困难。

在某些实现中，进行水降尘的同时，又进行某些有害气体的处理，例如中国专利文献CN205570086U中则在纯粹的水脱除设备中加装生物滤床，诚然该种结构的处理废气的效率和效果比较好，但其中的生物滤床属于耗材性质的物质，使用成本高。

此外，对于前述的燃烧式废气处理方法，其必备有燃烧室，需要考虑燃烧所产生高温对设备的损伤问题。另，废气经由燃烧加热后会产生粉尘，而目前燃烧式普遍是上下结构，而具有燃烧腔底，前述的粉尘容易在燃烧室底部产生堆积，进而产生管路堵塞，降低气流的流通速度，使反应无法正常进行。可以理解的是，燃烧室通常为满足所需要的烧蚀温度，采用例如耐火砖等定着物制作，可拆性比较差，导致尘堆清理相对比较困难。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种废气处理效果良好，且不容易产生堵塞的废气处理装置。

本发明采用以下技术方案：

一种废气处理装置，包括：

罩壳，该罩壳为上下结构，且上底开有过孔，下底开放；

进气装置，通过过孔安装在罩壳上，并下探第一长度；

加热装置，围绕进气装置，上端安装在罩壳上并下延第二长度；其中，第二长度不小于第一长度；

收容装置，为桶底在下的桶状结构，且桶底的上表面与加热装置的下端留有第一距离；桶壁罩在加热装置的外围并留有第一间隙，用于流通上升气流；桶上端则与罩壳上底下表面留有第二距离；

固定装置，具有筒状本体，其中，筒状本体上端封接于罩壳上底下表面并罩在收容装置外围，与收容装置外壁留有第二间隙，以形成向下的反应通道；

入气装置，从罩壳相应于第二距离所约束的位置引入，以向收容装置的上方空间导入反应气；固定装置则相应于入气装置引入的位置开有气孔；以及

承载装置，用于从下面承载所述罩壳。

上述废气处理装置，可选地，收容装置的下端面与罩壳的下端面共面或者位于罩壳下端面的上侧；

于罩壳下端面的上侧给定距离处引入吹向收容装置的吹气装置，以对反应通道下部吹扫；

相应地，固定装置在引入吹气装置的位置开有朝向收容装置的吹气孔。

可选地，所述固定装置的内壁设有用于承载收容装置的连接结构。

可选地，所述连接结构为从收容装置内壁向内延伸的具有上承载面的卡合部；

相应地，收容装置则具有从外壁向外延伸以承载于上承载面的卡固部。

可选地，所述进气装置在所述加热装置内向设有入气装置的一侧偏置。

可选地，所述固定装置的出口配装有冷却装置。

可选地，所述加热装置配置有多个加热元件。

可选地，在加热装置预设的下探第二长度处设有用于加热装置下限限位的定位部。

可选地，加热元件与罩壳内空间气密封隔离。

可选地，所述加热元件为加热棒；

相应地，用于加热棒与罩壳内空间气密封隔离的结构为上端固定在罩壳上端盖或上底板的套筒；

还包括用于联集套筒的至少一个联集结构。

依据较佳的实施例，其整体结构类同于一组管套，结构相对紧凑。另，通过管道的上下端的合理配置，形成对废气的导引，形成不同的区段，其中从进气装置进入的废气，受加热装置的加热，使废气中的水分保持气态，粉尘的颗粒物，会有一部分沉降到收容装置内，降低废气中的含尘量。

随着空间的增大，气体流速减慢，在上升过程中产生涡流，对加热装置、收容装置内壁沾附的产生吹扫，然后涡流从收纳装置上方的连通空间进入收容装置与固定装置之间的空间，在该空间的上部通入反应气，对废气中的有害气体进行处理，生成的水和粉尘下行排出。

由于在反应前，有一部分的粉尘留置在收容装置内，而相对而言，由于距离加热装置距离不同，收容装置的表面温度高于固定装置，高温表面具有疏水属性，从而，水更容易在固定装置的表面冷凝，而顺着固定装置的壁面下行，反应所产生的粉尘与水产生初步的分离，在粉尘少，并且与水之间结合松散的条件下，不容易产生堵塞。尤其是，固定装置与收容装置间直接下行，而不像现有的燃烧室具有底部，产生堵塞的概率大大降低。

附图说明

图1为依据较佳的实施例的一种废气处理装置的主剖结构示意图。

图2为相应于图1的分解结构示意图（包含连通孔处的放大结构）。

图3为气流流转及反应示意图。

图中：1.罩壳，2.进气装置，3.连通空间，4.收容口，5.收容装置，6.卡固部，7.卡合部，8.固定装置，9.反应通道，10.进气空间，11.承载装置，12.吹气装置，13.定位部，14.加热装置，15.回流通道，16.泵浦，17.入气装置，18.连通孔，19.套筒，20.反应区，21.水滴，22.尘堆。

具体实施方式

在图2所示的结构中可见，在优选的实施例中，其主要部件是管套式结构，此外，应当理解的是，附图1~3均是单个方向的视图，基于视图，表示主要部件也可以是方形管腔、矩形管腔。关于主要的结构，优选具有回转体结构的管腔。

关于管套结构及气流（应理解为气固混合物，在某些阶段还存在着液相的水雾）的基本走向先行说明如下：

首先是用于将废气导入到废气处理装置的进气装置2，其是一个进气管结构，气流方向是下行方向，其基本固定方式是从罩壳1上端所开的过孔插入后固定。

然后是加热装置14，该加热装置14可以采用绕罩壳1轴线环形阵列的电加热管，一根电加热管构成一个加热单元，加热单元之间存在间隙，其整体上算不上一个套或者壳，对此并无实质要求。当电加热管分布密度比较大时，其整体上可以等效为管型部件，此时所产生的径向流相对较少。在优选的应用中，例如作为加热元件的电加热管分布密度比较低，大致采用3~6条，在此类结构中，气流整体呈上升态，并且此处空间相对较大，流速相对于进气装置2要慢许多，而容易产生涡流。涡流一方面能够吹扫收容装置5壁面上粘附的灰尘，同时涡流产生的热气流有利于均匀的加热收容装置5内的空气以及收容装置5的壁。

加热装置14主要采用固定在罩壳1上的装配方式，具体可见于附图2上部，罩壳1的上底板或者上端盖可用于加热装置14的固定部位。

关于收容装置5，在前述的内容中已经提及，气流在其内部成上升的涡流形态。同时收容装置整体上是一个桶体，其桶底在下，桶口在上，从而会产生如前所述的涡旋上升气流。

受温度和流速的双重影响，废气中的比重相对较大的固体颗粒会落在收容装置5的底部，并留置于此，藉此来降低废气中的含尘量。当然，这也意味着收容装置5应当定期清理，因此，需要将其配置为可拆卸结构。

此外，含尘量降低后，也有利于水份的分离。

在收容装置5外围的则是固定装置8，固定装置8的主体是一个管套结构，具体而言可理解为一个套，前述的加热装置14位于罩壳1内的部分、收容装置5、进气装置2位于罩壳1内的部分，均为固定装置8所纳入，在此结构条件下，收容装置5与固定装置8紧邻，因此，两者之间可以存在连接，以满足收容装置5在废气处理装置中的装配，此外，收容装置5也可以悬吊在罩壳1的上部。

收容装置5与固定装置8之间形成的反应通道9内的气流向下流转，同时，需要引入反应气体，可参见附图1左边上部所示，通过入气装置17导入给定的反应气，以与废气中的待处理成分反应，由于存在有机物，因此会产生水分，也可能会产生固体颗粒物。关于水分和固体颗粒物的流转，前文已经涉及，在此不再赘述。

考虑到前述的收容装置5的可维护性，由于其整体上是一个套，至少可以保证上端开口，因此，其整体上可以采用可拆连接，也可以采用不可拆连接，从套的上口可以将收容装置5取出。

基于前述的气体流转，参见附图1~3所示的废气处理装置，其基本结构配置如下：

首先是罩壳1，用于作为废气处理装置的主体外壳，提供一个相对封闭的空间，以进行废气的处理。图中，罩壳1也是一个桶型结构，只不过桶底在上。

整体而言罩壳1为上下结构，其桶底，也就是罩壳1的上底开有过孔，用于插入进气装置2，当然，也可以设置其他部件的连接结构，例如加热装置14的连接结构。

罩壳1的下底是开放的，用于其他部件的装入和取出。

在图2中可以清晰的看出，罩壳1的壁面相对比较厚，一方面通过加厚壁面提高整体的结构强度，壁面罩壳1的破损或者产生裂缝，而导致在废气处理过程中有害气体的泄露，例如具有剧毒的氟化氢气体（半导体行业常见）等的泄露。另一方面，罩壳1的壁面还用于保温，以使反应正常进行，同时对加热装置所产生的热量对外的阻隔。在此条件下，罩壳1的壁面可以采用防火且隔热性能好的材质制作。

关于罩壳1可以具有耐热壳体，然后在耐热壳体内填充保温棉以进行保温，关于保温棉，还可以采用例如陶瓷棉，减少热量外溢。

对于前述的进气装置2，其整体上是一个管性件或者说构成输气管，图中可见，其整体上是一个硬质管道，通过罩壳1上预留的过孔轴向插入到罩壳1。

进气装置2与过孔配合的部分应当构造气密封结构。

如前文所述及的发明原理，如图3所示的流体流转示意图，需要构造流体流转的结构，在此结构下，应当在上下方向上需要足够的例如加热距离、反应距离，从而满足废气的加热或者反应所需要的废气滞留时间。因此，位于罩壳1内的进气装置2应当具有足够长的长度，在此定义为第一长度，该第一长度既是位于罩壳1内的长度，也是从过孔下端穿出后向下探出的长度。

对于加热装置14，围绕进气装置2进行设置，其上端固定在罩壳1的上底，如图2所示，由于加热装置14和进气装置2在罩壳1上的固定安装都不影响例如收容装置5的可维护性，因此，加热装置14和进气装置2可以在罩壳1上固定安装。

相比较而言，进气管损坏的可能性极小，对于加热装置14，例如电加热管形式的加热装置14，可以采用可拆连接安装在罩壳1上。

将加热装置14的上端安装在罩壳1后，考虑到热对流作用，加热装置在上下方向上，最好覆盖待加热对象，具体是进气装置2位于罩壳1内的部分。在此条件下，需要考虑加热装置位于罩壳1内部分的长度，定义为第二长度，即从罩壳1下表面向下延伸出的长度。那么基于前述的原理，该第二长度应不小于第一长度。

在此需要理解的是，如果仅仅是简单的变换加热装置的位于罩壳1内的长度，应刻意的规避上述原理所限定的第二长度不小于第一长度，则应理解为是一种等同替换。毕竟，简单的长度变化，其技术效果是可以简单的预料到的。

关于收容装置5，也是一种桶状结构，与罩壳1相对，收容装置5的桶底在下，整体而言，收容装置5主要用来收容废气中的比重相对比较大的灰尘或者其他固体颗粒，于此可以降低废气中的含尘量，以利于后期的处理。

既然用于收容，应当降低收容一定量的灰尘或者其他固体颗粒后，减少对气流流速的影响，换言之，需要在桶底留有一定量的收容空间，以降低维护次数。当然，收容空间也不易过大，否则会使废气处理装置的上下尺寸过大。

进而，桶底的上表面与加热装置的下端应留有第一距离，以用于收纳沉降下来的粉尘或者其他固体颗粒，具体可见于附图3所示的收容装置5底部沉积，应当理解，图中尘堆22的形状仅用于表示形成有尘堆22，而不表示尘堆22就是图中所示的形状，应当理解的是，尘堆22靠近进气装置2管口的位置应当较高，若气流速度较高，会把管口位置的尘堆22吹开；桶壁罩在加热装置14的外围并留有第一间隙，用于流通上升气流比较高。同时受气流的影响，收容装置的底部与避免接合的部位所形成的尘堆部分也会比较高，大致是一个左右对称的结构。

不过图中进气装置2在收容装置5内是偏置的，所以所形成的尘堆22的形状并不是一个左右对称的结构。

进而，考虑到气体从收容装置5进入到如图1中所示的反应通道9，收容装置5的上方应当留有连通通道或者空间，图中表现为空间，在于基于嵌套的管套容易实现。具体地，桶上端则与罩壳1上底下表面留有第二距离。

在前述的结构中，位于收容装置5内的加热装置14主要用于使废气中的水汽保持气相，换言之，图3中所示的尘堆22应保持相对干燥的状态，有利于其清理。

当然，基于牛顿内摩擦力，在收容装置5的内表面也会粘附一些尘粒，但这些尘粒还不足以影响上升气流的通流能力。

尽管，如图3所示，在反应通道标示产生了水滴21，但应当理解，反应通常也会生热，反应所产生的水汽包括废气中所含的水分在反应通道也大致保持气相。

同时，应当理解的是，如前所述，罩壳1也配置为对热具有隔离作用的结构，如前所述的罩壳1内壁面内填充有保温棉的结构，用于保持罩壳1内保持相对较高的温度，据此可知，在优选的实施例中，尽可能的保持罩壳1内具有较高的温度，以保持所包容气体内的水分保持气相。

进而，当水分保持气相时，在例如罩壳1的壁面上不容易产生水汽，从而不容易粘附污物，固体颗粒物或者反应产生的粉尘，会顺着图中所示的固定装置8下行，而不容易产生堵塞。

关于固定装置8为发明人所发明的另一装置所保护，在这里不考虑固定装置8的排出口排出后的物料的处理问题。并且基于技术领域的描述可知，本发明的实施例侧重于废气处理的一个阶段的处理，而不是废气处理的整套工艺设备。

固定装置8的本体是主要的功能性结构，一定程度上讲，如果不考虑与其他装置的连接，例如与承载装置11内的部件的连接。

具体地，筒状本体上端封接于罩壳1上底下表面，应当理解，封接并不代表固定连接，直接接触所形成的接合也满足预期的目的，尤其是上下结构，容易产生上下接合的挤压，从而产生接合力，接合力则有利于构造密封结构。

此外，依据上述结构，以及附图2所示的分解结构示意图可知，通过承压所实现的接合，便于拆装。

对于固定装置8，将其罩在收容装置5外围，与收容装置5外壁留有第二间隙，以形成向下的反应通道9，具体可见于附图1。

在图1左边上部所示的结构中，配有入气装置17，以用于导入反应气，应当理解的是，反应气与废气内需要处理的成分相适配，本领域的技术人员基于对废气的检测容易确定，在此不再赘述。

对于入气装置17从罩壳1接入的位置，可见于附图1，图1中，相应于第二距离所约束的位置引入，即在该罩壳段实现入气装置17的接入。

从连通孔18喷出的气体，大致是一个锥形，并且图中收容装置5的上部空间是连通孔18的吹入空间，反应也不仅仅是图3中所示的反应区20，图3中左边反应区20位置仅用于示例性的表示反应所产生的物质和流向，而不表示仅仅在此位置产生反应。可以理解的是，从入气装置17吹出的气体直接与收容装置5上口上升的涡旋气流相混合反应，会在一个比较大的范围内反应，至于反应所产生的灰尘落在收容装置5内，还是落在反应通道9内，都不会产生清理的实质影响。

考虑到固定装置8的结构，其主体是一个筒状体，需要开口，以导入反应气，具体地可参见说明书附图2，图中，固定装置8相应于入气装置17引入的位置开有连通孔18，通过连通孔18导入反应气。

关于承载装置11，一方面用于承载罩壳1，另一方面，如果罩壳1没有承载的部件，也可以由承载装置11所承载，例如固定装置8，可以由承载装置承载。另外，固定装置8也可以由罩壳1承载，如图2上部所示，罩壳1的内壁也形成有凸起，可以用于承载固定装置8。

关于反应气，在一个实施例中，用于处理有机金属化学气相沉积法（MOCVD，Metal-organic Chemical Vapor Deposition）所产生的废气，废气中含有甲硅烷和氨气。含有上述成分的废气通过进气装置2导入，然后受加热装置14的加热，其中的氨气会发生分解，产生氮气和氢气，整体上成涡流向上，即图中所示的收容口4的方向上升。

入气装置17提供的反应气为氧气（非纯氧，一般是压缩空气），氧气与甲硅烷反应产生水（形成水蒸气，气相）和二氧化硅（形成固体颗粒，一般是以粉尘的形式存在），氧气与氢气反应也产生水，水的存在会与废气中的氮氧化物反应，产生硝酸或者亚硝酸。

有鉴于在反应中可能会产生腐蚀性物质，因此，包括固定装置8、收容装置5等与废气接触的部件尽可能做防腐处理，例如在其与废气接触的表面设置特氟龙防腐涂层。

罩壳1与承载装置11是一种上下承接关系，罩壳1的下端面可以是平面，相应地，承载装置11的上端面也是平面，直接将罩壳放置在承载装置11之上。

需要说明的是，留着承接后应具有一定的气密封能力，因此，罩壳1与承载装置11的接合面需要配置密封圈，密封圈可以采用耐高温密封圈（应当理解，在本领域耐高温密封圈的耐高温一般可以达到180摄氏度，二如前所述，反应通道9内的气体温度已经降低到水的气化点以下，换言之，已经低于100摄氏度，因此，常规的耐高温橡胶密封圈可以满足使用要求。

在图3所示的结构中，承载装置11内通常用于安装冷却装置，以对反应后的气体进行进一步的冷却，以对反应后的气体进行进一步的处理。相对而言，由于反应通道9所确定的环形空间相对比较大，为了有利于后续的处理，通常通过一个漏斗部与承载装置内的其他装置承接，受漏斗部锥度的影响，收容装置5下端与固定装置8的下端会产生通道拐角，容易产生尘粒在此处拥堵，因此，在此类结构中，于反应通道9的下部从罩壳1引入吹气装置12，以对漏斗部与收容装置5对位处吹扫减少因边界摩擦所产生的尘灰的滞留，避免产生在此处产生堵塞。

对于吹气装置12，当漏斗部的上端面位于收容装置5下端面的下侧时同样适用，主要在于漏斗部能够提供锥面，降低了例如固体颗粒的流动能力，从而易于产生堵塞，在此结构条件下，产生强制的吹扫，能够有效避免堵塞。

此外，收容装置5的下端面可以稍高于罩壳1的下端面，使收容装置5的下方空间稍大，从而可以减小漏斗部锥度的影响。

更具体地，反应通道9由收容装置5的外壁与固定装置8的内壁所确定，因此，收容装置5的下端面在一些实施例中高于固定装置8的下端面。

在一些实施例中，收容装置5的下端面与固定装置8的下端面共面，利于罩壳1内部件的整体装配和与承载装置11的配装。

相应地，固定装置8在引入吹气装置12的位置开有吹气孔，如图2位于下部固定装置8的连通孔。

此外，可以以漏斗部的外锥面为承载面，于此，所述承载装置11的上端还形成有用于承载漏斗部的锥形孔，锥形孔与外锥面的锥度相同，一方面有利于定位，另一方面，可以形成可靠的密封和接合。

在一些实施例中，所述固定装置8的内壁设有用于承载收容装置5的连接结构。采用承载结构，是直接利用重力实现的承载连接，没有附加的连接件，当然，也不排除连接件的使用。

承载连接可以基于取放实现连接，结构非常紧凑，也不容易造成因连接件损坏所导致的拆装困难问题。例如螺栓，在使用过程中可能会产生锈蚀，导致拆卸困难。尤其是废气这种腐蚀性环境中，优选没有连接件的而靠自身结构的连接。

优选地，所述连接结构为从收容装置5内壁向内延伸的具有上承载面的卡合部7，大致是一个凸起，上表面具有承载面。

相应地，收容装置5则具有从外壁向外延伸以承载于上承载面的卡固部6，卡固部6大致也是凸起，依靠凸起的承载结构非常简单。

另外，考虑到承载的可靠性，对位的卡固部6和卡合部7的对数一般采用3~6对，对数也不宜过多，以减少对气流的干扰。

如果卡固部6和卡合部7的周向相对个体较大，也可以只有两对。

在优选的实施例中，所述进气装置2在所述加热装置14内向设有入气装置17的一侧偏置。在图1和图2所示的结构中，进气装置2的轴线与固定装置8的轴线相互平行，并保持一定的距离，该种结构会使的如图3所示的涡流更加强烈。

承接前述的说明，在本实施例中，位于废气处理装置内的水分尽可能的保持气相，以避免产生尘灰对气体流道的堵塞，但在处理完这一阶段后，进入工序的处理（另案申请，在此不再赘述），可能需要降温，当然，也可能保持气体现有的温度。当需要降温时，所述固定装置8的出口配装有冷却装置。

此外，在优选的实施例中，在加热装置预设的下探第而长度处设有用于加热装置下限限位的定位部13，一方面保持安装的可靠性，另一方面，避免例如电加热装置直接与其他壁面的接触，形成藏污纳垢的地方。

应当理解，本实施例所涉及的废气处理装置主要用于废气的处理，尤其是电子产品制造工艺所产生废气的处理，废气成分中腐蚀性成分偏多，有鉴于此，加热元件最好与罩壳1内空间气密封隔离，从而减小加热元件的损耗。

此外，一些加热元件自身具有比较好的防腐蚀性能，例如陶瓷管式电加热管。

在优选的实施例中，如图1所示，加热元件采用加热棒，将加热棒纳入到一个套筒19中，套筒19用于保护加热元件。

套筒19的下端封闭，上端与罩壳1的上端盖或者上底板固定连接。

由于套筒19向下悬伸比较长，为了保持结构的整体可靠性，可以将所有套筒19联集起来。

关于联集结构件，可以采用一个环形件，环形件开孔，所开孔用于与套筒19形成孔套配合。

Claims (10)

1.一种废气处理装置，其特征在于，包括：

罩壳（1），该罩壳（1）为上下结构，且上底开有过孔，下底开放；

进气装置（2），通过过孔安装在罩壳（1）上，并下探第一长度；

加热装置（14），围绕进气装置（2），上端安装在罩壳（1）上并下延第二长度；其中，第二长度不小于第一长度；

收容装置（5），为桶底在下的桶状结构，且桶底的上表面与加热装置的下端留有第一距离；桶壁罩在加热装置（14）的外围并留有第一间隙，用于流通上升气流；桶上端则与罩壳上底下表面留有第二距离；

固定装置（8），具有筒状本体，其中，筒状本体上端封接于罩壳（1）上底下表面并罩在收容装置（5）外围，与收容装置（5）外壁留有第二间隙，以形成向下的反应通道（9）；

入气装置（17），从罩壳（1）相应于第二距离所约束的位置引入，以向收容装置（5）的上方空间导入反应气；固定装置（8）则相应于入气装置（17）引入的位置开有气孔；以及

承载装置（11），用于从下面承载所述罩壳（1）。

2.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，收容装置（5）的下端面与罩壳（1）的下端面共面或者位于罩壳下端面的上侧；

于罩壳（1）下端面的上侧给定距离处引入吹向收容装置的吹气装置，以对反应通道（9）下部吹扫；

相应地，固定装置在引入吹气装置的位置开有朝向收容装置的吹气孔。

3.根据权利要求1或2所述的废气处理装置，其特征在于，所述固定装置（8）的内壁设有用于承载收容装置（5）的连接结构。

4.根据权利要求3所述的废气处理装置，其特征在于，所述连接结构为从收容装置（5）内壁向内延伸的具有上承载面的卡合部（7）；

相应地，收容装置（5）则具有从外壁向外延伸以承载于上承载面的卡固部（6）。

5.根据权利要求1或2所述的废气处理装置，其特征在于，所述进气装置（2）在所述加热装置（14）内向设有入气装置（17）的一侧偏置。

6.根据权利要求1或2所述的废气处理装置，其特征在于，所述固定装置（8）的出口配装有冷却装置。

7.根据权利要求1或2所述的废气处理装置，其特征在于，所述加热装置配置有多个加热元件。

8.根据权利要求7所述的废气处理装置，其特征在于，在加热装置预设的下探第二长度处设有用于加热装置下限限位的定位部（13）。

9.根据权利要求7所述的废气处理装置，其特征在于，加热元件与罩壳（1）内空间气密封隔离。

10.根据权利要求9所述的废气处理装置，其特征在于，所述加热元件为加热棒；

相应地，用于加热棒与罩壳（1）内空间气密封隔离的结构为上端固定在罩壳（1）上端盖或上底板的套筒（19）；

还包括用于联集套筒（19）的至少一个联集结构。