CN206916257U - 一种石英舟 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种石英舟，包括石英舟本体和固定边框，所述石英舟本体包括相对设置的两块侧板，两块所述侧板之间设置有底部支撑杆；所述固定边框与所述底部支撑杆固定，所述固定边框套设于硅片的外周，且所述固定边框的内壁与所述硅片的侧壁抵接，已覆盖所述硅片的侧壁。通过设置固定边框，可以遮挡硅片的侧壁，防止硅片的侧壁与扩散材料接触，避免硅片的侧壁形成PN结，可以省去刻蚀硅片侧壁的工序，同时也可以避免由于硅片侧壁的PN结刻蚀不干净而引起的电池片漏电的问题。

Description

一种石英舟

技术领域

本实用新型涉及硅片载具技术领域，尤其涉及一种石英舟。

背景技术

石英舟是晶硅太阳能电池扩散工序中用于承载硅片的载具，具有耐高温和较好的化学稳定性的特点。太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换，PN结是P型半导体和N型半导体的交界面，扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备，在生产太阳能电池片时，将硅片固定在石英舟内，放入扩散炉内扩散，使硅片的一侧表面覆盖一层PN结。由于现有的石英舟通过上、下两层支撑杆固定硅片，支撑杆上设置有凹槽，硅片将上下边缘卡接在凹槽内，使得扩散后的硅片裸露在外的表面及四个侧壁均覆盖PN结，扩散后还需要对硅片的侧壁以及一侧表面进行刻蚀去PN结，工序较多；若硅片侧壁的PN结刻蚀不干净，还会导致太阳能电池片漏电。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种能够避免硅片的边缘形成PN结的石英舟。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种石英舟，包括：

石英舟本体，所述石英舟本体包括相对设置的两块侧板，两块所述侧板之间设置有底部支撑杆；及

固定边框，所述固定边框与所述底部支撑杆连接，硅片卡入所述固定边框的内部，且所述硅片的侧壁与所述固定边框的内壁抵接，以覆盖所述硅片的侧壁。

其中，所述固定边框包括顶封和底座，所述顶封和所述底座配合并可拆卸连接，所述底部支撑杆位于所述底座的下方并与所述底座固定。

其中，所述底部支撑杆与所述底座中的一个设置有定位凸起、另一个设置有定位槽，所述定位凸起与所述定位槽配合，以实现所述底座与所述底部支撑杆的固定。

其中，所述固定边框与所述底部支撑杆垂直设置，两块所述侧板之间还设置有两个侧部支撑杆，所述固定边框位于两个所述侧部支撑杆之间，所述侧部支撑杆与所述固定边框的侧壁抵接。

其中，所述顶封和所述底座均为U型结构，所述顶封和所述底座插接固定。

其中，所述顶封的侧壁的内表面设置第一U型槽，所述第一U型槽朝向所述底座的端部设置有第一缺口，所述底座的侧壁的内表面设置有第二U型槽，所述第二U型槽朝向所述顶封的端部设置有第二缺口，所述第一缺口和所述第二缺口配合，以实现所述顶封和所述底座插接固定；所述第一U型槽和所述第二U型槽形成限位槽，所述限位槽用于容置所述硅片的边缘。

其中，所述顶封和所述底座中的一个设置有连接部、另一个设置有连接孔，所述连接部伸入所述连接孔内，以实现所述顶封和所述底座的可拆卸连接。

其中，所述固定边框沿内壁环设有限位槽，所述限位槽用于容置所述硅片的边缘。

其中，所述限位槽的宽度为0.4mm-0.6mm。

其中，所述固定边框内设置两片所述硅片，两片所述硅片侧壁与所述固定边框的内壁抵接。

有益效果：本实用新型提供了一种石英舟，通过设置固定边框，固定边框套设于硅片的边缘，可以遮挡硅片的侧壁，防止硅片的侧壁与扩散材料接触，避免硅片的侧壁形成PN结，可以省去刻蚀硅片侧壁的工序，同时也可以避免由于硅片侧壁的PN结刻蚀不干净而引起的电池片漏电的问题。

附图说明

图1是本实用新型提供的石英舟的结构示意图；

图2是本实用新型提供的固定边框的结构示意图；

图3是本实用新型提供的石英舟部分结构的剖视图。

其中：

1、石英舟本体；11、侧板；12、底部支撑杆；13、侧部支撑杆；

2、固定边框；21、顶封；211、第一U型槽；212、第一缺口；22、底座；221、第二U型槽；222、第二缺口；

3、硅片。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

如图1-图3所示，本实用新型提供了一种石英舟，石英舟本体1和固定边框2，石英舟本体1包括相对设置的两块侧板11，两块侧板11之间设置有底部支撑杆12，底部支撑敢用于支撑并固定硅片3；固定边框2与底部支撑杆12连接，固定边框2套设于硅片3的外周，且固定边框2的内壁与硅片3的侧壁抵接，以覆盖硅片3的侧壁。通过设置固定边框2，可以遮挡硅片3的侧壁，防止硅片3的侧壁与扩散材料接触，避免硅片3的侧壁形成PN结，可以省去刻蚀硅片3侧壁的工序，同时也可以避免由于硅片3侧壁的PN结刻蚀不干净而引起的电池片漏电的问题。

具体而言，固定边框2包括顶封21和底座22，顶封21和底座22配合并可拆卸连接，顶封21和底座22拼接围成硅片3的容置区域，其中，底座22与底部支撑杆12固定。在使用时，将底座22与底部支撑杆12固定后，将硅片3放置在底座22内，再将顶封21套设在硅片3外，并与底座22固定，固定边框2将硅片3的四个侧壁遮挡，避免硅片3的侧壁与扩散材料接触，从而避免形成PN结，简化后续刻蚀工序，同时也可以避免由于硅片3侧壁的PN结刻蚀不干净而引起的电池片漏电的问题。

由于硅片3在扩散过程中只需要一侧的表面覆盖PN结，为避免后续刻蚀硅片3表面，节省工序，固定边框2内可以设置两片硅片3，两片硅片3的紧密贴合在一起，两片硅片3侧壁与固定边框2的内壁抵接，使每片硅片3只有一侧的表面裸露在外，硅片3扩散后不需要刻蚀去PN结工序，简化了硅片3的生产步骤。

为便于更换损坏的固定边框2，固定边框2可以与底部支撑杆12可拆卸连接。本实用新型中底部支撑杆12与底座22中的一个设置有定位凸起、另一个设置有定位槽，定位凸起与定位槽配合，以实现底座22与底部支撑杆12固定，通过定位凸起和定位槽配合固定，结构简单，拆装方便。

为提高石英舟结构的稳定性及硅片3固定的可靠性，底部支撑杆12的数量可以为多个，具体个数可以根据实际需要确定。本实用新型中，底部支撑杆12的数量为两个，底座22与底部支撑杆12垂直设置，底座22与两个底部支撑杆12固定，两个底部支撑杆12之间的距离可以根据硅片3的尺寸调整，可以提高底座22与底部支撑杆12连接的稳定性。

本实用新型中两块侧板11之间还包括侧部支撑杆13，固定边框2与底部支撑杆12垂直设置，两块侧板11之间还设置有两个侧部支撑杆13，固定边框2位于两个侧部支撑杆12之间，底部支撑杆12与侧部支撑杆13平行设置，侧部支撑杆13与固定边框2的侧壁抵接，从而提高固定边框2的稳定性。

固定边框2由顶封21和底座22拼接形成，固定边框2内形成容置硅片3的容置区域，由于硅片3一般为矩形，因此顶封21和底座22拼接组成矩形区域。顶封21和底座22的具体形状和固定方式有很多种，例如顶封21和底座22均可以为U型结构，顶封21和底座22可以通过插接的方式固定。具体而言，如图2和图3所示，顶封21的侧壁的内表面设置第一U型槽211，第一U型槽211朝向底座22的端部设置有第一缺口212，底座22的侧壁的内表面设置有第二U型槽221，第二U型槽221朝向顶封21的端部设置有第二缺口222，第一U型槽211位于固定边框2的外侧，第二U型槽221位于固定边框2的内侧，第一缺口212和第二缺口222配合，使底座22的侧壁的端部伸入第一缺口212内并与顶封21的侧壁的端部抵接，第一U型槽211的侧壁在第一缺口212内的倒L型端面与第二U型槽221的侧壁在第二缺口222内的L型端面抵接配合，同时，顶封21和底座22的侧壁平齐，完成顶封21和底座22的连接。当硅片3放入固定边框2内后，硅片3的四个侧壁与固定边框2的内壁抵接，防止该部分硅片3的侧壁覆盖PN结，从而省去后续的刻蚀去PN结工序，简化了硅片3的生产步骤。

此外，第一U型槽211和第二U型槽221的侧壁还可以形成限位槽，限位槽用于容置硅片3的边缘，可以提高固定边框2和硅片3连接的稳定性；位于顶封21的两侧的两个侧部支撑杆13还可以夹持顶封21，增加顶封21和底座22连接的稳定性，提高石英舟工作的可靠性。

顶封21和底座22的固定方式也可以通过相互配合的连接部和连接孔固定，具体而言，顶封21和底座22中任一个可以设置有连接部，另一个设置有连接孔，连接部可以是凸设在侧壁的端面的凸起，连接部伸入连接孔内并将顶封21和底座22固定，其中连接部可以位于顶封21或底座22的侧壁的端面的中部，保证顶封21和底座22插接固定后，顶封21侧壁的内表面与底座22侧壁的内表面对齐，以使硅片3的侧壁与固定边框2的内壁抵接。固定边框2的内壁还可以环设有限位槽(图中未示出)，限位槽用于容置硅片3的边缘，以提高固定边框2和硅片3连接的稳定性。当然，顶封21和底座22也可以是其他形状，只要能够拼接形成与硅片3的形状相适应的容置区域即可，此处不作限制。

本实用新型中固定边框2为石英边框，以适应硅片的加工条件。固定边框2的尺寸适应硅片3的尺寸设计，硅片3的厚度一般为200μm，硅片3的宽度一般为156.75cm，因此，固定边框2的宽度可以设置为157.5cm-158.5cm，以便将硅片3嵌入固定边框2内，固定边框2的厚度可以设置为1mm，容置硅片3的边缘的限位槽的宽度可以设置为0.4mm-0.6mm，具体可以设置为0.5mm，使每个固定边框2内可以放置两片硅片3。当然，固定边框2的具体尺寸也可以根据实际需要调整，此处不作限制。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种石英舟，其特征在于，包括：

石英舟本体(1)，所述石英舟本体(1)包括相对设置的两块侧板(11)，两块所述侧板(11)之间设置有底部支撑杆(12)；及

固定边框(2)，所述固定边框(2)与所述底部支撑杆(12)连接，硅片(3)卡入所述固定边框(2)的内部，且所述硅片(3)的侧壁与所述固定边框(2)的内壁抵接，以覆盖所述硅片(3)的侧壁。

2.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述固定边框(2)包括顶封(21)和底座(22)，所述顶封(21)和所述底座(22)配合并可拆卸连接，所述底部支撑杆(12)位于所述底座(22)的下方并与所述底座(22)固定。

3.如权利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述底部支撑杆(12)与所述底座(22)中的一个设置有定位凸起、另一个设置有定位槽，所述定位凸起与所述定位槽配合，以实现所述底座(22)与所述底部支撑杆(12)的固定。

4.如权利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述固定边框(2)与所述底部支撑杆(12)垂直设置，两块所述侧板(11)之间还设置有两个侧部支撑杆(13)，所述固定边框(2)位于两个所述侧部支撑杆(13)之间，所述侧部支撑杆(13)与所述固定边框(2)的侧壁抵接。

5.如权利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述顶封(21)和所述底座(22)均为U型结构，所述顶封(21)和所述底座(22)插接固定。

6.如权利要求5所述的石英舟，其特征在于，所述顶封(21)的侧壁的内表面设置第一U型槽(211)，所述第一U型槽(211)朝向所述底座(22)的端部设置有第一缺口(212)，所述底座(22)的侧壁的内表面设置有第二U型槽(221)，所述第二U型槽(221)朝向所述顶封(21)的端部设置有第二缺口(222)，所述第一缺口(212)和所述第二缺口(222)配合，以实现所述顶封(21)和所述底座(22)插接固定；所述第二U型槽(221)和所述第一U型槽(211)形成限位槽，所述限位槽用于容置所述硅片(3)的边缘。

7.如权利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述顶封(21)和所述底座(22)中的一个设置有连接部、另一个设置有连接孔，所述连接部伸入所述连接孔内，以实现所述顶封(21)和所述底座(22)的可拆卸连接。

8.如权利要求7所述的石英舟，其特征在于，所述固定边框(2)沿内壁环设有限位槽，所述限位槽用于容置所述硅片(3)的边缘。

9.如权利要求6或8所述的石英舟，其特征在于，所述限位槽的宽度为0.4mm-0.6mm。

10.如权利要求1-8任一项所述的石英舟，其特征在于，所述固定边框(2)内设置两片所述硅片(3)，两片所述硅片(3)侧壁与所述固定边框(2)的内壁抵接。