CN206109602U - 一种太阳能电池片槽式制绒设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种太阳能电池片槽式制绒设备，包括内槽和外槽，内槽的底部设有内槽进液口，外槽上设有外槽排液口，该外槽排液口通过循环管路与内槽进液口连通；所述内槽底部设有至少1个支管，该支管的一端与内槽进液口连通，支管上设有复数个排液孔。本实用新型在内槽底部设置了支管，并在支管上设置排液孔，药液从排液孔处发散、均匀进入内槽，从而使得内外槽药液得到充分循环，可以让硅片在槽内得到均匀反应。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，具体涉及一种太阳能电池片槽式制绒设备。
背景技术
近年来，光伏发电是利用太阳光能使半导体电子器件有效地吸收太阳光辐射能，并使之转变成电能的直接发电方式，是当今太阳光发电的主流。当前，人们通常所说太阳光发电就是太阳能光伏发电，亦称太阳能电池发电，其核心部件是太阳能电池片。
现有的太阳能电池片的制造过程分为制绒-扩散-刻蚀-PECVD镀膜-丝网印刷-测试分选。其中，制绒工序的作用是在硅片表面形成绒面结构，最终提高硅片的陷光作用。
现有的制绒方法主要有湿法制绒、电化学制绒、反应离子刻蚀制绒、激光制绒、掩膜制绒等。其中以湿法制绒应用最为广泛。现有的湿法制绒设备主要是槽式制绒设备，主要包括内槽和外槽，外槽一般环设于内槽的外周壁，内槽的底部设有内槽进液口，外槽上设有外槽排液口，该外槽排液口通过循环管路与内槽进液口连通，从而实现药业在内外槽之间的循环流动，即外槽的药液通过循环管路进入内槽，以达到内外槽药液均匀。
然而，实际应用中发现，由于外槽的药液通过循环管路进入内槽的进液口位置单一，导致内外槽药液循环不均匀，进而影响硅片的反应。
另一方面，现有的槽式机台中，由于工艺反应条件，某些槽体需要较高温度，所以在内槽底部设置了加热板。然而，因槽内深度较大，导致槽底与槽口温度存在一定的偏差，使得硅片在槽内反应不均匀，且如果设置温度越高，这样的温差会越明显。
因此，开发一种太阳能电池片槽式制绒设备，以更好地实现内外槽药液循环，减少槽内温度差，显然具有积极的现实意义。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种太阳能电池片槽式制绒设备。
为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是：一种太阳能电池片槽式制绒设备，包括内槽和外槽，内槽的底部设有内槽进液口，外槽上设有外槽排液口，该外槽排液口通过循环管路与内槽进液口连通；所述内槽底部设有至少1个支管，该支管的一端与内槽进液口连通，支管上设有复数个排液孔。
上述技术方案中，所述外槽环设于内槽的外周壁。
上述技术方案中，所述外槽排液口设于外槽的底部或侧壁上。
上述技术方案中，所述循环管路上设有泵。
优选的，所述内槽底部设有4个支管，4个支管呈十字形分布结构。当然，也可以采用多个支管，形成类似花洒的结构。
优选的，所述支管平行于内槽的底边，且支管的长度与其对应的内槽底边的长度之比为2~3：4。优选的，支管的长度与其对应的内槽底边的长度之比为3：4。
优选的，所述4个支管上均设有一排排液孔，且排液孔的孔径由接近内槽进液口至远离内槽进液口的方向上递增。
优选的，所述支管上的排液孔呈排状分布，且排液孔的孔径由接近内槽进液口至远离内槽进液口的方向上递增。所述支管上的排液孔可以是一排，也可以是多排，优选的，所述支管上的排液孔为一排。
上述技术方案中，所述内槽的4个侧壁中的至少1个侧壁上还设有加热机构。
优选的，所述内槽的对面2个侧壁上设有加热机构。
上述技术方案中，所述加热机构为加热板。
上述技术方案中，所述内槽上还设有冷水入口，冷水入口上设有冷水管路。
本实用新型中，将原有的内槽底部的加热板撤除，在内槽两侧分别安装两块加热板，更换的加热板功率可以减小（例如：现有的加热板板功率为6KWh左右，更换为两块3KWh的加热板）。优选的，改进后加热板安装在内槽侧壁的中央处（温度感应器也随之移动到槽壁一侧）。例如，槽体设定药液温度偏高（40℃以上），直接排液加热板会烧坏（加热板出现“热的快效应”），所以如槽内温度高于40℃时，排液时，需通过冷水管路，将冷水直接添加至内槽，当温度降至40℃以下，方可排液（这些可以通过软件设定好）。
由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
1．本实用新型在内槽底部设置了支管，并在支管上设置排液孔，药液从排液孔处发散、均匀进入内槽，从而使得内外槽药液得到充分循环，可以让硅片在槽内得到均匀反应；
2．本实用新型在内槽侧壁设置加热板，可以使得槽内各处温度一致，改善工作环境，具有积极的现实意义；
3.本实用新型的结构简单，易于制备，成本较低，适于推广应用。
附图说明
图1是本实用新型实施例一的结构示意图。
图2是本实用新型实施例一中内槽槽底的俯视图。
其中：1、内槽；2、外槽；3、循环管路；4、支管；5、排液孔；6、泵；7、加热机构；8、冷水管路。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：
实施例一：
参见图1~2所示，一种太阳能电池片槽式制绒设备，包括内槽1和外槽2，内槽的底部设有内槽进液口，外槽上设有外槽排液口，该外槽排液口通过循环管路3与内槽进液口连通；所述内槽底部设有4个支管4，4个支管呈十字形分布结构；所述支管平行于内槽的底边，且支管的长度与其对应的内槽底边的长度之比为3：4；支管上设有1排排液孔5，且排液孔的孔径由接近内槽进液口至远离内槽进液口的方向上递增。参见图2所示。
所述循环管路上设有泵6。
所述内槽的对面2个侧壁上设有加热机构。所述内槽上还设有冷水入口，冷水入口上设有冷水管路8。
如槽体设定药液温度偏高（40℃以上），直接排液会让加热板出现“热的快效应”，加热板会烧坏，所以如槽内温度高于40℃时，排液时需通过额外增加冷水管路（冷水管路连接至内槽，为保证快速降温，流量需控制在350ml/s)以上），将冷水直接添加至内槽，当温度降至40℃以下，方可排液（这些可以通过软件设定好）；
本实用新型在内槽内设置支管，构成十字形结构，在支管正上方位开孔，孔径由中间至四边呈扩大趋势，药液从这些开孔处发散、均匀进入内槽，使得内外槽药液得到充分循环；支管可设置在内槽空间的中央区域也可以设置在内槽内壁的中心区域。支管的内径为2~3 cm，排液孔的直径为0.4~0.8 mm。为保证两端压强稳定，所以“十字形”支管的中心处不开孔。
Claims (10)
1.一种太阳能电池片槽式制绒设备，包括内槽(1)和外槽(2)，内槽的底部设有内槽进液口，外槽上设有外槽排液口，该外槽排液口通过循环管路(3)与内槽进液口连通；其特征在于：所述内槽底部设有至少1个支管(4)，该支管的一端与内槽进液口连通，支管上设有复数个排液孔(5)。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池片槽式制绒设备，其特征在于：所述外槽环设于内槽的外周壁。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池片槽式制绒设备，其特征在于：所述外槽排液口设于外槽的底部或侧壁上。
4.根据权利要求1所述的太阳能电池片槽式制绒设备，其特征在于：所述循环管路上设有泵(6)。
5.根据权利要求1所述的太阳能电池片槽式制绒设备，其特征在于：所述内槽底部设有4个支管，4个支管呈十字形分布结构。
6.根据权利要求5所述的太阳能电池片槽式制绒设备，其特征在于：所述支管平行于内槽的底边，且支管的长度与其对应的内槽底边的长度之比为2~3：4。
7.根据权利要求1所述的太阳能电池片槽式制绒设备，其特征在于：所述支管上的排液孔呈排状分布，且排液孔的孔径由接近内槽进液口至远离内槽进液口的方向上递增。
8.根据权利要求1所述的太阳能电池片槽式制绒设备，其特征在于：所述内槽的4个侧壁中的至少1个侧壁上还设有加热机构(7)。
9.根据权利要求8所述的太阳能电池片槽式制绒设备，其特征在于：所述内槽的对面2个侧壁上设有加热机构。
10.根据权利要求1所述的太阳能电池片槽式制绒设备，其特征在于：所述内槽上还设有冷水入口，冷水入口上设有冷水管路(8)。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109473374A (zh) * | 2017-09-08 | 2019-03-15 | 天津环鑫科技发展有限公司 | 一种带有药液循环装置的挖沟槽槽体 |
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2016
- 2016-10-13 CN CN201621119875.4U patent/CN206109602U/zh not_active Expired - Fee Related
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