CN206624417U - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种基板搬送装置，包括多个平行设置的传送轴，设置于所述传送轴相对的第一端和第二端的支撑结构，以及用于驱动传送轴转动的驱动结构，每个所述传送轴沿其长度方向至少划分为两部分，相邻两部分所述传送轴之间设有连接结构，所述支撑结构与所述连接结构相配合使得每个所述传送轴整体位于一水平面上。本实用新型的有益效果是：传送轴由至少两部分组成，避免传送轴转动过程中的抖动，保证基板表面的平整，降低清洁作业难度。

Description

基板搬送装置

技术领域

本实用新型涉及液晶产品制作技术领域，尤其涉及一种基板搬送装置。

背景技术

彩膜工厂的显影设备主要是利用显影液将基板表面不需要的光刻胶清洗除去以获得设计所需要的形状，为保证显影的均匀性，防止显影不良产生，基板在在显影过程中，需要保持表面平整无凹凸，流动速度均匀无波动。

目前显影设备采用两头支撑、单侧驱动的装有滚轮的Shaft(搬送轴)搬送基板；基板搬送过程不可避免存在抖动，利用Shaft材质本身的高强度控制基板的弯曲以满足工艺要求。在彩膜10.5世代工场生产的玻璃基板尺寸为3370*2940，导致显影设备使用的Shaft长达3300mm，难于保证基板表面的平整，同时也给Shaft更换清洁作业带来困难。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种基板搬送装置，保证基板表面的平整度，降低清洁作业难度。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种基板搬送装置，包括多个平行设置的传送轴，设置于所述传送轴相对的第一端和第二端的支撑结构，以及用于驱动传送轴转动的驱动结构，每个所述传送轴沿其长度方向至少划分为两部分，相邻两部分所述传送轴之间设有连接结构，所述支撑结构与所述连接结构相配合使得每个所述传送轴整体位于一水平面上。

进一步的，每个所述传送轴沿其长度方向包括第一部分和第二部分，所述连接结构包括：

连接所述第一部分的第一轴承和连接所述第二部分的第二轴承；

设置于所述第一部分和所述第二部分之间的第一支撑架，所述第一支撑架上设有用于安装所述第一轴承和所述第二轴承的第一轴承槽。

进一步的，所述第一轴承槽上设有导向槽，所述第一轴承的外部和所述第二轴承的外部均固定连接有连接件，所述连接件具有能够插接于所述导向槽内、以防止相应的所述传送轴在与所述传送轴径向相平行的方向跳动的插接部；所述导向槽的延伸方向与所述传送轴的延伸方向一致。

进一步的，所述第一支撑架上沿其长度方向设有压板，所述压板覆盖于所述第一轴承槽上以防止所述传送轴在与水平面垂直的方向跳动。

进一步的，每个所述传送轴沿其长度方向包括第一部分和第二部分，且所述第一部分的长度和所述第二部分的长度相等，所述第一支撑架上包括数量与所述传送轴数量相对应的所述第一轴承槽。

进一步的，所述第一轴承和所述第二轴承之间具有间隙。

进一步的，所述支撑结构包括第二支撑架，所述第二支撑架设有数量与所述传送轴的数量相对应的第二轴承槽，所述第二轴承槽内安装有第三轴承以与所述第一部分或所述第二部分连接。

进一步的，所述第二支撑架上设置有压条，所述压条覆盖于所述第二轴承槽上以防止所述传送轴在与水平面垂直的方向跳动。

进一步的，所述驱动结构包括设置于所述传送轴第一端的第一驱动部和设置于所述传送轴第二端的第二驱动部，所述第一驱动部和所述第二驱动部相配合以使得每个传送轴的所述第一部分和所述第二部分同时转动，且使得多个传送轴同时转动。

进一步的，所述第一驱动部的结构和所述第二驱动部的结构相同，所述第一驱动部包括：

驱动马达；

传动结构，与多个所述传送轴的相应的所述第一部分连接，用于在所述驱动马达的驱动下驱动多个所述传送轴同时转动。

本实用新型的有益效果是：传送轴由至少两部分组成，避免传送轴转动过程中的抖动，保证基板表面的平整，降低清洁作业难度。

附图说明

图1表示本实用新型实施例中基板搬送装置结构示意图；

图2表示本实用新型实施例中基板搬送装置局部结构放大示意图；

图3表示本实用新型实施例中连接结构示意图；

图4表示本实用新型实施例中基板搬送装置局部结构示意图；

图5表示图4的仰视图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的特征和原理进行详细说明，所举实施例仅用于解释本实用新型，并非以此限定本实用新型的保护范围。

如图1和图2所示(图1和图2为基板搬送装置的剖视图)，本实施例提供一种基板搬送装置，包括多个平行设置的传送轴1，设置于所述传送轴1相对的第一端和第二端的支撑结构3，以及用于驱动传送轴1转动的驱动结构2，每个所述传送轴1沿其长度方向至少划分为两部分，相邻两部分所述传送轴1之间设有连接结构4，所述支撑结构3与所述连接结构4相配合使得每个所述传送轴1整体位于一水平面上。

每个所述传送轴1由至少两部分组成，不但在所述传送轴1相对的第一端和第二端设置支撑结构3，在相邻两部分传送轴1之间也设有连接结构4以实现对传送轴1的支撑，相对于现有技术中的每个传送轴1整体式设置，本实施中的传送轴1的分体式设置，缩短了传送轴1的长度，降低了传送轴1在转动过程中的抖动，提高了基板传送的平稳性，保证了基板表面的平整，降低了清洁作业难度。

每个所述传送结构沿其长度方向可以包括两部分或者两个以上的部分，可以根据实际需要设定，以下以每个所述传送轴1包括两部分为例具体介绍本实施例中基板搬送装置的具体结构形式。

所述连接结构4的具体结构形式也可以有多种，只要实现相应的部分的传送轴1的支撑和转动即可，本实施例中，如图2所示，每个所述传送轴1沿其长度方向包括第一部分11和第二部分12，所述连接结构4包括：

连接所述第一部分11的第一轴承41和连接所述第二部分12的第二轴承42；

设置于所述第一部分11和所述第二部分12之间的第一支撑架43，所述第一支撑架43上设有用于安装所述第一轴承41和所述第二轴承42的第一轴承槽46。

本实施例中，所述第一轴承槽46均匀的分布于所述第一支撑架43上。

进一步的，所述第一轴承槽46上设有导向槽45，所述第一轴承41的外部和所述第二轴承42的外部均固定连接有连接件，所述连接件具有能够插接于所述导向槽45内、以防止相应的所述传送轴1在与所述传送轴1径向相平行的方向跳动的插接部。

本实施例中，所述连接件为轴承套。

本实施例一实施方式中，第一轴承41和第二轴承42的外部可分别套设一个轴承套，相应的，在第一轴承槽46上对应于相应的轴承套的位置设有导向槽45。

为了保证每个传送轴1的第一部分11和第二部分12在同一水平面上，且降低制作难度，本实施例中另一实施方式中，所述第一轴承41和第二轴承42共用一个轴承套40，所述第一轴承槽46上对应于轴承套40的插接部的位置设有导向槽45。

图3表示的是连接结构的剖视图，传送轴1的第一部分11通过第一轴承41(或传送轴的第二部分12通过第二轴承42)安装于第一轴承槽46内，第一轴承41(或第二轴承42)的外部套设有轴承套40，轴承套40的插接部插接于导向槽45内，

导向槽45的设置可以保证相邻两部分搬送轴在沿传送轴1的长度方向(图示中的Y方向)上的同一直线上，防止相邻两部分传送轴1在高速转动过程中发生前后跳动，即在基板传送方向(X方向)上的跳动，从而防止两部分传送轴1在交接处沿X方向出现偏移，导致搬送异常。

进一步的，所述导向槽45的延伸方向与所述传送轴1的延伸方向一致。

进一步的，所述第一支撑架43上沿其长度方向设有压板44，所述压板44覆盖于所述第一轴承槽46上以防止所述传送轴1在与水平面垂直的方向跳动。

压板44的设置防止传送轴1在转动时产生大幅度的跳动，保证基板运送的平稳性。

压板44与第一支撑架43的连接方式有多种，只要实现覆盖于所述第一轴承槽46上以防止所述传送轴1在与水平面垂直的方向跳动的目的即可，本实施例中压板44通过螺钉441固定设置于第一支撑架43上。

优选的，每个所述传送轴1沿其长度方向包括第一部分11和第二部分12，且所述第一部分11的长度和所述第二部分12的长度相等，所述第一支撑架43上包括数量与所述传送轴1数量相对应的所述第一轴承槽46。

优选的，如图2所示，为了防止传送轴1在转动时，第一部分11靠近第二部分12的一端和第二部分12靠近第一部分11的一端接触产生干涉，所述第一轴承41和所述第二轴承42之间具有间隙L。

该间隙L的大小根据实际需要设定，本实施例中优选的，所述间隙为10mm。

本实施例中，所述支撑结构3的具体结构形式可以有多种，所述支撑结构3的具体结构形式可以与所述连接结构4相同也可以不同，只要实现传送轴1的支撑即可，本实施例中，所述支撑结构3包括第二支撑架，所述第二支撑架设有数量与所述传送轴1的数量相对应的第二轴承槽，所述第二轴承槽内安装有第三轴承以与所述第一部分11或所述第二部分12连接。

所述第二轴承槽内设置有导向槽，防止传送轴1在基板传送方向上产生跳动，导致搬送异常。

进一步的，所述第二支撑架上设置有压条，所述压条覆盖于所述第二轴承槽上以防止所述传送轴1在与水平面垂直的方向跳动。

本实施例中，所述驱动结构2包括设置于所述传送轴1第一端的第一驱动部和设置于所述传送轴1第二端的第二驱动部，所述第一驱动部和所述第二驱动部相配合以使得每个传送轴1的所述第一部分11和所述第二部分12同时转动，且使得多个传送轴1同时转动。

进一步的，所述第一驱动部的结构和所述第二驱动部的结构相同，如图4和图5所示，所述第一驱动部包括：

驱动马达22；

传动结构，与多个所述传送轴1的相应的所述第一部分11连接，用于在所述驱动马达22的驱动下驱动多个所述传送轴1同时转动。

所述传动结构包括设置于驱动马达22的驱动轴和传送轴1之间的传动轴21，传动轴21与驱动轴之间、传动轴21与传送轴1之间均通过传动齿轮连接。

所述传动齿轮包括设置于驱动马达22的驱动轴和传送轴1上的第一45°斜向齿轮13，以及，传动轴21上的多个分别与驱动轴的45°斜向齿轮和传送轴1上的45°斜向齿轮匹配的第二45°斜向齿轮211。

驱动轴通过传动齿轮带动传动轴21转动，使得传动轴21驱动同侧的多根传送轴1同时转动，保证传动的一致性。

本实施例中，通过PLC控制驱动马达22的转速，实现对传送轴1搬送速度的控制，且实现传送轴1上至少两部分的传送轴1的同时转动。

以上为本实用新型较佳实施例，需要说明的是，对于本领域普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型保护范围。

Claims (10)

1.一种基板搬送装置，包括多个平行设置的传送轴，设置于所述传送轴相对的第一端和第二端的支撑结构，以及用于驱动传送轴转动的驱动结构，其特征在于，每个所述传送轴沿其长度方向至少划分为两部分，相邻两部分所述传送轴之间设有连接结构，所述支撑结构与所述连接结构相配合使得每个所述传送轴整体位于一水平面上。

2.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，每个所述传送轴沿其长度方向包括第一部分和第二部分，所述连接结构包括：

连接所述第一部分的第一轴承和连接所述第二部分的第二轴承；

设置于所述第一部分和所述第二部分之间的第一支撑架，所述第一支撑架上设有用于安装所述第一轴承和所述第二轴承的第一轴承槽。

3.根据权利要求2所述的基板搬送装置，其特征在于，所述第一轴承槽上设有导向槽，所述第一轴承的外部和所述第二轴承的外部均固定连接有连接件，所述连接件具有能够插接于所述导向槽内、以防止相应的所述传送轴在与所述传送轴径向相平行的方向跳动的插接部；所述导向槽的延伸方向与所述传送轴的延伸方向一致。

4.根据权利要求2所述的基板搬送装置，其特征在于，所述第一支撑架上沿其长度方向设有压板，所述压板覆盖于所述第一轴承槽上以防止所述传送轴在与水平面垂直的方向跳动。

5.根据权利要求2所述的基板搬送装置，其特征在于，每个所述传送轴沿其长度方向包括第一部分和第二部分，且所述第一部分的长度和所述第二部分的长度相等，所述第一支撑架上包括数量与所述传送轴数量相对应的所述第一轴承槽。

6.根据权利要求2所述的基板搬送装置，其特征在于，所述第一轴承和所述第二轴承之间具有间隙。

7.根据权利要求2所述的基板搬送装置，其特征在于，所述支撑结构包括第二支撑架，所述第二支撑架设有数量与所述传送轴的数量相对应的第二轴承槽，所述第二轴承槽内安装有第三轴承以与所述第一部分或所述第二部分连接。

8.根据权利要求7所述的基板搬送装置，其特征在于，所述第二支撑架上设置有压条，所述压条覆盖于所述第二轴承槽上以防止所述传送轴在与水平面垂直的方向跳动。

9.根据权利要求2所述的基板搬送装置，其特征在于，所述驱动结构包括设置于所述传送轴第一端的第一驱动部和设置于所述传送轴第二端的第二驱动部，所述第一驱动部和所述第二驱动部相配合以使得每个传送轴的所述第一部分和所述第二部分同时转动，且使得多个传送轴同时转动。

10.根据权利要求9所述的基板搬送装置，其特征在于，所述第一驱动部的结构和所述第二驱动部的结构相同，所述第一驱动部包括：

驱动马达；

传动结构，与多个所述传送轴的相应的所述第一部分连接，用于在所述驱动马达的驱动下驱动多个所述传送轴同时转动。