CN206504714U - 形状测定装置 - Google Patents

Abstract

形状测定装置(1)测定板状体(G)的面形状，具备：多个流体浮起部(2)，其向板状体(G)排出流体，并且将板状体(G)支承为以平置姿态浮起的状态；以及测定部(3)，其测定表示浮起状态下的板状体(G)的面形状的面形状数据，多个流体浮起部(2)相互分离地配置。

Description

形状测定装置

技术领域

本实用新型涉及一种形状测定装置，该形状测定装置将排出流体而使板状体浮起的流体浮起部作为构成要素，测定板状体的面形状。

背景技术

近年来，在液晶显示器、等离子显示器或有机EL显示器等平板显示器(以下，称作FPD)、照明用面板甚至是太阳电池用面板等中，一直在促进轻型且具有挠性的薄壁的玻璃基板的应用。代表这种玻璃基板的轻型且具有挠性的板状体要求高平坦性，但由于因制造时的温度变化等的影响而产生翘曲、起伏等变形，因此从质量管理等观点出发，必须重视测定板状体原本的面形状的必要性。

这种测定板状体的面形状的装置一般构成为，在将板状体载置在平台上并使其静止的状态下，使用测定器具等从该板状体的表面侧测定面形状。然而，在这样的普通装置中，由于板状体因自重而被按压在平台上，因此难以准确测定板状体原本的面形状。

作为主要解决此类问题的目的的装置，根据专利文献1，公开了如下结构：从形成在单一的定板的表面整个区域的多个空气喷嘴排出空气，使板状体在定板上暂时浮起之后，解除空气的排出而使板状体自由落下，在该自由落下的中途，利用测定机构(专利文献1的空间坐标检测机构)测定板状体的面形状。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-068620号公报

然而，根据专利文献1公开的装置，在板状体是薄壁的板玻璃或玻璃膜这样具有容易变形的特性的情况下，也有以下所示的各种问题。

即，由于该装置采用在自由落下的中途测定板状体的面形状的结构，因此板状体会因落下时的空气阻力等而变形，很难或无法测定原本的面形状。另外，由于在板状体的落下中，测定机构必须在短时间内对板状体的表面进行测定，因此产生配备多个测定机构的必要性等，存在导致装置结构的复杂化、制作成本的升高的问题。

此外，由于该装置构成为，在从配置于单一的定板的表面整个区域的多个空气喷嘴排出空气而使板状体浮起的状态下测定面形状，因此作用于板状体的面的空气的压力分布不会形成为优选的方式，在测定准确的面形状方面成形较大阻碍。详细而言，喷出到板状体的中央部附近的空气被喷出到板状体的端缘部附近的空气阻碍从板状体的下部空间向板状体的外部的流出。若在这样的状态下，不断向板状体的下部空间喷出空气，则作用于板状体的中央部的空气的压力比作用于板状体的端缘部附近的空气的压力高，因此板状体的中央部以向上方呈凸状的方式弯曲变形。因此，即便从这样的状态使板状体自由落下，不仅落下前的板状体会不当地弯曲变形，而且在落下时如上述那样会受到空气阻力等负面影响，因此测定板状体原本的面形状的困难性极大。

实用新型内容

实用新型要解决的课题

本实用新型是鉴于上述情况而完成的，其技术课题在于，能够不使不当的流体压力作用于板状体而适当地使板状体浮起并支承板状体，从而准确地测定该板状体原本的面形状。

用于解决课题的手段

为了解决上述技术课题而完成的本实用新型涉及一种形状测定装置，其测定板状体的面形状，其特征在于，所述形状测定装置具备：流体浮起部，其向所述板状体排出流体，并且将所述板状体支承为以平置姿态浮起的状态；以及测定部，其测定表示所述浮起的状态下的所述板状体的面形状的面形状数据，所述形状测定装置具有多个所述流体浮起部，并且多个所述流体浮起部配置为彼此分离。

根据这样的结构，板状体通过从多个流体浮起部排出的流体的压力而以平置姿态浮起，直接在该浮起的状态下，通过测定机构测定表示面形状的面形状数据。因此，不会像在使板状体自由落下的中途进行测定的情况那样受到空气阻力等带来的负面影响。并且，由于多个流体浮起部相互分离，因此在从各流体浮起部分别排出流体的各排出区域的彼此之间，形成有不排出流体的间隙区域。因此，在使板状体浮起而进行支承的状态下，向板状体的下部空间排出的多余流体流入间隙区域。因此，在板状体的下部空间不存在多余流体，抑制作用于板状体的流体压力的不均匀化。其结果是，板状体的中央部以向上方呈凸状的方式弯曲变形的不良情况得到抑制，能够准确地测定板状体原本的面形状。

在这样的结构的基础上优选为，在多个所述流体浮起部的彼此之间形成有流出路，该流出路使所述流体从所述浮起的状态下的所述板状体的下部空间向其外部流出。

若如此，即便从多个流体浮起部朝向板状体不断排出流体，存在于板状体的下部空间的多余流体也不会积存在该下部空间，而是通过流出路从下部空间向外部流出。由此，在板状体的下部空间残存多余流体的不良情况可靠地得到抑制。

在以上结构的基础上优选为，多个所述流体浮起部分别在沿一方向形成为长条的壳体部的上表面设置有排出所述流体的排出部，多个所述壳体部平行或大致平行地排列配设。

若如此，由于在多个壳体部的彼此之间，呈直线状的多个间隙区域以大致平行的状态形成，因此，从各壳体部的上表面的排出部排出而存在于板状体的下部空间的多余流体沿着直线状的间隙区域流动。由此，间隙区域内的流体的流通阻力变小，故而流体的流动在间隙区域停滞的情况得到抑制。并且，由于多个壳体部均具有高度，因此与各流体浮起部和其彼此间的分离部位处于同一平面的状态的情况比较，间隙区域扩大，从板状体的下部空间排除多余流体的效果增大。

在以上结构的基础上也可以是，多个所述流体浮起部使所述板状体倾斜的方式支承所述板状体。

若如此，还能够发挥使从多个流体浮起部朝向板状体排出的多余流体从板状体的下部空间沿板状体的倾斜面向外部流出的作用，并且还能够避免板状体向所有方向自由地浮动的情况。

在以上结构的基础上优选为，所述形状测定装置具备限制所述板状体的主面方向的移动的限制构件。

若如此，即便以浮起的状态被支承的板状体想要向主面方向移动，也会被限制构件限制板状体的移动，因此，能够避免在测定板状体的表面的面形状数据的过程中板状体移动的不良情况。

在以上结构的基础上优选为，所述板状体形成为大致矩形状，多个所述流体浮起部以使所述板状体从对置的一方的拐角部朝向另一方的拐角部而下降倾斜的方式支承该板状体。

若如此，由于在预先将板状体以浮起的状态保持在固定位置的情况下，只要限制一方的拐角部的移动即可，因此能够简化用于进行该限制的结构。需要说明的是，该情况下的板状体相对于水平面的倾斜角度优选为1度以下。

在以上结构的基础上优选为，多个所述流体浮起部的彼此间的分离尺寸是10mm以上且200mm以下。

即，在上述的分离尺寸小于10mm的情况下，存在分别从各流体浮起部排出的流体仅少量在各流体排出区域的彼此之间的间隙区域流通，而其大部分积存在板状体的下部空间的可能性。另一方面，在所述的分离尺寸超过200mm的情况下，存在被排出的流体从各流体排出区域的彼此间的间隙区域大量流出的可能性。因此，若预先将所述的分离尺寸设为10mm以上且200mm以下，则不易产生上述的不良情况。若考虑到以上情况，所述的分离尺寸更优选为40mm以上，并优选为120mm以下。

在以上结构的基础上优选为，所述测定部包括：位移计，其以非接触的方式测定从预先明确的位置到所述板状体的表面的距离信息；驱动扫描部，其在所述板状体的上方驱动所述位移计，对所述板状体的表面进行扫描；以及处理部，其通过所述位移计的扫描而获取所述板状体的多个位置处的所述距离信息，并且根据所获取的多个距离信息生成所述面形状数据。

若如此，若对驱动扫描部进行驱动，使位移计扫描板状体的表面，则能够在板状体的表面的多个位置获取从位移计到板状体的表面的距离信息，并且处理部能够根据所获取的多个距离信息迅速地生成表示板状体的面形状的面形状数据。由此，能够迅速且准确地测定通过驱动扫描部而使位移计移动的区域中的板状体的面形状数据。

在以上结构的基础上优选为，所述形状测定装置还具备运算部，该运算部根据由所述测定部测定的面形状数据、以及表示通过多个所述流体浮起部的各上表面的基准面的形状的基准面形状数据，从而求出修正面形状数据。

若如此，通过由运算部利用基准面形状数据修正通过测定部测定到的面形状数据，由此得到修正面形状数据，因此能够更准确地掌握板状体的面形状。需要说明的是，“基准面”既可以是由流体浮起部上未载置板状体的状态下的流体浮起部的各上表面和将所述的上表面平滑连接的假想连接面构成的单一的面，或者也可以是在不排出流体的流体浮起部的上方载置有板状体的状态下的板状体的表面。

在以上结构的基础上优选为，所述形状测定装置还具备运算部，该运算部针对所述板状体的表面侧以及背面侧分别获取所述面形状数据，并且根据这两个数据求出修正面形状数据。

若如此，通过由运算部利用测定另一侧的面得到的面形状数据修正测定板状体的表面侧或者背面侧的一侧的面得到的面形状数据，由此获得修正面形状数据，故而能够更准确地掌握板状体的面形状。

在以上结构的基础上优选为，所述形状测定装置还具备运算部，该运算部在使所述板状体沿着使多个所述流体浮起部彼此分离的方向移动其分离尺寸的1/2的前后，分别测定所述面形状数据，根据这两个数据求出修正面形状数据。

若如此，通过由运算部利用在移动上述分离尺寸的1/2后测定到的面形状数据修正在移动所述分离尺寸的1/2之前测定到的面形状数据，由此获得修正面形状数据，故而能够更准确地掌握板状体的面形状。

实用新型效果

如上，根据本实用新型，由于能够在不使不当的流体压力作用于板状体的情况下适当地使板状体浮起并进行支承，因此能够准确地测定该板状体原本的面形状。

附图说明

图1是示出本实用新型的第一实施方式所涉及的形状测定装置的简要主要部分结构的立体图。

图2示出本实用新型的第一实施方式所涉及的形状测定装置的板状体被浮起支承的状态。

图3示出本实用新型的第一实施方式所涉及的形状测定装置的测定从位移计到板状体的距离信息的状态。

图4是图1的A-A线纵剖视图。

图5是图2的B-B线纵剖视图。

图6是求取本实用新型的第一实施方式所涉及的第一例的板状体的修正面形状数据之前的框图。

图7是求取本实用新型的第一实施方式所涉及的第二例的板状体的修正面形状数据之前的框图。

图8是求取本实用新型的第一实施方式所涉及的第三例的板状体的修正面形状数据之前的框图。

图9a示出本实用新型的第一实施方式所涉及的第三例所涉及的形状测定装置的、测定第一位置处的距离板状体的距离信息的简要主要部分结构的立体图。

图9b示出本实用新型的第一实施方式所涉及的第三例所涉及的形状测定装置的、测定从第一位置移动至第二位置后的距离板状体的距离信息的简要主要部分结构的立体图。

图10是示出本实用新型的第二实施方式所涉及的形状测定装置的简要主要部分结构的立体图。

图11是示出本实用新型的第三实施方式所涉及的形状测定装置的简要主要部分结构的立体图。

图12是图11的C-C纵剖视图。

图13是示出本实用新型的第四实施方式所涉及的形状测定装置的简要主要部分结构的立体图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本实用新型的实施方式所涉及的形状测定装置。

图1以及图2例示了本实用新型的第一实施方式所涉及的形状测定装置1的简要结构。如上述的各图所示那样，形状测定装置1的主要构成要素包括：多个流体浮起部(壳体部)2，其将板状体G支承为以平置姿态浮起的状态；以及测定部3，其以非接触的方式测定表示维持为浮起状态的板状体G的面形状的面形状数据。在该情况下，板状体G在本实施方式中由大致矩形的玻璃基板构成，玻璃基板G的尺寸设为，一边的尺寸是600～3500mm(在本实施方式中是2500mm)，与之邻接的另一边的尺寸是500～3200mm(在本实施方式中是2200mm)，厚度是0.2～1.1mm(在本实施方式中是0.5mm)。

多个流体浮起部2均构成为，在一方向上纵长的细长立方体形状的壳体部2的上表面2a具有将流体向上方排出的排出部2ax(该图中标注有剖面线的部位)。上述的多个壳体部2以平行或大致平行地并列的方式排列，配置为各个壳体部2彼此间隔着间隙部4彼此分离。换言之，在多个壳体部2的彼此间，设置有间隔为D且高度为h的间隙部4，伴随于此，多个壳体部2的上表面2a的排出部2ax以彼此隔开D的间隔的方式配置。

在该情况下，间隔D设为10mm以上且200mm以下(在本实施方式中是100mm)，并且高度h设为10mm以上且200mm以下(在本实施方式中是100mm)。此外，壳体部2的个数设为2个以上(在本实施方式中是6个)。另外，各个壳体部2的长边方向的尺寸设为500mm以上且4000mm以下(在本实施方式中是2800mm)，并且与长边方向正交的方向(宽度方向)的尺寸设为50mm以上且200mm以下(在本实施方式中是100mm)。需要说明的是，虽未详细图示，但在各壳体部2的上表面2a均匀地形成有分别排出流体的多个排出孔，由此构成排出部2ax。

测定部3具有作为位移计的激光位移计3a，该激光位移计3a构成为以非接触的方式测定从预先明确的位置(例如激光位移计3a本身的位置)到玻璃基板G的表面的距离信息。此外，测定部3具备：驱动扫描部(省略图示)，其在玻璃基板G的上方驱动激光位移计3a而扫描玻璃基板G的表面，该驱动扫描部由龙门架装置等构成；以及处理部3b，其通过扫描而测定玻璃基板G的多个位置处的距离信息，根据这些距离信息生成表示玻璃基板G的面形状的面形状数据。

在此，激光位移计3a指向与玻璃基板G的表面正交的方向，配置在恒定的高度，向玻璃基板G照射激光，以非接触的方式测定距玻璃基板G的表面的距离。该激光位移计3a有散射方式、正反射方式等，但若考虑到玻璃基板G是透明体，优选使用正反射方式的激光位移计3a。另外，作为激光位移计3a，考虑到距离分辨率等，优选使用能通过激光三角法或者共焦点法进行测定的激光位移计3a。需要说明的是，也可以代替激光位移计3a，而使用以空气、光、超声波等作为介质的非接触式的位移计，并且还能够使用拍摄玻璃基板G的面形状的摄像机等拍摄机构。

图3例示了由激光位移计3a扫描浮起支承后的玻璃基板G的上表面的状态。如该图所示那样，激光位移计3a通过龙门架装置等的驱动而能够在纵横方向(X方向以及Y方向)上自如地扫描玻璃基板G的上表面，例如图示例那样，能够使激光位移计3a在玻璃基板G的上表面以蛇行的方式进行扫描。另外，激光位移计3a还能够通过龙门架装置等在上下方向(Z方向)上移动，由此能够进行激光位移计3a的高度调节。需要说明的是，作为驱动扫描部，也可以代替龙门架装置等而使用机械臂等。

图4是沿着图1的A-A线切断而成的纵剖视图。如该图所示那样，多个壳体部2以角度α倾斜排列，以便以使玻璃基板G随着从对置的一方的拐角部朝向另一方的拐角部而下降倾斜的方式浮起支承该玻璃基板G。详细而言，图4所示的包括多个壳体部2的底面2b全部的倾斜平面h2相对于水平面H1倾斜角度α，以便以图2所示的玻璃基板G朝向拐角部G1侧下降倾斜的方式浮起支承该玻璃基板G。因此，包括多个壳体部2的上表面2a(排出部2ax)全部的倾斜平面H3也相同地相对于水平面H1倾斜角度α。该角度α为1度以下，优选为0.5度以下，更优选为0.1度以下，在本实施方式中设定为0.05度。

此外，如图1～图3所示那样，在玻璃基板G下降倾斜的拐角部G1的方向上，立起设置有限制玻璃基板G的移动的由树脂、橡胶或者金属等构成的多个限制构件6。这些限制构件6呈圆柱状或者圆筒状，其侧面与形成玻璃基板G下降倾斜的方向的拐角部G1的两条边Ga、Gb抵接。在本实施方式中，这些限制构件6排列为，其中的多根(图示例中是两个)与玻璃基板G的四边中的、沿壳体部2的长边方向的一边Ga抵接，其中的一根与沿正交于边Ga的方向的另一边Gb抵接。因此，玻璃基板G虽然倾斜，但通过与限制构件6的抵接而限制主面方向上的移动，稳定保持在固定位置。

图5是沿图2的B-B线切断而成的纵剖主视图，夸张例示了玻璃基板G浮起并被支承的状态。如该图所示那样，玻璃基板G被从多个相互分离的壳体部2的上表面2a的排出部2ax排出的流体浮起支承，在被浮起支承的该玻璃基板G的下部空间，形成多个流体的排出区域7、以及不排出流体的间隙区域8(由间隙部4与其上部构成的区域)。并且，间隙区域8是供存在于玻璃基板G的下部空间的多余流体流入的部位，并且还发挥使该多余流体从玻璃基板G的下部空间向外部流出的流出路的作用。因此，玻璃基板G被浮起支承为容易呈现原本的面形状的状态。

特别是，在间隙区域8中，由于在不直接作用有流体的排出力的状态下将玻璃基板G浮起支承，因此认为在该间隙区域8及其周边部，会形成与流体的排出区域7的宽度方向中央部相比，更容易呈现玻璃基板G原本的面形状的状态。因此，认为理想的是，优选在间隙区域8及其周边部重点测定玻璃基板G的面形状数据。然而，无论如何，若是采用上述的流体的排出方式，则会在玻璃基板G的整个区域范围内呈现原本的面形状(具有弯曲、起伏等的面形状)或与之接近的面形状。并且，通过激光位移计3a扫描处于这样的状态的玻璃基板G的上表面，由此利用测定部3测定玻璃基板G的适当的面形状数据。

图6是本实施方式的第一例所涉及的框图，例示了根据由测定部3测定到的处于浮起支承状态的玻璃基板G的面形状数据、以及由测定部3测定到的基准面形状数据求取修正面形状数据之前的简要结构。在此，基准面形状数据在本实施方式中指的是，在不排出流体的多个壳体部2的上表面2a载置有玻璃基板G的状态(玻璃基板的自重直接作用的状态)下，利用测定部3测定到的面形状数据。需要说明的是，该基准面形状数据也可以是将利用测定部3测定不排出流体的多个壳体部2的上表面2a得到的面形状数据与将上述的各上表面2a平滑连接的假想连接面相结合而成的面形状数据，但在该情况下，对于假想连接面，应当考虑玻璃基板G自重的影响。

如该图所示那样，虽从测定部3的激光位移计3a向处理部3b送出表示距离信息的信号，但处理部3b具备基准面形状数据处理部3b1与面形状数据处理部3b2。因此，在来自激光位移计3a的信号向基准面形状数据处理部3b1与面形状数据处理部3b2送出之后，来自上述的两处理部3b1、3b2的信号向运算部5送出。根据这样的结构，如上述那样通过基准面形状数据处理部3b1生成基准面形状数据，并且通过面形状数据处理部3b2生成处于浮起支承状态的玻璃基板G的面形状数据。然后，利用运算部5求出与处于浮起支承状态的玻璃基板G的面形状数据和基准面形状数据的差异相当的修正面形状数据。

图7是本实施方式的第二例所涉及的框图，例示了根据利用测定部3测定到的处于浮起支承状态的玻璃基板G的表面侧以及背面侧的两个面形状数据求取修正面形状数据之前的简要结构。如该图所示那样，测定部3的处理部3b具备表面形状数据处理部3b3与背面形状数据处理部3b4。因此，在来自激光位移计3a的信号被送出到表面形状数据处理部3b3与背面形状数据处理部3b4之后，来自上述的两个处理部3b3、3b4的信号被送出到运算部5。根据这样的结构，利用表面形状数据处理部3b3生成处于浮起支承状态的玻璃基板G的表面的面形状数据，并且利用背面形状数据处理部3b4生成处于浮起支承状态的玻璃基板G的背面的面形状数据。然后，利用运算部5求出与表面的面形状数据和背面的面形状数据的差异相当的修正面形状数据。

图8是本实施方式的第三例所涉及的框图，例示了根据由测定部3测定到的处于浮起支承状态的玻璃基板G的移动前与移动后的两个面形状数据求取修正面形状数据之前的简要结构。如该图所示那样，测定部3的处理部3b具备第一面形状数据处理部3b5与第二面形状数据处理部3b6。因此，在来自激光位移计3a的信号被送出到第一面形状数据处理部3b5与第二面形状数据处理部3b6之后，来自上述的两个处理部3b5、3b6的信号被送出到运算部5。在此，第一面形状数据处理部3b5生成处于浮起支承状态的玻璃基板G存在于第一位置时的面形状数据，第二面形状数据处理部3b6生成处于浮起支承状态的玻璃基板G存在于从第一位置移动了间隔D的1/2的第二位置时的面形状数据。根据这样的结构，利用运算部5将由第一面形状数据处理部3b5生成的第一位置处的面形状数据与由第二面形状数据处理部3b6生成的第二位置处的面形状数据相结合，求出修正面形状数据。详细而言，如已叙述那样，对于被浮起支承的玻璃基板G上容易呈现原本的面形状的部分，认为与流体的排出区域7的宽度方向中央部相比，是间隙区域8及其周边部。因此，若在使处于浮起支承状态的玻璃基板G移动间隔D的1/2的前后生成两种面形状数据，则能够在大范围内生成间隙区域8及其周边部的面形状数据。然后，运算部5以优先更容易呈现原本的面形状的数据部分的方式将这两种面形状数据结合，由此能够求出高精度的修正面形状数据。

图9a例示了玻璃基板G处于上述的第一位置时的形态，图9b例示了玻璃基板G处于上述的第二位置时的形态。如上述的各图所示那样，在立起设置为能够与玻璃基板G的各边中的沿壳体部2的长边方向的一边抵接的两个限制构件6的上部，分别固定有回转臂体6a，并且上述的两个限制构件6分别被保持为能够旋转。然后，若从如图9a所示那样回转臂体6a的前端面与玻璃基板G的一边抵接的状态使两个限制构件6旋转90度，则回转臂体6a想要远离玻璃基板G的一边。但是，由于玻璃基板G向限制构件6存在的拐角部G1的方向下降倾斜，因此如图9b所示那样，玻璃基板G因自重而整体向左方向移动间隔D的1/2，玻璃基板G的一边与回转臂体6a的侧面抵接(图中箭头的方向)。由此，玻璃基板G从上述的第一位置移动到第二位置。因此，根据这样的结构，能够准确且容易地进行玻璃基板G的移动。需要说明的是，也可以将图9b所示的形态设为玻璃基板G处于上述的第一位置时的形态，从该状态起使两个限制构件6向与上述相反的方向旋转90度，使玻璃基板G成为与位于图9a所示的上述的第二位置时对应的形态。

如上所述，根据所述第一实施方式所涉及的形状测定装置1，通过将作为多个流体浮起部的壳体部2相互分离地配置，由此在分别从各壳体部2的排出部2ax排出流体而成的各排出区域7的彼此之间，形成有不排出流体的间隙区域8，故而排出到处于浮起支承状态的玻璃基板G的下部空间的多余流体向间隙区域8流入，进而通过流出路4向外部流出。因此，在玻璃基板G的下部空间不存在多余流体，作用于玻璃基板G的流体压力的不均匀化得到抑制。其结果是，玻璃基板G的中央部以向上方呈凸状的方式弯曲变形的不良情况得到抑制，能够准确地测定玻璃基板G原本的面形状。

需要说明的是，作为向玻璃基板G排出的流体的流体源，优选在鼓风机装入有HEPA过滤器(High Efficiency Particulate Air Filter)的流体源或者CDA(Clean Dry Air)，作为要排出的流体，优选非活性气体。另外，排出部2ax也能够由多孔质金属的烧结体(烧结金属)、树脂等形成。

并且，通过使用空气或者氮气作为向玻璃基板G排出的非活性气体，能够抑制玻璃基板G的检查所需的总成本。在此，在将从壳体部2的排出部2ax排出的流体设为空气的情况下，优选使用被压缩机压缩后的压缩空气，更优选利用烘干机等使压缩空气的露点降低至-50℃的压缩空气。并且，通过使用使压缩空气的露点至少降低至-20℃的压缩空气，即便从多个流体浮起部2排出的空气因隔热膨胀而温度降低，也能够防止玻璃基板G被所排出的空气冷却而产生结露的情况。其结果是，能够防止空气中的水分附着于玻璃基板G，对玻璃基板G的面形状的测定造成影响。另外，除了压缩空气之外，还能够使用使液体氮气挥发而成的氮气。在该情况下，对于氮气，优选使用利用热交换器等充分加热后的氮气。由此，能够防止因使氮气向玻璃基板G排出时玻璃基板G被冷却，从而空气中的水分在玻璃基板G的表面凝结的情况。

图10例示了本实用新型的第二实施方式所涉及的形状测定装置1。该第二实施方式所涉及的形状测定装置1与上述的第一实施方式所涉及的装置的不同之处在于，多个壳体部2不仅在宽度方向上相互分离地配置，在长边方向上也相互分离地配置。因此，间隙部4以及流出路以横纵均具有间隔D的方式排列。根据这样的结构，由于使玻璃基板G浮起的条件在纵横方向上均匀化，因此能够推断由测定部3测定出的面形状数据不存在方向性的偏差。除这一点以外能获得与上述的第一实施方式相同的作用效果。需要说明的是，对于其他结构要素，由于与上述的第一实施方式相同，因此对两者共用的结构要素标注相同的附图标记并省略说明。

图11例示了本实用新型的第三实施方式所涉及的形状测定装置1。该第三实施方式所涉及的形状测定装置1与上述的第一实施方式所涉及的装置的不同之处在于，流体浮起部2与间隙部4存在于同一平面上或大致同一平面上。在该情况下，如图12所示那样，由于在流体浮起部2的彼此之间不存在有凹部，因此认为处于浮起支承状态的玻璃基板G的下部空间中的流体压力稳定，但需要增大从流体浮起部2排出的流体的排出量。在该情况下，在多个流体浮起部2的各排出区域7的彼此之间分别形成有间隙区域8以及流出路4。除这一点以外能够获得与上述的第一实施方式相同的作用效果。需要说明的是，对于其他结构要素，由于与上述的第一实施方式相同，因此对两者共用的结构要素标注相同的附图标记并省略说明。

图13例示了本实用新型的第四实施方式所涉及的形状测定装置1。该第四实施方式所涉及的形状测定装置1与上述的第三实施方式所涉及的装置的不同之处在于，多个流体浮起部2不仅在宽度方向上相互分离地配置，在长边方向上也相互分离地配置。因此，间隙部4以及流出路以横纵均具有间隔D的方式排列。根据这样的结构，由于使玻璃基板G浮起的条件在纵横方向上均匀化，因此能够推断由通过测定部3测定出的面形状数据不存在方向性的偏差。除这一点以外能够获得与上述的第三实施方式相同的作用效果。需要说明的是，对于其他结构要素，由于与上述的第三实施方式相同，因此对两者共用的结构要素标注相同的附图标记并省略说明。

附图标记说明

1 形状测定装置

2 流体浮起部

2a 流体浮起部的上表面

2ax 排出部

3 测定部

3a 激光位移计

3b 处理部

4 流出路、间隙部

5 运算部

6 限制构件

G 玻璃基板(板状体)

G1 拐角部

Claims (10)

1.一种形状测定装置，其测定板状体的面形状，其特征在于，

所述形状测定装置具备：流体浮起部，其向所述板状体排出流体，并且将所述板状体支承为以平置姿态浮起的状态；以及测定部，其测定表示所述浮起的状态下的所述板状体的面形状的面形状数据，

所述形状测定装置具有多个所述流体浮起部，并且多个所述流体浮起部配置为彼此分离，

多个所述流体浮起部以使所述板状体倾斜的方式支承所述板状体。

2.根据权利要求1所述的形状测定装置，其特征在于，

在多个所述流体浮起部的彼此之间形成有流出路，该流出路使所述流体从所述浮起的状态下的所述板状体的下部空间向其外部流出。

3.根据权利要求1或2所述的形状测定装置，其特征在于，

多个所述流体浮起部分别在沿一方向形成为长条的壳体部的上表面设置有排出所述流体的排出部，多个所述壳体部平行地排列配设。

4.根据权利要求1或2所述的形状测定装置，其特征在于，

所述形状测定装置具备限制所述板状体的主面方向的移动的限制构件。

5.根据权利要求1或2所述的形状测定装置，其特征在于，

所述板状体形成为矩形状，多个所述流体浮起部以使所述板状体从对置的一方的拐角部朝向另一方的拐角部而下降倾斜的方式支承所述板状体。

6.根据权利要求1或2所述的形状测定装置，其特征在于，

多个所述流体浮起部的彼此之间的分离尺寸是10mm以上且200mm以下。

7.根据权利要求1或2所述的形状测定装置，其特征在于，

所述测定部包括：位移计，其以非接触的方式测定从预先明确的位置到所述板状体的表面的距离信息；驱动扫描部，其在所述板状体的上方驱动所述位移计，对所述板状体的表面进行扫描；以及处理部，其通过所述位移计的扫描而获取所述板状体的多个位置处的所述距离信息，并且根据所获取的多个距离信息生成所述面形状数据。

8.根据权利要求1或2所述的形状测定装置，其特征在于，

所述形状测定装置还具备运算部，该运算部根据由所述测定部测定的面形状数据、以及表示通过多个所述流体浮起部的各上表面的基准面的形状的基准面形状数据，从而求出修正面形状数据。

9.根据权利要求1或2所述的形状测定装置，其特征在于，

所述形状测定装置还具备运算部，该运算部针对所述板状体的表面侧以及背面侧分别获取所述面形状数据，并且根据这两个数据求出修正面形状数据。

10.根据权利要求1或2所述的形状测定装置，其特征在于，

所述形状测定装置还具备运算部，该运算部在使所述板状体沿着使多个所述流体浮起部彼此分离的方向移动其分离尺寸的1/2的前后，分别测定所述面形状数据，根据这两个数据求出修正面形状数据。