CN206375997U - 一种易清洗离子镀膜机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提出了一种易清洗离子镀膜机,包括安装于墙体内的镀膜腔,所述镀膜腔上连接有半圆柱形的腔门;所述镀膜腔上部设有固定装置,所述固定装置包括连接于所述镀膜腔顶部的转轴,所述转轴上设有圆形板,所述圆形板上设有三个张紧爪,所述张紧爪包括连接于所述圆形板上的连板,所述连板上倾斜设置有弹性张紧脚;所述转轴穿过所述圆形板,且设有固定环;所述镀膜腔下部设有离子源发射装置,所述离子源发射装置上部的镀膜腔侧壁上设有两个修正装置;所述镀膜腔内壁设有可拆卸的清洗层,本镀膜机通过在腔体内壁增加了易清洗层,便于拆卸清洗,同时,本装置的固定装置对产品固定时,操作简单,一次能够承载较多产品的镀膜,提高工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及镀膜机领域,尤其涉及易清洗离子镀膜机。
背景技术
现有的真空离子镀膜机主要利用电子枪将坩埚内的蒸镀材料进行加热,并将蒸镀材料蒸发到光学元件表面形成光学膜。而现有的蒸镀材料一般呈颗粒状,由于颗粒体积小,重量轻,所以在加热的过程中,某些颗粒会被喷溅出去,会喷射到镀膜机的内壁上,对于内壁的清理较难处理,此外,一般的镀膜机对产品的固定不便捷,上料时较为费时,并且镀膜位置无修正,造成镀膜不均匀,不符合生产要求。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型提出了一种易清洗离子镀膜机,包括安装于墙体内的镀膜腔,所述镀膜腔上连接有半圆柱形的腔门;所述镀膜腔上部设有固定装置,所述固定装置包括连接于所述镀膜腔顶部的转轴,所述转轴上设有圆形板,所述圆形板上设有三个张紧爪,所述张紧爪包括连接于所述圆形板上的连板,所述连板上倾斜设置有弹性张紧脚;所述转轴穿过所述圆形板,且设有固定环;所述镀膜腔下部设有离子源发射装置,所述离子源发射装置上部的镀膜腔侧壁上设有两个修正装置;所述镀膜腔内壁设有可拆卸的清洗层。
优选的,所述修正装置包括安装于墙体内的顶升气缸,所述顶升气缸输出端设有修正片,所述修正片通过L形连接块与所述顶升气缸连接,所述修正片用于遮挡离子源发射装置。
优选的,所述固定装置对应的镀膜腔和腔门内壁设有加热管。
优选的,所述镀膜腔上部的墙体上设有内陷槽,所述腔门上设有折叠连杆,所述折叠连杆用于支撑所述腔门。
优选的,所述腔门上设有密封圈。
优选的,所述清洗层为钢板,所述钢板上设有聚四氟乙烯层。
本实用新型提出的易清洗离子镀膜机有以下有益效果:本镀膜机通过在腔体内壁增加了易清洗层,便于拆卸清洗,同时,本装置的固定装置对产品固定时,操作简单,一次能够承载较多产品的镀膜,提高工作效率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1为本实用新型的内部结构示意图;
其中,1-墙体,2-镀膜腔,3-转轴,4-圆形板,5-连板,6-弹性张紧脚,7-固定环,8-离子源发射装置,9-清洗层,10-顶升气缸,11-修正片,12-加热管,13-内陷槽,14-折叠连杆,15-密封圈,16-腔门。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
如图1所示,本实用新型提出了一种易清洗离子镀膜机,包括安装于墙体1内的镀膜腔2,所述镀膜腔2上连接有半圆柱形的腔门16;所述镀膜腔2上部设有固定装置,所述固定装置包括连接于所述镀膜腔2顶部的转轴3,所述转轴3上设有圆形板4,所述圆形板4上设有三个张紧爪,所述张紧爪包括连接于所述圆形板4上的连板5,所述连板5上倾斜设置有弹性张紧脚6;所述转轴3穿过所述圆形板4,且设有固定环7;所述镀膜腔2下部设有离子源发射装置8,所述离子源发射装置8上部的镀膜腔2侧壁上设有两个修正装置;所述镀膜腔2内壁设有可拆卸的清洗层9,其中,在离子源发射装置8周围有遮挡片,防止在下部有飞溅;
本实用新型的工作方式是:将承载着光学元件的承载治具固定于固定装置上,在下部的离子源发射装置8上方放置镀膜材料,将腔门16闭合后,对内部进行抽真空,通过离子源发射装置8发射将材料喷射至上部的载料治具上,即对光学元件进行镀膜,两侧的修正装置通过气缸推动,翻转不同的角度,对喷射出的材料部分遮挡,保证了镀膜的均匀性,并且能够对喷出的材料方向进行修正;
其中,固定装置的固定方式是:一般的载具为中空的半球形,中心处有圆孔,所述固定装置包括连接于所述镀膜腔2顶部的转轴3,所述转轴3上设有圆形板4,所述圆形板4上设有三个张紧爪,所述张紧爪包括连接于所述圆形板4上的连板5,所述连板5上倾斜设置有弹性张紧脚6,所述转轴3穿过所述圆形板4,且设有固定环7,转轴3插于载具内,并通过固定环7固定,半球形的边缘有凸起,上部固定后,圆周上的凸起通过弹性张紧脚6张紧固定;
优选的,所述修正装置包括安装墙体内的顶升气缸10,所述顶升气缸10输出端修正片11,所述修正片11通过L形连接块与所述顶升气缸10连接,所述修正片11用于遮挡离子源发射装置8。
喷射材料时,对于内部的温度有高温要求,所以在所述固定装置对应的镀膜腔2和腔门16内壁设有加热管12,保证腔体内的温度。
为了使得门打开时,对于腔门16有支撑作用,所述镀膜腔2上部的墙体1上设有内陷槽13,所述腔门16上设有折叠连杆14,所述折叠连杆14用于支撑所述腔门16,腔门16打开时,通过折叠连杆14的作用,门需要人力推动才会移动,打开时不会晃动。
优选的,所述腔门16上设有密封圈15,密封圈15能够增加腔们闭合的密封性。
优选的,所述清洗层9为钢板,所述钢板上设有聚四氟乙烯层,清洗层9能够从镀膜腔2内部拆下,便于将喷射至腔体内壁的材料清洗下来,并且设有的聚四氟乙烯层具有自润滑性,更便于清洗。
对实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (6)
1.一种易清洗离子镀膜机,其特征在于,包括安装于墙体内的镀膜腔,所述镀膜腔上连接有半圆柱形的腔门;所述镀膜腔上部设有固定装置,所述固定装置包括连接于所述镀膜腔顶部的转轴,所述转轴上设有圆形板,所述圆形板上设有三个张紧爪,所述张紧爪包括连接于所述圆形板上的连板,所述连板上倾斜设置有弹性张紧脚;所述转轴穿过所述圆形板,且设有固定环;所述镀膜腔下部设有离子源发射装置,所述离子源发射装置上部的镀膜腔侧壁上设有两个修正装置;所述镀膜腔内壁设有可拆卸的清洗层。
2.根据权利要求1所述的易清洗离子镀膜机,其特征在于,所述修正装置包括安装于墙体内的顶升气缸,所述顶升气缸输出端设有修正片,所述修正片通过L形连接块与所述顶升气缸连接,所述修正片用于遮挡离子源发射装置。
3.根据权利要求1所述的易清洗离子镀膜机,其特征在于,所述固定装置对应的镀膜腔和腔门内壁设有加热管。
4.根据权利要求1所述的易清洗离子镀膜机,其特征在于,所述镀膜腔上部的墙体上设有内陷槽,所述腔门上设有折叠连杆,所述折叠连杆用于支撑所述腔门。
5.根据权利要求1或4所述的易清洗离子镀膜机,其特征在于,所述腔门上设有密封圈。
6.根据权利要求1所述的易清洗离子镀膜机,其特征在于,所述清洗层为钢板,所述钢板上设有聚四氟乙烯层。
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
CN109609916A (zh) * | 2019-01-23 | 2019-04-12 | 湖南宇诚精密科技有限公司 | 一种电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置 |
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2016
- 2016-12-02 CN CN201621311853.8U patent/CN206375997U/zh not_active Expired - Fee Related
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