CN206363076U - 一种通用掩模夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种通用掩模夹具，包括掩模夹具专用工作台，所述掩模夹具专用工作台的边缘位置处安装有边框，所述边框的内侧安装有掩模夹具，所述掩模夹具的中间位置安装有伸缩套，且伸缩套与边框通过第一伸缩杆连接，所述伸缩套的两侧安装有第二伸缩杆，所述固定架的上方安装有连接固定板，且连接固定板与边框的内侧通过嵌入孔镶嵌安装，所述第三伸缩杆的底部安装有吸盘，所述掩模夹具专用工作台的中间位置处设置有掩模放置槽。本实用新型设置有掩模夹具专用工作台，在此工作台上安装有四个掩模夹具，在掩模夹具专用工作台的中间位置设置有掩模放置槽，可以用来放置掩模材料，方便加工，且方便定位。

Description

一种通用掩模夹具

技术领域

本实用新型涉及掩模夹具技术领域，尤其涉及一种通用掩模夹具。

背景技术

MASK(掩模):单片机掩模是指程序数据已经做成光刻版，在单片机生产的过程中把程序做进去。优点是:程序可靠、成本低。缺点:批量要求大，每次修改程序就需要重新做光刻板，不同程序不能同时生产，供货周期长。在半导体制造中，许多芯片工艺步骤采用光刻技术，用于这些步骤的图形"底片"称为掩模(也称作"掩模")，其作用是:在硅片上选定的区域中对一个不透明的图形模板遮盖，继而下面的腐蚀或扩散将只影响选定的区域以外的区域。

掩模夹具的出现大大方便了掩模的固定，但是目前阶段的掩模夹具，存在诸多的不足之处，例如，对于不同的掩模需要不同类型的夹具，无法实现一种夹具掩模通用，更换比较麻烦，实用价值低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种通用掩模夹具，以解决上述背景技术中提出的对于不同的掩模需要不同类型的夹具，无法实现一种夹具掩模通用，更换比较麻烦，实用价值低的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种通用掩模夹具，包括掩模夹具专用工作台，所述掩模夹具专用工作台的边缘位置处安装有边框，所述边框的内侧安装有掩模夹具，所述掩模夹具的中间位置安装有伸缩套，且伸缩套与边框通过第一伸缩杆连接，所述伸缩套的上方安装有把手，且把手与伸缩套通过连接螺栓固定连接，所述伸缩套的两侧安装有第二伸缩杆，所述第二伸缩杆的一端安装有固定架，所述固定架的上方安装有连接固定板，且连接固定板与边框的内侧通过嵌入孔镶嵌安装，所述固定架的底部安装有第三伸缩杆，所述第三伸缩杆的底部安装有吸盘，所述掩模夹具专用工作台的中间位置处设置有掩模放置槽。

优选的，所述掩模夹具共设置有四个，且四个掩模夹具分别安装在边框四条边的内侧，且每两个掩模夹具相互对。

优选的，所述掩模放置槽为网状结构。

优选的，所述吸盘与掩模夹具专用工作台之间设置有间隙。

本实用新型的有益效果是，本实用新型设置有掩模夹具专用工作台，在此工作台上安装有四个掩模夹具，在掩模夹具专用工作台的中间位置设置有掩模放置槽，可以用来放置掩模材料，方便加工，且方便定位，使掩模的固定位置更加精确，且在掩模夹具上设置多三处伸缩杆，可以使装置进行三维收缩，改变大小，可以对不同大小和形状的掩模进行固定，增大了装置的实用性，且此装置的固定方式，为施压在掩模边缘位置，不会影响到掩模内的图形。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的掩模夹具的结构示意图。

图中：1、掩模夹具专用工作台，2、连接固定板，3、边框，4、伸缩套，5、第一伸缩杆，6、把手，7、掩模放置槽，8、第二伸缩杆，9、连接螺栓，10、嵌入孔，11、固定架，12、支撑腿，13、第三伸缩杆，14、吸盘，15、掩模夹具。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

请参阅图1-2，本实用新型提供的一种实施例：一种通用掩模夹具，包括掩模夹具专用工作台1,掩模夹具专用工作台1的边缘位置处安装有边框3，掩模夹具专用工作台1是专为此种夹具设计的工作台，边框3的内侧安装有掩模夹具15，掩模夹具15用来固定掩模的装置，掩模夹具15的中间位置安装有伸缩套4，且伸缩套4与边框3通过第一伸缩杆5连接，第一伸缩杆5控制掩模夹具15与掩模放置槽7的距离，伸缩套4的上方安装有把手6，把手6方便操作，且把手6与伸缩套4通过连接螺栓9固定连接，伸缩套4的两侧安装有第二伸缩杆8，第二伸缩杆8可以控制两个吸盘14之间的距离，第二伸缩杆8的一端安装有固定架11，固定架11的上方安装有连接固定板2，且连接固定板2与边框3的内侧通过嵌入孔10镶嵌安装，固定架11的底部安装有第三伸缩杆13，第三伸缩杆13用来控制吸盘14深入到掩模放置槽7内，从而固定到掩模上，第三伸缩杆13的底部安装有吸盘14，掩模夹具专用工作台1的中间位置处设置有掩模放置槽7，掩模夹具15共设置有四个，且四个掩模夹具15分别安装在边框3四条边的内侧，且每两个掩模夹具15相互对称，掩模放置槽7为网状结构，吸盘14与掩模夹具专用工作台1之间设置有间隙。

具体使用方式：该设备在使用时，将硅片材料放置到掩模放置槽7内，然后在硅片上的选定区域上，放置掩模，区域选定好后，通过控制第一伸缩杆5控制掩模夹具15向掩模放置槽7靠拢，当到达掩模放置槽7的上方位置时，根据掩模的大小，控制第二伸缩杆8伸缩，使其底部的两吸盘14位置与掩模宽度相同，然后通过控制第三伸缩杆13伸长，使吸盘14固定在掩模上，从而将其固定。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (4)

1.一种通用掩模夹具，包括掩模夹具专用工作台(1),其特征在于：所述掩模夹具专用工作台(1)的边缘位置处安装有边框(3)，所述边框(3)的内侧安装有掩模夹具(15)，所述掩模夹具(15)的中间位置安装有伸缩套(4)，且伸缩套(4)与边框(3)通过第一伸缩杆(5)连接，所述伸缩套(4)的上方安装有把手(6)，且把手(6)与伸缩套(4)通过连接螺栓(9)固定连接，所述伸缩套(4)的两侧安装有第二伸缩杆(8)，所述第二伸缩杆(8)的一端安装有固定架(11)，所述固定架(11)的上方安装有连接固定板(2)，且连接固定板(2)与边框(3)的内侧通过嵌入孔(10)镶嵌安装，所述固定架(11)的底部安装有第三伸缩杆(13)，所述第三伸缩杆(13)的底部安装有吸盘(14)，所述掩模夹具专用工作台(1)的中间位置处设置有掩模放置槽(7)。

2.如权利要求1所述的一种通用掩模夹具，其特征在于：所述掩模夹具(15)共设置有四个，且四个掩模夹具(15)分别安装在边框(3)四条边的内侧，且每两个掩模夹具(15)相互对称。

3.根据权利要求1所述的一种通用掩模夹具，其特征在于：所述掩模放置槽(7)为网状结构。

4.根据权利要求1所述的一种通用掩模夹具，其特征在于：所述吸盘(14)与掩模夹具专用工作台(1)之间设置有间隙。