CN207008285U - 一种电子元件生产的光刻装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种电子元件生产的光刻装置，包括光刻框架，光刻框架内设置有夹紧螺栓，光刻框架内设置有硅片，光刻框架两端设置有光刻版，光刻框架上下两端设置有铝盖板，铝盖板两端通过固定螺栓连接有可旋转夹块，可旋转夹块包括夹块主体，夹块主体上设置有两个固定螺孔，夹块主体上设置有一V字开口，夹块主体侧面上设置有一转轴，转轴连接有支撑腿，通过带有夹紧螺栓的光刻框架来固定光刻加工的硅片，可对一定尺寸范围内的硅片进行光刻操作，而硅片通过两个光刻版固定，可对两个面进行曝光光刻，在使用的时候，可通可旋转夹块来实现光刻面的调节，可通过一台光刻机实现硅片两个面的加工操作，方便快捷，值得推广。

Description

一种电子元件生产的光刻装置

技术领域

本实用新型涉及电子元件生产技术领域，具体为一种电子元件生产的光刻装置。

背景技术

电子元件是组成电子产品的基础，了解常用的电子元件的种类、结构、性能并能正确选用是学习、掌握电子技术的基本。常用的电子元件有：电阻、电容、电感、电位器、变压器等，就安装方式而言，目前可分为传统安装(又称通孔装即DIP)和表面安装两大类(即又称SMT或SMD)。三极管、二极管称为电子器件。在晶圆的制造过程中，晶体三极管、二极管、电容、电阻和金属层的各种物理部件在晶圆表面或表层内构成。这些部件是每次在一个掩膜层上生成的，并且结合生成薄膜及去除特定部分，通过光刻工艺过程，最终在晶圆上保留特征图形的部分。

申请号为201220216139.6，名称为一种双面光刻装置的实用新型专利，包括调整框、铝盖、锁紧夹和铝座架；双面对准光刻版包括规格相同的光刻版B和光刻版A，光刻版B和光刻版A四个角上均有专用对准标记；光刻版B固定在铝盖上，光刻版A固定在铝座架上，硅片置于光刻版B和光刻版A之间，通过两个锁紧夹将光刻版B、硅片和光刻版A牢牢固定，该实用新型改善了现有技术的工艺成本，提供一种结构性夹具，配合在光刻版图上做出对准标记，应用机械导柱和引导腔体设计，保证上下版图对准重复精度小于3μm，提高了劳动效率。其结构简单巧妙，操作便捷，重复性能好。

但是其进行光刻的过程，对硅片的两个面进行加工的时候，更换面十分不方便，影响了光刻的效率，因此设计了一种电子元件生产的光刻装置。

实用新型内容

为了克服现有技术方案的不足，本实用新型提供一种电子元件生产的光刻装置，通过带有夹紧螺栓的光刻框架来固定光刻加工的硅片，可对一定尺寸范围内的硅片进行光刻操作，而硅片通过两个光刻版固定，可对两个面进行曝光光刻，在使用的时候，可通可旋转夹块来实现光刻面的调节，可通过一台光刻机实现硅片两个面的加工操作，方便快捷，值得推广。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种电子元件生产的光刻装置，包括光刻框架，所述光刻框架内设置有夹紧螺栓，所述光刻框架内设置有硅片，所述光刻框架两端设置有光刻版，所述光刻框架上下两端设置有铝盖板，所述铝盖板两端通过固定螺栓连接有可旋转夹块；

所述可旋转夹块包括夹块主体，所述夹块主体上设置有两个固定螺孔，所述夹块主体上设置有一V字开口，所述夹块主体侧面上设置有一转轴，所述转轴连接有支撑腿。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述夹紧螺栓与硅片接触部设置有防护垫片，所述防护垫片采用硅胶材料制成。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述铝盖板上设置有若干个调平支杆，所述调平支杆与铝盖板相互垂直设置。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述光刻框架厚度大于硅片厚度。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述V字开口内壁上设置有防滑纹路，所述防滑纹路横截面形状为三角形。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述支撑腿下端设置有圆盘足底，所述圆盘足底内部设置有橡胶垫片。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过带有夹紧螺栓的光刻框架来固定光刻加工的硅片，可对一定尺寸范围内的硅片进行光刻操作，而硅片通过两个光刻版固定，可对两个面进行曝光光刻，在使用的时候，可通可旋转夹块来实现光刻面的调节，可通过一台光刻机实现硅片两个面的加工操作，方便快捷，值得推广。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型可旋转夹块结构示意图。

图中：1-光刻框架，2-夹紧螺栓，3-硅片，4-光刻版，5-铝盖板，6-固定螺栓，7-可旋转夹块，8-夹块主体，9-固定螺孔，10-V字开口，11-转轴，12-支撑腿，13-防护垫片，14-调平支杆，15-防滑纹路，16-圆盘足底，17-橡胶垫片。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：

如图1与图2所示，本实用新型提供了一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于：包括光刻框架1，所述光刻框架1内设置有夹紧螺栓2，所述光刻框架1内设置有硅片3，所述光刻框架1两端设置有光刻版4，所述光刻框架1上下两端设置有铝盖板5，所述铝盖板5两端通过固定螺栓6连接有可旋转夹块7；

所述可旋转夹块7包括夹块主体8，所述夹块主体8上设置有两个固定螺孔9，所述夹块主体8上设置有一V字开口10，所述夹块主体8侧面上设置有一转轴11，所述转轴11连接有支撑腿12；

本实用新型工作原理：在加工前，首先将硅片3放置在光刻框架1内部，硅片3外沿通过与夹紧螺栓2接触，通过拧紧夹紧螺栓2来固定硅片3，随后将光刻框架1两端通过光刻版4夹紧，在光刻版4外侧盖上铝盖板5，铝盖板5通过固定螺栓6与可旋转夹块7连接在一起，此时光刻版4与光刻框架1被固定在夹块主体8的V字开口10内，V字开口10的结构可对不同厚度的光刻版4进行固定，当固定好之后，可通过光刻机对硅片3进行光刻操作，一个面光刻完成之后，旋转设备，通过转轴11旋转，调节到另一个面上，进行新的光刻操作。

本实用新型中，值得说明的是，如图1所示，所述夹紧螺栓2与硅片3接触部设置有防护垫片13，所述防护垫片13采用硅胶材料制成，保护硅片结构，避免夹紧螺栓2损坏硅片。

本实用新型中，值得说明的是，如图1所示，所述铝盖板5上设置有若干个调平支杆14，所述调平支杆14与铝盖板5相互垂直设置，使得设备保持垂直。

本实用新型中，值得说明的是，如图1所示，所述光刻框架1厚度大于硅片3厚度，避免硅片3与光刻版4摩擦。

本实用新型中，值得说明的是，如图2所示，所述V字开口10内壁上设置有防滑纹路15，所述防滑纹路15横截面形状为三角形，增加摩擦力，避免内部晃动。

本实用新型中，值得说明的是，如图2所示，所述支撑腿12下端设置有圆盘足底16，所述圆盘足底16内部设置有橡胶垫片17，增加设备稳定性能。

本实用新型通过带有夹紧螺栓的光刻框架来固定光刻加工的硅片，可对一定尺寸范围内的硅片进行光刻操作，而硅片通过两个光刻版固定，可对两个面进行曝光光刻，在使用的时候，可通可旋转夹块来实现光刻面的调节，可通过一台光刻机实现硅片两个面的加工操作，方便快捷，值得推广。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于：包括光刻框架(1)，所述光刻框架(1)内设置有夹紧螺栓(2)，所述光刻框架(1)内设置有硅片(3)，所述光刻框架(1)两端设置有光刻版(4)，所述光刻框架(1)上下两端设置有铝盖板(5)，所述铝盖板(5)两端通过固定螺栓(6)连接有可旋转夹块(7)；

所述可旋转夹块(7)包括夹块主体(8)，所述夹块主体(8)上设置有两个固定螺孔(9)，所述夹块主体(8)上设置有一V字开口(10)，所述夹块主体(8)侧面上设置有一转轴(11)，所述转轴(11)连接有支撑腿(12)。

2.根据权利要求1所述的一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于：所述夹紧螺栓(2)与硅片(3)接触部设置有防护垫片(13)，所述防护垫片(13)采用硅胶材料制成。

3.根据权利要求1所述的一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于：所述铝盖板(5)上设置有若干个调平支杆(14)，所述调平支杆(14)与铝盖板(5)相互垂直设置。

4.根据权利要求1所述的一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于：所述光刻框架(1)厚度大于硅片(3)厚度。

5.根据权利要求1所述的一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于：所述V字开口(10)内壁上设置有防滑纹路(15)，所述防滑纹路(15)横截面形状为三角形。

6.根据权利要求1所述的一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于：所述支撑腿(12)下端设置有圆盘足底(16)，所述圆盘足底(16)内部设置有橡胶垫片(17)。