CN202742554U - 硅产品加工治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅产品加工治具，包括压板机构、产品支撑垫板、角度调整棒、角度调整支撑棒、产品支撑棒、治具主体、铝板和定位档块，所述治具主体固定在所述铝板上，所述治具主体的两端边缘分别设有所述定位挡块，所述压板机构一端与所述铝板连接，另一端通过螺钉固定在所述治具主体上；所述压板机构包括压板和防护垫片，所述防护垫片粘贴在所述压板下方；所述治具主体内部设有所述产品支撑棒、角度调整棒和角度调整支撑棒，所述的产品支撑板设在所述角度调整棒和角度调整支撑棒上方。本实用新型解决了硅产品加工难度，并提高加工精度。

Description

硅产品加工治具

技术领域

本实用新型硅材料产品的制造领域，尤其是适用于涉及一种硅产品加工治具。

背景技术

硅产品是半导体设备中的重要部件，精度要求较高，生产成本较高，目前主要应用于高端半导体生产中，国际上只有3家工厂加工，加工难度很高。现有技术中，由于硅产品容易产生划伤等不良问题，通用加工方法是将硅产品用石蜡粘结在工作平台上，这样角度容易出现不良，硅产品较薄、较长，粘蜡时容易产生划伤和断裂，加工过程中也容易断裂，角度不准确等问题，国际上加工厂商都采用粘蜡的方法加工，质量不稳定，出现划伤、缺口和尺寸不良现象较多。由于硅产品无法返工，出现这些不良现象而报废，损失比较大。

发明内容

为了克服现有硅产品加工过程中容易出现划伤、尺寸不良和缺口的问题，本实用新型提供一种质量稳定可靠、操作难度低，产品合格率高的硅产品加工治具。

本实用新型采用的技术方案是：

硅产品加工治具，其特征在于：包括压板机构、产品支撑垫板、角度调整棒、角度调整支撑棒、产品支撑棒、治具主体、铝板和定位档块，所述治具主体固定在所述铝板上，所述治具主体的两端边缘分别设有所述定位挡块，所述压板机构一端与所述铝板连接，另一端通过螺钉固定在所述治具主体上；所述压板机构包括压板和防护垫片，所述防护垫片粘贴在所述压板下方；所述治具主体内部设有所述产品支撑棒、角度调整棒和角度调整支撑棒，所述的产品支撑板设在所述角度调整棒和角度调整支撑棒上方。

进一步，所述压板机构设有多个。

进一步，所述治具主体内部分别对应设有放置所述产品支撑棒、角度调整棒和角度调整支撑棒的槽。

进一步，所述治具主体上设有用于固定连接所述压板机构对应的螺纹孔。

进一步，所述铝板设有与所述压板机构一端对应连接的插口。

本实用新型所述的治具主体，根据不同的产品，用角度调整棒，使产品调整不同的角度，使所加工产品的加工部位调整水平状态，加工难度大大降低，也能保证产品加工尺寸。

本实用新所述的定位挡板，控制产品放置位置，并作为加工基准。

本实用新型所述的压板和防护垫片能使产品很好的固定，并防止硅产品划伤。

本实用新型考虑到硅产品与别的材料接触污染和变形等问题，所述的治具主体、产品支撑垫板和定位挡块为整个治具的核心部分，起到硅产品定位和加工角度作用，均采用石墨材料制成。所述防护垫片考虑到产品划伤等问题常用工程塑料制成。

本实用新型使用时，将需要加工的硅产品放置在组装好的治具上，将硅产品与定位挡块安装好，并使产品与治具主体对应的产品支撑棒、角度调整支撑棒与角度调整棒的槽精密结合，用压板和防护垫片将硅产品固定在治具主体上，对整个治具的位置度进行调整，使其达到要求的位置即可。

本实用新型的有益效果体现在：

1、通过采用加工治具操作，解决了硅产品加工时降低了加工难度，并提高了加工精度；

2、通过采用加工治具产品加工，解决了加工难度的问题；

3、通过采用加工治具，解决了产品加工过程中粘蜡和脱蜡时造成的划伤和断裂的问题；

4、本实用新型具有硅产品加工尺寸一次性合格，大大提高产品合格率，降低生产成本，可广泛用于硅产品加工的生产线上。

附图说明

图1是本实用新型硅产品加工治具的截面图。

图2是本实用新型硅产品加工治具的整体结构示意图。

图3是本实用新型治具主体的整体结构示意图。

具体实施方式

参照图1至图3，硅产品加工治具，其特征在于：包括压板机构、产品支撑垫板3、角度调整棒5、角度调整支撑棒6、产品支撑棒7、治具主体8、铝板9和定位档块10，所述治具主体8固定在所述铝板9上，所述治具主体8的两端边缘分别设有所述定位挡块10，所述压板机构一端与所述铝板9连接，另一端通过螺钉固定在所述治具主体8上；所述压板机构包括压板4和防护垫片2，所述防护垫片2粘贴在所述压板4下方；所述治具主体8内部设有所述产品支撑棒7、角度调整棒5和角度调整支撑棒6，所述的产品支撑板3设在所述角度调整棒5和角度调整支撑棒6上方。

进一步，所述压板机构设有多个。

进一步，所述治具主体8内部分别对应设有放置所述产品支撑棒7、角度调整棒5和角度调整支撑棒6的槽。

进一步，所述治具主体8上设有用于固定连接所述压板机构对应的螺纹孔11。

进一步，所述铝板9设有与所述压板机构一端对应连接的插口。

本实用新型所述的治具主体8，根据不同的产品，用角度调整棒5，使产品调整不同的角度，使所加工产品的加工部位调整水平状态，加工难度大大降低，也能保证产品加工尺寸。

本实用新所述的定位挡板10，控制产品放置位置，并作为加工基准。

本实用新型所述的压板4和防护垫片2能使产品很好的固定，并防止硅产品划伤。

本实用新型考虑到硅产品与别的材料接触污染和变形等问题，所述的治具主体8、产品支撑垫板3和定位挡块10为整个治具的核心部分，起到硅产品定位和加工角度作用，均采用石墨材料制成。所述防护垫片2考虑到产品划伤等问题常用工程塑料制成。

本实用新型使用时，将需要加工的硅产品1放置在组装好的治具上，将硅产品1与定位挡块10安装好，并使产品与治具主体8对应的产品支撑棒7、角度调整支撑棒6与角度调整棒5的槽精密结合，用压板4和防护垫片2将硅产品1固定在治具主体8上，对整个治具的位置度进行调整，使其达到要求的位置即可。

本说明书实施例所述的内容仅仅是对发明构思的实现形式的列举，本实用新型的保护范围不应当被视为仅限于实施例所陈述的具体形式，本实用新型的保护范围也及于本领域技术人员根据本实用新型构思所能够想到的等同技术手段。

Claims (5)

1.硅产品加工治具，其特征在于：包括压板机构、产品支撑垫板、角度调整棒、角度调整支撑棒、产品支撑棒、治具主体、铝板和定位档块，所述治具主体固定在所述铝板上，所述治具主体的两端边缘分别设有所述定位挡块，所述压板机构一端与所述铝板连接，另一端通过螺钉固定在所述治具主体上；所述压板机构包括压板和防护垫片，所述防护垫片粘贴在所述压板下方；所述治具主体内部设有所述产品支撑棒、角度调整棒和角度调整支撑棒，所述的产品支撑板设在所述角度调整棒和角度调整支撑棒上方。

2.如权利要求1所述的硅产品加工治具，其特征在于：所述压板机构设有多个。

3.如权利要求1所述的硅产品加工治具，其特征在于：所述治具主体内部分别对应设有放置所述产品支撑棒、角度调整棒和角度调整支撑棒的槽。

4.如权利要求1或2所述的硅产品加工治具，其特征在于：所述治具主体上设有用于固定连接所述压板机构对应的螺纹孔。

5.如权利要求1所述的硅产品加工治具，其特征在于：所述铝板设有与所述压板机构一端对应连接的插口。

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