CN109557763B - 一种通用掩模夹盘 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种通用掩模夹盘，包括外部夹盘和内部夹盘，外部夹盘内侧设有内部夹盘，外部夹盘底部四周均匀设有四个固定轴，外部夹盘通过底部的固定轴固定于内部夹盘的外侧，外部夹盘顶部均匀设有四个七寸版限位杆，内部夹盘上靠内侧均匀设有四个五寸版限位杆，内部夹盘上靠外侧均匀设有四个六寸版限位杆，五寸版限位杆和六寸版限位杆均与内部夹盘固定连接，且每个七寸版限位杆、五寸版限位杆以及六寸版限位杆内侧均设有L型卡槽，本发明所达到的有益效果是：本发明结构紧凑，使用方便，功能实用，较传统的夹盘而言，无需在制作不同尺寸的掩模时更换夹盘，既省时又省力。
Description
技术领域
本发明涉及夹盘，特别涉及一种通用掩模夹盘，属于掩模夹盘技术领域。
背景技术
MASK(掩模):是半导体行业、IC(集成电路)制作时所需的一种模具，其是利用Mask上的图形，经曝光制成将图形复制于晶圆(Wafer)。Mask厂依据客户设计的图形，将图形数据转换后，利用Mask曝光机曝光在一种感光的石英基板上，经过显影制程使其表面产生透光与不透光的极细微的逻辑图形。掩模的制作必须经过曝光、显影、蚀刻、去胶、清洗等工艺流程。其中显影、湿法蚀刻、去胶、清洗等工艺机台都配备有掩模夹盘。不同尺寸的掩模版需配置不同的夹盘以及holder。但是目前阶段的掩模设备夹盘存在诸多不足之处，例如，目前主流的掩模设备夹盘是对应掩模尺寸的，5寸掩模对应5寸夹盘，6寸掩模对应6寸夹盘，7寸掩模对应7寸夹盘以及5寸、6寸对应的复合夹盘盛放5寸、6寸版，操作不便。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种通用掩模夹盘。
为了解决上述技术问题，本发明提供了如下的技术方案：
本发明一种通用掩模夹盘，包括外部夹盘和内部夹盘，所述外部夹盘内侧设有内部夹盘，所述外部夹盘底部四周均匀设有四个固定轴，所述外部夹盘通过底部的固定轴固定于内部夹盘的外侧，所述外部夹盘顶部均匀设有四个七寸版限位杆，所述内部夹盘上靠内侧均匀设有四个五寸版限位杆，所述内部夹盘上靠外侧均匀设有四个六寸版限位杆，所述五寸版限位杆和六寸版限位杆均与内部夹盘固定连接，且每个所述七寸版限位杆、五寸版限位杆以及六寸版限位杆内侧均设有L型卡槽。
根据权利要求所述的一种通用掩模夹盘，其特征在于，四个所述五寸版限位杆内侧放置若干五寸版，四个所述六寸版限位杆内侧放置若干六寸版，四个所述七寸版限位杆内侧放置若干七寸版。
根据权利要求所述的一种通用掩模夹盘，其特征在于，四个所述五寸版限位杆之间的连线面积等于五寸版的面积，四个所述六寸版限位杆之间的连线面积等于六寸版的面积，四个所述七寸版限位杆之间的连线面积等于七寸版的面积。
根据权利要求所述的一种通用掩模夹盘，其特征在于，所述外部夹盘和内部夹盘均为聚四氟乙烯材质制成。
根据权利要求所述的一种通用掩模夹盘，其特征在于，所述固定轴的长度为3cm。
本发明所达到的有益效果是：本发明分为两层，内部夹盘可放五寸、六寸版，外部夹盘可放置七寸版，本发明将现有的五寸、六寸以及七寸夹盘设计成一种混合夹盘可以盛放五寸、六寸以及七寸掩模，无需在制作不同尺寸的掩模时更换夹盘，既省时又省力，其中，四个五寸版限位杆内侧放置若干五寸版，四个六寸版限位杆内侧放置若干六寸版，四个七寸版限位杆内侧放置若干七寸版，可使用同一夹盘放置不同尺寸的掩模版；四个五寸版限位杆之间的连线面积等于五寸版的面积，四个六寸版限位杆之间的连线面积等于六寸版的面积，四个七寸版限位杆之间的连线面积等于七寸版的面积，提高放置的稳定性；外部夹盘和内部夹盘均为聚四氟乙烯材质制成，耐酸碱性能好，延长本发明的使用寿命；固定轴的长度为3cm，实现外部夹盘和内部夹盘的分层结构，本发明结构紧凑，使用方便，功能实用，较传统的夹盘而言，无需在制作不同尺寸的掩模时更换夹盘，既省时又省力。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明的外部夹盘和内部夹盘连接结构示意图。
图中：1、外部夹盘；2、内部夹盘；3、固定轴；4、七寸版限位杆；5、五寸版限位杆；6、六寸版限位杆；7、五寸版；8、六寸版；9、七寸版。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
实施例
如图1-2所示，一种通用掩模夹盘，包括外部夹盘1和内部夹盘2，外部夹盘1内侧设有内部夹盘2，外部夹盘1底部四周均匀设有四个固定轴3，外部夹盘1通过底部的固定轴3固定于内部夹盘2的外侧，外部夹盘1顶部均匀设有四个七寸版限位杆4，内部夹盘2上靠内侧均匀设有四个五寸版限位杆5，内部夹盘2上靠外侧均匀设有四个六寸版限位杆6，五寸版限位杆5和六寸版限位杆6均与内部夹盘2固定连接，且每个七寸版限位杆4、五寸版限位杆5以及六寸版限位杆6内侧均设有L型卡槽。
四个五寸版限位杆5内侧放置若干五寸版7，四个六寸版限位杆6内侧放置若干六寸版8，四个七寸版限位杆4内侧放置若干七寸版9，可使用同一夹盘放置不同尺寸的掩模版；四个五寸版限位杆5之间的连线面积等于五寸版7的面积，四个六寸版限位杆6之间的连线面积等于六寸版8的面积，四个七寸版限位杆4之间的连线面积等于七寸版9的面积，提高放置的稳定性；外部夹盘1和内部夹盘2均为聚四氟乙烯材质制成，耐酸碱性能好，延长本发明的使用寿命；固定轴3的长度为3cm，实现外部夹盘1和内部夹盘2的分层结构。
具体的，本发明分为两层，内部夹盘2可放五寸、六寸板，外部夹盘1可放置七寸版，本发明将现有的五寸、六寸以及七寸夹盘设计成一种混合夹盘可以盛放五寸、六寸以及七寸掩模，无需在制作不同尺寸的掩模时更换夹盘，既省时又省力，其中，四个五寸版限位杆5内侧放置若干五寸版7，四个六寸版限位杆6内侧放置若干六寸版8，四个七寸版限位杆4内侧放置若干七寸版9，可使用同一夹盘放置不同尺寸的掩模版；四个五寸版限位杆5之间的连线面积等于五寸版7的面积，四个六寸版限位杆6之间的连线面积等于六寸版8的面积，四个七寸版限位杆4之间的连线面积等于七寸版9的面积，提高放置的稳定性；外部夹盘1和内部夹盘2均为聚四氟乙烯材质制成，耐酸碱性能好，延长本发明的使用寿命；固定轴3的长度为3cm，实现外部夹盘1和内部夹盘2的分层结构，本发明结构紧凑，使用方便，功能实用，较传统的夹盘而言，无需在制作不同尺寸的掩模时更换夹盘，既省时又省力。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种通用掩模夹盘，其特征在于，包括外部夹盘(1)和内部夹盘(2)，所述外部夹盘(1)内侧设有内部夹盘(2)，所述外部夹盘(1)底部四周均匀设有四个固定轴(3)，所述外部夹盘(1)通过底部的固定轴(3)固定于内部夹盘(2)的外侧，所述外部夹盘(1)顶部均匀设有四个七寸版限位杆(4)，所述内部夹盘(2)上靠内侧均匀设有四个五寸版限位杆(5)，所述内部夹盘(2)上靠外侧均匀设有四个六寸版限位杆(6)，所述五寸版限位杆(5)和六寸版限位杆(6)均与内部夹盘(2)固定连接，且每个所述七寸版限位杆(4)、五寸版限位杆(5)以及六寸版限位杆(6)内侧均设有L型卡槽；
四个所述五寸版限位杆(5)内侧放置若干五寸版(7)，四个所述六寸版限位杆(6)内侧放置若干六寸版(8)，四个所述七寸版限位杆(4)内侧放置若干七寸版(9)；
四个所述五寸版限位杆(5)之间的连线面积等于五寸版(7)的面积，四个所述六寸版限位杆(6)之间的连线面积等于六寸版(8)的面积，四个所述七寸版限位杆(4)之间的连线面积等于七寸版(9)的面积。
2.根据权利要求1所述的一种通用掩模夹盘，其特征在于，所述外部夹盘(1)和内部夹盘(2)均为聚四氟乙烯材质制成。
3.根据权利要求1所述的一种通用掩模夹盘，其特征在于，所述固定轴(3)的长度为3cm。
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