CN205997187U - 一种切割硅片用夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种切割硅片用夹具,包括上夹具(1)和下夹具(2),所述上夹具(1)和下夹具(2)用于夹紧待切割硅片,所述上夹具(1)中均有间距设置有多个夹紧装置,所述夹紧装置用于和所述下夹具(2)配合夹紧硅片;所述夹紧装置为气缸(11),所述气缸(11)设置有气缸杆(111),所述气缸杆(111)连接压板(112);所述下夹具(2)设置有中间层(22)和下柔性层(21),所述下柔性层位于所述下夹具(2)上部,所述中间层(22)位于所述下柔性层(21)下方,所述中间层(22)内设置有多个弹簧(221)。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种夹具。
背景技术
硅片加工前,要先将硅晶板切割分体成块状。现有的硅片切割设备中,对硅晶板的夹紧方式,普遍采用固定气缸夹紧、移动气缸夹紧或无杆气缸夹紧等方式。上述夹紧方式中,固定夹紧方式应用最为普遍,但其成本高;无杆气缸移动速度慢,且由于是单边夹紧,夹紧力不均匀,容易使硅晶板划损,且出现加工的硅晶块不规范,如切缝与表面不垂直等现象;移动气缸夹紧虽然克服了上述现象,但存在成本高的问题。
有鉴于上述的缺陷,本设计人,积极加以研究创新,以期创设一种新型结构的切割硅片用夹具,使其更具有产业上的利用价值。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型的目的是提供一种切割硅片用夹具。
本实用新型的技术方案如下:
一种切割硅片用夹具,其特征在于:包括上夹具(1)和下夹具(2),所述上夹具(1)和下夹具(2)用于夹紧待切割硅片,所述上夹具(1)中均有间距设置有多个夹紧装置,所述夹紧装置用于和所述下夹具(2)配合夹紧硅片;所述夹紧装置为气缸(11),所述气缸(11)设置有气缸杆(111),所述气缸杆(111)连接压板(112);所述下夹具(2)设置有中间层(22)和下柔性层(21),所述下柔性层 位于所述下夹具(2)上部,所述中间层(22)位于所述下柔性层(21)下方,所述中间层(22)内设置有多个弹簧(221)。
进一步的,所述上夹具(1)外侧还设置有一层上柔性层(12)。
进一步的,所述压板(112)上还设置有一层橡胶(113)。
借由上述方案,本实用新型至少具有以下优点:
本实用新型装置用于夹紧硅片,由于硅片较为精密,在切割过程中容易由于切割力度大会损坏硅片,本实用新型上夹具和下夹具均设置了柔性层,同时压板上也设置了橡胶,能够夹紧硅片的同时,能够保证硅片在外力切割下有形变不会损伤硅片。
上述说明仅是本实用新型技术方案的概述,为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图中:1-上夹具;11-气缸;111-气缸杆;112-压板;113-橡胶;12-上柔性层;2-下夹具;21-下柔性层;22-中间层;221-弹簧。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。
参见图1,本实用新型一较佳实施例所述的一种切割硅片用夹具,包括上夹具1和下夹具2,所述上夹具1和下夹具2用于夹紧待切割硅片,所述上夹具1中均有间距设置有多个夹紧装置,所述夹紧装置 用于和所述下夹具2配合夹紧硅片;所述夹紧装置为气缸11,所述气缸11设置有气缸杆111,所述气缸杆111连接压板112;所述下夹具2设置有中间层22和下柔性层21,所述下柔性层位于所述下夹具2上部,所述中间层22位于所述下柔性层21下方,所述中间层22内设置有多个弹簧221。
-所述上夹具1外侧还设置有一层上柔性层12。
-所述压板112上还设置有一层橡胶113。
本实用新型至少具有以下优点:
本实用新型装置用于夹紧硅片,由于硅片较为精密,在切割过程中容易由于切割力度大会损坏硅片,本实用新型上夹具和下夹具均设置了柔性层,同时压板上也设置了橡胶,能够夹紧硅片的同时,能够保证硅片在外力切割下有形变不会损伤硅片。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,并不用于限制本实用新型,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变型,这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (3)
1.一种切割硅片用夹具,其特征在于:包括上夹具(1)和下夹具(2),所述上夹具(1)和下夹具(2)用于夹紧待切割硅片,所述上夹具(1)中均有间距设置有多个夹紧装置,所述夹紧装置用于和所述下夹具(2)配合夹紧硅片;所述夹紧装置为气缸(11),所述气缸(11)设置有气缸杆(111),所述气缸杆(111)连接压板(112);所述下夹具(2)设置有中间层(22)和下柔性层(21),所述下柔性层位于所述下夹具(2)上部,所述中间层(22)位于所述下柔性层(21)下方,所述中间层(22)内设置有多个弹簧(221)。
2.根据权利要求1所述的一种切割硅片用夹具,其特征在于:所述上夹具(1)外侧还设置有一层上柔性层(12)。
3.根据权利要求1所述的一种切割硅片用夹具,其特征在于:所述压板(112)上还设置有一层橡胶(113)。
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CN201620819002.8U CN205997187U (zh) | 2016-08-01 | 2016-08-01 | 一种切割硅片用夹具 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN108807591A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-11-13 | 安徽舟港新能源科技有限公司 | 一种太阳电池中硅块预制定位装置 |
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- 2016-08-01 CN CN201620819002.8U patent/CN205997187U/zh not_active Expired - Fee Related
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