CN206345430U - 料片定位装置 - Google Patents

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张红江
周志伟
黄韶湖
朱炜
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高云峰
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Abstract

本实用新型涉及一种料片定位装置,包括:承载台;能够将料片抓取并放置于承载台上的夹爪机构;微调机构,设置于承载台上,微调机构包括两个轨道组件及两个调节组件,两个轨道组件分别设置于承载台的两侧边,两个调节组件分别设置于两个轨道组件上,且两个调节组件能够与料片的边缘相抵接,调节组件推动料片,以使料片在承载台上运动。上述料片定位装置,通过夹爪机构将料片抓取并放置在承载台两侧的两个轨道组件上,分别设置在两个轨道组件中的两个调节组件与料片两侧的边缘相抵接,通过两个调节组件推动料片,从而可以调节料片在承载台上的位置,提高料片运送过程中的精度。

Description

料片定位装置
技术领域
本实用新型涉及LED生产设备领域,特别是涉及一种料片定位装置。
背景技术
随着LED行业中生产的晶粒尺寸减小,传统的加工设备已经无法满足制作工艺标准的要求。传统设备在对料片加工工程中,通常直接将料片从料片盒运送到加工位置然后进行后续的加工操作,然而由于料片在料片盒中摆放的位置存在着较大的差别,因此,传统设备在运送料片过程中误差较大。
实用新型内容
基于此,有必要提供一种提高料片运送过程精度的料片定位装置。
一种料片定位装置,包括:
承载台;
能够将所述料片抓取并放置于所述承载台上的夹爪机构;
微调机构,设置于所述承载台上,所述微调机构包括两个轨道组件及两个调节组件,两个所述轨道组件分别设置于所述承载台的两侧边,两个所述调节组件分别设置于两个所述轨道组件上,且两个所述调节组件能够与所述料片的边缘相抵接,所述调节组件推动所述料片,以使所述料片在所述承载台上运动。
在其中一个实施例中,还包括运动台,为长条状结构,所述运动台设置于所述承载台的一侧,所述夹爪机构可滑动地设置于所述运动台。
在其中一个实施例中,还包括识别机构,所述识别机构包括:
第一支架,所述第一支架设置于所述承载台远离所述运动台的一侧;及
相机,所述相机设置于所述第一支架上,且所述相机正对所述承载台。
在其中一个实施例中,所述第一支架包括:
安装座,所述安装座固定设置于所述承载台远离所述运动台的一侧,所述安装座上开设有槽道;及
连接板,所述连接板的一侧可滑动地设置于所述槽道内,所述相机固定设置于所述连接板远离所述安装座的一侧,以使所述相机可沿竖直方向运动。
在其中一个实施例中,还包括背光源机构,所述背光源机构包括:
光源安装板,所述光源安装板固定设置于所述承载台上,且所述光源安装板位于两个所述轨道组件之间;及
背光源,固定设置于所述光源安装板远离所述承载台的一侧。
在其中一个实施例中,所述夹爪机构包括:
立板,可滑动地设置于所述运动台;
连接杆,所述连接杆的一端可滑动地设置于所述立板;及
夹爪组件,所述夹爪组件固定设置于所述连接杆远离所述立板的一端,以使所述夹爪组件可沿竖直方向移动。
在其中一个实施例中,所述夹爪组件包括:
上夹片,为面板结构,其上开设有通孔,所述上夹片固定设置于所述连接杆远离所述立板的一端;
第一气缸,设置于所述上夹片的一侧,所述第一气缸包括推杆,所述推杆穿设所述上夹片;及
下夹片,固定于所述推杆上,并与所述上夹片相对设置,所述下夹片与所述第一气缸相联动。
在其中一个实施例中,所述轨道组件包括:
轨道,为长条状结构,所述轨道设置于所述承载台上,其上开设有凹槽,所述调节组件可滑动地设置于所述凹槽内,所述轨道一侧开设有螺纹孔,所述螺纹孔与所述凹槽相连通;
限位板,可滑动地设置于所述凹槽内;
螺杆,所述螺杆的一端固定于所述限位板,且所述螺杆穿设于所述螺纹孔,调节所述螺杆,以使所述调节组件在所述凹槽滑动。
在其中一个实施例中,所述调节组件包括:
滑动座,所述滑动座两侧分别固定连接有延伸杆,所述延伸杆为两个,两个所述延伸杆分别穿设于所述凹槽内侧壁的相对两侧,以使所述滑动座可沿所述第一延伸杆的延伸方向移动;及
抵接座,与所述滑动座相连接,且所述抵接座与所述料片的边缘相抵接,所述抵接座推动所述料片,以使所述料片可沿所述第一延伸杆的延伸方向移动。
在其中一个实施例中,所述第一延伸杆上套设有弹簧,所述弹簧两端分别与所述凹槽内侧壁及所述滑动座相抵接。
上述料片定位装置,通过夹爪机构将料片抓取并放置在承载台两侧的两个轨道组件上,分别设置在两个轨道组件中的两个调节组件与料片两侧的边缘相抵接,通过两个调节组件推动料片,从而可以调节料片在承载台上的位置,提高料片运送过程中的精度。
附图说明
图1为本实用新型一实施例中的料片定位装置结构示意图;
图2为图1所示料片定位装置中第一轨道组件结构示意图;
图3为图2所示第一轨道组件A处放大示意图;
图4为图1所示料片定位装置另一状态示意图;
图5为图1所示料片定位装置中识别机构结构示意图;
图6为图4所示料片定位装置B处放大示意图;
图7为图1所示料片定位装置中夹爪机构结构示意图;
图8为图7所示夹爪机构C处放大示意图。
具体实施方式
为了便于理解本实用新型,下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施方式。但是,本实用新型可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施方式。相反地,提供这些实施方式的目的是使对本实用新型的公开内容理解的更加透彻全面。
需要说明的是,当元件被称为“固定于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“内”、“外”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的,并不表示是唯一的实施方式。
请一并参阅图1和图2,本实用新型一实施例中的料片定位装置100,包括:承载台120、能够将料片200抓取并放置于承载台120上的夹爪机构140及微调机构160。微调机构160设置于承载台120上。
具体的,料片200包括晶圆片与铁圈,晶圆片与铁圈之间用蓝色塑料薄膜粘接。铁圈位于晶圆片外周,呈环形,待加工的晶圆片位于铁圈内。
微调机构160包括两个轨道组件及两个调节组件。两个轨道组件包括第一轨道组件162及第二轨道组件164。两个调节组件包括第一调节组件166及第二调节组件(图中未示出)。第一轨道组件162和第二轨道组件164分别设置于承载台120的两侧边。第一调节组件166设置于第一轨道组件162上。第二调节组件设置于第二轨道组件164上。第一调节组件166和第二调节组件能够与料片200两侧的边缘相抵接。第一调节组件166和第二调节组件推动料片200,以使料片200在承载台120上运动。
具体的,第一轨道组件162和第二轨道组件164平行设置于承载台120的两侧。其中,第一轨道组件162包括:第一轨道162a、第一限位板162c及第一螺杆162d。
第一轨道162a为长条状结构。第一轨道162a设置于承载台120的一侧上。第一轨道162a上开设有第一凹槽162b。第一调节组件166可滑动地设置于第一凹槽162b内。第一轨道162a一侧开设有第一螺纹孔(图中未示出),第一螺纹孔与第一凹槽162b相连通。第一限位板162c可滑动地设置于第一凹槽162b内。第一螺杆162d的一端固定于第一限位板162c上。第一螺杆162d穿设于第一螺纹孔。调节第一螺杆162d,以使第一调节组件166在第一凹槽162b滑动。
其中,第二轨道组件164包括:第二轨道(图中未示出)、第二限位板(图中未示出)及第二螺杆(图中未示出)。
第二轨道为长条状结构。第二轨道设置于承载台与第一轨道162a相对的一侧上。第二轨道上开设有第二凹槽(图中未示出)。第二调节组件可滑动地设置于第二凹槽内。第二轨道一侧开设有第二螺纹孔(图中未示出),第二螺纹孔与第二凹槽相连通。第二限位板可滑动地设置于第二凹槽内。第二螺杆的一端固定于第二限位板上。第二螺杆穿设于第二螺纹孔。调节第二螺杆,以使第二调节组件在第二凹槽滑动。
具体在本实施例中,第一轨道162a和第二轨道上分别设置有挡料板161,通过设置挡料板161可以防止料片200在第一轨道组件162和第二轨道组件164上运动时出现竖直方向的跳动。
请一并参阅图3,第一调节组件166包括:第一滑动座166a及第一抵接座166b。第一滑动座166a两侧分别固定连接有第一延伸杆167和第二延伸杆168。第一延伸杆167和第二延伸杆168分别穿设于第一凹槽162b内侧壁的相对两侧,以使第一滑动座166a可沿第一延伸杆167的延伸方向移动。
第一抵接座166b与第一滑动座166a相连接。第一抵接座166b与料片200的边缘相抵接。第一抵接座166b推动料片200,以使料片200可沿第一延伸杆167的延伸方向移动。
在本实施例中,第一抵接座166b具体可为微型轴承,其内圈固定、外圈能够相对外圈转动。通过微型轴承来接触料片200,可减小料片200运输的摩擦力,防止损坏料片200。
此外,第一延伸杆167上套设有弹簧(图中未示出)。弹簧两端分别与第一凹槽162b内侧壁及第一滑动座166a相抵接。
其中,第二调节组件包括:第二滑动座(图中未示出)及第二抵接座(图中未示出)。第二滑动座两侧同时分别固定连接有第一延伸杆167和第二延伸杆168。第一延伸杆167和第二延伸杆168分别穿设于第二凹槽内侧壁的相对两侧,以使第二滑动座可沿第一延伸杆167的延伸方向移动。
第二抵接座与第二滑动座相连接。第二抵接座与料片200的边缘相抵接。第二抵接座推动料片200,以使料片200可沿第一延伸杆167的延伸方向移动。
此外,第一延伸杆167上套设有弹簧(图中未示出)。弹簧两端分别与第二凹槽内侧壁及第二滑动座相抵接。
具体在实施例中,第一调节组件166和第二调节组件均可为4个。可以理解的是,在其他实施例中,第一调节组件166和第二调节组件的数量也可以多于4个,以便对料片200进行更加精确的调节。
请再次参阅图1,上述料片定位装置100还包括运动台180。运动台180为长条状结构。运动台180设置于承载台120的一侧。夹爪机构140可滑动地设置于运动台180上。
具体在本实施例中,运动台180可为一种由步进电机驱动的动力机构,通过结合皮带和带轮等零件控制连接在其上的夹爪机构140的位置。
请一并参阅图4和图5,上述料片定位装置100还包括识别机构130,包括:第一支架133及相机134。第一支架133设置于承载台120远离运动台180的一侧。相机134设置于第一支架133上。相机134正对承载台120,用于拍摄料片200中晶圆的轮廓大小,并将图像资料上传至外部系统,进而识别料片200的具体位置。通过料片200的具体位置,来对料片200进行精确调节,来进一步提高料片200定位的精度。
第一支架133包括:安装座132a及连接板132b。安装座132a固定设置于承载台120远离运动台180的一侧。安装座132a上开设有槽道133。连接板132b的一侧可滑动地设置于槽道133内,以使相机134可沿竖直方向运动,从而调节相机134的焦距。
请一并参阅图4和图6,上述料片定位装置100还包括背光源机构150,背光源机构150为料片200提供白色光源,以便相机134能够拍摄出料片200清晰的轮廓图像。背光源机构150包括:光源安装板152及背光源154。
光源安装板152固定设置于承载台120上。光源安装板152位于第一轨道组件162和第二轨道组件164之间。背光源154固定设置于光源安装板152远离承载台120的一侧。
具体在本实施例中,光源安装板152与承载台120通过螺丝紧固连接,背光源154嵌套在光源安装板152中,通过顶丝紧固。可以理解的是,在其他实施例中,光源安装板152通过与承载台120也可以采用其他的紧固连接的方式,具体方式根据实际情况进行合理选择。
请一并参阅图7,夹爪机构140包括:立板142、连接杆144及夹爪组件146。立板142可滑动地设置于运动台180。连接杆144的一端可滑动地设置于立板142。夹爪组件146固定设置于连接杆144远离立板142的一端,以使夹爪组件146可沿竖直方向移动,从而控制夹爪组件146的整体升降。
具体的,通过立板142将夹爪组件146安装于运动台180上,从而控制夹爪组件146的水平运动。
请一并参阅图8,夹爪组件146用于夹紧料片200。夹爪组件146包括:上夹片146a、第一气缸146b及下夹片(图中未示出)。上夹片146a为面板结构。上夹片146a上开设有通孔(图中未示出)。上夹片146a固定设置于连接杆144远离立板142的一端。第一气缸146b设置于上夹片146a的一侧。第一气缸146b包括推杆(图中未示出)。推杆穿设上夹片146a。下夹片固定于推杆上。下夹片与上夹片146a相对设置。下夹片与第一气缸146b相联动。具体的,上夹片146a与第一气缸146b之间通过螺丝连接紧固,第一气缸146b动作从而控制上夹片146a与下夹片的张开与闭合。
具体在工作时,启动运动台180驱动装置,开启夹爪机构140气路,背光源154开始发光,启动相机134。夹爪组件146夹紧料片200在运动台180的驱动作用下将料片200移送到平行设置于承载台120两侧的第一轨道组件162和第二轨道组件164上,料片200继续在运动台180的驱动作用下沿着第一轨道组件162的延伸方向移动,当料片200中心与相机134中心对齐时,运动台180停止驱动,通过调节相机134的高度,从而调节相机134的焦距,直至调节到能够识别料片200晶圆图像最清晰的位置为止。第一气缸146b动作从而使得上夹片146a与下夹片的张开,分别设置在第一调节组件166中的第一抵接座164b及设置在第二调节组件中的第二抵接座与料片200两侧的边缘相抵接,通过调节设置在第一轨道组件162中的第一螺杆162d,使得料片200沿第一延伸杆166的延伸方向移动,当料片200中心与相机134中心再次对齐时,固定第一调节组件166和第二调节组件。相机134拍照,将料片200的图像传输至电脑并计算出料片200晶圆轮廓大小。
第一气缸146b复位,料片200被夹爪组件146夹紧在运动台180的驱动作用下脱离承载台120,后续料片200再次被移送过程中,套设在第一延伸杆167上的弹簧位置已经调节完毕,无需继续调节第一螺杆162d驱动料片200沿第一延伸杆167的延伸方向移动,料片200即可自动校正和定位,相机134对其进行拍照即可获取料片200晶圆轮廓的加工范围,提高了料片200的生产效率。
上述料片定位装置100,通过夹爪机构140将料片200抓取并放置在承载台120两侧的第一轨道组件162和第二轨道组件164上,设置在第一轨道组件162中的第一调节组件166和第二轨道组件164中的第二调节组件与料片200两侧的边缘相抵接,通过第一调节组件166和第二调节组件推动料片200,从而可以调节料片200在承载台120上的位置,提高料片200运送过程中的精度,减小了设备故障率和提高了料片200晶圆加工良率。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种料片定位装置,其特征在于,包括:
承载台;
能够将所述料片抓取并放置于所述承载台上的夹爪机构;
微调机构,设置于所述承载台上,所述微调机构包括两个轨道组件及两个调节组件,两个所述轨道组件分别设置于所述承载台的两侧边,两个所述调节组件分别设置于两个所述轨道组件上,且两个所述调节组件能够与所述料片的边缘相抵接,所述调节组件推动所述料片,以使所述料片在所述承载台上运动。
2.根据权利要求1所述的料片定位装置,其特征在于,还包括运动台,为长条状结构,所述运动台设置于所述承载台的一侧,所述夹爪机构可滑动地设置于所述运动台。
3.根据权利要求2所述的料片定位装置,其特征在于,还包括识别机构,所述识别机构包括:
第一支架,所述第一支架设置于所述承载台远离所述运动台的一侧;及
相机,所述相机设置于所述第一支架上,且所述相机正对所述承载台。
4.根据权利要求3所述的料片定位装置,其特征在于,所述第一支架包括:
安装座,所述安装座固定设置于所述承载台远离所述运动台的一侧,所述安装座上开设有槽道;及
连接板,所述连接板的一侧可滑动地设置于所述槽道内,所述相机固定设置于所述连接板远离所述安装座的一侧,以使所述相机可沿竖直方向运动。
5.根据权利要求3所述的料片定位装置,其特征在于,还包括背光源机构,所述背光源机构包括:
光源安装板,所述光源安装板固定设置于所述承载台上,且所述光源安装板位于两个所述轨道组件之间;及
背光源,固定设置于所述光源安装板远离所述承载台的一侧。
6.根据权利要求2所述的料片定位装置,其特征在于,所述夹爪机构包括:
立板,可滑动地设置于所述运动台;
连接杆,所述连接杆的一端可滑动地设置于所述立板;及
夹爪组件,所述夹爪组件固定设置于所述连接杆远离所述立板的一端,以使所述夹爪组件可沿竖直方向移动。
7.根据权利要求6所述的料片定位装置,其特征在于,所述夹爪组件包括:
上夹片,为面板结构,其上开设有通孔,所述上夹片固定设置于所述连接杆远离所述立板的一端;
第一气缸,设置于所述上夹片的一侧,所述第一气缸包括推杆,所述推杆穿设所述上夹片;及
下夹片,固定于所述推杆上,并与所述上夹片相对设置,所述下夹片与所述第一气缸相联动。
8.根据权利要求1所述的料片定位装置,其特征在于,所述轨道组件包括:
轨道,为长条状结构,所述轨道设置于所述承载台上,其上开设有凹槽,所述调节组件可滑动地设置于所述凹槽内,所述轨道一侧开设有螺纹孔,所述螺纹孔与所述凹槽相连通;
限位板,可滑动地设置于所述凹槽内;
螺杆,所述螺杆的一端固定于所述限位板,且所述螺杆穿设于所述螺纹孔,调节所述螺杆,以使所述调节组件在所述凹槽滑动。
9.根据权利要求8所述的料片定位装置,其特征在于,所述调节组件包括:
滑动座,所述滑动座两侧分别固定连接有第一延伸杆和第二延伸杆,所述第一延伸杆和所述第二延伸杆分别穿设于所述凹槽内侧壁的相对两侧,以使所述滑动座可沿所述第一延伸杆的延伸方向移动;及
抵接座,与所述滑动座相连接,且所述抵接座将所述料片的边缘相抵接,所述抵接座推动所述料片,以使所述料片可沿所述第一延伸杆的延伸方向移动。
10.根据权利要求9所述的料片定位装置,其特征在于,所述第一延伸杆上套设有弹簧,所述弹簧两端分别与所述凹槽内侧壁及所述滑动座相抵接。
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