CN206277264U - 一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能磨削动力头装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及单晶硅棒滚磨加工领域，旨在提供一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能磨削动力头装置。该装置包括磨削进给组件、磨削竖直移动组件和磨削动力头主轴组件三个部分，各组件分别控制和定位校对；磨削进给组件用于横向定位安装于磨削进给滑块安装台上的磨削竖直移动组件；磨削竖直移动组件用于纵向安装于其上的定位动力头主轴组件；动力头主轴组件用于驱动磨削砂轮转动以实现磨削；其中，电机通过变频电机联轴器与动力头主轴和磨削砂轮固连后，固定于磨削动力头安装座上。该装置能实现动力头横向、纵向精确定位、磨削砂轮可磨平面、外圆及V槽；大大降低单晶硅棒滚磨加工设备的复杂程度，同时大幅降低制造成本以及运转设备带来的人力成本。
Description
技术领域
本实用新型属于单晶硅棒滚磨加工领域，具体涉及一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能磨削动力头装置。
背景技术
近年来半导体行业和太阳能行业发展突飞猛进，硅单晶是最重要的半导体与光伏材料，它的产量需求也在不断提升。在硅单晶制备完成后需要对其进行加工，一般要完成平面与外圆的磨削工序，外圆工序后还需要在圆柱状晶棒的表面磨出一个轴向的V槽或者磨边，传统办法是用平面磨床和外圆磨床两台设备加工，需要频繁地在设备间进行人工搬运及加工前的装夹和定位操作，工作效率低，耗时长，且带来了定位误差。本装置提供了一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能磨削动力头装置，能够在一体设备中精确定位，同时加工平面、外圆及V槽，相比传统磨削效率不只高一倍，减少人力成本，提高加工精度。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能磨削动力头装置。
为解决技术问题，本实用新型的解决方案是：
提供一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能磨削动力头装置，包括用于磨削的磨削砂轮，该装置包括磨削进给组件、磨削竖直移动组件和磨削动力头主轴组件三个部分，各组件分别控制和定位校对；其中，
所述磨削进给组件用于横向定位安装于磨削进给滑块安装台上的磨削竖直移动组件；其中，磨削前后电机通过水平方向联轴器与磨削进给丝杆固定连接后安装在磨削进给导轨座上；磨削进给滑块安装台通过磨削进给丝杆螺母与磨削进给丝杆固定连接后，通过磨削进给导轨滑块和磨削进给导轨安装在磨削进给导轨座上；
所述磨削竖直移动组件用于纵向安装于其上的定位动力头主轴组件；其中，磨削竖直导轨座与磨削进给滑块安装台固定连接；磨削垂直电机、减速器通过竖直方向联轴器与磨削竖直丝杆固定连接后安装在磨削竖直导轨座上；磨削动力头安装座通过磨削竖直丝杆螺母与磨削竖直丝杆固定连接后，通过磨削竖直滑块和磨削竖直导轨安装在磨削竖直导轨座上；
所述动力头主轴组件用于驱动磨削砂轮转动以实现磨削；其中，电机通过变频电机联轴器与动力头主轴和磨削砂轮固连后，固定于磨削动力头安装座上。
作为改进，所述电机通过变频电机联轴器与动力头主轴和磨削砂轮固连后，是通过动力头外壳固定于磨削动力头安装座上的。
作为改进，该装置还包括通过伸缩护罩安装板与磨削进给滑块安装台固定连接的动力头进给伸缩护罩。
作为改进，该装置还包括安装在砂轮外罩底板上的磨削喷水分流块，用于冷却砂轮。
作为改进，该装置还包括：安装在磨削进给导轨座上的进给导轨座侧罩板和进给电机外罩本体，安装在磨削竖直导轨座上的磨削后罩和磨削竖直框架侧板，以及安装在磨削竖直框架侧板顶部的磨削顶罩。
作为改进，所述磨削砂轮的主体呈杯形，其外部具有V形轮结构，用于实现磨削平面、外圆及V形槽。
作为改进，所述磨削竖直滑块和磨削进给导轨滑块各有四个，用于实现导向和支撑作用。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果：
1、该装置能实现动力头横向、纵向精确定位、磨削砂轮可磨平面、外圆及V槽；
2、该装置大大降低了单晶硅棒滚磨加工设备的复杂程度，同时能大幅降低制造成本以及运转设备带来的人力成本。
附图说明
图1为单晶硅棒磨削动力头装置磨的主视图(无磨削竖直框架侧板)；
图2为单晶硅棒磨削动力头装置的侧面剖视图；
图3为单晶硅棒磨削动力头装置的立体结构示意图；
图中：1磨削进给导轨；2磨削竖直导轨；3磨削砂轮；4动力头主轴；5磨削动力头安装座；6磨削竖直丝杆螺母；7磨削竖直丝杆；8竖直方向联轴器；9磨削垂直电机；10减速器；11磨削竖直导轨座；12动力头外壳；13电机；14变频电机联轴器；15磨削进给滑块安装台；16磨削前后电机；17水平方向联轴器；18磨削进给丝杆螺母；19磨削进给导轨座；20磨削进给丝杆；21磨削进给导轨滑块；22伸缩护罩安装板；23磨削顶罩；24磨削竖直滑块；25磨削喷水分流块；26砂轮外罩底板；27动力头进给伸缩护罩；28磨削竖直框架侧板；29进给导轨座侧罩板；30进给电机外罩本体；31磨削后罩。
具体实施方式
下面通过具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
参见图1、图2和图3，本实用新型中的多功能磨削动力头装置包括磨削进给组件、磨削竖直移动组件和磨削动力头主轴组件三个部分，各组件分别控制和定位校对；磨削竖直移动组件用于带动磨削动力头主轴组件上下运动，磨削进给组件用于带动磨削竖直移动组件和磨削动力头主轴组件前后运动；磨削进给滑块安装台与磨削动力头安装座都装有导轨和四个滑块，起到导向和支撑的作用，使电机丝杆转动时能稳定进给和上下移动组件。其中，
磨削进给组件用于横向定位安装于磨削进给滑块安装台15上的磨削竖直移动组件；其中，磨削前后电机16通过水平方向联轴器17与磨削进给丝杆20固定连接后安装在磨削进给导轨座19上；磨削进给滑块安装台15通过磨削进给丝杆螺母18与磨削进给丝杆20固定连接后，通过磨削进给导轨滑块21和磨削进给导轨1安装在磨削进给导轨座19上；
磨削竖直移动组件用于纵向安装于其上的定位动力头主轴组件；其中，磨削竖直导轨座11与磨削进给滑块安装台15固定连接；磨削垂直电机9、减速器10通过竖直方向联轴器8与磨削竖直丝杆7固定连接后安装在磨削竖直导轨座11上；磨削动力头安装座5通过磨削竖直丝杆螺母6与磨削竖直丝杆7固定连接后，通过磨削竖直滑块24和磨削竖直导轨2安装在磨削竖直导轨座11上；
动力头主轴组件用于驱动磨削砂轮3转动以实现磨削；其中，电机13通过变频电机联轴器14与动力头主轴4和磨削砂轮3固连后，通过动力头外壳12固定于磨削动力头安装座5上。
该装置还包括通过伸缩护罩安装板22与磨削进给滑块安装台15固定连接的动力头进给伸缩护罩27；安装在砂轮外罩底板26上的磨削喷水分流块25，用于冷却砂轮；安装在磨削进给导轨座19上的进给导轨座侧罩板29和进给电机外罩本体30，安装在磨削竖直导轨座11上的磨削后罩31和磨削竖直框架侧板28，以及安装在磨削竖直框架侧板28顶部的磨削顶罩23。各个罩板能有效保护导轨丝杆，延长使用寿命。磨削砂轮的主体呈杯形，其外部具有V形轮结构，用于实现磨削平面、外圆及V形槽。
以上所述的仅是本实用新型的实施例，方案中公知的具体结构及特性等常识在此未作过多描述。应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本实用新型结构的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本实用新型的保护范围，这些都不会影响本实用新型实施的效果和专利的实用性。本申请要求的保护范围应当以其权利要求的内容为准，说明书中的具体实施方式等记载可以用于解释权利要求的内容。
Claims (7)
1.一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能磨削动力头装置，包括用于磨削的磨削砂轮，其特征在于，该装置包括磨削进给组件、磨削竖直移动组件和磨削动力头主轴组件三个部分，各组件分别控制和定位校对；其中，
所述磨削进给组件用于横向定位安装于磨削进给滑块安装台上的磨削竖直移动组件；其中，磨削前后电机通过水平方向联轴器与磨削进给丝杆固定连接后安装在磨削进给导轨座上；磨削进给滑块安装台通过磨削进给丝杆螺母与磨削进给丝杆固定连接后，通过磨削进给导轨滑块和磨削进给导轨安装在磨削进给导轨座上；
所述磨削竖直移动组件用于纵向安装于其上的定位动力头主轴组件；其中，磨削竖直导轨座与磨削进给滑块安装台固定连接；磨削垂直电机、减速器通过竖直方向联轴器与磨削竖直丝杆固定连接后安装在磨削竖直导轨座上；磨削动力头安装座通过磨削竖直丝杆螺母与磨削竖直丝杆固定连接后，通过磨削竖直滑块和磨削竖直导轨安装在磨削竖直导轨座上；
所述动力头主轴组件用于驱动磨削砂轮转动以实现磨削；其中，电机通过变频电机联轴器与动力头主轴和磨削砂轮固连后，固定于磨削动力头安装座上。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述电机通过变频电机联轴器与动力头主轴和磨削砂轮固连后，是通过动力头外壳固定于磨削动力头安装座上的。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该装置还包括通过伸缩护罩安装板与磨削进给滑块安装台固定连接的动力头进给伸缩护罩。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该装置还包括安装在砂轮外罩底板上的磨削喷水分流块，用于冷却砂轮。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该装置还包括：安装在磨削进给导轨座上的进给导轨座侧罩板和进给电机外罩本体，安装在磨削竖直导轨座上的磨削后罩和磨削竖直框架侧板，以及安装在磨削竖直框架侧板顶部的磨削顶罩。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述磨削砂轮的主体呈杯形，其外部具有V形轮结构，用于实现磨削平面、外圆及V形槽。
7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述磨削竖直滑块和磨削进给导轨滑块各有四个，用于实现导向和支撑作用。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201621271682.0U CN206277264U (zh) | 2016-11-25 | 2016-11-25 | 一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能磨削动力头装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201621271682.0U CN206277264U (zh) | 2016-11-25 | 2016-11-25 | 一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能磨削动力头装置 |
Publications (1)
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| CN206277264U true CN206277264U (zh) | 2017-06-27 |
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ID=59083344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201621271682.0U Active CN206277264U (zh) | 2016-11-25 | 2016-11-25 | 一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能磨削动力头装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN206277264U (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107953247A (zh) * | 2017-12-13 | 2018-04-24 | 无锡上机数控股份有限公司 | 数控气动升降磨头 |
| CN108000323A (zh) * | 2017-12-13 | 2018-05-08 | 无锡上机数控股份有限公司 | 一种数控磨面倒角滚圆一体机 |
| CN109746803A (zh) * | 2019-03-27 | 2019-05-14 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种半导体晶棒双磨头高效磨削机构 |
| CN108000323B (zh) * | 2017-12-13 | 2024-04-26 | 无锡上机数控股份有限公司 | 一种数控磨面倒角滚圆一体机 |
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2016
- 2016-11-25 CN CN201621271682.0U patent/CN206277264U/zh active Active
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